JP2015512959A - 特定の硫黄含有化合物および糖アルコールまたはポリカルボン酸を含む、ポスト化学機械研磨(ポストcmp)洗浄組成物 - Google Patents
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Abstract
Description
(a)以下からなる群から選択される洗浄剤:(i)クエン酸アンモニウム;(ii)シュウ酸アンモニウム;(iii)アスパラギン酸;(iv)安息香酸;(v)クエン酸;(vi)システイン;(vii)グリシン;(viii)グルコン酸;(ix)グルタミン酸;(x)ヒスチジン;(xi)マレイン酸;(xii)シュウ酸;(xiii)プロピオン酸;(xiv)サリチル酸;(xv)酒石酸;(xvi)およびこれらの混合物;ならびに
(b)以下からなる群から選択される腐食阻害化合物:(i)アスコルビン酸;(ii)ベンゾトリアゾール;(iii)カフェイン酸;(iv)ケイヒ酸;(v)システイン;(vi)グルコース;(vii)イミダゾール;(viii)メルカプトチアゾリン;(ix)メルカプトエタノール;(x)メルカプトプロピオン酸;(xi)メルカプトベンゾチアゾール;(xii)メルカプトメチルイミダゾール;(xiii)タンニン酸;(xiv)チオグリセロール;(xv)チオサリチル酸;(xvi)トリアゾール;(xvii)バニリン;(xviii)バリニン酸;(xix)およびこれらの混合物。例えば、洗浄組成物は、クエン酸アンモニウム、アスコルビン酸、およびシステインを含む。
(i)銅含有表面の望ましくない腐食を効果的に予防すること、または
(ii)CMP工程後に残存する残留物および汚染物質を高い効率で除去すること、または
(iii)パッシベーション膜、特にベンゾトリアゾール膜を銅含有表面から高い効率で除去すること、または
(iv)4〜8などの中程度のpH範囲に適応できること、または
(v)(i)〜(iv)の組み合わせ
を示すポストCMP洗浄組成物およびポストCMP洗浄方法を提供することであった。
(A)少なくとも1つのチオール(−SH)、チオエーテル(−SR1)またはチオカルボニル(>C=S)基、(式中、R1はアルキル、アリール、アルキルアリールまたはアリールアルキルである)を含む少なくとも1種の化合物、
(B)少なくとも3つのヒドロキシル(−OH)基を含有し、いかなるカルボン酸(−COOH)またはカルボキシレート(−COO−)基も含まない少なくとも1種の糖アルコール、および
(C)水性媒体
を含むポストCMP洗浄組成物が見出された。本発明のこのポストCMP洗浄組成物は、以下(Q1)または組成物(Q1)と呼ぶ。
(A)少なくとも1つのチオール(−SH)、チオエーテル(−SR1)またはチオカルボニル(>C=S)基、(式中、R1はアルキル、アリール、アルキルアリールまたはアリールアルキルである)を含む少なくとも1種の化合物、
(L)少なくとも1種のオリゴマー性またはポリマー性ポリカルボン酸、および
(C)水性媒体
を含むポストCMP洗浄組成物が見出された。本発明のこのポストCMP洗浄組成物は、以下(Q2)または組成物(Q2)と呼ぶ。
−銅を含有する、または銅からなる導電層、
−低kまたは超低k誘電体材料からなる電気絶縁性誘電層、および
−タンタル、窒化タンタル、窒化チタン、コバルト、ニッケル、マンガン、ルテニウム、窒化ルテニウム、炭化ルテニウム、または窒化ルテニウムタングステンを含有する、またはこれらからなるバリア層
を含む。
(A1)少なくとも1つのチオール(−SH)、チオエーテル(−SR1)、またはチオカルボニル(>C=S)基および
(A2)少なくとも1つのアミノ(−NH2、−NHR2、または−NR3R4)基、
(式中、R1、R2、R3およびR4は、(互いに独立して)アルキル、アリール、アルキルアリールまたはアリールアルキルである)
を含む化合物である。(A2)部分に対して、一般的にアミノ基、−NH2および−NHR2がさらに好ましく、アミノ基−NH2が最も好ましい。
(A1)少なくとも1つのチオカルボニル(>C=S)基および
(A2)少なくとも1つのアミノ(−NH2、−NHR2、または−NR3R4)基、
(式中、R2、R3およびR4は、(互いに独立して)アルキル、アリール、アルキルアリールまたはアリールアルキルである)
を含む化合物である。より好ましくは、(A)は、
(A1)1つのチオカルボニル(>C=S)基、および
(A2)少なくとも2つのアミノ(−NH2、−NHR2、または−NR3R4)基
を含む化合物である。最も好ましくは、(A)はチオウレアまたはその誘導体である。特に、(A)はチオウレアである。
(A1)少なくとも1つのチオール(−SH)、またはチオエーテル(−SR1)基、および
(A2)少なくとも1つのアミノ(−NH2、−NHR2、または−NR3R4)基
(式中、R1、R2、R3およびR4は、(互いに独立して)アルキル、アリール、アルキルアリールまたはアリールアルキルである)、
を含む化合物である。より好ましくは、(A)は、少なくとも1つのチオール(−SH)またはチオエーテル(−SR1)基を含むアミノ酸、またはこのアミノ酸の誘導体(式中、R1は、アルキル、アリール、アルキルアリールまたはアリールアルキルである)である。最も好ましくは、(A)は、少なくとも1つのチオール(−SH)基を含むアミノ酸またはこのアミノ酸の誘導体である。特に、(A)は、1つのチオール(−SH)基を含むアミノ酸またはこのアミノ酸の誘導体である。特に好ましくは、(A)は、システイン、シスチン、グルタチオン、N−アセチルシステイン、またはその誘導体である。例えば、(A)はシステインまたはN−アセチルシステインである。
(B1)テトリトール、ペンチトール、ヘキシトール、ヘプチトール、およびオクチトールからなる群から選択されるアルジトール、またはそのダイマーもしくはオリゴマー、または
(B2)シクリトール、またはそのダイマーもしくはオリゴマー、または
(B3)ペンタエリトリトール、またはそのダイマーもしくはオリゴマー、
