JP2016031788A - 有機el表示素子における絶縁膜形成用の感光性樹脂組成物 - Google Patents
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Abstract
Description
(A)ノボラック樹脂中のモノマー及びダイマーの含有量が、(A)ノボラック樹脂の質量に対して5〜18質量%である、有機EL表示素子における絶縁膜形成用の感光性樹脂組成物である。
本発明に係る有機EL表示素子における絶縁膜形成用の感光性樹脂組成物は、(A)ノボラック樹脂、(B)感光剤、(C)架橋剤、及び(D)オキシラン環又はオキセタン環を有するシランカップリング剤を含む。本願明細書において、「有機EL表示素子における絶縁膜形成用の感光性樹脂組成物」を、単に「感光性樹脂組成物」とも記す。(A)ノボラック樹脂は、(A)ノボラック樹脂の質量に対して5〜18質量%のモノマー及び/又はダイマーを含有する。
(A)ノボラック樹脂としては、モノマー及びダイマーの含有量が所定の量である限り、従来から感光性樹脂組成物に配合されている種々のノボラック樹脂を用いることができる。(A)ノボラック樹脂としては、フェノール性水酸基を有する芳香族化合物(以下、単に「フェノール類」という)とアルデヒド類とを酸触媒下で付加縮合させることにより得られるものが好ましい。
フェノール類としては、例えば、フェノール、o−クレゾール、m−クレゾール、及びp−クレゾール等のクレゾール類;2,3−キシレノール、2,4−キシレノール、2,5−キシレノール、2,6−キシレノール、3,4−キシレノール、及び3,5−キシレノール等のキシレノール類;o−エチルフェノール、m−エチルフェノール、及びp−エチルフェノール等のエチルフェノール類、2−イソプロピルフェノール、3−イソプロピルフェノール、4−イソプロピルフェノール、o−ブチルフェノール、m−ブチルフェノール、p−ブチルフェノール、並びにp−tert−ブチルフェノール等のアルキルフェノール類;2,3,5−トリメチルフェノール、及び3,4,5−トリメチルフェノール等のトリアルキルフェノール類;レゾルシノール、カテコール、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、ピロガロール、及びフロログリシノール等の多価フェノール類;アルキルレゾルシン、アルキルカテコール、及びアルキルハイドロキノン等のアルキル多価フェノール類(いずれのアルキル基も炭素数1以上4以下である);α−ナフトール;β−ナフトール;ヒドロキシジフェニル;並びにビスフェノールA等を挙げることができる。これらのフェノール類は、単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。
アルデヒド類としては、例えば、ホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、フルフラール、ベンズアルデヒド、ニトロベンズアルデヒド、及びアセトアルデヒド等を挙げることができる。これらのアルデヒド類は、単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。
酸触媒としては、例えば、塩酸、硫酸、硝酸、リン酸、及び亜リン酸等の無機酸類;蟻酸、シュウ酸、酢酸、ジエチル硫酸、及びパラトルエンスルホン酸等の有機酸類;並びに酢酸亜鉛等の金属塩類等を挙げることができる。これらの酸触媒は、単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。
(A)ノボラック樹脂のポリスチレン換算の質量平均分子量は、感光性樹脂組成物の現像性、解像性、及び耐メッキ液性の観点から1000〜50000であるのが好ましい。また、(A)ノボラック樹脂のポリスチレン換算の質量平均分子量は、現像後のパターンの過度の膜減りを抑制しつつ、感光性樹脂組成物を用いて形成された絶縁膜のパターンを熱処理した後に、望ましいテーパー角を有する絶縁膜を得やすいことから、5000〜7000であるのがより好ましい。また、ノボラック樹脂の分散度[質量平均分子量(Mw)/数平均分子量(Mn)]は、50以下が好ましく、2以上25以下がより好ましく、2以上15以下がさらに好ましい。
