JPH11291184A - 半導体ウエハ及びガラス基板の搬送用独立制御ロボット - Google Patents

半導体ウエハ及びガラス基板の搬送用独立制御ロボット

Info

Publication number
JPH11291184A
JPH11291184A JP9705498A JP9705498A JPH11291184A JP H11291184 A JPH11291184 A JP H11291184A JP 9705498 A JP9705498 A JP 9705498A JP 9705498 A JP9705498 A JP 9705498A JP H11291184 A JPH11291184 A JP H11291184A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
robot
vacuum
arm
chamber
arms
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP9705498A
Other languages
English (en)
Inventor
Masazo Furusawa
古澤雅三
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sprout Co Ltd
Original Assignee
Sprout Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sprout Co Ltd filed Critical Sprout Co Ltd
Priority to JP9705498A priority Critical patent/JPH11291184A/ja
Publication of JPH11291184A publication Critical patent/JPH11291184A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体ウエハまたガラス基板を真空搬送チャ
ンバー内で搬送する場合、従来のロボットでは完全独立
制御が出来ずロードロックチャンバーからプロセスチャ
ンバーへの受け渡し、又はプロセスチャンバーからロー
ドチャックチャンバーへの収納の際に待機時間が発生
し、スループット向上の障害となっていた。 【解決策】 ２個のアーム同士の物理的干渉がなく最短
の時間で半導体ウエハまたはガラス基板の搬送が行え、
より待機時間が短縮され最大のスループットを得ること
が可能となる、独立制御ロボットを開発する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】 本発明は、半導体ウエハまたは
ガラス基板をロボットを使用して搬送する搬送用独立制
御ロボットに関するものであり、特にクラスタツール内
のロボットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】 半導体ウエハまたはガラス基板を真空
内でプロセスチャンバーに搬送するために、一般的にク
ラスターツールというシステムが使用されている。その
クラスターツールの半導体ウエハまたはガラス基板搬送
ロボットは、単アームロボット式、多アームロボット
式、自走回転式、昇降機構付きなどが広く使用されてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】 従来のクラスターツ
ールの搬送ロボットの問題点として以下の項目があげら
れる。
【０００４】 多アームロボットにおいて、同時に異な
るプロセスチャンバーへの半導体ウエハまたはガラス基
板の搬送は不可能である。
【０００５】 半導体ウエハまたはガラス基板のロード
ロックチャンバーあるいはプロセスチャンバーへの受け
取り又は収納の際に待機時間が存在しスループットに制
限を受けた。
【０００６】 ロボットが昇降機構を持たない場合、ロ
ードロックチャンバー又はプロセスチャンバーとの制御
が複雑になる。
【０００７】 ロボットの駆動方式に減速機を使用して
おり、これによりパーティクルの発生及びそのメンテナ
ンス、駆動モーターの低寿命化をもたらす。
【０００８】
【課題を解決するための手段】 前記問題点を解決する
ための本発明の手段は、２個の独立動作可能なアームを
持つロボットをトランスファーチャンバーの底板に取り
付けることにより、ロボットが互いに干渉することなく
動作・制御を独立に行うことが出来る。さらに各アーム
が昇降機構を持つことでロードロックチャンバー又はプ
ロセスチャンバーとの制御の負荷が低減される。
【０００９】
【発明の実態の形態】 発明の実施形態を図１に示す。
図１の１の真空搬送チャンバー内においてウエハまたは
基板をロードロックチャンバーからプロセスチャンバー
に搬送するために２及び３のアームを持つ真空ロボット
が設置されている。本発明は、真空搬送チャンバー内に
おいて独立に回転、伸縮、上下動の機構をもつ２及び３
のアームを持つ真空ロボットで、アーム同士の物理的干
渉がない。
【００１０】 図１の１の真空内搬送チャンバーの底側
には、ロボット取り付け開口部があり、そこに回転、伸
縮、上下動を独立制御された２つのアームを持つロボッ
トが取り付けられる。
【００１１】 ロボットの駆動方式は、ロボットが長寿
命かつパーテイクルフリー及びメンテナンスフリーであ
ることが要求されているため、モーターは減速機構等を
使用しなくかつ非接触式のダイレクトドライブモーター
を採用している。これにより、モーターの回転用軸受は
低回転仕様となりロボットは長寿命化しよりクリーン及
びメンテナンスフリーとなる。上アーム３用ダイレクト
ドライブモーターの４と５のローターは真空内の軸に設
置され、６と７のステータは１０の隔壁の大気側にロー
ターの位置に合わせて設置されている。エンコーダー８
と９は真空内の各々のローター軸に取り付けられてい
る。下アーム２用ダイレクトドライブモーターの１１と
１２のローターは真空内の軸に設置され、１３と１４の
ステータは１７の隔壁の大気側にローターの位置に合わ
せて設置されている。エンコーダー１５と１６は真空内
の各々のローター軸に取り付けられている。
【００１２】
【発明の効果】 本発明の独立制御ロボットでは、２個
のアームを独立制御することで、アーム同士の物理的干
渉がなく最短の時間で半導体ウエハまたはガラス基板の
搬送が行え、より待機時間が短縮され最大のスループッ
トを得ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明を用いたクラスターツールの内部断面
である。
【符号の説明】
１ 真空搬送チャンバー １０ 隔壁 ２ 下アーム １１ ローター ３ 上アーム １２ ローター ４ ローター １３ ステーター ５ ローター １４ ステーター ６ ステーター １５ エンコーダー ７ ステーター １６ エンコーダー ８ エンコーダー １７ 隔壁 ９ エンコーダー

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 真空搬送チャンバー内のロボットで、半
    導体ウエハまたはガラス基板の搬送に使用されるもので
    あり、本ロボットは同軸上に２個の独立制御されたアー
    ムをもち、各々のアームが回転と伸縮と上下動を行う独
    立制御ロボット。
  2. 【請求項２】 ２個のアームは、真空搬送チャンバーか
    ら同一のプロセスチャンバー位置に、同時にウエハまた
    はガラス基板を出し入れしない限り干渉はなく、片方の
    アームがウエハの出し入れを行っている最中でも、もう
    一方のアームが下側に設置されたアームならば相手アー
    ムの下側を通過するか、または上側に設置されたアーム
    ならば相手アームの上側を通過しても物理的にお互いに
    干渉しない独立制御ロボット。
  3. 【請求項３】 ロボットの駆動軸は４軸同軸で、各アー
    ムに２軸を要す。２軸毎の駆動シャフトのモータ構成
    は、それぞれ各回転軸上に直列に配置された２つのロー
    ターが真空側に、大気側には真空側との隔壁を通して配
    置された２つのステータ、及び各ローターに連結して取
    り付けられた位置検出用のエンコーダーを持つ独立制御
    ロボット。
JP9705498A 1998-04-09 1998-04-09 半導体ウエハ及びガラス基板の搬送用独立制御ロボット Pending JPH11291184A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9705498A JPH11291184A (ja) 1998-04-09 1998-04-09 半導体ウエハ及びガラス基板の搬送用独立制御ロボット

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP9705498A JPH11291184A (ja) 1998-04-09 1998-04-09 半導体ウエハ及びガラス基板の搬送用独立制御ロボット

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH11291184A true JPH11291184A (ja) 1999-10-26

Family

ID=14181954

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP9705498A Pending JPH11291184A (ja) 1998-04-09 1998-04-09 半導体ウエハ及びガラス基板の搬送用独立制御ロボット

