JP2015526896A5 - - Google Patents

Description

いくつかの実施形態では、移送チャンバ１０２は、例えば、真空下で操作することができる。処理チャンバ１０６Ａ−１０６Ｆおよびロードロックチャンバ１０８の各々は、基板１０５Ａ−１０５Ｄを、処理チャンバ１０６Ａ−１０６Ｆおよびロードロックチャンバ１０８に置く、またはそれらから抽出するときに開閉するように適合することができるスリットバルブ１０９をそれらの入口／出口に含むことができる。スリットバルブ１０９は、任意の適切な従来の構成とすることができる。マルチアームロボット装置１０４の様々な構成要素の動きは、以下から明らかであるように、コントローラ１１５からロボット装置１０３への適切なコマンドによって制御することができる。

ここで図２を参照すると、ブーム駆動装置１０４を有するマルチアームロボット装置１０３の部分的な断面図が示される。マルチアームロボット装置１０３は、ハウジング１０１の壁（例えば、床）に取り付けられるように適合することができるベース２１６を含むことができる。したがって、ロボット装置１０３を、ハウジング１０１によって少なくとも部分的に支持することができる。ロボット装置１０３はまた、ブーム２２２に連結される１または複数のマルチアームロボット（例えば、マルチアームロボット２２０Ａ、２２０Ｂ、２２０Ｃ、２２０Ｄ（マルチリンクロボット２２０Ａ、２２０Ｂ、２２０Ｃ、２２０Ｄの一部分のみ示される））を駆動するように構成され、動作可能であり、従って適合されるブーム駆動装置１０４を含む。マルチアームロボット２２０Ａ、２２０Ｂ、２２０Ｃ、２２０Ｄは、水平多関節（ＳＣＡＲＡ）ロボットとすることができる。マルチアームロボット２２０Ｃ、２２０Ｄの構成の代表的な図が、図３Ａおよび図４に示される。様々なアームが図３Ａおよび図４で示されるものと配向が逆である（鏡映関係にある）ことを除き、ＳＣＡＲＡロボット２２０Ｃ、２２０Ｄは、図示された実施形態において、図３Ａに示されるＳＣＡＲＡロボットと同一である。他の種類のマルチアームロボットは、ブーム駆動装置１０４によって駆動することができる。図２の図示された実施形態において、ブーム駆動装置１０４は、ブーム２２２の主回転軸２２５から概して反対方向に外に向かって放射方向に延びうる、第１および第２のブーム部分２２２Ｌ、２２２Ｒを有するブーム２２２を含む。

図示される実施形態では、ツインマルチアームロボット２２０Ａ、２２０Ｂは、ブーム２２２の第１のブーム部分２２２Ｌの第１の外側端２２４Ｌに装着される。同様に、ツインマルチアームロボット２２０Ｃ、２２０Ｄは、ブーム２２２の第２のブーム部分２２２Ｒの第２の外側端２２４Ｒに装着することができる。しかしながら、ブーム駆動装置１０４およびロボット装置１０３は、ただ１つのブーム部分（例えば、２２２Ｌ）、およびただ１組のツインマルチアームロボット、例えば、ツインマルチアームロボット２２０Ａ、２２０Ｂ（例えば、ＳＣＡＲＡロボット）だけで構成することができると認識されるべきである。

第１の駆動部材２３０および第２の駆動部材２３２の第１のパイロット２２８および第２のパイロット２２９それぞれへの回転式の装着は、１または複数の適切なベアリング部材（例えば、ボールベアリングなど）によるとすることができる。ブーム駆動装置１０４はまた、外側端２２４Ｌ付近の外側の場所でウェブ２２７上方のブーム２２２に回転式に装着される第１の被駆動部材２３４、および外側端２２４Ｌ付近の外側の場所でウェブ２２７下方のブーム２２２に回転式に装着される第２の被駆動部材２３６を含む。再び、上方および下方は、図示された配向に基づく相対語である。要するに、第１の被駆動部材２３４および第２の被駆動部材２３６は、ウェブ２２７の反対側に設けられる。第１の被駆動部材２３４および第２の被駆動部材２３６は、回転式に装着され、第１の外側軸２３７周囲を回転することができる。ブーム駆動装置１０４はまた、第１の駆動部材２３０をウェブ２２７上方の第１の被駆動部材２３４に連結する第１の伝送部材２３８、および第２の駆動部材２３２をウェブ２２７下方の第２の被駆動部材２３６に連結する第２の伝送部材２４０を含む。第１の伝送部材２３８は、第１の駆動部材２３０から第１の被駆動部材２３４までそれぞれに固定される複数のベルト（例えば、金属ベルト）を備えることができる。同様に、第２の伝送部材２４０は、第２の駆動部材２３２から第２の被駆動部材２３６までそれぞれに固定される複数のベルト（例えば、金属ベルト）を備えることができる。

ブーム駆動装置１０４はまた、その外側端において（例えば、端２２４Ｒにおいて）ウェブ２２７上方でブーム２２２に回転式に装着される第３の被駆動部材２５６、および外側端（例えば、２２４Ｒ）においてウェブ２２７下方でブーム２２２に回転式に装着される第４の被駆動部材２５７を含むことができる。第３の伝送部材２５８は、第１の駆動部材２３０をウェブ２２７上方の第３の被駆動部材２５６に連結し、第４の伝送部材２５９は、第２の駆動部材２３２をウェブ２２７下方の第４の被駆動部材２５７に連結する。

