CN116476105A - 大载荷末端执行机构及多手腕晶圆机器人 - Google Patents

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CN116476105A CN202310488803.5A CN202310488803A CN116476105A CN 116476105 A CN116476105 A CN 116476105A CN 202310488803 A CN202310488803 A CN 202310488803A CN 116476105 A CN116476105 A CN 116476105A
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郭景华
刘军峰
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Smic Zhida Semiconductor Technology Shanghai Co ltd
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Abstract

本发明提供一种大载荷末端执行机构，包括：第一驱动组件；第一末端执行器，第一末端执行器包括多个第一末端执行手腕；第一传动组件，第一末端执行器转动设置于第一传动组件上，第一传动组件包括第一空心转轴、第一上轴承以及第一下轴承；第一空心转轴包括容置电控线缆的空腔，且在空腔侧壁上设置有供电控线缆穿过的开口，第一上轴承以及第一下轴承分别套设于开口的上侧以及下侧，第一传动组件与第一驱动组件相连；本发明通过在第一末端执行器上设置多个第一末端执行手腕成为了可能，并且通过一次性搬运多块晶圆提高了生产效率，解决现有技术中的末端执行机构无法适应大载荷的搬运需求，进而导致搬运效率低的问题。

Description

大载荷末端执行机构及多手腕晶圆机器人
技术领域
本发明涉及半导体制程工艺技术领域，特别是涉及一种大载荷末端执行机构及多手腕晶圆机器人。
背景技术
在半导体行业，通过在晶圆上切割出细小单元，进而制作成各种电路元件结构，并使其成为具有特定电性功能的集成电路产品，是芯片生产的常规方式；同时由于芯片生产无尘化以及无人化的要求，整个芯片的生产过程都高度自动化，于是晶圆的移动非常依赖半导体机器人的协助。
半导体机器人是设计用于半导体制程工艺领域，硅基及非硅基材质的晶圆的传输和搬运机器人，可以在所有圆片形态的制程工艺及工艺设备中使用，是在半导体制程工艺的环境下使用的高洁净度、高安全性、高可靠性、高一致性、高重复精度、高定位精度要求下的系统，能够在半导体实验室、小批量半导体制程生产或者大规模半导体制程生产环境下应用的精密半导体晶圆传运系统，其适用于所有半导体制程工艺应用。
在现有的实际制造工艺中过程中，晶圆需要在数百道工艺之间频繁传输，晶圆生产线工序集中，加工速度快，在许多场合，需要同时搬运多片晶圆以提高搬运效率，同时由于受限于现有技术的晶圆机器人的末端执行机构内部电控线缆的走线需求，控制手腕转动的旋转轴多为中空结构且设置有开口，此种结构大大降低了旋转轴整体结构的承载力以及抗形变能力。
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明要解决的技术问题在于提供一种大载荷末端执行机构及多手腕晶圆机器人，解决现有技术中的末端执行机构无法适应大载荷的搬运需求，进而导致搬运效率低的问题。
为了解决上述技术问题，本发明提供一种大载荷末端执行机构，包括：
第一驱动组件；
第一末端执行器，所述第一末端执行器包括多个第一末端执行手腕；
第一传动组件，所述第一末端执行器转动设置于所述第一传动组件上，所述第一传动组件包括第一空心转轴、第一上轴承以及第一下轴承；所述第一空心转轴包括容置电控线缆的空腔，且在所述空腔侧壁上设置有供电控线缆穿过的开口，所述第一上轴承以及第一下轴承分别套设于所述开口的上侧以及下侧，所述第一传动组件与所述第一驱动组件相连，所述第一驱动组件通过所述第一传动组件带动多个所述第一末端执行手腕动作。
