JP2015513566A - 粘着テープ - Google Patents

Abstract

本出願は、粘着テープ、研磨パッド、研磨パッドの製造方法、研磨装置及びガラス基板の製造方法に関する。例示的な粘着テープは、研磨材用粘着テープであることができる。上記粘着テープは、例えば、気泡などを発生させることなく、定盤などに効果的に固定されることができ、水と研磨液などや、研磨工程で加えられるせん断力に対する抵抗性に優れている。また、上記粘着テープは、研磨後、研磨パッド用キャリアまたは定盤などから残渣などを残すことなく、容易に除去されることができる。

Description

本出願は、粘着テープ、研磨パッド、研磨パッドの製造方法、研磨装置及びガラス基板の製造方法に関する。

自動車、光学機器または半導体などの製造時には、多様な部品に対して研磨（ｐｏｌｉｓｈｉｎｇ）工程が進行されることができる。例えば、ハードディスク用基板、光学レンズまたはシリコーンウェーハなどが研磨され得る。

ＬＣＤ（Ｌｉｑｕｉｄ Ｃｒｙｓｔａｌ Ｄｉｓｐｌａｙ）の部品の１つであるガラス基板も研磨される場合がある。ＬＣＤのカラーフィルター基板またはＴＦＴ（Ｔｈｉｎ Ｆｉｌｍ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）基板としてガラス基板が使用されることができ、上記ガラス基板には、表面平滑性が確保される必要がある。

ガラス基板は、大きく、フュージョン（Ｆｕｓｉｏｎ）方式とフローティング（ｆｌｏａｔｉｎｇ）方式で製造されることができる。フローティング方式では、溶解炉で溶融させた原料を水平ローラーに注入して移動させながら、ガラス基板を製造することができる。フローティング方式では、例えば、ガラスがローラーと接触する過程で屈曲が生ずることがあるので、後工程でガラスを研磨する工程が必要なことがある。

本出願は、粘着テープ、研磨パッド、研磨パッドの製造方法、研磨装置及びガラス基板の製造方法を提供する。

本出願は、粘着テープに関する。例示的な粘着テープは、基材層と；上記基材層の一面に形成されている第１粘着剤層と；上記基材層の他の面に形成されている第２粘着剤層を含むことができる。１つの例示で、上記粘着テープは、研磨材用粘着テープ、例えば、ガラス研磨材用粘着テープであることができる。例えば、上記ガラス研磨材用粘着テープは、第１粘着剤層が、例えば、多孔性ポリウレタンなどのような研磨材と付着される粘着剤層であり、第２粘着剤層が、例えば、研磨パッド用キャリアや定盤などに付着される粘着剤層であることができる。

第１粘着剤層は、例えば、粘着樹脂及び粘着性付与剤を含むことができる。第１粘着剤層は、例えば、粘着性付与剤を粘着樹脂１００重量部に対して１重量部〜７０重量部、３重量部〜６０重量部または５重量部〜５０重量部で含むことができる。本明細書で単位「重量部」は、特に別途規定しない限り、各成分間の重量の比率を意味する。粘着性付与剤は、上記含量範囲内で、粘着性付与剤及び粘着樹脂の相溶性を優秀に維持し、昇温時に第１粘着剤の流動特性を適切に調節しながら、優れた接着特性、耐せん断性及び耐水性を具現することができる。

第１粘着剤層の粘着樹脂としては、例えば、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂またはゴム樹脂などを使用することができ、１つの例示では、アクリル樹脂を使用することができる。アクリル樹脂としては、例えば、（メタ）アクリル酸エステル単量体を含む樹脂を使用することができる。上記（メタ）アクリル酸エステル単量体は、重合された形態で樹脂に含まれることができる。本明細書で樹脂または重合体に所定成分が「重合された形態で含まれる」ということは、上記所定成分が上記樹脂または重合体を製造するための重合工程で、例えば、単量体またはオリゴマーとして使用され、重合後に上記樹脂または重合体の主鎖または側鎖などのような骨格を形成する形態を意味することができる。

（メタ）アクリル酸エステル単量体としては、アルキル（メタ）アクリレートが例示されることができる。粘着剤層の物性を考慮して、例えば、炭素数が１〜１４のアルキル基を含むアルキル（メタ）アクリレートを使用することができる。具体的には、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、ｎ−プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ−ブチル（メタ）アクリレート、ｔ−ブチル（メタ）アクリレート、ｓｅｃ−ブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、２−エチルヘキシル（メタ）アクリレート、２−エチルブチル（メタ）アクリレート、ｎ−オクチル（メタ）アクリレート、イソオクチル（メタ）アクリレート、イソノニル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレートまたはテトラデシル（メタ）アクリレートなどの一種または二種以上が例示されることができる。

上記アクリル樹脂は、架橋性単量体をさらに含むことができる。上記架橋性単量体は、重合された形態で樹脂に含まれることができる。用語「架橋性単量体」は、架橋性官能基を有し、かつ樹脂を形成する他の成分と共重合されることができる部位を有する単量体を意味することができる。上記単量体は、上記樹脂に架橋性官能基を提供することができる。架橋性官能基としては、ヒドロキシ基、カルボキシル基、エポキシ基、イソシアネート基またはアミノ基のように窒素含有官能基などが例示されることができる。粘着樹脂の製造分野には、上記のような架橋性官能基を提供することができる共重合性単量体が多様に公知されており、このような単量体は、すべて使用されることができる。架橋性単量体としては、２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、６−ヒドロキシヘキシル（メタ）アクリレート、８−ヒドロキシオクチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシエチレングリコール（メタ）アクリレートまたは２−ヒドロキシプロピルレングリコール（メタ）アクリレートなどのようなヒドロキシ基含有単量体；（メタ）アクリル酸、２−（メタ）アクリロイルオキシ酢酸、３−（メタ）アクリロイルオキシプロピオン酸、４−（メタ）アクリロイルオキシ酪酸、アクリル酸二量体、イタコン酸、マレイン酸及びマレイン酸無水物などのカルボキシル基含有単量体または（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ビニルピロリドンまたはＮ−ビニルカプロラクタムなどの窒素含有単量体などが例示されることができ、上記のうち一種または二種以上の混合を使用することができるが、これに制限されるものではない。