またはこれらの混合物である。より好ましくは、(B)は(B1)である。最も好ましくは、(B)はテトリトール、ペンチトール、もしくはヘキシトール、またはこれらの混合物である。特に好ましくは、(B)はエリスリトール、トレイトール、アラビトール、キシリトール、リビトール、マンニトール、ソルビトール、ガラクチトール、イジトール、イソマルト、マルチトール、ラクチトール、もしくはその立体異性体、またはこれらの混合物である。最も特に好ましくは、(B)は、エリスリトール、トレイトール、キシリトール、マンニトール、ソルビトール、もしくはその立体異性体またはこれらの混合物である。特に、(B)はエリスリトール、トレイトール、もしくはその立体異性体、またはこれらの混合物である。例えば、(B)はエリスリトールである。
(D1)プロパン−1,2,3−トリカルボン酸、
(D2)クエン酸、
(D3)ブタン−1,2,3,4−テトラカルボン酸、
(D4)ペンタン−1,2,3,4,5−ペンタカルボン酸、
(D5)トリメリト酸、
(D6)トリメシン酸、
(D7)ピロメリト酸、
(D8)メリト酸、および
(D9)オリゴマー性およびポリマー性ポリカルボン酸
からなる群から選択される。
−e11−e12、
−e11−e12−e11、
−e12−e11−e12、
−e12−e11−e12−e11、
−e11−e12−e11−e12−e11、および
−e12−e11−e12−e11−e12。
−e21−e22、
−e21−e22−e21、
−e22−e21−e22、
−e22−e21−e22−e21、
−e21−e22−e21−e22−e21、および
−e22−e21−e22−e21−e22。
−ランダム:…−e221−e221−e222−e221−e222−e222−e222−e221−e222−…;
−交互:…−e221−e222−e221−e222−e221−…;
−勾配:…e221−e221−e221−e222−e221−e221−e222−e222−e221−e222−e222−e222−…;または
−ブロック状:…−e221−e221−e221−e221−e222−e222−e222−e222−…
を意味する。
(E1)(e11)5〜20個の炭素原子を有する分枝のアルキル基からなる群から選択される少なくとも1つの疎水基、および
(e12)オキシエチレンモノマー単位からなる少なくとも1つの親水基
を有する、両親媒性非イオン性の水溶性または水分散性界面活性剤;
(E2)(e21)5〜20個の炭素原子を有する分枝のアルキル基からなる群から選択される少なくとも1つの疎水基、ならびに
(e22)(e221)オキシエチレンモノマー単位、および
(e222)少なくとも1種類の置換オキシアルキレンモノマー単位(この置換基は、アルキル、シクロアルキル、アリール、アルキル−シクロアルキル、アルキル−アリール、シクロアルキル−アリールおよびアルキル−シクロアルキル−アリール基からなる群から選択される)
を含むポリオキシアルキレン基からなる群から選択される少なくとも1つの親水基であって、
(e22)の前記ポリオキシアルキレン基が、ランダム、交互、勾配および/またはブロック状の分布で、モノマー単位(e221)および(e222)を含有する親水基
を有する、両親媒性非イオン性の水溶性または水分散性界面活性剤;ならびに
(E3)両親媒性非イオン性の水溶性または水分散性アルキルポリグルコシド界面活性剤
からなる群から選択される。
(E1)(e11)5〜20個の炭素原子を有する分枝のアルキル基からなる群から選択される少なくとも1つの疎水基、および
(e12)オキシエチレンモノマー単位からなる少なくとも1つの親水基
を有する、両親媒性非イオン性の水溶性または水分散性界面活性剤である。
(A−i)は、「少なくとも1つのチオール(−SH)、チオエーテル(−SR1)、またはチオカルボニル(>C=S)基および少なくとも1つのアミノ(−NH2、−NHR2、または−NR3R4)基(式中、R1、R2、R3およびR4は(互いに独立して)アルキル、アリール、アルキルアリールまたはアリールアルキルである)を含む化合物」を表す;
(A−ii)は、「システイン、シスチン、グルタチオン、N−アセチルシステイン、またはその誘導体」を表す;
(B−i)は、「少なくとも4個のヒドロキシル(−OH)基を含有し、いかなるカルボン酸(−COOH)またはカルボキシレート(−COO−)基も含まない飽和した糖アルコール」を表す;
(B−ii)は、「エリスリトール、トレイトール、アラビトール、キシリトール、リビトール、マンニトール、ソルビトール、ガラクチトール、イジトール、イソマルト、マルチトール、ラクチトール、イノシトールもしくはその立体異性体、またはこれらの混合物」を表す;
(D−i)は、「プロパン−1,2,3−トリカルボン酸、クエン酸、ブタン−1,2,3,4−テトラカルボン酸、ペンタン−1,2,3,4,5−ペンタカルボン酸、トリメリト酸、トリメシン酸、ピロメリト酸、メリト酸およびオリゴマー性またはポリマー性ポリカルボン酸からなる群から選択される金属キレート剤」を表す。
(L−i)は、「(i)および(ii)を含有するコポリマーである、オリゴマー性またはポリマー性ポリカルボン酸:
(i)アクリル酸モノマー単位、および
(ii)フマル酸、マレイン酸、イタコン酸、アコニット酸、メサコン酸、シトラコン酸、メチレンマロン酸または無水マレイン酸から誘導されるモノマー単位」を表す。
(A)(A−i)、
(B)(B−i)、および
(C)水性媒体
を含む。
(A)(A−i)、
(B)(B−ii)、および
(C)水性媒体
を含む。
(A)チオウレア、またはその誘導体、
(B)(B−i)、および
(C)水性媒体
を含む。
(A)(A−ii)、
(B)(B−i)、および
(C)水性媒体
を含む。
(A)(A−ii)、
(B)(B−i)、および
(C)水性媒体
を含み、組成物(Q)は、4〜8のpH値を有する。
(A)(A−ii)、
(B)(B−ii)、および
(C)水性媒体
を含む。
(A)(A−ii)、
(B)(B−i)、