作为一种更为优选的方式，所述第一空心转轴包括依次一体成型的承载端、开口部、延伸部以及传动端，所述第一末端执行器与所述承载端相连，所述开口设置于所述开口部，所述传动端与所述第一驱动装置相连，所述第一上轴承套设于所述承载端，所述第一下轴承套设于所述延伸部。
作为一种更为优选的方式，所述第一末端执行器还包括第一安装架，所述第一安装架与所述承载端相连，所述多个第一末端执行手腕沿所述安装架的外侧壁依次水平排布设置于所述安装架上，以方便第一末端执行器动作的时候，其对应的多个第一末端执行手腕保持同时且统一的动作。
作为一种更为优选的方式，所述第一驱动组件包括第一传动轮、第一传动带以及第一驱动电机，所述第一传动轮与所述传动端相连，所述第一驱动电机通过第一传动带带动所述第一空心转轴转动，进而带动所述第一末端执行器动作；利用传动轮以及传动带的方式进行传动，可以更加合理的规划空间，进而有充足的空间去适配可以满足大载荷要求的驱动装置。
作为一种更为优选的方式，本发明的大载荷末端执行机构还包括第二驱动组件、与所述第二驱动组件相连的第二传动组件以及转动设置于所述第二传动组件上的第二末端执行器。
作为一种更为优选的方式，所述第二传动组件包括第二空心转轴以及第二轴承，所述第二空心转轴套设于所述第一空心转轴上并通过所述第一下轴承的连接，所述第二轴承套设于所述第二空心转轴的外侧并固定设置，所述第二传动组件与所述第二驱动组件相连，所述第二驱动组件通过所述第二传动组件带动所述第二末端执行器动作；第一空心转轴以及第二空心转轴通过所述第一下轴承相连，实现了第一空心转轴以及第二空心转轴互不干扰的自由转动，进而实现了第一末端执行器以及第二末端执行器的自由动作。
作为一种更为优选的方式，所述第二空心转轴包括依次一体成型的承载部、连接部以及传动部，所述第二末端执行器与所述承载部相连，所述连接部与所述第一下轴承的外侧连接，所述第二空心转轴通过所述支撑部与所述第二轴承的内侧连接。
作为一种更为优选的方式，所述第二驱动组件包括第二传动轮、第二传动带以及第二驱动电机，所述第二传动轮与所述传动部相连，所述第二驱动电机通过第二传动带带动所述第二空心转轴转动，进而带动所述第二末端执行器动作；利用传动轮以及传动带的方式进行传动，可以更加合理的规划空间，进而有充足的空间去适配可以满足大载荷要求的驱动装置。
作为一种更为优选的方式，所述第二末端执行器包括第二安装架以及第二末端执行手腕，所述第二安装架设置于所述承载部上，所述第二末端执行手腕水平设置并一端与所述第二安装架连接；所述第二安装架直接设置于所述承载部上，通过所述第二空心转轴的承载部带动所述第二末端执行器转动。
作为一种更为优选的方式，所述第二安装架上还设置有第一轴承架，所述第一轴承架包括轴承座以及第一轴承盖板，所述第一上轴承的外圈与所述轴承座固定，并通过所述轴承盖板从上方将所述第一上轴承封盖；通过巧妙的将用于固定第一上轴承的轴承架设置于所述第二安装架上，使得本发明提供一种大载荷末端执行机构的整体结构更加的紧凑，空间利用更加高效。
本发明还提供一种多手腕晶圆机器人，包括：
固定基座，所述固定基座内设置有升降机构；
下机械臂，所述下机械臂水平设置，且其一端转动设置于所述升降机构上；
上机械臂，所述上机械臂水平设置，且其一端转动设置于所述下机械臂的另一端，在所述上机械臂的另一端设置有上述大载荷末端执行机构，所述上机械臂包括有容置所述第一驱动组件、第一传动组件的内腔以及供所述第一末端执行器伸出的伸出口，所述伸出口设置于所述上机械臂的另一端。
如上所述，本发明的大载荷末端执行机构及多手腕晶圆机器人，具有以下有益效果：本发明的大载荷末端执行机构在使用时，通过第一驱动组件驱动第一末端执行器动作，同时通过第一末端执行器上的多个第一末端执行手腕实现了第一末端执行器的单次动作即可对多个目标进行操作的技术效果；本发明的第一空心转轴上设置的空腔以及开口也满足了电控线缆的通过需求，同时设置于开口上侧以及下侧的第一上轴承以及第一下轴承加固了第一空心转轴的结构，提高了承载力，以及降低了其在承载大载荷时的变形量，减小了旋转跳动，使运动更加可靠；本发明提供的多手腕晶圆机器人在搬运晶圆的过程中，首先通过升