架橋性単量体をさらに含む場合、アクリル樹脂は、（メタ）アクリル酸エステル単量体５０重量部〜９９重量部及び架橋性単量体０．１重量部〜１０重量部を含むことができる。単量体は、上記重量比率で、初期接着力や耐久性に優れた粘着剤層を形成することができる。

アクリル樹脂は、また、親油性を有する単量体をさらに含むことができる。また、上記単量体は、重合された形態で樹脂に含まれることができる。上記単量体が適切な比率で含まれれば、粘着剤の耐水性を確保することができる。親油性単量体としては、例えば、下記化学式１で表示される化合物が例示されることができる。

上記化学式１で、Ｒ_１〜Ｒ_３は、それぞれ独立して、水素または炭素数１〜４のアルキル基であり、Ｒ_４は、炭素数６〜２５のアリール基または−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−Ｘであり、上記でＸは、メチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、炭素数８〜２２の直鎖または分岐鎖のアルキル基または炭素数６〜１２のシクロアルキル基である。

本明細書で用語「アリール基」は、特に別途規定しない限り、ベンゼンを含むか、２個以上のベンゼンが連結または縮合された構造を含む化合物またはその誘導体から由来する１価残基を意味することができる。すなわち、本明細書で用語アリール基の範囲には、通常アリール基と呼ばれている官能基はもちろん、いわゆるアラルキル基（ａｒａｌｋｙｌ ｇｒｏｕｐ）またはアリールアルキル基などが含まれることができる。上記アリール基は、例えば、炭素数６〜２５、炭素数６〜２１、炭素数６〜１８または炭素数６〜１２のアリール基であることができ、その例としては、フェニル基、ジクロロフェニル、クロロフェニル、フェニルエチル基、フェニルプロピル基、ベンジル基、トリル基、キシリル基（ｘｙｌｙｌ ｇｒｏｕｐ）またはナフチル基などが例示されることができる。１つの例示で、上記化学式１のアリール基は、フェニル基であることができる。

１つの例示で、上記化学式１のＲ_１及びＲ_２は、水素であることができる。
また、上記化学式１で、Ｒ_３は、水素またはメチル基であることができる。
また、上記化学式１で、Ｒ_４は、炭素数６〜１２のアリール基または−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−Ｘであり、上記で、Ｘは、メチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基または炭素数６〜１２のシクロアルキル基であることができる。

化学式１の化合物としては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、ｔｅｒｔ−ブチル（メタ）アクリレート、スチレン、イソステアリル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレートまたはアダマンチル（メタ）アクリレートなどが例示されることができ、１つの例示では、ｔｅｒｔ−ブチルアクリレート、スチレン、メチルメタクリレート、メチルアクリレートまたはイソボルニルアクリレートなどが例示されることができる。

親油性単量体をさらに含むアクリル樹脂は、例えば、（メタ）アクリル酸エステル単量体５０重量部〜９９重量部及び親油性単量体１０重量部〜５０重量部を含むことができる。また、親油性単量体と架橋性単量体をさらに含む樹脂は、例えば、（メタ）アクリル酸エステル単量体５０重量部〜９９重量部、親油性単量体１０重量部〜５０重量部及び架橋性単量体０．１重量部〜１０重量部を含むことができる。上記重量比率で粘着剤層の耐せん断性、接着物性及び耐水性を適切な範囲に確保することができる。

アクリル樹脂には、必要に応じて他の単量体がさらに含まれていてもよい。例えば、アクリル樹脂は、下記化学式２で表示される単量体をさらに含むことができる。下記単量体は、例えば、樹脂のガラス転移温度を調節し、必要に応じて多様な機能性を付与するために選択されたものを使用することができる。

上記化学式２で、Ｒ_５〜Ｒ_７は、それぞれ独立して、水素またはアルキル基であり、Ｒ_８は、シアノ；アルキル基で置換または非置換されたフェニル基；アセチルオキシ基；または−ＣＯＲ_９であり、上記で、Ｒ_９は、アルキル基またはアルコキシアルキル基で置換または非置換されたアミノ基またはグリシジルオキシ基である。

化学式２のＲ_５〜Ｒ_９の定義で、アルキル基またはアルコキシは、炭素数１〜２０、炭素数１〜１６、炭素数１〜１２、炭素数１〜８または炭素数１〜４のアルキル基またはアルコキシ基であることができ、例えば、メチル基、エチル基、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基またはブトキシ基などが例示されることができる。化学式２の単量体がさらに含まれる場合、上記単量体は、他の単量体に対して２０重量部以下の比率で樹脂に含まれることができるが、これは、目的によって変更されることができる。

第１粘着剤層に含まれる粘着樹脂、例えば、上記アクリル樹脂は、重量平均分子量（Ｍｗ：Ｗｅｉｇｈｔ Ａｖｅｒａｇｅ Ｍｏｌｅｃｕｌａｒ Ｗｅｉｇｈｔ）が５０万〜１００万の範囲にあり得る。本明細書で、重量平均分子量は、ＧＰＣ（Ｇｅｌ Ｐｅｒｍｅａｔｉｏｎ Ｃｈｒｏｍａｔｏｇｒａｐｈ）で測定した標準ポリスチレンに対する換算数値を意味する。また、特に別途規定しない限り、本明細書で用語「分子量」は、重量平均分子量を意味することができる。上記範囲の分子量を有する粘着樹脂を使用する場合、第１粘着剤層が優れた耐久性及び接着性を確保することができる。