(C)水性媒体、および
(D)(D−i)
を含む。
(A)(A−i)、
(B)(B−i)、
(C)水性媒体、および
(D)(D−i)
を含む。
(A)(A−ii)、
(B)(B−i)、
(C)水性媒体、および
(D)クエン酸
を含む。
(A)(A−ii)、
(B)(B−i)、
(C)水性媒体、および
(D)アクリル酸モノマー単位を含有するオリゴマー性またはポリマー性ポリカルボン酸
を含む。
(A)(A−ii)、
(B)(B−i)、
(C)水性媒体、および
(D)マレイン酸/アクリル酸コポリマー
を含む。
(A)(A−ii)、
(B)(B−ii)、
(C)水性媒体、および
(D)(D−i)
を含む。
(A)(A−i)、
(B)(B−i)、
(C)水性媒体、
(D)金属キレート剤、および
(E)界面活性剤
を含む。
(A)(A−i)、
(B)(B−i)、
(C)水性媒体、
(D)金属キレート剤、および
(E)水溶性または水分散性の両親媒性非イオン性界面活性剤
を含む。
(A)(A−ii)、
(B)(B−i)、
(C)水性媒体、
(D)金属キレート剤としての、少なくとも3つのカルボン酸(−COOH)またはカルボキシレート(−COO−)基を含む化合物、および
(E)界面活性剤
を含み、この組成物(Q)は4〜8のpH値を有する。
(A)(A−ii)、
(B)(B−i)、
(C)水性媒体、
(D)金属キレート剤、および
(E)界面活性剤
を含み、(A)、(B)、(D)の量は、(互いに独立して)、組成物(Q)の総質量に対して、それぞれ、0.001質量%〜0.5質量%の範囲であり、(E)の量は、組成物(Q)の総質量に対して、0.005質量%〜2質量%の範囲である。
(A)(A−i)、
(L)アクリル酸モノマー単位を含有する、オリゴマー性またはポリマー性ポリカルボン酸、および
(C)水性媒体
を含む。
(A)(A−i)、
(L)少なくとも20個のカルボン酸基を有するオリゴマー性またはポリマー性ポリカルボン酸、および
(C)水性媒体
を含む。
(A)(A−i)、
(L)(L−i)、および
(C)水性媒体
を含む。
(A)(A−i)、
(L)マレイン酸/アクリル酸コポリマーである、オリゴマー性またはポリマー性ポリカルボン酸、および
(C)水性媒体
を含む。
(A)チオウレアまたはその誘導体、
(L)アクリル酸モノマー単位を含有するオリゴマー性またはポリマー性ポリカルボン酸、および
(C)水性媒体
を含む。
(A)(A−ii)、
(L)アクリル酸モノマー単位を含有するオリゴマー性またはポリマー性ポリカルボン酸、および
(C)水性媒体
を含む。
(A)(A−ii)、
(L)少なくとも20個のカルボン酸基を有するオリゴマー性またはポリマー性ポリカルボン酸、および
(C)水性媒体
を含む。
(A)(A−ii)、
(L)(L−i)、および
(C)水性媒体
を含む。
(A)(A−ii)、
(L)マレイン酸/アクリル酸コポリマー、および
(C)水性媒体
を含む。
(A)(A−i)、
(L)アクリル酸モノマー単位を含有するオリゴマー性またはポリマー性ポリカルボン酸、
(C)水性媒体、および
(E)両親媒性の非イオン性界面活性剤
を含む。
(A)(A−ii)、
(L)アクリル酸モノマー単位を含有するオリゴマー性またはポリマー性ポリカルボン酸、
(C)水性媒体、および
(E)両親媒性の非イオン性界面活性剤
を含む。
(A)(A−i)、
(L)(L−i)、
(C)水性媒体、および
(E)両親媒性の非イオン性界面活性剤
を含む。
(A)(A−ii)、
(L)(L−i)、
(C)水性媒体、および
(E)両親媒性の非イオン性界面活性剤
を含む。
(A)(A−i)、
(L)マレイン酸/アクリル酸コポリマー、
(C)水性媒体、および
(E)両親媒性の非イオン性界面活性剤
を含む。
(A)(A−ii)、
(L)マレイン酸/アクリル酸コポリマー、
(C)水性媒体、および
(E)両親媒性の非イオン性界面活性剤
を含む。
(A)(A−ii)、
(L)(L−i)、
(C)水性媒体、および
(E)水溶性または水分散性両親媒性の非イオン性界面活性剤
を含み、(A)および(L)の量は、(互いに独立して)、組成物(Q)の総質量に対して、それぞれ0.001質量%〜0.5質量%の範囲であり、(E)の量は、組成物(Q)の総質量に対して、0.005質量%〜2質量%の範囲である。
Ludox(登録商標)TM50は、H2O中50質量%懸濁液の形態のコロイド状シリカであり、Sigma−Aldrichから購入している。
処理済みおよび未処理の銅ウエハー表面上の脱イオン水(脱イオン水は以下「DIW」と呼ぶ)に対する接触角を求めた。いかなる処理もしていない電気化学的プレーティング銅のウエハー銅表面は、約80°のDIW接触角を有し、これは、銅表面上に有機の残留物吸着が存在したことを意味している。銅クーポンを、0.02質量%のHNO3中に35秒間浸し、DIWですすいで新しい表面を得た。新しい銅表面は、約50°のDIW接触角を有し、これは表面が相対的に親水性であることを示唆している。次いで、HNO3で前処理した銅クーポンを0.2質量%のベンゾトリアゾール溶液(ベンゾトリアゾールは以下「BTA」と呼ぶ)中に5分間浸し、DIWですすぎ、圧縮空気乾燥した。Cu−BTA表面は、約89°のDIW接触角を有し、これは表面が相対的に疎水性であったことを示唆している(すなわち、ノンウェッティング)。Cu−BTA表面を、表Aに列挙した様々な組成物中に5分間浸漬させ、DIWで15秒間すすぎ、続いて1分間圧縮空気乾燥し、その後DIWの接触角を直ちに求めた。比較のため同じ組成物で処理した新しい銅表面上でのDIWの接触角も求めた。試験した表面を以下の表Aにおいて要約する。
Cu表面上のBTA膜の洗浄効率をTafelプロット測定により評価した。新しいCuウエハークーポンを、天然のpH5.8を有する0.2%BTA溶液中に15分間浸し、DIWですすぎ、続いて圧縮空気乾燥した。Ag/AgCl基準電極に対して、作用電極として、BTA処理した銅クーポンを、測定用に様々な組成物中に浸した。比較のため新しい銅クーポンもまた、測定用に様々な組成物中に浸漬させた。異なる溶液中の基板の腐食電位および腐食電流を以下の表Bに要約する。
