JP2011140421A5 - - Google Patents

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  1. 少なくとも、原料融液を収容するルツボと、該ルツボが囲繞される円筒状発熱部を有するヒータと、該ヒータを格納するメインチャンバーと、前記ヒータを支持して電流を供給するヒータ電極と、前記ヒータの円筒状発熱部の下方に配置される断熱板とを具備したチョクラルスキー法によって単結晶インゴットを製造する単結晶製造装置であって、
    前記断熱板が前記ヒータ電極に絶縁性固定部材を介して固定支持され、前記断熱板の上面の前記円筒状発熱部の下端に対応する位置に絶縁性支持部材が配置されたものであることを特徴とする単結晶製造装置。
  2. 前記絶縁性支持部材の上端と前記ヒータの円筒状発熱部の下端との間の距離が０〜５ｍｍであることを特徴とする請求項１に記載の単結晶製造装置。
  3. 前記ヒータの円筒状発熱部の内径が、８５０ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の単結晶製造装置。
  4. 前記ヒータ電極が前記ヒータを２か所で支持するものであり、前記断熱板の上面の前記絶縁性支持部材が配置される位置が、前記円筒状発熱部の下端の前記ヒータ電極が前記ヒータを支持する位置の９０度回転した位置に対応する位置であることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の単結晶製造装置。
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