降机构控制第一末端执行器在竖直方向上的位置，接着通过转动上机械臂以及下机械臂调整第一末端执行器在水平方向上的位置，如此实现第一末端执行器在目标位置间来回运动，在本发明的多手腕晶圆机器人的一次运动过程中，通过设置于第一末端执行器上的多个第一末端执行手腕实现同时对多块晶圆进行搬运，提高了搬运的效率；本发明的大载荷末端执行机构及多手腕晶圆机器人通过第一上轴承以及第一下轴承加强了承载结构的强度，从而使得在第一末端执行器上设置多个第一末端执行手腕成为了可能，并且通过一次性搬运多块晶圆提高了生产效率，解决现有技术中的末端执行机构无法适应大载荷的搬运需求，进而导致搬运效率低的问题。
附图说明
图1显示为本发明的多手腕晶圆机器人的剖视图；
图2显示为图1中区域A的局部放大图；
图3显示为本发明大载荷末端执行机构的第一空心转轴示意图；
图4显示为本发明的多手腕晶圆机器人的示意图；
图5显示为本发明的多手腕晶圆机器人的升降机构以及上、下机械臂的示意图。
元件标号说明
1 固定基座
11 升降机构
111 升降底座
112 升降驱动装置
113 丝杠结构
113a 丝杆
113b 螺母座
114 升降减速器
2 下机械臂
21 下机械臂主体
22 下转轴
23 下驱动组件
231 下驱动电机
232 下减速器
3 上机械臂
31 上机械臂主体
32 上驱动组件
321 上驱动电机
322 上传动带
323 上减速器
324 上传动带轮
33 旋转密封机构
331 连接法兰
332 上第一O型圈
333 上第二O型圈
4 大载荷末端执行机构
41 第一驱动组件
411 第一传动轮
412 第一传动带
413 第一驱动电机
42 第一末端执行器
421 第一安装架
422 第一末端执行手腕
43 第一传动组件
431 第一空心转轴
431a 承载端
431b 开口部
431c 延伸部
431d 传动端
432 第一上轴承
433 第一上O型圈
434 第一下轴承
435 第一下O型圈
44 轴承架
441 轴承座
442 第一轴承盖板
45 第二驱动组件
451 第二传动轮
452 第二传动带
453 第二驱动电机
46 第二末端执行器
461 第二安装架
462 第二末端执行手腕
47 第二传动组件
471 第二空心转轴
471a 承载部
471b 连接部
471c 传动部
472 第二轴承
473 第二O型圈
48 第二轴承盖板
具体实施方式
以下由特定的具体实施例说明本发明的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点及功效。
须知，本说明书所附图中所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本发明可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本发明所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本发明所揭示的技术内容所能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本发明可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更技术内容下，当亦视为本发明可实施的范畴。
如图1至图5所示，本发明提供一种大载荷末端执行机构4，包括：
第一驱动组件41；
第一末端执行器42，所述第一末端执行器42包括多个第一末端执行手腕422；
第一传动组件43，所述第一末端执行器42转动设置于所述第一传动组件43上，所述第一传动组件43包括第一空心转轴431、第一上轴承432以及第一下轴承434；所述第一空心转轴431包括容置电控线缆的空腔，且在所述空腔侧壁上设置有供电控线缆穿过的开口，所述第一上轴承432以及第一下轴承434分别套设于所述开口的上侧以及下侧，所述第一传动组件43与所述第一驱动组件41相连，所述第一驱动组件41通过所述第一传动组件43带动多个所述第一末端执行手腕422动作。