(A)ノボラック樹脂としては、(A)ノボラック樹脂の質量に対するモノマー及びダイマーの含有量の合計が5〜18質量%、好ましくは5〜10質量%、さらに好ましくは7〜10質量%であるものを用いる。(A)ノボラック樹脂が、かかる量のモノマー及び/又はダイマーを含むことによって、短時間の熱処理で、望ましいテーパー角を有する絶縁膜を形成することができる。つまり、本発明に係る感光性樹脂組成物を用いることで、望ましいテーパー角を備える絶縁膜を備える種々の基板を、高いスループットで生産できる。
感光性樹脂組成物に含有される感光剤としては、特に限定されないが、キノンジアジド基含有化合物が好ましい。このキノンジアジド基含有化合物としては、例えば、2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノン、2,4,4’−トリヒドロキシベンゾフェノン、2,4,6−トリヒドロキシベンゾフェノン、2,3,6−トリヒドロキシベンゾフェノン、2,3,4−トリヒドロキシ−2’−メチルベンゾフェノン、2,3,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン、2,2’,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノン、2,3’,4,4’,6−ペンタヒドロキシベンゾフェノン、2,2’,3,4,4’−ペンタヒドロキシベンゾフェノン、2,2’,3,4,5−ペンタヒドロキシベンゾフェノン、2,3’,4,4’,5’,6−ヘキサヒドロキシベンゾフェノン、2,3,3’,及び4,4’,5’−ヘキサヒドロキシベンゾフェノン等のポリヒドロキシベンゾフェノン類;ビス(2,4−ジヒドロキシフェニル)メタン、ビス(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)メタン、2−(4−ヒドロキシフェニル)−2−(4’−ヒドロキシフェニル)プロパン、2−(2,4−ジヒドロキシフェニル)−2−(2’,4’−ジヒドロキシフェニル)プロパン、2−(2,3,4−トリヒドロキシフェニル)−2−(2’,3’,4’−トリヒドロキシフェニル)プロパン、4,4’−{1−[4−〔2−(4−ヒドロキシフェニル)−2−プロピル〕フェニル]エチリデン}ビスフェノール、及び3,3’−ジメチル−{1−[4−〔2−(3−メチル−4−ヒドロキシフェニル)−2−プロピル〕フェニル]エチリデン}ビスフェノール等のビス[(ポリ)ヒドロキシフェニル]アルカン類;トリス(4−ヒドロキシフェニル)メタン、ビス(4−ヒドロキシ−3、5−ジメチルフェニル)−4−ヒドロキシフェニルメタン、ビス(4−ヒドロキシ−2,5−ジメチルフェニル)−4−ヒドロキシフェニルメタン、ビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)−2−ヒドロキシフェニルメタン、ビス(4−ヒドロキシ−2,5−ジメチルフェニル)−2−ヒドロキシフェニルメタン、ビス(4−ヒドロキシ−2,5−ジメチルフェニル)−3,4−ジヒドロキシフェニルメタン、及びビス(4−ヒドロキシ−3,5−ジメチルフェニル)−3,4−ジヒドロキシフェニルメタン等のトリス(ヒドロキシフェニル)メタン類又はそのメチル置換体;ビス(3−シクロヘキシル−4−ヒドロキシフェニル)−3−ヒドロキシフェニルメタン、ビス(3−シクロヘキシル−4−ヒドロキシフェニル)−2−ヒドロキシフェニルメタン、ビス(3−シクロヘキシル−4−ヒドロキシフェニル)−4−ヒドロキシフェニルメタン、ビス(5−シクロヘキシル−4−ヒドロキシ−2−メチルフェニル)−2−ヒドロキシフェニルメタン、ビス(5−シクロヘキシル−4−ヒドロキシ−2−メチルフェニル)−3−ヒドロキシフェニルメタン、ビス(5−シクロヘキシル−4−ヒドロキシ−2−メチルフェニル)−4−ヒドロキシフェニルメタン、ビス(3−シクロヘキシル−2−ヒドロキシフェニル)−3−ヒドロキシフェニルメタン、ビス(5−シクロヘキシル−4−ヒドロキシ−3−メチルフェニル)−4−ヒドロキシフェニルメタン、ビス(5−シクロヘキシル−4−ヒドロキシ−3−メチルフェニル)−3−ヒドロキシフェニルメタン、ビス(5−シクロヘキシル−4−ヒドロキシ−3−メチルフェニル)−2−ヒドロキシフェニルメタン、ビス(3−シクロヘキシル−2−ヒドロキシフェニル)−4−ヒドロキシフェニルメタン、ビス(3−シクロヘキシル−2−ヒドロキシフェニル)−2−ヒドロキシフェニルメタン、ビス(5−シクロヘキシル−2−ヒドロキシ−4−メチルフェニル)−2−ヒドロキシフェニルメタン、及びビス(5−シクロヘキシル−2−ヒドロキシ−4−メチルフェニル)−4−ヒドロキシフェニルメタン等のビス(シクロヘキシルヒドロキシフェニル)(ヒドロキシフェニル)メタン類又はそのメチル置換体;フェノール、p−メトキシフェノール、ジメチルフェノール、ヒドロキノン、ナフトール、ピロカテコール、ピロガロール、ピロガロールモノメチルエーテル、ピロガロール−1,3−ジメチルエーテル、没食子酸、アニリン、p−アミノジフェニルアミン、及び4,4’−ジアミノベンゾフェノン等の水酸基又はアミノ基を有する化合物;並びにノボラック、ピロガロール−アセトン樹脂、及びp−ヒドロキシスチレンのホモポリマー又はこれと共重合し得るモノマーとの共重合体等と、ナフトキノン−1,2−ジアジド−5−スルホン酸、ナフトキノン−1,2−ジアジド−4−スルホン酸、及びオルトアントラキノンジアジドスルホン酸等のキノンジアジド基含有スルホン酸との完全エステル化合物、部分エステル化合物、アミド化物、又は部分アミド化物等を挙げることができる。これらの感光剤は、単独で用いてもよく、二種以上を組み合わせて用いてもよい。
を与える。
(C)架橋剤は、絶縁膜形成の操作によって、(A)ノボラック樹脂を架橋させる化合物であれば特に限定されない。(C)架橋剤として好ましいものとしては、メラミン化合物及びエポキシ化合物が挙げられ、メラミン化合物がより好ましい。感光性樹脂組成物に(C)架橋剤を配合することにより、感光性樹脂組成物を用いて、耐水性、耐熱性、及び耐溶剤性に優れる絶縁膜を形成することができる。
感光性樹脂組成物は、(D)オキシラン環又はオキセタン環を有するシランカップリング剤を含む。(D)オキシラン環又はオキセタン環を有するシランカップリング剤は、オキシラン環又はオキセタン環と、ケイ素原子に結合するアルコキシ基等の反応性基との双方で(A)ノボラック樹脂が有するフェノール性水酸基と反応し得る。このため、(D)オキシラン環又はオキセタン環を有するシランカップリング剤は、架橋剤的に作用し、感光性樹脂組成物を用いて形成される絶縁膜を緊密化させる。絶縁膜が緊密化されると、絶縁膜の耐水性、耐溶剤性、耐熱性等が向上する。
Rd1 mRd2 (3−m)Si−Rd3−Y−X・・・(D1)
(式(D1)中、Rd1はアルコキシ基であり、Rd2はアルキル基であり、Rd3はアルキレン基であり、mは1〜3の整数であり、Yは−NH−、−O−、又は−S−であり、Xはオキシラン環又はオキセタン環を有する有機基である。)
感光性樹脂組成物は、必要に応じて(E)増感剤を含んでいてもよい。(E)増感剤の種類は特に限定されず、ノボラック樹脂と、感光剤と、架橋剤とを含む従来の感光性樹脂組成に配合されている増感剤から適宜選択できる。具体的には、下記式(E−1)で表されるフェノール化合物を使用することができる。
感光性樹脂組成物は、感光性樹脂組成物を用いて形成される絶縁膜の絶縁性が損なわれない範囲で、必要に応じて(F)着色剤を含んでいてもよい。
感光性樹脂組成物は、本発明の目的を阻害しない範囲で、種々の添加剤を含んでいてもよい。感光性樹脂組成物が含んでいてもよい添加剤としては、界面活性剤、可塑剤、撥液剤等が挙げられる。
感光性樹脂組成物は、塗布性、消泡性、及びレベリング性等を向上させるため、界面活性剤を含有していてもよい。界面活性剤としては、例えばBM−1000、BM−1100(BM ケミー社製)、メガファックF142D、メガファックF172、メガファクF173、メガファックF183(大日本インキ化学工業社製)、フロラードFC−135、フロラーロFC−170C、フロラードFC−430、フロラードFC−431(住友スリーエム社製)、サーフロンS−112、サーフロンS−113、サーフロンS−131、サーフロンS−141、サーフロンS−145(旭硝子社製)、SH−28PA、SH−190、SH−193、SZ−6032、SF−8428(東レシリコーン社製)、BYK−310、BYK−330(ビックケミージャパン社製)等の名称で市販されているシリコン系又はフッ素系界面活性剤を使用することができる。
感光性樹脂組成物は、クラックの発生を抑制するために、可塑剤として、アルカリ可溶性アクリル樹脂を配合してもよい。アルカリ可溶性アクリル樹脂としては、一般に、可塑剤としてポジ型フォトレジスト組成物に配合されているものを使用することができる。