アクリル樹脂は、例えば、目的する組成によって必要な単量体を選択し、選択された単量体などを目的する比率で配合した混合物を溶液重合、光重合、塊状（ｂｕｌｋ）重合、懸濁（ｓｕｓｐｅｎｓｉｏｎ）重合または乳化（ｅｍｕｌｓｉｏｎ）重合のような重合方式に適用して製造することができる。

第１粘着剤層は、粘着性付与剤（ｔａｃｋｉｆｉｅｒ）をさらに含むことができる。粘着性付与剤としては、ガラス転移温度または軟化点が８５℃以上、９０℃以上または１００℃以上の粘着性付与剤を使用することができる。上記粘着性付与剤を使用する場合、第１粘着剤層を、例えば、「熱活性粘着剤（Ｈｅａｔ ａｃｔｉｖａｔｅｄ ｐｒｅｓｓｕｒｅ−ｓｅｎｓｉｔｉｖｅ ａｄｈｅｓｉｖｅ）」で形成することができる。本明細書で用語「熱活性粘着剤」は、一定温度以上で流動特性が現われ、被着体との接着がなされ、減温された雰囲気の下では、高い凝集力を示し、適切な接着強度が確保されることができる粘着剤を意味することができる。粘着性付与剤のガラス転移温度または軟化点の上限は、特に制限されず、例えば、塗工性などを考慮して、上記上限は、約２００℃または１５０℃程度に調節することができる。粘着性付与剤の種類は、上記ガラス転移温度または軟化点を有するものなら、特に制限されない。上記粘着性付与剤は、例えば、ヒドロカーボン樹脂（ｈｙｄｒｏｃａｒｂｏｎ ｒｅｓｉｎ）またはその水素添加物、ロジン樹脂またはその水素添加物、ロジンエステル樹脂またはその水素添加物、テルペン樹脂またはその水素添加物、テルペンフェノール樹脂またはその水素添加物、重合ロジン樹脂または重合ロジンエステル樹脂などのような公知の粘着性付与剤を一種または二種以上の混合物で使用することができる。

第１粘着剤層は、多官能性架橋剤をさらに含むことができる。上記架橋剤は、上記粘着樹脂が架橋構造を具現するようにすることができるものであるか、または上記粘着樹脂と反応し、架橋構造を具現するものであることができる。架橋剤としては、例えば、イソシアネート架橋剤、エポキシ架橋剤、アジリジン架橋剤及び金属キレート架橋剤のように熟成工程（ａｇｉｎｇ ｐｒｏｃｅｓｓ）などを経て粘着樹脂と反応し、粘着樹脂に架橋構造を具現させることができる通常的な架橋剤を使用することができる。上記でイソシアネート架橋剤としては、トリレンジイソシアネート、キシレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロン（ｉｓｏｐｈｏｒｏｎｅ）ジイソシアネート、テトラメチルキシレンジイソシアネートまたはナフタレンジイソシアネートなどの多官能性イソシアネート化合物や、上記多官能性イソシアネート化合物をトリメチロールプロパンなどのようなポリオール化合物と反応させた化合物などが例示されることができ、エポキシ架橋剤としては、エチレングリコールジグリシジルエーテル、トリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、Ｎ、Ｎ、Ｎ’、Ｎ’−テトラグリシジルエチレンジアミン及びグリセリンジグリシジルエーテルからなる群から選択された１つ以上が例示されることができ、アジリジン架橋剤としては、Ｎ、Ｎ’−トルエン−２、４−ビス（１−アジリジンカルボキサミド）、Ｎ、Ｎ’−ジフェニルメタン−４、４’−ビス（１−アジリジンカルボキサミド）、トリエチレンメラミン、ビスイソフタロイル−１−（２−メチルアジリジン）及びトリ−１−アジリジニルホスフィンオキシドからなる群から選択された１つ以上が例示されることができるが、これに制限されるものではない。また、金属キレート架橋剤としては、アルミニウム、鉄、亜鉛、スズ、チタン、アンチモン、マグネシウム及び／またはバナジウムのような多価金属がアセチルアセトンまたはアセト酢酸エチルなどに配位している化合物などが例示されることができる。

多官能性架橋剤は、例えば、第１粘着剤層内に粘着樹脂１００重量部に対して０．００１重量部〜７重量部または０．０１重量部〜５重量部で含まれていてもよい。このような範囲で、粘着剤層の凝集力や耐久性を優秀に維持することができる。

第１粘着剤層は、必要に応じて、シランカップリング剤、エポキシ樹脂、硬化剤、紫外線安定剤、酸化防止剤、調色剤、補強剤、充填剤、消泡剤、界面活性剤及び可塑剤からなる群から選択された１つ以上の添加剤をさらに含むことができる。

第１粘着剤層は、例えば、ゲル分率が２５％〜９０％、３０％〜７０％または４０％〜６０％程度であることができる。

粘着剤層のゲル分率は、下記一般式１によって計算されることができる。

［一般式１］
ゲル分率（％）＝Ｂ／Ａ×１００

上記一般式１で、Ａは、粘着剤層の質量であり、Ｂは、上記質量Ａの粘着剤層を常温でエチルアセテートに４８時間沈積させた後に採取した不溶解分の乾燥質量である。

上記で用語「常温」は、加温または減温されない自然そのままの温度を意味し、例えば、１０℃〜３０℃、１５℃〜３０℃、約２３℃または約２５℃の温度を意味することができる。

また、上記で不溶解分の乾燥質量というのは、質量Ａの粘着剤層をエチルアセテートに沈積させた後に採取した不溶解分から上記不溶解分に存在するエチルアセテートを乾燥して除去した後に測定した質量を意味する。上記で不溶解分の乾燥条件は、特に制限されず、含まれているエチルアセテートが実質的にすべて除去されることができる範囲で適切に選択されることができる。