同様に、第２のマルチアームロボット２２０Ｂの上アーム２２０ＵＢは、時計回りの回転方向または反時計回りの回転方向のいずれかで第１の外側軸２３７周囲を回転するように適合することができる。回転は、例えば、約１８０度未満とすることができ、またはいくつかの実施形態では、１７０度未満とさえすることができる。上アーム２２０ＵＢは、第２の駆動モーター２５２Ｍの回転によって駆動することができる。ブーム駆動装置１０４は、ウェブ２２７下方で第２の駆動部材２３２まで延びる第２の駆動部材パイロットシャフト２５２Ｓを含む。第２の駆動部材パイロットシャフト２５２Ｓは、第２の駆動モーター２５２Ｍによって駆動されるように適合される。第２の駆動部材パイロットシャフト２５２Ｓを駆動すると、第２の駆動部材２３２がウェブ２２７下方で回転し、それにより、そこに接続される第１のマルチアームロボット２２０Ｂの第２の上アーム２２０ＵＢが回転する。

図示される実施形態では、第１および第２のマルチアームロボット２２０Ａ、２２０Ｂは、例えば、３リンクＳＣＡＲＡロボット（水平多関節ロボット）とすることができる。動作中に、いったんブーム２２２が基板を置くまたは選び取るための所望の目的地に隣接して位置付けられると、ロボット装置１０３は、基板１０５Ａ−１０５Ｄを目的地に置くまたは目的地から選び取るように作動することができる。

図４は、代表的なマルチアームロボット２２０Ａ、２２０Ｂの断面図を示す。これらのマルチアームロボット２２０Ａ、２２０Ｂは、例えば、単一のチャンバ（例えば、１０６Ａ、１０６Ｃ、１０６Ｅ）を処理するために動作することができる。本実施形態のロボット装置２２０Ａは、ブーム２２２の外側端２２４Ｌに装着することができる。各マルチアームロボット２２０Ａ、２２０Ｂは、主回転軸２２５（図２）から距離を空けて配置される。

本実施形態では、各マルチアームロボット２２０Ａ、２２０Ｂは、Ｘ−Ｙ平面の第１の外側軸２３７周囲での回転のために適合される内側アーム２２０ＡＵ、２２０ＢＵを含むことができる。上アーム２２０ＡＵ、２２０ＢＵは、それぞれの外側端で上アーム２２０ＡＵ、２２０ＢＵに連結される前アーム２２０ＡＦ、２２０ＢＦを含むことができる。前アーム２２０ＡＦ、２２０ＢＦは各々、外側端でそこに回転式に取り付けられるリスト部材２２０ＡＷ、２２０ＢＷを含むことができる。リスト部材２２０ＡＷ、２２０ＢＷは、Ｘ−Ｙ平面で前アーム２２０ＡＦ、２２０ＢＦに対するリスト軸周囲での相対的な回転のために適合することができる。上アーム２２０ＡＵ、２２０ＢＵおよび前アーム２２０ＡＦ、２２０ＢＦの様々なプーリ結合および長さは、リスト部材２２０ＡＷ、２２０ＢＷが作用線２２１（図３Ａ）に対して平行移動するように、適したサイズ決定を行うことができる。エンドエフェクタ２２０ＡＥ、２２０ＢＥは、リスト部材２２０ＡＷ、２２０ＢＷ上に含むことができる。エンドエフェクタ２２０ＡＥ、２２０ＢＥは、図示されるように、別個の部材として、リスト部材２２０ＡＷ、２２０ＢＷに取り付けることができ、またはリスト部材２２０ＡＷ、２２０ＢＷとの一体ユニットとして形成することができる。エンドエフェクタ２２０ＡＥ、２２０ＢＥは各々、基板１０５Ａ、１０５Ｂを運ぶために適合することができる。マルチリンクロボット２２０Ａ、２２０Ｂは、第１および第２の被駆動部材２３４、２３６を駆動することによって遠隔で駆動させることができる。

図５Ａ−５Ｅは、例えば、電子デバイス処理システム１００内で１または複数のマルチアームロボット（例えば、２２０Ａ、２２０Ｂ、２２０Ｃ、２２０Ｄ）を駆動するために利用することができるブーム駆動装置１０４の様々な図を示す。ブーム２２２は、主回転軸２２５から概して反対の半径方向に外に向かって延びる複数の片持ちビームとすることができるブーム部分２２２Ｌ、２２２Ｒを含むことができる。ブーム２２２の本体は、図５Ｄおよび図５Ｅに最もよく示されるように、断面がＩビーム形状を有することができる。ウェブ２２７は、ブーム２２２の垂直高さに沿って概して中心に設置することができる。ブーム２２２は、エンドエフェクタ２２０ＡＥ、２２０ＢＥが処理するチャンバに、エンドエフェクタ２２０ＡＥ、２２０ＢＥを非常に接近させることができるブーメラン形状を有することができる。デュアルマルチアームロボット２２０Ａ、２２０Ｂおよびデュアルマルチアームロボット２２０Ｃ、２２０Ｄがブーム駆動装置１０４に連結された状態で、エンドエフェクタ２２０ＡＥ、２２０ＢＥを延ばすおよび引っ込めることにより（図３Ａおよび図３Ｅを参照）、ブーム２２２を全く回転させずに、目的地において完全な基板交換を行うことができる。