感光性樹脂組成物に撥液剤を配合することで、形成される絶縁膜に撥液性が付与される。例えば、絶縁膜が隣接する画素を区切るバンクである場合、バンクで区切られた区画内に、インクジェット印刷法で機能層を形成する場合がある。この場合、バンクが撥液性を有することによって、隣接する区画に打ち込まれた異なる種類のインク同士の望まない混合を効果的に防止することができる。撥液剤としては、特に限定されないが、フッ素含有樹脂が好ましい。フッ素含有樹脂の種類は、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されず、従来知られるフッ素含有樹脂から適宜選択することができる。
感光性樹脂組成物は、上記の各成分を適当な溶剤に溶解して、溶液の形で用いることが好ましい。このような溶剤の例としては、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、及びエチレングリコールモノブチルエーテル等のエチレングリコールアルキルエーテル類;ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、及びジエチレングリコールジブチルエーテル等のジエチレングリコールジアルキルエーテル類;メチルセロソルブアセテート、及びエチルセロソルブアセテート等のエチレングリコールアルキルエーテルアセテート類;プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、及びプロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート等のプロピレングリコールアルキルエーテルアセテート類;アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、及びメチルアミルケトン等のケトン類;トルエン及びキシレン等の芳香族炭化水素類;ジオキサン等の環式エーテル類;並びに2−ヒドロキシプロピオン酸メチル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、オキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチル、3−メトキシブチルアセテート、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、蟻酸エチル、酢酸エチル、酢酸ブチル、アセト酢酸メチル、及びアセト酢酸エチル等のエステル類等を挙げることができる。これらの溶剤は、単独で用いてもよく、二種以上を混合して用いてもよい。
感光性樹脂組成物は、上記の各成分を所定の比率で配合した後、通常の方法で混合、撹拌することにより調製することができる。また、必要に応じて、さらにメッシュ、メンブレンフィルター等を用いて濾過してもよい。
絶縁膜は、基板上に感光性樹脂組成物の塗布膜を形成する塗布工程と、塗布膜に位置選択的に活性線を照射して露光する露光工程と、露光された塗布膜を現像する現像工程と、を含む方法により形成される。
塗布工程においては、必要に応じて種々の機能層を備えるEL表示素子形成用の基板上に、スピンナー等を用いて感光性樹脂組成物を塗布して塗布膜を形成する。塗布膜の膜厚は、典型的には、0.5〜10μmであるのが好ましい。塗布膜には必要に応じて、80〜150℃の温度条件下、プレベーク(ポストアプライベーク(PAB))が、40〜600秒間、好ましくは60〜360秒間施される。
塗布膜に対して、例えば、波長365nm(i線)、405nm(h線)、435nm(g線)付近の光を発光する光源である低圧水銀灯、高圧水銀灯、及び超高圧水銀灯を用いて、所望のマスクパターンを介して位置選択的に露光を行う。なお、露光に用いる活性線としては、上記低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯によるG線、H線、及びI線のほかにも、ArFエキシマレーザー、KrFエキシマレーザー、F2エキシマレーザー、極紫外線(EUV)、真空紫外線(VUV)、電子線(EB)、X線、及び軟X線等の放射線も使用できる。露光後、必要に応じて80〜150℃の温度条件下で、40〜600秒間、好ましくは60〜360秒間露光後加熱(PEB)を行ってもよい。