上記ゲル分率の範囲で第１粘着剤層の物性、例えば、研磨材との粘着性などの物性が優秀に維持されることができる。

第１粘着剤層の厚さは、例えば、４０μｍ〜７０μｍまたは４５μｍ〜６５μｍ程度であることができる。上記厚さは、上記粘着テープが適用される用途によって変更されることができる。

第１粘着剤層が一面に形成される基材層としては、例えば、プラスチック基材層を使用することができる。基材層としては、主表面の平坦性に優れたプラスチックシートを単層または２層以上積層して多層構造にした基材層を使用することができる。

プラスチック基材層としては、トリアセチルセルロースなどのようなセルロース樹脂、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリプロピレンまたはポリエチレンなどのようなポリオレフィン、ポリシクロオレフィン、ポリエチレンテレフタレートまたはポリブチレンテレフタレートなどのポリエステル、ポリカーボネート、ポリノルボルネン、ポリアリレート、アクリル樹脂、ポリフェニレンスルフィド、ポリスチレン、ビニル系樹脂、ポリアミド、ポリイミドまたはエポキシ樹脂などを含むフィルムまたはシートなどが例示されることができるが、これに制限されるものではない。

基材層の粘着剤層が形成される面には、コロナ処理またはプラズマ処理などのような表面処理が行われているか、またはプライマー層などが形成されていてもよい。

基材層の厚さは、例えば、１００μｍ〜３００μｍまたは１５０μｍ〜２２０μｍ程度であることができる。上記厚さは、上記粘着テープが適用される用途によって変更されることができる。

基材層の他の面、第１粘着剤層が形成されていない面には、第２粘着剤層が形成される。

１つの例示で、上記第２粘着剤層は、第１粘着剤層に研磨材が固定されている粘着テープを研磨パッド用キャリアや定盤に付着するために使用されることができる。図１は、上記粘着テープ１を模式的に示す断面図であり、基材層１１の一面に第１粘着剤層１２が形成され、他の面には、第２粘着剤層１３が形成された状態を示す。

第２粘着剤層は、非酸性粘着樹脂を含むことができる。本明細書で用語「非酸性（ａｃｉｄｆｒｅｅ）粘着樹脂」は、例えば、架橋されない状態でカルボキシル基を有しない粘着樹脂を意味することができる。非酸性粘着樹脂を使用する場合、粘着テープの再作業性などの物性を優秀に維持することができる。粘着樹脂としては、非酸性粘着樹脂なら、アクリル樹脂、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂またはゴム樹脂などが使用されることができ、１つの例示では、アクリル樹脂が使用されることができる。

非酸性粘着樹脂としては、親油性単量体を含む非酸性粘着樹脂が使用されることができる。上記親油性単量体は、例えば、重合された形態で粘着樹脂に含まれることができる。親油性単量体としては、例えば、第１粘着剤層の粘着樹脂の項目で記述した化学式１の化合物が使用されることができる。非酸性粘着樹脂に親油性単量体が含まれる場合、粘着テープの初期付着力が適切な範囲で確保され、苛酷な研磨テスト後にも、粘着テープが優れた再作業性を有することができる。

上記粘着樹脂は、（メタ）アクリル酸エステル単量体を、例えば、重合された形態でさらに含むことができる。上記（メタ）アクリル酸エステル単量体としては、例えば、第１粘着剤層の粘着樹脂の項目で記述した（メタ）アクリル酸エステル単量体のうち化学式１の化合物ではない単量体が使用されることができる。このような場合、非酸性粘着樹脂は、（メタ）アクリル酸エステル単量体５０重量部〜９９重量部及び親油性単量体１０重量部〜５０重量部を含むことができる。上記樹脂は、例えば、（メタ）アクリル酸エステル単量体５０重量部〜９９重量部及び親油性単量体１０重量部〜４０重量部または（メタ）アクリル酸エステル単量体５０重量部〜９９重量部及び親油性単量体１０重量部〜３０重量部を含むことができる。このような範囲で、第２粘着剤層に要求される物性を効果的に確保することができる。

上記粘着樹脂は、架橋性単量体を、例えば、重合された形態でさらに含むことができる。上記架橋性単量体としては、例えば、第１粘着剤層の粘着樹脂の項目で記述した架橋性単量体のうち架橋性官能基としてカルボキシル基を有しない単量体が使用されることができ、１つの例示では、上記第１粘着剤層の粘着樹脂項目で記述した架橋性単量体のうちヒドロキシ基を有する単量体を使用することができる。

架橋性単量体をさらに含む場合、非酸性粘着樹脂は、（メタ）アクリル酸エステル単量体５０重量部〜９９重量部；親油性単量体１０重量部〜５０重量部、１０重量部〜４０重量部または１０重量部〜３０重量部；及び架橋性単量体０．１重量部〜１０重量部を含むことができる。このような比率で、第２粘着剤層は、適切な凝集力を有し、研磨工程で加えられるせん断力に対応することができ、研磨パッド固定用装備に付着し、適切な密着性及び再剥離性を確保することができる。

第２粘着剤層に含まれる粘着樹脂は、分子量（Ｍｗ）が３０万以上、４０万以上、５０万以上、６０万以上、７０万以上、８０万以上、１００万以上、１２０万以上または１５０万以上であることができる。粘着樹脂の分子量を上記範囲に調節すれば、第２粘着剤層は、適切な凝集力及びせん断力に対する抵抗性を示すことができ、また、研磨パッド固定用装備に付着し、適切な密着性及び再剥離性を示すことができる。非酸性粘着樹脂の分子量の上限は、特に制限されず、例えば、２００万程度であることができる。

第２粘着剤層は、多官能性架橋剤をさらに含むことができる。多官能性架橋剤は、例えば、粘着樹脂を架橋させている状態で粘着剤層に含まれていてもよい。多官能性架橋剤の具体的な例は、第１粘着剤層の項目で記述した通りである。第２粘着剤層に含まれる多官能性架橋剤の重量比率は、特に制限されず、例えば、粘着樹脂１００重量部に対して０．０１重量部〜１０重量部または０．０１重量部〜５重量部で含まれることができる。他の例示で、上記多官能性架橋剤は、第２粘着剤層が後述するゲル分率を満足するようにする範囲で含まれていてもよい。