本发明的大载荷末端执行机构4在使用时，通过第一驱动组件41驱动第一末端执行器42动作，同时通过第一末端执行器42上的多个第一末端执行手腕422实现了第一末端执行器42的单次动作即可对多个目标进行操作的技术效果；本发明的第一空心转轴431上设置的空腔以及开口也满足了电控线缆的通过需求，同时设置于开口上侧以及下侧的第一上轴承432以及第一下轴承434加固了第一空心转轴431的结构，提高了承载力，以及降低了其在承载大载荷时的变形量，减小了旋转跳动，使运动更加可靠。
在本实施例中，如图1、图2以及图3所示，所述第一空心转轴431包括依次一体成型的承载端431a、开口部431b、延伸部431c以及传动端431d，所述第一末端执行器42与所述承载端431a相连，所述开口设置于所述开口部431b，所述传动端431d与所述第一驱动装置相连，所述第一上轴承432套设于所述承载端431a，所述第一下轴承434套设于所述延伸部431c。
在本实施例中，如图1以及图2所示，所述第一末端执行器42还包括第一安装架421，所述第一安装架421与所述承载端431a相连，所述多个第一末端执行手腕422沿所述安装架的外侧壁依次水平排布设置于所述安装架上，以方便第一末端执行器42动作的时候，其对应的多个第一末端执行手腕422保持同时且统一的动作。
在本实施例中，如图1以及图2所示，所述第一驱动组件41包括第一传动轮411、第一传动带412以及第一驱动电机413，所述第一传动轮411与所述传动端431d相连，所述第一驱动电机413通过第一传动带412带动所述第一空心转轴431转动，进而带动所述第一末端执行器42动作；利用传动轮以及传动带的方式进行传动，可以更加合理的规划空间，进而有充足的空间去适配可以满足大载荷要求的驱动装置。
在本实施例中，如图1以及图2所示，本发明的大载荷末端执行机构4还包括第二驱动组件45、与所述第二驱动组件45相连的第二传动组件47以及转动设置于所述第二传动组件47上的第二末端执行器46。
在本实施例中，如图1以及图2所示，所述第二传动组件47包括第二空心转轴471以及第二轴承472，所述第二空心转轴471套设于所述第一空心转轴431上并通过所述第一下轴承434的连接，所述第二轴承472套设于所述第二空心转轴471的外侧并固定设置，所述第二传动组件47与所述第二驱动组件45相连，所述第二驱动组件45通过所述第二传动组件47带动所述第二末端执行器46动作；第一空心转轴431以及第二空心转轴471通过所述第一下轴承434相连，实现了第一空心转轴431以及第二空心转轴471互不干扰的自由转动，进而实现了第一末端执行器42以及第二末端执行器46的自由动作。
在本实施例中，如图1以及图2所示，所述第二空心转轴471包括依次一体成型的承载部471a、连接部471b以及传动部471c，所述第二末端执行器46与所述承载部471a相连，所述连接部471b与所述第一下轴承434的外侧连接，所述第二空心转轴471通过所述支撑部与所述第二轴承472的内侧连接。
在本实施例中，如图1以及图2所示，所述第二驱动组件45包括第二传动轮451、第二传动带452以及第二驱动电机453，所述第二传动轮451与所述传动部471c相连，所述第二驱动电机453通过第二传动带452带动所述第二空心转轴471转动，进而带动所述第二末端执行器46动作；利用传动轮以及传动带的方式进行传动，可以更加合理的规划空间，进而有充足的空间去适配可以满足大载荷要求的驱动装置。
在本实施例中，如图1所示，所述第二末端执行器46包括第二安装架461以及第二末端执行手腕462，所述第二安装架461设置于所述承载部471a上，所述第二末端执行手腕462水平设置并一端与所述第二安装架461连接；所述第二安装架461直接设置于所述承载部471a上，通过所述第二空心转轴471的承载部471a带动所述第二末端执行器46转动。
在本实施例中，如图1以及图2所示，所述第二安装架461上还设置有第一轴承架44，所述第一轴承架44包括轴承座441以及第一轴承盖板442，所述第一上轴承432的外圈与所述轴承座441固定，并通过所述轴承盖板从上方将所述第一上轴承432封盖；通过巧妙的将用于固定第一上轴承432的轴承架44设置于所述第二安装架461上，使得本发明提供一种大载荷末端执行机构4的整体结构更加的紧凑，空间利用更加高效。
