JP2002280436A - 基板処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 設置面積を小さくし、また製造コストを安価
にする。 【解決手段】 エレベータのスライドブロック１１にプ
レート１２を取り付け、プレート１２にブロック１４を
取り付け、ブロック１４に中心線が垂直方向の回転軸１
７、軸１８を介してアーム１５、１６を回動可能に取り
付け、回転軸１７をアーム１５に固定し、アーム１５、
１６の先端部に中心線が垂直方向の軸２１、２２を介し
て回動可能にプレート２３を取り付け、プレート２３に
クランプ装置２４を取り付け、プレート１２にモータ１
９、減速機２０を取り付け、モータ１９の出力軸に減速
機２０の入力軸を連結し、減速機２０の出力軸を回転軸
１７に連結する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は縦型拡散装置、縦型
ＣＶＤ装置などの基板処理装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来の縦型拡散装置、縦型ＣＶＤ装置に
おいては、ポッドステージに載置された半導体ウェハの
収納されたプラスチック容器すなわちポッドをポッドエ
レベータ上のスカラータイプのロボットを使用して１６
〜２０個の棚へ収納している。このスカラータイプのロ
ボットはアームを折り曲げてポッドを直線的に送るもの
であり、またポッドエレベータはロボットのアームを垂
直方向に移動するとともに、ポッドエレベータ自体が水
平方向に移動する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかし、近年システム
ＬＳＩなどの多品種小量生産用の縦型拡散装置、縦型Ｃ
ＶＤ装置においては、ポッドを格納する棚の数を３個と
している。すなわち、プロダクト用の棚、ダミーウェハ
用の棚およびモニタウェハ用の棚の３個の棚を設けてい
る。このような小バッチ装置において、従来のようなポ
ッドエレベータとスカラータイプのロボットとを使用し
てポッドを棚に収納したときには、ポッドエレベータ自
体が水平方向に移動するから、移動のためのスペースが
必要となるので、装置の設置面積が大きくなり、またス
カラータイプのロボットはアーム内にタイミングベルト
とプーリとを内蔵しているから、構成部品が多く、製造
コストが高価である。

【０００４】本発明は上述の課題を解決するためになさ
れたもので、設置面積が小さく、また製造コストが安価
な基板処理装置を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するた
め、本発明においては、ポッドを載置するポッドステー
ジと、上記ポッドの蓋を開閉するポッドオープナと、上
記ポッドステージと上記ポッドオープナとの間で上記ポ
ッドを搬送するポッド搬送装置と、上記ポッド搬送装置
を垂直方向に移動させるエレベータとを設け、上記ポッ
ドステージと上記ポッドオープナとを、上記エレベータ
の周囲に上記エレベータとの距離が等しくなるような位
置にそれぞれ配置し、上記ポッドの搬送の際、上記ポッ
ドの基板取り出し口の向きは常に一方向を向くように構
成する。