現像工程では、露光された塗布膜に対して、アルカリ現像液、例えば、濃度0.1〜10質量%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を用いて20〜30℃の温度で現像処理が施された後、必要に応じて、純水による水リンスや、乾燥が行なわれる。
(樹脂成分)
実施例及び比較例において、(A)ノボラック樹脂、又は(A)ノボラック樹脂の代替成分となる樹脂成分として、下表1に記載される樹脂を用いた。
<クレゾールノボラック樹脂の調製方法>
表1に記載の比率のm−クレゾール及びp−クレゾールと、ホルムアルデヒドと、触媒量のシュウ酸とを反応容器に仕込んだ。反応容器の内容物を、常法に従って、還流条件下で4時間反応させて粗クレゾールノボラック樹脂を調製した。その後、減圧下で粗クレゾールノボラック樹脂を加熱して、樹脂中の低分子量成分を除去して、クレゾールノボラック樹脂を得た。減圧下での加熱工程における、加熱温度と処理時間とを調整することにより、クレゾールノボラック樹脂中のモノマー及びダイマーの含有量を調整した。クレゾールノボラック樹脂中の、モノマー及びダイマーの含有量は、GPCチャートのエリア%から測定した。GPCの測定条件は以下の通りである。
装置名:Shodex SYSTEM21(Shodex社製)
カラム:Shodex KF−G, KF−801
カラムオーブン:40℃
溶離液:THF
流量:1.0mL/min
サンプル濃度:0.02g/10mlTHF
注入量:20μl
検出器:UV280nmの吸収量を検出
撹拌機、撹拌羽根、還流冷却機、窒素ガス導入管を備えた容量5Lのセパラブルフラスコに、ピロメリット酸二無水物654.4質量部、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル672.8質量部、及びN−メチル−2−ピロリドン2518質量部を投入した。窒素ガス導入管よりフラスコ内に窒素を導入し、フラスコ内を窒素雰囲気とした。次いで、フラスコの内容物を撹拌しながら、50℃20時間で、テトラカルボン酸二無水物と、ジアミンとを反応させて、ポリアミック酸溶液を得た。溶媒を留去してポリアミック酸を得た。
実施例及び比較例において、感光剤として下記のB1及びB2を用いた。
B1:2,3,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェノンの1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル
B2:1−[1−(4−ヒドロキシフェニル)イソプロピル]−4−[1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)エチル]ベンゼンの1,2−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル
実施例及び比較例において、架橋剤としてヘキサメチロールメラミンヘキサメチルエーテルを用いた。
実施例及び比較例において、(D)オキシラン環又はオキセタン環を有するシランカップリング剤、又は(D)オキシラン環又はオキセタン環を有するシランカップリング剤の代替成分となるシランカップリング剤として、下記D1及びD2を用いた
D1:(3−グリシジルオキシ−n−プロピル)トリメトキシシラン
D2:ビニルトリメトキシシラン
実施例及び比較例において、増感剤として、1−[1−(4−ヒドロキシフェニル)イソプロピル]−4−[1,1−ビス(4−ヒドロキシフェニル)エチル]ベンゼンを用いた。
実施例9では、着色剤としてペリレンブラックを用いた。実施例10では、着色剤としてC.I.ピグメントブルー15:6を用いた。実施例11では、着色剤としてC.I.ピグメントレッド254を用いた。
(現像後)
6インチのシリコン基板上に、スピンコーターを用いて感光性樹脂組成物を塗布した後、110℃で90秒間プリベークを行い、膜厚1.52μmの塗布膜を形成した。塗布膜形成後、露光装置(G7E、ニコン社製)を用いて、現像可能な最低露光量(Eth)でフォトマスクを介して塗布膜を露光した。露光後、濃度2.38質量%のテトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液を現像液として用いて、パドル現像を行った。現像後に形成された絶縁膜の厚さを測定し、現像後の残膜率(露光前の膜厚(1.52μm)に対する、現像後の膜厚の比率)を求めた。現像後の残膜率を表3に記す。