进一步的，在本实施例中，如图1以及图2所示，所述轴承座441的底部压合于所述第二空心转轴471的连接部471b，同时对所述第一下轴承434进行限位，在所述轴承座441底部与所述第一空心转轴431的间隙设置有第一下O型圈435，用以提供整个设备的密闭性能，避免第一下轴承434旋转过程中产生的粉尘从轴承座441与第一空心转轴431的间隙中溢出；同时在所述轴承座441顶部与所述第一空心转轴431的间隙设置有第一上O型圈433，用以提高密封性能，避免第一上轴承432旋转过程中产生的粉尘从轴承座441、第一轴承盖板442以及第一空心转轴431的间隙中溢出；再进一步的，在本实施例中，所述第一上轴承432固定于所述第一上O型圈433上方的位置。
如图4所示，本发明还提供一种多手腕晶圆机器人，包括：
固定基座1，所述固定基座1内设置有升降机构11；
下机械臂2，所述下机械臂2水平设置，且其一端转动设置于所述升降机构11上；
上机械臂3，所述上机械臂3水平设置，且其一端转动设置于所述下机械臂2的另一端，在所述上机械臂3的另一端设置有上述大载荷末端执行机构4，所述上机械臂3包括有容置所述第一驱动组件41、第一传动组件43的内腔以及供所述第一末端执行器42伸出的伸出口，所述伸出口设置于所述上机械臂3的另一端。
本发明提供的多手腕晶圆机器人在搬运晶圆的过程中，首先通过升降机构11控制第一末端执行器42在竖直方向上的位置，接着通过转动上机械臂3以及下机械臂2调整第一末端执行器42在水平方向上的位置，如此实现第一末端执行器42在目标位置间来回运动，在本发明的多手腕晶圆机器人的一次运动过程中，通过设置于第一末端执行器42上的多个第一末端执行手腕422实现同时对多块晶圆进行搬运，提高了搬运的效率。
在本实施例中，如图1以及图2所示，所述多手腕晶圆机器人还包括上述第二末端执行器46，同时还包括所述第二驱动组件45、与第二驱动组件45相连的所述第二传动组件47，所述第二传动组件47与所述第二末端执行器46相连，所述第二传动组件47包括第二空心转轴471以及第二轴承472，所述第二空心转轴471套设于所述第一空心转轴431上并通过所述第一下轴承434的连接，所述第二轴承472套设于所述第二空心转轴471的外侧并固定设置；进一步的，在本实施例中，所述第二轴承472固定于所述上机械臂3的伸出口处。
再进一步的，在本实施例中，如图1以及图2所示，所述第二空心转轴471包括依次一体成型的承载部471a、连接部471b以及传动部471c，其中所述第二空心转轴471的外轮廓呈喇叭状的扩散结构，从传动部471c、连接部471b至承载部471a其对应的转轴半径越来越大，所述传动部471c与所述连接部471b的连接处设置有台阶，所述台阶架设于所述第二轴承472上，同时第二轴承472的上方还设置有用以限位所述第二轴承472的第二轴承盖板48，同时所述第二轴承盖板48的与所述连接部471b的间隙设置有第二O型圈473用以提高整个设备的密闭性，避免第二轴承472旋转过程中产生的粉尘从第二轴承盖板48以及第二空心转轴471的间隙中溢出。
更进一步的，在本实施例中，如图1所示，所述第一驱动组件41以及第二驱动组件45设置于所述上机械臂3的内腔的中部，分别通过第一传动带412以及第二传动带452将驱动力传输给第一传动轮411以及第二传动轮451，进而带动第一末端执行器42以及第二末端执行器46动作，此种结构合理利用了上机械臂3的内腔空间，进而有充足的空间去适配可以满足大载荷要求的第一驱动电机413及第二驱动电机453。
在本实施例中，如图5所示，所述升降机构11包括升降底座111、升降驱动装置112以及丝杠结构113，所述丝杠结构113包括丝杆113a以及设置于所述丝杆113a上的螺母座113b，所述丝杆113a与所述升降驱动装置112相连，所述升降底座111与所述螺母座113b相连，所述下机械臂2与所述升降底座111相连，所述升降驱动装置112带动所述丝杆113a顺时钟或者逆时针转动进而带动所述升降底座111上升或者下架，进而起到控制对应的第一末端执行器42以及第二末端执行器46在竖直方向上的运动的作用；再进一步的，在本实施例中，所述升降机构11还包括与所述升降驱动装置112的升降减速器114。