【０００６】この場合、上記ポッドを保管する棚を設
け、上記棚を上記ポッドオープナのポッド載置位置と略
同軸上に配置してもよい。

【０００７】

【発明の実施の形態】図１は本発明に係る縦型拡散装置
のポッド搬送装置を示す斜視図、図２は図１に示したポ
ッド搬送装置を有する縦型拡散装置を示す概略図、図３
は図２に示した縦型拡散装置の一部を示す平面図であ
る。図に示すように、ポッド２を載置するためのポッド
ステージ１が設けられ、ポッド２には半導体ウェハが収
納されている。また、ポッドステージ１の近傍にポッド
２の蓋を開閉するポッドオープナ５が設けられ、ポッド
ステージ１とポッドオープナ５との間でポッド２を搬送
するポッド搬送装置４が設けられ、ポッド搬送装置４を
垂直方向に移動させるエレベータ３が設けられ、エレベ
ータ３は装置の筐体１３のベースに固定されている。ま
た、ポッドステージ１とポッドオープナ５とがエレベー
タ３の周囲にエレベータ３との距離が等しくなるような
位置にそれぞれ配置されている。また、半導体ウェハを
処理するための炉を収容する筐体９にポッド２を保管す
る棚６〜８が取り付けられ、棚６〜８はポッドオープナ
５のポッド載置位置と垂直方向の略同軸上に配置されて
いる。また、エレベータ３のスライドブロック１１にプ
レート１２が取り付けられ、プレート１２にブロック１
４が取り付けられ、ブロック１４に中心線が垂直方向の
回転軸１７、軸１８を介して第１、第２のアーム１５、
１６が回動可能に取り付けられ、回転軸１７はアーム１
５に固定され、アーム１５、１６の先端部に中心線が垂
直方向の軸２１、２２を介して回動可能にプレート２３
が取り付けられ、回転軸１７の中心（第１の回動中心）
と軸２１の中心（第２の回動中心）との距離は軸１８の
中心（第３の回動中心）と軸２２の中心（第４の回動中
心）との距離に等しく、回転軸１７の中心と軸２１の中
心とを結ぶ線は軸１８の中心と軸２２の中心とを結ぶ線
と平行である。また、プレート２３にクランプ装置２４
が取り付けられ、クランプ装置２４はエアシリンダ（図
示せず）を有し、ポッド２の上部フランジ２５をクラン
プすることができる。また、プレート１２にモータ１
９、減速機２０が取り付けられ、モータ１９の出力軸に
減速機２０の入力軸が連結され、減速機２０の出力軸が
回転軸１７に連結されている。そして、ブロック１４、
アーム１５、１６、モータ１９、減速機２０、クランプ
装置２４等により平行リンク回転方式のポッド搬送装置
４が構成され、ポッド搬送装置４はポッド２の搬送の際
にポッド２の基板取り出し口の向きが常に一方向を向く
ように構成されている。また、エレベータ３とポッド搬
送装置４とでポッドローダが構成されている。また、ポ
ッドステージ１上にポッド２を位置決めするためのキネ
マティックカップリング用のピン３１が設けられ、ポッ
ドオープナ５上にポッド２を位置決めするためのキネマ
ティックカップリング用のピン３２が設けられ、ポッド
オープナ５の近傍にウェハ移載室３３が設けられてい
る。

【０００８】つぎに、この縦型拡散装置においてポッド
をポッドオープナ上に載置する動作について説明する。
まず、装置の外部からＲＧＶなどの外部搬送車によりポ
ッド２をポッドステージ１上に搬送する。この場合、ポ
ッドステージ１上に載置されたポッド２はピン３１によ
り位置決めされる。つぎに、図２に示す状態からエレベ
ータ３によりポッド搬送装置４を下降し、ポッドステー
ジ１上に載置されたポッド２の上部フランジ２５をクラ
ンプ装置２４でクランプしたのち、エレベータ３により
ポッド搬送装置４を多少上昇させ、モータ１９を作動さ
せて、図４に示すように、アーム１５を角θだけ回動す
ると、ポッド２を図４の二点鎖線で示す位置すなわちポ
ッドオープナ５上の位置まで移動することができる。こ
の場合、軸２１の中心と軸２２の中心とを結ぶ線は回転
軸１７の中心と軸１８の中心とを結ぶ線と平行になるか
ら、ポッド２の基板取り出し口の向きは常に一方向を向
く。つぎに、エレベータ３によりポッド搬送装置４を多
少下降させ、ポッド２をポッドオープナ５上に載置す
る。この場合、ポッド２はピン３２により位置決めされ
る。

【０００９】つぎに、ポッドを棚上に載置する動作につ
いて説明する。まず、ポッドステージ１上に載置された
ポッド２の上部フランジ２５をクランプ装置２４でクラ
ンプしたのち、エレベータ３によりポッド搬送装置４を
棚６〜８のうちの１つたとえば棚６の位置まで上昇させ
たのち、モータ１９を作動させてアーム１５を角θだけ
回動すると、棚６〜８はポッドオープナ５のポッド載置
位置と垂直方向の略同軸上に配置されているから、ポッ
ド２を棚６上の位置まで移動することができる。つぎ
に、エレベータ３によりポッド搬送装置４を多少下降さ
せ、ポッド２を棚６上に載置する。

【００１０】このような基板処理装置においては、エレ
ベータ３自体が水平方向に移動しないから、移動のため
のスペースが不要であるので、装置の設置面積が小さく
なり、またポッドステージ１とポッドオープナ５とがエ
レベータ３の周囲にエレベータ３との距離が等しくなる
ような位置にそれぞれ配置されているから、ポッド搬送
装置４を平行リンク回転方式とすることができ、ポッド
搬送装置４の構成部品が少なくなるので、製造コストが
安価である。また、棚６〜８はポッドオープナ５のポッ
ド載置位置と垂直方向の略同軸上に配置されているか
ら、ポッド搬送装置４を使用して棚６〜８にポッド２を
搬送することができるので、構造が簡単になり、製造コ
ストが安価になる。また、ポッド搬送装置４は平行リン
ク回転方式であるから、動作がスムーズであり振動が生
じないので、高速搬送が可能であるため、基板処理能力
が向上する。