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH11291184A (ja)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100834133B1 (ko) 2006-12-12 2008-06-02 세메스 주식회사 반도체 웨이퍼 이송 장치
CN102064127A (zh) * 2010-10-11 2011-05-18 北京自动化技术研究院 一种取送硅片的机械手
KR101386297B1 (ko) * 2010-10-13 2014-04-18 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 기판 처리 시스템 및 기판 반송 방법
EP3238885A4 (en) * 2014-12-26 2018-09-26 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Double-armed robot
JP2019521869A (ja) * 2016-06-28 2019-08-08 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ 間隔を置いて配置された上腕部と交互に配置されたリストとを含むデュアルロボット、及びこれらを含むシステム及び方法
CN111618793A (zh) * 2020-06-16 2020-09-04 泉州台商投资区国进信息技术有限公司 一种高层家装玻璃安全拆卸装置
US11850742B2 (en) 2019-06-07 2023-12-26 Applied Materials, Inc. Dual robot including splayed end effectors and systems and methods including same

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100834133B1 (ko) 2006-12-12 2008-06-02 세메스 주식회사 반도체 웨이퍼 이송 장치
CN102064127A (zh) * 2010-10-11 2011-05-18 北京自动化技术研究院 一种取送硅片的机械手
KR101386297B1 (ko) * 2010-10-13 2014-04-18 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 기판 처리 시스템 및 기판 반송 방법
KR101453222B1 (ko) * 2010-10-13 2014-10-22 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 기판 처리 시스템
EP3238885A4 (en) * 2014-12-26 2018-09-26 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Double-armed robot
US10213918B2 (en) 2014-12-26 2019-02-26 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Dual-arm robot
JP2019521869A (ja) * 2016-06-28 2019-08-08 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ 間隔を置いて配置された上腕部と交互に配置されたリストとを含むデュアルロボット、及びこれらを含むシステム及び方法
US10814475B2 (en) 2016-06-28 2020-10-27 Applied Materials, Inc. Dual robot including spaced upper arms and interleaved wrists and systems and methods including same
US10850390B2 (en) 2016-06-28 2020-12-01 Applied Materials, Inc. Dual robot including spaced upper arms and interleaved wrists and systems and methods including same
US11850742B2 (en) 2019-06-07 2023-12-26 Applied Materials, Inc. Dual robot including splayed end effectors and systems and methods including same
CN111618793A (zh) * 2020-06-16 2020-09-04 泉州台商投资区国进信息技术有限公司 一种高层家装玻璃安全拆卸装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102163086B1 (ko) 비등가 길이 포어암들을 가진 다-축 로봇 장치, 전자 디바이스 제조 시스템들, 및 전자 디바이스 제조시 기판들을 운반하기 위한 방법들
JP6285926B2 (ja) ブーム駆動装置、マルチアームロボット装置、電子デバイス処理システム、および電子デバイス製造システムにおいて基板を搬送するための方法
US9457464B2 (en) Substrate processing systems and robot apparatus for transporting substrates in electronic device manufacturing
US10814475B2 (en) Dual robot including spaced upper arms and interleaved wrists and systems and methods including same
US7210246B2 (en) Methods and systems for handling a workpiece in vacuum-based material handling system
US9076829B2 (en) Robot systems, apparatus, and methods adapted to transport substrates in electronic device manufacturing
JP5134182B2 (ja) 独立多エンドエフェクタを備えた基板移送装置
US20130121798A1 (en) Robot system with independent arms
JPH11291184A (ja) 半導体ウエハ及びガラス基板の搬送用独立制御ロボット
EP0634784A1 (en) Variable speed wafer exchange robot
JP3488393B2 (ja) 多関節ロボット装置
JPH1158281A (ja) 半導体ウエハ及びガラス基板の搬送用独立制御ロボット
KR102394121B1 (ko) 기판 이송 로봇을 챔버 내에서 주행하기 위한 주행 로봇
JPH04264748A (ja) ウエハ移送ロボット　
KR100827676B1 (ko) 웨이퍼 이송 장치 및 이를 이용한 웨이퍼 이송 방법
CN116476105A (zh) 大载荷末端执行机构及多手腕晶圆机器人
TW202405992A (zh) 具有機器人的淺深度設備前端模組
JPH04264749A (ja) ウエハ移送ロボット
KR980008470A (ko) 이중 평면 로봇