Cu基板上のBTA除去のための配合物の効率を評価した。ウエハークーポンを0.02質量%のHNO3で35秒間前処理し、DIWですすぎ、続いて圧縮空気乾燥した。次いで、クーポンを0.2質量%のBTA溶液中に5分間浸漬させ、続いてDIWですすぎ、圧縮空気乾燥した。その後、BTA処理した銅クーポンを様々な配合物中にpH6で5分間浸漬させ、DIWですすぎ、続いて圧縮空気乾燥した。BTA処理済みおよび未処理の試料を比較のために分析した。55°の角度でX線光電子分光法(XPS)を使用して分析を行った。表Cは、BTAおよび未処理の試料に対する、異なる組成物溶液中でのBTA除去結果を含む。
表Dに列挙した異なる配合物の相対的な洗浄性能を評価するために試験を行った。銅クーポンを0.02質量%のHNO3中に35秒浸漬させ、DIWですすぎ、続いて圧縮空気乾燥した。クーポンを0.2質量%のBTA中に5分間浸漬させ、DIWですすぎ、その後、Cu−BTA表面を、0.5質量%のLudox(登録商標)TM 50中にpH4で5分間浸した。その後、クーポンを洗浄組成物中に2分間浸し、続いてDIWですすぎ、風乾した。対照試料Zは、0.2質量%のBTA中に5分間浸漬させ、DIWですすいだクーポンであり、その後、このクーポンのCu−BTA表面を、0.5質量%のLudox(登録商標)TM 50中にpH4で5分間浸した。対照試料Zはいずれの洗浄処理の対象としなかった。SEM分析結果は図1に要約されている。
異なるpH条件で、様々な洗浄組成物の洗浄性能を評価するために試験を行った。これらの試験組成物を表Eに記述された通りに調製した。すべての組成物は、KOHまたはHNO3で希釈することによって調節した。以下の手順に従い電気化学的プレーティング銅ウエハーを使用して、調製した洗浄組成物を評価した。シリカ粒子、H2O2、BTAを含有するバリアスラリーでウエハーを研磨した。その後、研磨したウエハーを切断してクーポンにした。銅クーポンを洗浄組成物中に5分間浸漬させ、次いでDI水で15秒すすぎ、続いて1分間圧縮空気乾燥した。残存するシリカ研磨剤およびBTAパッシベーション層の証拠について、乾燥クーポンを走査型電子顕微鏡法(SEM)で評価した。比較のため、洗浄処理なしの研磨クーポンもSEMで評価した(対照試料Y)。結果を図2および3に示す。
Claims (41)
- (A)少なくとも1つのチオール(−SH)、チオエーテル(−SR1)またはチオカルボニル(>C=S)基(式中、R1は、アルキル、アリール、アルキルアリールまたはアリールアルキルである)を含む少なくとも1種の化合物、
(B)少なくとも3つのヒドロキシル(−OH)基を含有し、いかなるカルボン酸(−COOH)またはカルボキシレート(−COO−)基も含まない、少なくとも1種の糖アルコール、および
(C)水性媒体
を含む、ポスト化学機械研磨(ポストCMP)洗浄組成物。 - 化合物(A)が、少なくとも1つのチオール(−SH)、チオエーテル(−SR1)、またはチオカルボニル(>C=S)基および少なくとも1つのアミノ(−NH2、−NHR2、または−NR3R4)基(式中、R1、R2、R3およびR4は、(互いに独立して)アルキル、アリール、アルキルアリールまたはアリールアルキルである)を含む化合物である、請求項1に記載の組成物。
- 化合物(A)が、チオウレアまたはその誘導体である、請求項2に記載の組成物。
- 化合物(A)が、少なくとも1つのチオール(−SH)もしくはチオエーテル(−SR1)基を含むアミノ酸、またはこのアミノ酸の誘導体(式中、R1は、アルキル、アリール、アルキルアリールまたはアリールアルキルである)である、請求項2に記載の組成物。
- 化合物(A)が、システイン、シスチン、グルタチオン、N−アセチルシステイン、またはその誘導体である、請求項4に記載の組成物。
- 糖アルコール(B)が、少なくとも4つのヒドロキシル(−OH)基を含有する、請求項1から5のいずれか一項に記載の組成物。
- 糖アルコール(B)が、飽和した糖アルコールである、請求項1から5のいずれか一項に記載の組成物。
- 糖アルコール(B)が、少なくとも4つのヒドロキシル(−OH)基を含有する飽和した糖アルコールである、請求項1から5のいずれか一項に記載の組成物。
- 糖アルコール(B)が、
(B1)テトリトール、ペンチトール、ヘキシトール、ヘプチトール、およびオクチトール、もしくはそのダイマーもしくはオリゴマーからなる群から選択されるアルジトール、または
(B2)シクリトール、もしくはそのダイマーもしくはオリゴマー、または
(B3)ペンタエリトリトール、もしくはそのダイマーもしくはオリゴマー、
またはこれらの混合物
からなる群から選択される、請求項1から5のいずれか一項に記載の組成物。 - 糖アルコール(B)が、エリスリトール、トレイトール、アラビトール、キシリトール、リビトール、マンニトール、ソルビトール、ガラクチトール、イジトール、イソマルト、マルチトール、ラクチトール、もしくはその立体異性体、またはこれらの混合物である、請求項1から5のいずれか一項に記載の組成物。
- 糖アルコール(B)が、エリスリトール、トレイトール、もしくはその立体異性体、またはこれらの混合物である、請求項1から5のいずれか一項に記載の組成物。
- 少なくとも1種の金属キレート剤(D)をさらに含む、請求項1から11のいずれか一項に記載の組成物。
- プロパン−1,2,3−トリカルボン酸、クエン酸、ブタン−1,2,3,4−テトラカルボン酸、ペンタン−1,2,3,4,5−ペンタカルボン酸、トリメリト酸、トリメシン酸、ピロメリト酸、メリト酸ならびにオリゴマー性およびポリマー性ポリカルボン酸からなる群から選択される少なくとも1種の金属キレート剤(D)をさらに含む、請求項1から11のいずれか一項に記載の組成物。
- 少なくとも1種の界面活性剤(E)をさらに含む、請求項1から13のいずれか一項に記載の組成物。