第２粘着剤層は、可塑剤をさらに含むことができる。可塑剤をさらに配合し、第２粘着剤層に柔軟性を確保し、適切な粘着性能を維持させることができる。

可塑剤としては、例えば、低分子量のアクリル重合体、ジブチルフタレート、ジオクチルフタレート、ビス（２−エチルヘキシル）フタレート、ジデシルフタレートまたはジイソデシルフタレートなどのようなフタル酸エステル、ビス（２−エチルヘキシル）アジぺートまたはジオクチルアジぺートなどのアジピン酸（ａｄｉｐｉｃ ａｃｉｄ）エステル、ビス（２−エチルヘキシル）セバケートまたはジブチルセバケートなどのセバチン酸（ｓｅｂａｃｉｃ ａｃｉｄ）エステル、ビス（２−エチルヘキシル）アゼレートなどのアゼライン酸（ａｚｅｌａｉｃ ａｃｉｄ）エステルなどの脂肪酸エステル、塩素化パラフィンなどのパラフィン、ポリプロピレングリコールなどのグリコール、エポキシ化大豆油などのエポキシ系高分子可塑剤、トリフェニルホスフェートなどのリン酸エステル、トリフェニルホスファイトなどの亜リン酸エステルなどが例示されることができる。

例えば、粘着樹脂がアクリル樹脂の場合、粘着樹脂と相溶性などを考慮して、低分子量のアクリル重合体を可塑剤として使用することができる。上記可塑剤は、例えば、分子量が１，０００〜１００，０００または１，５００〜６，０００程度であり、ガラス転移温度が１０℃以下、０℃以下または０℃〜−８０℃程度である重合体が可塑剤として使用されることができる。
可塑剤として使用されることができるアクリル重合体としては、例えば、東亜合成（株）でＡＲＵＦＯＮ ＵＰ−１０００、ＡＲＵＦＯＮ ＵＰ−１０１０、ＡＲＵＦＯＮ ＵＰ−１０２０、ＡＲＵＦＯＮ ＵＰ−１０２１、ＡＲＵＦＯＮ ＵＰ−１１１０、ＡＲＵＦＯＮ ＵＨ−２０３２、ＡＲＵＦＯＮ ＵＨ−２０４１、ＡＲＵＦＯＮ ＵＣ−３５１０、ＡＲＵＦＯＮ ＵＧ−４０００、ＡＲＵＦＯＮ ＵＧ−４０１０またはＡＲＵＦＯＮ ＵＳ−６１１０などの製品名として市販されている物質が例示されることができる。

第２粘着剤層において可塑剤は、粘着樹脂１００重量部に対して０．５重量部〜３０重量部、または１重量部〜１０重量部の比率で含まれることができる。このような比率で第２粘着剤層の柔軟性及び粘着性能を適切に維持することができる。

第２粘着剤層は、必要に応じて、シランカップリング剤、エポキシ樹脂、硬化剤、紫外線安定剤、酸化防止剤、調色剤、補強剤、充填剤、消泡剤、界面活性剤及び可塑剤などからなる群から選択された１つ以上の添加剤をさらに含むことができる。

第２粘着剤層は、また、ゲル分率が３０％〜９０％、４０％〜９０％、５０％〜９０％、５５％〜９０％、５５％〜８０％または６０％〜８０％程度であることができる。

上記ゲル分率は、上記一般式１によって測定することができる。

上記ゲル分率の範囲で第２粘着剤層は、適切な凝集力及びせん断力に対する抵抗性を示すことができ、また、被着体に対する優れた密着性及び再剥離性を示すことができる。

第２粘着剤層の厚さは、例えば、２０μｍ〜５０μｍまたは２５μｍ〜４５μｍ程度であることができる。上記厚さは、上記粘着テープが適用される用途によって変更されることができる。

粘着テープは、必要に応じて上記第１及び／または第２粘着剤層に付着している離型フィルムまたはシートをさらに含むことができる。離型フィルムまたはシートとしては、粘着テープ分野で公知されている一般的な種類を使用することができる。

粘着テープは、この分野で公知されている通常的な方式で製造することができる。例えば、第１及び／または第２粘着剤層を形成する上記成分を必要な重量比率で適切に混合した後、基材層の面にコーティングして粘着剤層を形成するか、または離型性基材層にコーティングして粘着剤層を形成した後、形成された粘着剤層を基材層にラミネートする方式で製造することができる。

本出願は、また、研磨パッドに関する。例示的な研磨パッドは、上記記述した粘着テープ及び上記粘着テープの粘着剤層に付着している研磨材を含むことができる。１つの例示で、上記研磨材は、上記第１粘着剤層に付着していてもよい。

上記研磨パッドは、例えば、自動車、光学機器または半導体分野の多様な部品や部材の表面研磨を行う過程に使用されることができる。上記で、被研磨対象の例としては、ＬＣＤ用ガラス基板、ハードディスク用基板、光学レンズまたはシリコーンウェーハなどが例示されることができるが、これに制限されるものではない。１つの例示で、上記被研磨対象は、例えば、ガラス基板であり、例えば、７世代または８世代以上の大面積（例えば、２２００ｍｍ×２５００ｍｍ）のガラス基板であることができる。

粘着テープに付着する研磨材としては、当該分野で通常的に使用されるものが使用されることができる。研磨材としては、例えば、硬質ポリウレタンまたはポリウレタン多孔質フォーム（ｆｏａｍ）などのようなポリウレタン系研磨層を含む研磨材が使用されることができる。研磨層は、研磨工程で被研磨対象と直接接触する層であり、上記研磨層は、研削面側に格子状、円状またはスパイラル状の溝構造が形成されていてもよい。