【００１１】なお、上述実施の形態においては、縦型拡
散装置について説明したが、縦型ＣＶＤ装置等の他の基
板処理装置に本発明を適用することができる。また、上
述実施の形態においては、３個の棚６〜８を設けたが、
４個以上の棚（複数の棚）を設けてもよく、回転棚を設
けてもよい。

【００１２】このように、エレベータのスライドブロッ
クに第１、第２のアームを回動可能に取り付け、第１、
第２のアームの先端部に回動可能にクランプ装置を取り
付け、スライドブロックと第１のアームとの第１の回動
中心と第１のアームとクランプ装置との第２の回動中心
との距離をスライドブロックと第２のアームとの第３の
回動中心と第２のアームとクランプ装置との第４の回動
中心との距離と等しくし、第１の回動中心と第２の回動
中心とを結ぶ線を第３の回動中心と第４の回動中心とを
結ぶ線と平行とする。この場合には、簡単な構成でポッ
ドの基板取り出し口の向きが常に一方向を向くようにす
ることができる。

【００１３】また、上述の如くするとともに、エレベー
タのスライドブロックにモータおよび減速機を取り付
け、モータの出力軸に減速機の入力軸を連結し、減速機
の出力軸をスライドブロックに第１のアームを回動可能
に取り付ける回転軸に連結する。この場合には、簡単な
構成で第１、第２のアームを回動することができる。

【００１４】

【発明の効果】本発明に係る基板処理装置においては、
エレベータ自体が水平方向に移動しないから、移動のた
めのスペースが不要であるので、装置の設置面積が小さ
くなり、またポッドステージとポッドオープナとがエレ
ベータの周囲にエレベータとの距離が等しくなるような
位置にそれぞれ配置されているから、ポッド搬送装置の
構成部品が少なくなるので、製造コストが安価である。

【００１５】また、ポッドを保管する棚を設け、棚をポ
ッドオープナのポッド載置位置と略同軸上に配置したと
きには、ポッド搬送装置を使用して棚にポッドを搬送す
ることができるから、構造が簡単になり、製造コストが
安価になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る縦型拡散装置のポッド搬送装置を
示す斜視図である。

【図２】図１に示したポッド搬送装置を有する縦型拡散
装置を示す概略図である。

【図３】図２に示した縦型拡散装置の一部を示す平面図
である。

【図４】図１〜図３に示した縦型拡散装置の動作説明図
である。

【符号の説明】

１…ポッドステージ ２…ポッド ３…エレベータ ４…ポッド搬送装置 ５…ポッドオープナ ６…棚 ７…棚 ８…棚 １５…アーム １６…アーム １７…回転軸 １８…軸 １９…モータ ２１…軸 ２２…軸

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 能戸 幸一 東京都中野区東中野三丁目14番20号 株式 会社日立国際電気内 (72)発明者 松永 建久 東京都中野区東中野三丁目14番20号 株式 会社日立国際電気内 Ｆターム(参考） 5F031 DA08 DA17 FA03 FA11 FA17 GA42 GA47 GA49 MA28 NA10 5F045 BB08 DP19 DQ04 EB02 EB08 EN05

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】ポッドを載置するポッドステージと、上記
   ポッドの蓋を開閉するポッドオープナと、上記ポッドス
   テージと上記ポッドオープナとの間で上記ポッドを搬送
   するポッド搬送装置と、上記ポッド搬送装置を垂直方向
   に移動させるエレベータとを有し、上記ポッドステージ
   と上記ポッドオープナとは、上記エレベータの周囲に上
   記エレベータとの距離が等しくなるような位置にそれぞ
   れ配置され、上記ポッドの搬送の際、上記ポッドの基板
   取り出し口の向きは常に一方向を向くように構成されて
   いることを特徴とする基板処理装置。
2. 【請求項２】上記ポッドを保管する棚を有し、上記棚は
   上記ポッドオープナのポッド載置位置と略同軸上に配置
   されていることを特徴とする請求項１に記載の基板処理
   装置。