- (E1)(e11)5〜20個の炭素原子を有する分枝のアルキル基からなる群から選択される少なくとも1つの疎水基、および
(e12)オキシエチレンモノマー単位からなる少なくとも1つの親水基
を有する、両親媒性非イオン性の水溶性または水分散性界面活性剤;
(E2)(e21)5〜20個の炭素原子を有する分枝のアルキル基からなる群から選択される少なくとも1つの疎水基、ならびに
(e22)(e221)オキシエチレンモノマー単位、および
(e222)少なくとも1種類の置換オキシアルキレンモノマー単位(この置換基は、アルキル、シクロアルキル、アリール、アルキル−シクロアルキル、アルキル−アリール、シクロアルキル−アリールおよびアルキル−シクロアルキル−アリール基からなる群から選択される)
を含むポリオキシアルキレン基からなる群から選択される少なくとも1つの親水基であって、
(e22)の前記ポリオキシアルキレン基が、ランダム、交互、勾配および/またはブロック状の分布でモノマー単位(e221)および(e222)を含有する親水基
を有する、両親媒性非イオン性の水溶性または水分散性界面活性剤;ならびに
(E3)両親媒性非イオン性の水溶性または水分散性アルキルポリグルコシド界面活性剤
からなる群から選択される少なくとも1種の界面活性剤(E)をさらに含む、請求項1から13のいずれか一項に記載の組成物。 - マイクロエレクトロニクスデバイスを製造するのに有用な半導体基板の表面から残留物および汚染物質を除去するための、請求項1から15のいずれか一項に記載のポストCMP洗浄組成物の使用。
- ポストCMP洗浄組成物が、4〜8の範囲のpH値を有する、請求項16に記載の使用。
- 残留物および汚染物質が、ベンゾトリアゾールまたはその誘導体を含み、表面が銅含有表面である、請求項16に記載の使用。
- 化学機械研磨後、洗浄組成物が、
−銅を含有する、または銅からなる導電層、
−低kまたは超低k誘電体材料からなる電気絶縁性誘電層、および
−タンタル、窒化タンタル、窒化チタン、コバルト、ニッケル、マンガン、ルテニウム、窒化ルテニウム、炭化ルテニウム、または窒化ルテニウムタングステンを含有する、またはこれらからなるバリア層
を含む半導体基板の表面から、残留物および汚染物質を除去するために使用される、請求項16に記載の使用。 - 半導体基板を、請求項1から15のいずれか一項に記載のポストCMP洗浄組成物と少なくとも1回接触させることにより、半導体基板の表面から残留物および汚染物質を除去する工程を含む、半導体基板からマイクロエレクトロニクスデバイスを製造するための方法。
- 洗浄組成物が、4〜8の範囲のpH値を有する、請求項20に記載の方法。
- 残留物および汚染物質がベンゾトリアゾールまたはその誘導体を含み、表面が銅含有表面である、請求項20に記載の方法。
- 半導体基板が、
−銅を含有する、または銅からなる導電層、
−低kまたは超低k誘電体材料からなる電気絶縁性誘電層、および
−タンタル、窒化タンタル、窒化チタン、コバルト、ニッケル、マンガン、ルテニウム、窒化ルテニウム、炭化ルテニウム、または窒化ルテニウムタングステンを含有する、またはこれらからなるバリア層
を含む、請求項20に記載の方法。 - (A)少なくとも1つのチオール(−SH)、チオエーテル(−SR1)またはチオカルボニル(>C=S)基、(式中、R1は、アルキル、アリール、アルキルアリールまたはアリールアルキルである)を含む少なくとも1種の化合物、
(L)少なくとも1種のオリゴマー性またはポリマー性ポリカルボン酸、および
(C)水性媒体
を含む、ポスト化学機械研磨(ポストCMP)洗浄組成物。 - 化合物(A)が、少なくとも1つのチオール(−SH)、チオエーテル(−SR1)、またはチオカルボニル(>C=S)基および少なくとも1つのアミノ(−NH2、−NHR2、または−NR3R4)基(式中、R1、R2、R3およびR4は、(互いに独立して)、アルキル、アリール、アルキルアリールまたはアリールアルキルである)を含む化合物である、請求項24に記載の組成物。
- 化合物(A)が、チオウレアまたはその誘導体である、請求項25に記載の組成物。
- 化合物(A)が、少なくとも1つのチオール(−SH)またはチオエーテル(−SR1)基を含むアミノ酸、またはこのアミノ酸の誘導体(式中、R1は、アルキル、アリール、アルキルアリールまたはアリールアルキルである)である、請求項25に記載の組成物。
- 化合物(A)が、システイン、シスチン、グルタチオン、N−アセチルシステイン、またはその誘導体である、請求項27に記載の組成物。
- (L)が、アクリル酸モノマー単位を含有するオリゴマー性またはポリマー性ポリカルボン酸である、請求項24から28のいずれか一項に記載の組成物。
- (L)が、少なくとも20個のカルボン酸基を有する、オリゴマー性またはポリマー性ポリカルボン酸である、請求項24から28のいずれか一項に記載の組成物。
- オリゴマー性またはポリマー性ポリカルボン酸(L)の質量平均分子量が、ゲル浸透クロマトグラフィーで求めた場合、2,000ダルトン超である、請求項24から28のいずれか一項に記載の組成物。
- (L)が、
(i)アクリル酸モノマー単位、および
(ii)フマル酸、マレイン酸、イタコン酸、アコニット酸、メサコン酸、シトラコン酸、メチレンマロン酸または無水マレイン酸から誘導されるモノマー単位
を含有するコポリマーであるオリゴマー性またはポリマー性ポリカルボン酸である、請求項24から28のいずれか一項に記載の組成物。 - (L)が、マレイン酸/アクリル酸コポリマーである、オリゴマー性またはポリマー性ポリカルボン酸である、請求項24から28のいずれか一項に記載の組成物。
- 少なくとも1種の界面活性剤(E)をさらに含む、請求項24から33のいずれか一項に記載の組成物。
- (E1)(e11)5〜20個の炭素原子を有する分枝のアルキル基からなる群から選択される少なくとも1つの疎水基、および
(e12)オキシエチレンモノマー単位からなる少なくとも1つの親水基
を有する両親媒性非イオン性の水溶性または水分散性界面活性剤;