研磨材は、クッション層をさらに含むことができる。クッション層の素材及び位置は、特に制限されず、例えば、発泡ポリウレタンなどからなるクッション層が上記研磨層の一面に積層または付着している形態で存在することができる。

研磨材は、例えば、０．５ｍｍ〜４ｍｍ、０．８ｍｍ〜３ｍｍまたは１ｍｍ〜２ｍｍの厚さを有することができるが、これに制限されるものではない。

研磨パッドは、研磨材を上記粘着テープの粘着剤層と付着させて製造することができる。例示的な研磨パッドの製造方法は、５０℃以上で上記第１粘着剤層と研磨材を付着する工程を含むことができる。

例示的な製造方法では、まず、温度を約５０℃以上、約６０℃以上、約７０℃以上、約８０℃以上または９０℃以上に昇温させて上記第１粘着剤層を活性化させ、適切な流動性を付与する。このような状態では、第１粘着剤層は、上記研磨材と効果的に接触（ｗｅｔｔｉｎｇ）されることができる。したがって、上記温度によって適切な流動性が付与された状態の第１粘着剤層に上記研磨材を適切な圧力でラミネートし、温度を適切に減温させることによって、研磨材を粘着テープと付着し、研磨パッドを製造することができる。

１つの例示で、上記のような研磨材の付着は、ホットロールラミネート工程などによって進行されることができる。

減温された状態で、上記第１粘着剤層は、上記研磨材を効果的に固定し、高い凝集力と接着強度を保有し、研磨工程時に発生するせん断力及び使用される研磨液に対して優れた抵抗性を示すことができる。

本出願は、また、研磨装置に関する。例示的な研磨装置は、被研磨対象がローディング（ｌｏａｄｉｎｇ）される保持台及び研磨パッド用キャリアまたは定盤を含むことができる。上記研磨パッド用キャリアまたは定盤には、上記研磨パッドが上記粘着テープの第２粘着剤層を媒介で付着されていてもよい。

図２は、被研磨対象２３がローディングされる保持台２１及びキャリア２２を含む研磨装置を例示的に示す図であり、研磨パッドは、上記キャリア２２に付着されていてもよい。

上記研磨装置は、例えば、ＬＣＤ用ガラス基板、ハードディスク用基板、光学レンズまたはシリコーンウェーハなどを研磨するための装置であることができる。上記研磨装置では、上記記述した研磨パッドが使用される限り、その他の装備、例えば、上記保持台及びキャリアなどの種類は、特に制限されず、それぞれ当該分野で公知されている通常的な装備が使用されることができる。

本出願は、また、ガラス基板の製造方法に関する。例示的な製造方法は、ガラス基板の表面を上記研磨パッドを使用して研磨する方法を含むことができる。１つの例示で、上記ガラス基板は、フローティング方式で製造されたガラス基板であることができる。また、上記ガラス基板は、カラーフィルター用基板またはＴＦＴ用基板などのようなＬＣＤ用ガラス基板であることができる。

上記粘着テープまたは研磨パッドは、前述したように、大面積で形成される場合にも、研磨材を効果的に固定することができ、水や研磨液などに対する抵抗性と研磨工程で加えられるせん断力に対する抵抗性に優れている。したがって、上記粘着テープまたは研磨パッドを使用する上記製造方法によれば、例えば、７世代または８世代などのような大面積のガラス基板の表面を効果的に研磨することができる。

上記ガラス基板の製造方法は、上記研磨パッドが使用される限り、特に制限されず、通常的な方式が適用されることができる。例えば、上記製造方法は、フローティング方式で製造されたガラス基板を上記研磨装置の保持台２１にローディングし、キャリア２２に付着された研磨パッドを使用して、研磨装置に設置されたノズルなどを通じて酸化セリウムが分散している研磨液を分散させながら、適切な速度で研磨する方式で進行されることができる。

本出願の例示的な粘着テープは、研磨材用粘着テープであることができる。上記粘着テープは、例えば、気泡などを発生させることなく、定盤に効果的に固定されることができ、水と研磨液などや研磨工程で加えられるせん断力に対する抵抗性に優れている。また、上記粘着テープは、研磨後、キャリアまたは定盤から残渣などを残すことなく、容易に除去されることができる。

図１は、粘着テープを例示的に示す模式図である。 図２は、研磨装置の構成を模式的に示す図である。

以下、実施例及び比較例を通じて上記粘着テープをさらに詳しく説明するが、上記粘着テープの範囲が下記実施例によって制限されるものではない。

本明細書で、各物性は、下記の方式で評価する。

１．初期接着力の評価
実施例及び比較例で製造された粘着テープを、横の長さが２．５４ｃｍであり且つ縦の長さが１２．７ｃｍになるようにカットし、試験片を製造する。接着力の評価時に被着体としては、エチルアセテートで洗浄したアルミニウム板を、温度が２５℃であり且つ相対湿度が５０％である恒温恒湿槽に２４時間維持させたものを使用する。試験片の第２粘着剤層を上記アルミニウム板に付着し、付着後、３０分が経過した時点で１８０度の剥離角度及び３００ｍｍ／ｍｉｎの剥離速度で剥離しながら剥離強度を測定し、測定された剥離強度を初期接着力として規定する。

２．接着力の経時変化
初期接着力の測定時と同一の試験片の第２粘着剤層を初期接着力測定時と同一の被着体に付着し、７日が経過した時点で同一に剥離強度を測定した後、これを後期接着力として定義する。下記一般式２に初期及び後期接着力を代入して経時変化を測定する。通常、経時変化が２０％以内なら、経時変化はないものと規定することができる。