露光装置を(MPA−600FA、キヤノン社製)に変えることの他は、現像後の残膜率の評価と同様に、塗布膜形成、露光、及び現像を行って絶縁膜を形成した。形成された絶縁膜をオーブン中で,230℃で30分間ポストベークした。ポストベークされた絶縁膜の厚さを測定し、ポストベーク後の残膜率(露光前の膜厚(1.52μm)に対する、ポストベーク後の膜厚の比率)を求めた。ポストベーク後の残膜率を表3に記す。
残膜率の評価において形成された、ポストベーク後の絶縁膜の断面を顕微鏡により観察して、基板表面と、絶縁膜の端面とがなす角のうち鋭角であるテーパー角を測定した。テーパー角が35°以下である場合をテーパー角「○」と判定し、35°超である場合をテーパー角「×」と判定した。テーパー角と、テーパー角の評価結果とを表3に記す。
ポリイミドフィルム(カプトン(登録商標)H200、東レ・デュポン社製)の表面にスピンコーターを用いて感光性樹脂組成物を塗布した後、100℃で90秒間プリベークを行い、膜厚2μmの塗布膜を形成した。形成された塗布膜を、230℃で60秒間ポストベークして、絶縁膜を得た。ポリイミドフィルムと、ポリイミドフィルム及び絶縁膜が積層された試料とについて、透水率測定装置(L80−5000型、Lyssy社製)を用いて透水率(g/m2・day)を測定した。ポリイミドフィルム及び絶縁膜が積層された試料の透水率の、ポリイミドフィルムの透水率に対する比率(WVTR(%))を、耐水性の指標として求めた。WVRTが90%以下である場合を耐水性「○」と判定し、90%超である場合を耐水性「×」と判定した。WVTRと、耐水性の評価結果とを表3に記す。
耐水性評価において形成された絶縁膜から採取した試料を用いて、示差熱/熱重量測定装置(TG/DTA−6200、セイコーインスツル社製)により、空気気流中、昇温速度10℃/分の条件下で測定を行い、TG曲線を得た。得られたTG曲線から、試料の5%重量減少温度を求めた。5%重量減少温度が310℃以上である場合を耐熱性「○」と判定し、310℃未満である場合を耐熱性「×」と判定した。5%重量減少温度と、耐熱性の評価結果とを表3に記す。
ポリイミドフィルムを6インチのシリコン基板に変えることの他は、耐水性の評価と同様にして膜厚2μmの絶縁膜を形成した。形成された絶縁膜を、ジエチレングリコールモノブチルエーテル65質量%及びモノエタノールアミン35質量%からなる混合溶剤に10分間浸漬した後、10分間浸漬後の絶縁膜の膜厚T10を測定した。次いで、耐溶剤性の指標として、膜厚増加速度を下式に従って算出した。膜厚増加速度が0.6%/分以下である場合を耐溶剤性「○」と判定し、0.6%/分超であるか負の値である場合を耐溶剤性「×」と判定した。膜厚増加速度と、耐溶剤性の評価結果とを表3に記す。
膜厚増加速度(%/分)=(T10−2)÷2×100÷10
Claims (7)
- (A)ノボラック樹脂、(B)感光剤、(C)架橋剤、及び(D)オキシラン環又はオキセタン環を有するシランカップリング剤を含み、
前記(A)ノボラック樹脂中のモノマー及びダイマーの含有量が、(A)ノボラック樹脂の質量に対して5〜18質量%である、有機EL表示素子における絶縁膜形成用の感光性樹脂組成物。 - 前記(A)ノボラック樹脂のポリスチレン換算の質量平均分子量が5000〜7000である、請求項1に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記(B)感光剤がナフトキノンジアジド基を含む化合物である、請求項1又は2に記載の感光性樹脂組成物。
- 前記(D)オキシラン環又はオキセタン環を有するシランカップリング剤が下記式(D1)で表される、請求項1〜4のいずれか1項に記載の感光性組成物。
Rd1 mRd2 (3−m)Si−Rd3−Y−X・・・(D1)
(式(D1)中、Rd1はアルコキシ基であり、Rd2はアルキル基であり、Rd3はアルキレン基であり、mは1〜3の整数であり、Yは−NH−、−O−、又は−S−であり、Xはオキシラン環又はオキセタン環を有する有機基である。) - 請求項1〜5のいずれか1項に記載の感光性組成物を用いて形成された、有機EL素子における絶縁膜。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の感光性組成物を用いて形成された、有機EL素子におけるバンク。
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