(E2)(e21)5〜20個の炭素原子を有する分枝のアルキル基からなる群から選択される少なくとも1つの疎水基、ならびに
(e22)(e221)オキシエチレンモノマー単位、および
(e222)少なくとも1種類の置換オキシアルキレンモノマー単位(この置換基は、アルキル、シクロアルキル、アリール、アルキル−シクロアルキル、アルキル−アリール、シクロアルキル−アリールおよびアルキル−シクロアルキル−アリール基からなる群から選択される)
を含むポリオキシアルキレン基からなる群から選択される少なくとも1つの親水基であって、
(e22)の前記ポリオキシアルキレン基が、ランダム、交互、勾配および/またはブロック状の分布でモノマー単位(e221)および(e222)を含有する親水基
を有する、両親媒性非イオン性の水溶性または水分散性界面活性剤;ならびに
(E3)両親媒性非イオン性の水溶性または水分散性アルキルポリグルコシド界面活性剤
からなる群から選択される少なくとも1種の界面活性剤(E)をさらに含む、請求項24から33のいずれか一項に記載の組成物。 - マイクロエレクトロニクスデバイスを製造するのに有用な半導体基板の表面から残留物および汚染物質を除去するための、請求項24から35のいずれか一項に記載のポストCMP洗浄組成物の使用。
- 残留物および汚染物質が、ベンゾトリアゾールまたはその誘導体を含み、表面が銅含有表面である、請求項36に記載の使用。
- 化学機械研磨後に、洗浄組成物が、
−銅を含有する、または銅からなる導電層、
−低kまたは超低k誘電体材料からなる電気絶縁性誘電層、および
−タンタル、窒化タンタル、窒化チタン、コバルト、ニッケル、マンガン、ルテニウム、窒化ルテニウム、炭化ルテニウム、または窒化ルテニウムタングステンを含有する、またはこれらからなるバリア層
を含む半導体基板の表面から残留物および汚染物質を除去するために使用される、請求項36に記載の使用。 - 半導体基板を、請求項24から35のいずれか一項に記載のポストCMP洗浄組成物に少なくとも1回接触させることにより、半導体基板の表面から残留物および汚染物質を除去する工程を含む、半導体基板からマイクロエレクトロニクスデバイスを製造するための方法。
- 残留物および汚染物質が、ベンゾトリアゾールまたはその誘導体を含み、表面が銅含有表面である、請求項39に記載の方法。
- 半導体基板が、
−銅を含有する、または銅からなる導電層、
−低kまたは超低k誘電体材料からなる電気絶縁性誘電層、および
−タンタル、窒化タンタル、窒化チタン、コバルト、ニッケル、マンガン、ルテニウム、窒化ルテニウム、炭化ルテニウム、または窒化ルテニウムタングステンを含有するまたはこれらからなるバリア層
を含む、請求項39に記載の方法。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019502802A (ja) * | 2015-12-22 | 2019-01-31 | ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピアBasf Se | 化学機械研磨後の洗浄組成物 |
JP2020502784A (ja) * | 2016-12-14 | 2020-01-23 | キャボット マイクロエレクトロニクス コーポレイション | 化学機械平坦化基板から残留物を除去するための組成物及び方法 |
KR20200058428A (ko) | 2017-10-10 | 2020-05-27 | 미쯔비시 케미컬 주식회사 | 세정액, 세정 방법 및 반도체 웨이퍼의 제조 방법 |
JP2021019173A (ja) * | 2019-07-24 | 2021-02-15 | Jsr株式会社 | 洗浄用組成物及びその製造方法 |
JP2021505720A (ja) * | 2017-12-04 | 2021-02-18 | インテグリス・インコーポレーテッド | 研磨粒子と洗浄ブラシとの間の相互作用を低減するための組成物および方法 |
JP7467188B2 (ja) | 2020-03-24 | 2024-04-15 | キオクシア株式会社 | Cmp方法及びcmp用洗浄剤 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10926201B2 (en) * | 2012-02-12 | 2021-02-23 | Ide Technologies Ltd. | Integrated unit for intake and pretreatment with local backwashing |
KR20210090294A (ko) * | 2017-01-18 | 2021-07-19 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 표면으로부터 세리아 입자를 제거하기 위한 조성물 및 방법 |
KR20220061628A (ko) * | 2020-11-06 | 2022-05-13 | 주식회사 케이씨텍 | 연마 입자 용해용 조성물 및 이를 이용한 세정 방법 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005093031A1 (en) * | 2004-03-05 | 2005-10-06 | L'air Liquide-Societe Anonyme A Directoire Et Conseil De Surveillance Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Improved acidic chemistry for post-cmp cleaning |
JP2009194049A (ja) * | 2008-02-13 | 2009-08-27 | Sanyo Chem Ind Ltd | 銅配線半導体用洗浄剤 |
Family Cites Families (28)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