在本实施例中，如图1以及图5所示，所述下机械臂2包括下机械臂主体21、下转轴22以及与所述下转轴22相连的下驱动组件23，所述下机械臂主体21与所述下转轴22相连，并通过所述下转轴22带动所述下机械臂主体21转动，所述下驱动组件23设置于所述升降底座111上，所述下驱动组件23转动带动所述下转轴22转动，进而带动所述下机械臂2在水平方向转动，从而达到控制对应的第一末端执行器42以及第二末端执行器46在水平方向上的运动的效果；进一步的，在本实施例中，所述下驱动组件23包括下驱动电机231以及与所述下驱动电机231相连的下减速器232，所述下驱动电机231通过所述下减速器232与所述下转轴22相连。
在本实施例中，如图1以及图5所示，所述上机械臂3包括上机械臂主体31以及与所述上机械臂主体31相连的上驱动组件32，所述上转轴主体转动设置于所述下机械臂主体21的另一端，所述上驱动组件32设置于所述下机械臂2的内腔中，所述上驱动组件32包括上减速器323、上传动带轮324、上驱动电机321以及上传动带322，所述上机械臂主体31与所述传动带相连，所述上驱动电机321通过上减速器323连接所述上传动带322带动所述上传动带轮324，进而带动所述上机械臂3在水平方向转动，从而达到控制对应的第一末端执行器42以及第二末端执行器46在水平方向上的运动的效果。
在本实施例中，如图5所示，所述的上机械臂3还包括旋转密封机构33，所述的旋转密封机构33包括连接法兰331、上第一O型圈332、上第二O型圈333，所述上第一O型圈332以及上第二O型圈333分别用来封闭连接法兰331与所述上机械臂3以及下机械臂2的间隙；所述的连接法兰331与上减速机相连接，所述的上减速机通过连接法兰331与所述上机械臂3固定。
在本实施例中，如图1以及图4所示，所述第一末端执行器42上设置有第一末端执行手腕422二十四个，所述第二末端执行器46上设置有第二末端执行手腕462一个，末端执行器上共设置有二十五个末端执行手腕，根据半导体制程工艺要求，每个晶圆盒包含晶圆二十五片，通过设置有二十五个末端执行手腕的末端执行器可以一次同时取走晶圆盒所有的二十五片晶圆，大大提升了搬运效率；同样的，通过分配第一末端执行器42以及第二末端执行器46上的末端执行手腕的数量进而更为合理的分配设置于第一空心转轴431以及第二空心转轴471上的载荷，如第一末端执行器42上设置有第一末端执行手腕422的数量可以为任意个，以应对不同的使用场景。
综上所述，本发明的大载荷末端执行机构及多手腕晶圆机器人通过第一上轴承432以及第一下轴承434加强了承载结构的强度，从而使得在第一末端执行器42上设置多个第一末端执行手腕422成为了可能，并且通过一次性搬运多块晶圆提高了生产效率，解决现有技术中的末端执行机构无法适应大载荷的搬运需求，进而导致搬运效率低的问题。。所以，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。

Claims (11)

1.一种大载荷末端执行机构，其特征在于，包括：
第一驱动组件(41)；
第一末端执行器(42)，所述第一末端执行器(42)包括多个第一末端执行手腕(422)；
第一传动组件(43)，所述第一末端执行器(42)转动设置于所述第一传动组件(43)上，所述第一传动组件(43)包括第一空心转轴(431)、第一上轴承(432)以及第一下轴承(434)；所述第一空心转轴(431)包括容置电控线缆的空腔，且在所述空腔侧壁上设置有供电控线缆穿过的开口，所述第一上轴承(432)以及第一下轴承(434)分别套设于所述开口的上侧以及下侧，所述第一传动组件(43)与所述第一驱动组件(41)相连，所述第一驱动组件(41)通过所述第一传动组件(43)带动多个所述第一末端执行手腕(422)动作。