［一般式２］
接着力の経時変化＝１００×△Ｐ／Ｐ_ｉ

上記一般式２で、△Ｐは、初期接着力と後期接着力の差の絶対値であり、Ｐ_ｉは、初期接着力である。

３．ゲル分率の測定
実施例または比較例で製造された第１または第２粘着剤層を約０．３ｇ採取してステンレス２００メッシュ鉄網に入れた後、エチルアセテートに沈積し、常温の暗室で２日間保管する。引き続いて、エチルアセテートに溶解されない上記粘着剤層（不溶解分）を採取し、７０℃のオーブンで４時間乾燥させた後、質量（乾燥質量、単位ｇ）を測定し、下記数式に代入してゲル分率を測定する。

［一般式１］
ゲル分率（％）＝（測定された乾燥質量）／０．３×１００

４．維持力評価
実施例及び比較例で製造された粘着テープを、横の長さが２５ｍｍであり且つ縦の長さが５０ｍｍになるようにカットし、試験片を製造する。維持力の評価時に、被着体としては、エチルアセテートで洗浄したアルミニウム板を、温度が２５℃であり且つ相対湿度が５０％である恒温恒湿槽に２４時間維持させたものを使用する。試験片の第１粘着剤層を上記アルミニウム板に付着し、８０℃の温度の恒温槽で粘着テープに１ｋｇの重みを付けて、１時間放置した後、粘着テープが被着体から滑った距離を測定し、維持力を評価する。維持力は、粘着テープの耐久信頼性の尺度になることができる。

５．再作業性評価
実施例及び比較例で製造された粘着テープを、横の長さが４４０ｍｍであり且つ縦の長さが５００ｍｍになるようにカットし、試験片を製造する。試験片の第２粘着剤層をアルミニウム板に付着し、８０℃の温度及び８５％の相対湿度の恒温恒湿槽で７２時間放置する。その後、初期接着力の測定時と同一の条件で上記粘着テープをアルミニウム板から剥離した後、下記基準によって再作業性を評価する。

［再作業性評価基準］
○：目視でアルミニウム板に粘着剤層の残渣などの汚染が確認されない場合
△：目視でアルミニウム板に粘着剤層の残渣などの汚染が多少確認される場合
×：目視でアルミニウム板に粘着剤層の残渣などの汚染が深刻に観察される場合

６．耐水性評価
実施例及び比較例で製造された粘着テープを、横の長さが２．５４ｍｍであり且つ縦の長さが１２．７ｍｍになるようにカットし、試験片を製造する。試験片の第２粘着剤層をアルミニウム板に付着し、その状態で２３℃の水に２４時間浸漬する。水から取り出したアルミニウム板で初期接着力測定と同一の条件で粘着テープを剥離しながら剥離強度を測定する。

７．研磨中に剥離
実施例または比較例で製造された粘着テープの第１粘着剤層を多孔性ポリウレタン研磨パッドに積層し、ラミネータでラミネートする。その後、第２粘着剤層を研磨装置固定定盤に付着する。ＬＣＤ用ガラスを研磨パッド上に積層し、研磨スラリーを噴射しながら研磨圧力を５０ｋＰａとし、回転数を１００ｒｐｍとして５分間研磨することを１サイクルにして研磨を行う。研磨中の剥離有無は、下記の基準によって評価する。

［評価基準］
○：研磨を１０サイクル繰り返した場合にも、粘着テープと定盤の界面で剥離が観察されない場合
△：研磨を１０サイクル繰り返した場合に、粘着テープと定盤の界面のエッジ（ｅｄｇｅ）で剥離が観察される場合
×：研磨を１サイクル行った場合に、粘着テープと定盤の界面の剥離が観察される場合

製造例１：アクリル樹脂（Ａ１）の合成
窒素ガスが還流され、温度調節が容易になるように冷却装置を設置した２Ｌ反応器にｎ−ブチルアクリレート（ｎ−ＢＡ）９５重量部、及びアクリル酸５重量部を投入した。引き続いて、溶剤としてエチルアセテート（ＥＡｃ）１２０重量部を投入し、酸素を除去するために窒素ガスを６０分間パージング（ｐｕｒｇｉｎｇ）した。引き続いて、温度を７０℃に維持し、反応開始剤としてアゾビスイソブチロニトリル（ＡＩＢＮ）０．０２重量部を投入した後、８時間反応させて、アクリル樹脂（Ａ１）を合成した。合成された樹脂（Ａ１）の分子量をＧＰＣで測定し、その結果を表１に整理した。

製造例２：アクリル樹脂（Ｂ１）の合成
単量体として２−エチルヘキシルアクリレート（２−ＥＨＡ）４９重量部、ｎ−ブチルアクリレート（ｎ−ＢＡ）３０重量部、メチルアクリレート１０重量部、イソボルニルアクリレート１０重量部及び４−ヒドロキシブチルアクリレート（４−ＨＢＡ）１重量部を反応器に投入したことを除いて、製造例１に準ずる方式で重合させて、アクリル樹脂（Ｂ１）を製造した。

製造例３〜７：アクリル樹脂（Ｂ２）、（Ｂ３）、（Ｃ１）及び（Ｃ２）の合成
単量体の重量比率と溶剤の比率などを下記表１のように変更したことを除いて、製造例１に準ずる方式で各樹脂を製造した。

実施例１
粘着剤組成物の製造
第１粘着剤層を形成する組成物(Ａ）は、アクリル樹脂（Ａ１）１００ｇ、Ｎ，Ｎ，Ｎ'，Ｎ'−テトラグリシジルエチレンジアミン０．０８ｇ及びロジンエステル系の粘着性付与剤（ポーラル８５、ハーキュレス社製）２５ｇを混合した後、３０ｇのエチルアセテートを投入し、１０分〜２０分間均一に撹拌混合して製造した。また、第２粘着剤層を形成する組成物（Ｂ）は、アクリル樹脂（Ｂ１）１００ｇ、トリメチロールプロパンのトリレンジイソシアネート付加物０．１ｇを配合し、上記組成物（Ａ）のように均一に混合して製造した。