MY113225A (en) * | 1989-10-26 | 2001-12-31 | Momentive Performance Mat Jp | Vapor drying with polyorganosiloxane |
JP2003013266A (ja) * | 2001-06-28 | 2003-01-15 | Wako Pure Chem Ind Ltd | 基板洗浄剤 |
JP4221191B2 (ja) | 2002-05-16 | 2009-02-12 | 関東化学株式会社 | Cmp後洗浄液組成物 |
WO2004100245A1 (en) * | 2003-05-02 | 2004-11-18 | Ekc Technology, Inc. | Removal of post-etch residues in semiconductor processing |
US7922823B2 (en) | 2005-01-27 | 2011-04-12 | Advanced Technology Materials, Inc. | Compositions for processing of semiconductor substrates |
KR101088568B1 (ko) * | 2005-04-19 | 2011-12-05 | 아반토르 퍼포먼스 머티리얼스, 인크. | 갈바닉 부식을 억제하는 비수성 포토레지스트 스트립퍼 |
JP4667147B2 (ja) * | 2005-07-15 | 2011-04-06 | 株式会社トクヤマ | 基板洗浄液 |
TW200734448A (en) | 2006-02-03 | 2007-09-16 | Advanced Tech Materials | Low pH post-CMP residue removal composition and method of use |
JP4732948B2 (ja) | 2006-05-01 | 2011-07-27 | 株式会社エヌ・ティ・ティ・ドコモ | 送信装置および受信装置並びにランダムアクセス制御方法 |
CN101130876B (zh) * | 2006-08-25 | 2012-02-29 | 安集微电子(上海)有限公司 | 用于半导体制程中的金属防腐蚀清洗液 |
US20080139436A1 (en) * | 2006-09-18 | 2008-06-12 | Chris Reid | Two step cleaning process to remove resist, etch residue, and copper oxide from substrates having copper and low-K dielectric material |
WO2009032460A1 (en) * | 2007-08-02 | 2009-03-12 | Advanced Technology Materials, Inc. | Non-fluoride containing composition for the removal of residue from a microelectronic device |
JP2009071165A (ja) * | 2007-09-14 | 2009-04-02 | Mitsubishi Chemicals Corp | 半導体デバイス用基板洗浄液 |
JP2009099945A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-05-07 | Fujifilm Corp | 半導体デバイス用洗浄剤及びそれを用いた洗浄方法 |
WO2009058274A1 (en) * | 2007-10-29 | 2009-05-07 | Ekc Technology, Inc. | Chemical mechanical polishing and wafer cleaning composition comprising amidoxime compounds and associated method for use |
TW200936750A (en) * | 2007-10-29 | 2009-09-01 | Ekc Technology Inc | Amidoxime compounds as chelating agents in semiconductor processes |
WO2009076201A1 (en) * | 2007-12-07 | 2009-06-18 | Fontana Technology | Method and composition for cleaning wafers |
JP5412661B2 (ja) * | 2008-03-28 | 2014-02-12 | 富士フイルム株式会社 | 半導体デバイス用洗浄剤及びそれを用いた半導体デバイスの洗浄方法 |
JP5561914B2 (ja) * | 2008-05-16 | 2014-07-30 | 関東化学株式会社 | 半導体基板洗浄液組成物 |
US20090291873A1 (en) | 2008-05-22 | 2009-11-26 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method and Composition for Post-CMP Cleaning of Copper Interconnects Comprising Noble Metal Barrier Layers |
CN101685272A (zh) | 2008-09-26 | 2010-03-31 | 安集微电子(上海)有限公司 | 一种光刻胶清洗剂 |
CN102197124B (zh) | 2008-10-21 | 2013-12-18 | 高级技术材料公司 | 铜清洁及保护调配物 |
