JP5660019B2 - 単結晶引上げ装置 - Google Patents
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Description
前記ルツボと前記湯漏れ受皿との間に上下に昇降可能な断熱板を有し、
前記湯漏れ受皿内に、前記電極の周囲への前記融液の接触・流入を防止する電極スリーブ、前記ルツボ軸の周囲への前記融液の接触・流入を防止するルツボ軸スリーブ、及び前記排ガス管への前記融液の流入を防止する排ガス管スリーブを有し、
前記湯漏れ受皿は、前記ルツボ内に収容される前記原料融液の最大容量以上の容積を有し、かつ
前記断熱板上に前記ルツボの下部を囲繞できるサブ断熱板を有し、該サブ断熱板は前記ルツボ受皿の外径より大きい内径を有するものであることを特徴とする単結晶引上げ装置を提供する。
前記断熱板は、ルツボ軸スリーブが貫通することができる中央の開口部、電極スリーブが貫通することができる2か所以上の開口部、及び排ガス管スリーブが貫通することができる1か所以上の開口部を有するものであることが好ましい。
図7に示すような、直径20インチ(50.8cm)のルツボを装備した単結晶引上げ装置において、最大初期チャージ量を従来の70kgより100kgにアップした。これに伴い100kgの融液量を湯漏れ受皿内に収容できるようにするため、スリーブ高さを50mmアップした。図7に示すようにルツボ下部の断熱板は従来と構造を変え、上下2段重ねの断熱板の内、下段の断熱板は従来の厚みを30mmとし、上段のサブ断熱板は形状を図3のようにし、2分割されたリング形状で厚みを40mmとした。上下の断熱板を合わせた厚みが70mmとなったが、上段のサブ断熱板の内側にルツボ下部が収容できる構造であり、また、湯漏れ受皿内のスリーブが断熱板を貫通できる構造であったため、図7のようにルツボ内にシリコン原料100kgを一度に仕込んだ状態でも、ルツボ内の原料と整流筒との間隔を十分に確保でき、追加チャージすることなく、100kgの原料を一括で溶融することができた。また、ルツボが下方に降下できるストロークが十分にあるため、リチャージ量を75kgまで増加することができ、100kgチャージで75kgのシリコン単結晶をマルチプーリングで3本製造できた。なお、断熱板はヒーターのクランプ上に絶縁物を介して載せられているものとした。
図8に示すような、直径20インチ(50.8cm)ルツボを装備した従来の単結晶引上げ装置において、最大初期チャージ量を70kgとし、最大リチャージ量を50kgとし、50kgのシリコン単結晶をマルチプーリングで3本製造した。ここで70kgのシリコン原料を仕込んだ状態を図8に示すが、ルツボ内の原料と整流筒との間隔が50mm以上確保され、リチャージが支障なく、実施できていた。しかしながら、その分スリーブの高さが短くなり、原料融液の最大容量以上の容積を有することができず、湯漏れ時の安全性が確保されていなかった。なお、ルツボ下部の断熱板は従来と同構造のまま、厚み60mmでヒーターのクランプ上に絶縁物を介して載せられている。
図9に示すような、直径20インチ(50.8cm)ルツボを装備した従来の単結晶引上げ装置において、最大初期チャージ量を従来の70kgより100kgにアップした。100kgの融液量を湯漏れ受皿内に収容できるようにするため、スリーブ高さを50mmアップした。ここで70kgのシリコン原料を仕込んだ状態を図9に示す。ルツボ下部の断熱板は従来と同構造のまま、厚み60mmでヒーターのクランプ上に絶縁物を介して載せられている。ルツボの最下端位置において、ルツボ内の原料と整流筒との間隔が50mm狭くなり、リチャージ時にルツボを十分に下降できなくなり、マルチプーリングができなくなってしまった。このため、100kgチャージから95kgのシリコン単結晶を1本引きで引き上げて、単結晶の製造を終了した。
図10に示すような、直径20インチ(50.8cm)のルツボを装備した従来の単結晶引上げ装置において、最大初期チャージ量を70kgより100kgにアップし、断熱板厚みを半分の30mmとして、ルツボをさらに30mm下降できるようにした。しかしながら、最大リチャージ量が従来50kgから65kgまでが限界となった。このため、1本目に75kgのシリコン単結晶を製造した後、2本目以降は90kgチャージとし、チャージ量を減らしてマルチプーリングを行った。その結果、断熱板の厚みを半分としたため実施例1、比較例1、2と比べて電力消費が増大した。
101…単結晶引上げ装置、 102…ルツボ、 103…メインチャンバー、 104…湯漏れ受皿、 105…電極、 105a…電極スリーブ、 106…ルツボ軸、 106a…ルツボ軸スリーブ、 107…排ガス管、 107a…排ガス管スリーブ、 108…断熱板、 109…整流筒、 h’…スリーブの高さ
Claims (1)
- 原料融液を収容するルツボと前記原料融液を加熱するヒーターとを格納するメインチャンバーを具備し、該メインチャンバーの底部に前記ルツボから漏れてきた融液を収容する湯漏れ受皿と、前記ヒーターに電力を供給する電極と、前記ルツボをルツボ受皿を介して支持するルツボ軸と、前記メインチャンバーからガスを排出する排ガス管とを有するチョクラルスキー法による単結晶引上げ装置であって、
前記ルツボと前記湯漏れ受皿との間に上下に昇降可能な断熱板を有し、
前記湯漏れ受皿内に、前記電極の周囲への前記融液の接触・流入を防止する電極スリーブ、前記ルツボ軸の周囲への前記融液の接触・流入を防止するルツボ軸スリーブ、及び前記排ガス管への前記融液の流入を防止する排ガス管スリーブを有し、
前記湯漏れ受皿は、前記ルツボ内に収容される前記原料融液の最大容量以上の容積を有し、かつ
前記断熱板上に前記ルツボの下部を囲繞できるサブ断熱板を有し、該サブ断熱板は前記ルツボ受皿の外径より大きい内径を有するものであり、
前記断熱板は、前記ヒーターと一緒に上下に昇降できるように前記ヒーターのクランプ上に絶縁物を介して載せられたものであり、
前記断熱板は、前記ルツボ軸スリーブが貫通することができる中央の開口部、前記電極スリーブが貫通することができる2か所以上の開口部、及び前記排ガス管スリーブが貫通することができる1か所以上の開口部を有するものであることを特徴とする単結晶引上げ装置。
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