2.根据权利要求1所述的大载荷末端执行机构，其特征在于：所述第一空心转轴(431)包括依次一体成型的承载端(431a)、开口部(431b)、延伸部(431c)以及传动端(431d)，所述第一末端执行器(42)与所述承载端(431a)相连，所述开口设置于所述开口部(431b)，所述传动端(431d)与所述第一驱动装置相连，所述第一上轴承(432)套设于所述承载端(431a)，所述第一下轴承(434)套设于所述延伸部(431c)。
3.根据权利要求2所述的大载荷末端执行机构，其特征在于：所述第一末端执行器(42)还包括第一安装架(421)，所述第一安装架(421)与所述承载端(431a)相连，所述多个第一末端执行手腕(422)沿所述安装架的外侧壁依次水平排布设置于所述安装架上。
4.根据权利要求2所述的大载荷末端执行机构，其特征在于：所述第一驱动组件(41)包括第一传动轮(411)、第一传动带(412)以及第一驱动电机(413)，所述第一传动轮(411)与所述传动端(431d)相连，所述第一驱动电机(413)通过第一传动带(412)带动所述第一空心转轴(431)转动，进而带动所述第一末端执行器(42)动作。
5.根据权利要求1所述的大载荷末端执行机构，其特征在于：所述大载荷末端执行机构(4)还包括第二驱动组件(45)、与所述第二驱动组件(45)相连的第二传动组件(47)以及转动设置于所述第二传动组件(47)上的第二末端执行器(46)。
6.根据权利要求5所述的大载荷末端执行机构，其特征在于：所述第二传动组件(47)包括第二空心转轴(471)以及第二轴承(472)，所述第二空心转轴(471)套设于所述第一空心转轴(431)上并通过所述第一下轴承(434)的连接，所述第二轴承(472)套设于所述第二空心转轴(471)的外侧并固定设置，所述第二传动组件(47)与所述第二驱动组件(45)相连，所述第二驱动组件(45)通过所述第二传动组件(47)带动所述第二末端执行器(46)动作。
7.根据权利要求6所述的大载荷末端执行机构，其特征在于：所述第二空心转轴(471)包括依次一体成型的承载部(471a)、连接部(471b)以及传动部(471c)，所述第二末端执行器(46)与所述承载部(471a)相连，所述连接部(471b)与所述第一下轴承(434)的外侧连接，所述第二空心转轴(471)通过所述支撑部与所述第二轴承(472)的内侧连接。
8.根据权利要求7所述的大载荷末端执行机构，其特征在于：所述第二驱动组件(45)包括第二传动轮(451)、第二传动带(452)以及第二驱动电机(453)，所述第二传动轮(451)与所述传动部(471c)相连，所述第二驱动电机(453)通过第二传动带(452)带动所述第二空心转轴(471)转动，进而带动所述第二末端执行器(46)动作。
9.根据权利要求7所述的大载荷末端执行机构，其特征在于：所述第二末端执行器(46)包括第二安装架(461)以及第二末端执行手腕(462)，所述第二安装架(461)设置于所述承载部(471a)上，所述第二末端执行手腕(462)水平设置并一端与所述第二安装架(461)连接。
10.根据权利要求9所述的大载荷末端执行机构，其特征在于：所述第二安装架(461)上还设置有第一轴承架(44)，所述第一轴承架(44)包括轴承座(441)以及第一轴承盖板(442)，所述第一上轴承(432)的外圈与所述轴承座(441)固定，并通过所述轴承盖板从上方将所述第一上轴承(432)封盖。
11.一种多手腕晶圆机器人，其特征在于，包括：
固定基座(1)，所述固定基座(1)内设置有升降机构(11)；
下机械臂(2)，所述下机械臂(2)水平设置，且其一端转动设置于所述升降机构(11)上；
上机械臂(3)，所述上机械臂(3)水平设置，且其一端转动设置于所述下机械臂(2)的另一端，在所述上机械臂(3)的另一端设置有所述权利要求1至权利要求10任一项所述的大载荷末端执行机构(4)，所述上机械臂(3)包括有容置所述第一驱动组件(41)、第一传动组件(43)的内腔以及供所述第一末端执行器(42)伸出的伸出口，所述伸出口设置于所述上机械臂(3)的另一端。
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