粘着テープの製造
ＰＥＴ（ｐｏｌｙ（ｅｔｈｙｌｅｎｅ ｔｅｒｅｐｈｔｈａｌａｔｅ）基材層（厚さ：１８８μｍ、ドレイ社製）の一面にコロナ処理を行い、粘着剤組成物（Ｂ）のコーティング性を考慮して適正濃度で希釈したコーティング液を上記コロナ処理面に乾燥後の厚さが３５μｍになるようにコーティングし、架橋反応が適切に進行されるように熟成し、第２粘着剤層を形成した。その後、ＰＥＴ基材層の他の面にやはりコロナ処理を行い、上記コロナ処理面に粘着剤組成物（Ａ）のコーティング性を考慮して適正濃度で希釈したコーティング液を乾燥後の厚さが５５μｍになるようにコーティングし、架橋反応が適切に進行されるように熟成し、第１粘着剤層を形成し、粘着テープを製造した。

研磨パッドの製造
粘着テープの第１粘着剤層をヒーティングラミネータを用いて多孔性ポリウレタン系研磨材に加熱ラミネートし、研磨パッドを製造した。

実施例２〜７及び比較例１〜４
第１及び第２粘着剤層を形成する粘着剤組成物の成分をそれぞれ下記表２または表３のように変更したことを除いて、実施例１と同一の方式で実施例２〜７及び比較例１〜４の粘着テープ及び研磨パッドを製造した。

実施例及び比較例に対して測定された物性をそれぞれ下記表４または表５に整理して記載した。

１ 粘着テープ
１１ 基材層
１２ 第１粘着剤層
１３ 第２粘着剤層
２１ 保持台
２２ キャリア
２３ 被研磨対象

Claims (19)

1. 基材層と；上記基材層の一面に形成されている第１粘着剤層と；上記基材層の他の面に形成されており、下記化学式１で表示される化合物を含む非酸性粘着樹脂を含む第２粘着剤層と;を備える粘着テープ：
   

   

   上記化学式１で、Ｒ_１〜Ｒ_３は、それぞれ独立して、水素または炭素数１〜４のアルキル基であり、Ｒ_４は、炭素数６〜２５のアリール基または−Ｃ（＝Ｏ）−Ｏ−Ｘであり、上記で、Ｘは、メチル基、ｔｅｒｔ−ブチル基、炭素数８〜２２の直鎖または分岐鎖のアルキル基または炭素数６〜１２のシクロアルキル基である。
2. 第１粘着剤層は、粘着樹脂及びガラス転移温度または軟化点が８５℃以上の粘着性付与剤を含む、請求項１に記載の粘着テープ。
3. 第１粘着剤層は、粘着樹脂１００重量部に対して１重量部〜７０重量部の粘着性付与剤を含む、請求項２に記載の粘着テープ。
4. 粘着性付与剤は、ヒドロカーボン樹脂、ヒドロカーボン樹脂の水素添加物、ロジン樹脂、ロジン樹脂の水素添加物、ロジンエステル樹脂、ロジンエステル樹脂の水素添加物、テルペン樹脂、テルペン樹脂の水素添加物、テルペンフェノール樹脂、テルペンフェノール樹脂の水素添加物、重合ロジン樹脂または重合ロジンエステル樹脂である、請求項２に記載の粘着テープ。
5. 第１粘着剤層は、粘着樹脂１００重量部に対して０．００１重量部〜７重量部の多官能性架橋剤をさらに含む、請求項２に記載の粘着テープ。
6. 非酸性粘着樹脂は、（メタ）アクリル酸エステル単量体をさらに含む、請求項１に記載の粘着テープ。
7. 非酸性粘着樹脂は、（メタ）アクリル酸エステル単量体５０重量部〜９９重量部及び化学式１の化合物１０重量部〜５０重量部を含む、請求項６に記載の粘着テープ。
8. 非酸性粘着樹脂は、重量平均分子量が３０万以上である、請求項１に記載の粘着テープ。
9. 第２粘着剤層は、非酸性粘着樹脂１００重量部に対して０．０１重量部〜１０重量部の多官能性架橋剤をさらに含む、請求項１に記載の粘着テープ。
10. 第２粘着剤層は、粘着樹脂１００重量部に対して０．５重量部〜３０重量部の可塑剤をさらに含む、請求項１に記載の粘着テープ。
11. 第２粘着剤層は、下記一般式１によるゲル分率が３０％〜９０％である、請求項１に記載の粘着テープ：
    ［一般式１］
    ゲル分率（％）＝Ｂ／Ａ×１００
    上記一般式１で、Ａは、第２粘着剤層の質量であり、Ｂは、上記質量Ａの第２粘着剤層を常温でエチルアセテートに４８時間沈積させた後に採取した不溶解分の乾燥質量である。
12. 請求項１に記載の粘着テープと；上記粘着テープの第１粘着剤層に付着している研磨材と；を含む研磨パッド。
13. 研磨材は、ポリウレタン系研磨層を含む、請求項１２に記載の研磨パッド。
14. ５０℃以上で請求項１に記載の粘着テープの第１粘着剤層と研磨材を付着することを含む研磨パッドの製造方法。
15. 第１粘着剤層と研磨材の付着をホットロールラミネート工程で進行する、請求項１４に記載の研磨パッドの製造方法。
16. 被研磨対象がローディングされる保持台及び請求項１２に記載の研磨パッドが粘着テープの第２粘着剤層によって付着している研磨パッド用キャリアまたは定盤を含む研磨装置。
17. ガラス基板の表面を請求項１２の研磨パッドを用いて研磨することを含む研磨されたガラス基板の製造方法。
18. 研磨されるガラス基板は、フローティング方式で製造されたガラス基板である、請求項１７に記載の研磨されたガラス基板の製造方法。
19. 研磨されるガラス基板は、ＬＣＤ用ガラス基板である、請求項１７に記載の研磨されたガラス基板の製造方法。

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