JP2010153790A (ja) * | 2008-11-21 | 2010-07-08 | Jsr Corp | 化学機械研磨用水系分散体およびそれを用いた化学機械研磨方法、ならびに化学機械研磨用水系分散体の製造方法 |
WO2011000694A1 (en) | 2009-06-30 | 2011-01-06 | Basf Se | Aqueous alkaline cleaning compositions and methods of their use |
US8969275B2 (en) | 2009-06-30 | 2015-03-03 | Basf Se | Aqueous alkaline cleaning compositions and methods of their use |
US8765653B2 (en) | 2009-07-07 | 2014-07-01 | Air Products And Chemicals, Inc. | Formulations and method for post-CMP cleaning |
US8101561B2 (en) * | 2009-11-17 | 2012-01-24 | Wai Mun Lee | Composition and method for treating semiconductor substrate surface |
US8894774B2 (en) * | 2011-04-27 | 2014-11-25 | Intermolecular, Inc. | Composition and method to remove excess material during manufacturing of semiconductor devices |
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-
2017
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005093031A1 (en) * | 2004-03-05 | 2005-10-06 | L'air Liquide-Societe Anonyme A Directoire Et Conseil De Surveillance Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Improved acidic chemistry for post-cmp cleaning |
JP2007526647A (ja) * | 2004-03-05 | 2007-09-13 | レール・リキード−ソシエテ・アノニム・ア・ディレクトワール・エ・コンセイユ・ドゥ・スールベイランス・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード | Cmp後洗浄用の改善された酸性化学剤 |
JP2009194049A (ja) * | 2008-02-13 | 2009-08-27 | Sanyo Chem Ind Ltd | 銅配線半導体用洗浄剤 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019502802A (ja) * | 2015-12-22 | 2019-01-31 | ビーエーエスエフ ソシエタス・ヨーロピアBasf Se | 化学機械研磨後の洗浄組成物 |
JP2020502784A (ja) * | 2016-12-14 | 2020-01-23 | キャボット マイクロエレクトロニクス コーポレイション | 化学機械平坦化基板から残留物を除去するための組成物及び方法 |
JP7210444B2 (ja) | 2016-12-14 | 2023-01-23 | シーエムシー マテリアルズ,インコーポレイティド | 化学機械平坦化基板から残留物を除去するための組成物及び方法 |
KR20200058428A (ko) | 2017-10-10 | 2020-05-27 | 미쯔비시 케미컬 주식회사 | 세정액, 세정 방법 및 반도체 웨이퍼의 제조 방법 |
US11149231B2 (en) | 2017-10-10 | 2021-10-19 | Mitsubishi Chemical Corporation | Cleaning liquid, cleaning method, and method for producing semiconductor wafer |
JP2021505720A (ja) * | 2017-12-04 | 2021-02-18 | インテグリス・インコーポレーテッド | 研磨粒子と洗浄ブラシとの間の相互作用を低減するための組成物および方法 |
JP7108032B2 (ja) | 2017-12-04 | 2022-07-27 | インテグリス・インコーポレーテッド | 研磨粒子と洗浄ブラシとの間の相互作用を低減するための組成物および方法 |
JP2021019173A (ja) * | 2019-07-24 | 2021-02-15 | Jsr株式会社 | 洗浄用組成物及びその製造方法 |
JP7211298B2 (ja) | 2019-07-24 | 2023-01-24 | Jsr株式会社 | 洗浄用組成物及びその製造方法 |
JP7467188B2 (ja) | 2020-03-24 | 2024-04-15 | キオクシア株式会社 | Cmp方法及びcmp用洗浄剤 |
US11986920B2 (en) | 2020-03-24 | 2024-05-21 | Kioxia Corporation | Polishing method, polishing agent and cleaning agent for polishing |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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