JP2015500990A - 走査型プローブ顕微鏡制御方法及び走査型プローブ顕微鏡装置 - Google Patents
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Abstract
Description
上部降下機構では、カンチレバー又はカンチレバー構築体が、圧電素子に直接接続されている。試料又は試料ホルダは移動しない。底部上昇機構では、試料又は試料ホルダが、圧電素子に直接接続されている。カンチレバー構築体は静止したままである。或いは、カンチレバーを追加の圧電素子により水平方向に移動させつつ(上部側方)、試料を圧電素子により垂直方向に移動させてもよい(底部上昇)。又は、更に別の構成では、試料を更なる圧電素子により水平方向に移動させつつ(底部側方)、カンチレバーを圧電素子により垂直方向に移動させてもよい(上部降下)。
力曲線を記録するために、ナノスキャナは、カンチレバーが屈曲して試料に所与の力が達成されるまで伸長する(カンチレバーが試料に向かって動く)。これにより、「トレース」曲線が生成される。続いて、ナノスキャナは、ある距離だけ収縮して、「再トレース」曲線を生成した後、次の圧入スポットに移動する。
圧電素子は完全に伸長しているが、試料表面が依然としてより下方にある場合、カンチレバーは接触を喪失することになる。逆に、圧電素子は既に完全に収縮しているが、試料表面が依然としてより上方にある場合、カンチレバーの力は、所与の力最大値を超えて増加することになる。その後、カンチレバー先端は、試料表面に文字通り押し付けられる。いずれの場合でも、上述したような一定の先端−試料力は、維持されない。底部上昇機構の場合は、方向が逆になる。
先端が試料に向かって移動する第1の方向(Z軸)に沿ったナノスキャナの伸縮をモニタする工程、及び
ナノスキャナが閾値を下回る又は閾値を超える伸縮を示した場合に、追加アクチュエータによりプローブのレベルを第1の方向に沿って調節する工程を含む走査型プローブ顕微鏡制御方法が提供される。
少なくとも1μmの分解能とは、顕微鏡が、離れている距離が1μm以下である2点を区別することができることを意味する。また、少なくとも1μmの分解能は、より高い分解能を包含する。1μmよりも高い分解能は、顕微鏡が、1μm未満の距離を有する2点を区別することができることを意味する。1μmよりも高い分解能の例は、0.5μm、0.1μm、10nm、及び1nmである。
第2の方向と、試料表面に対するその表面のある地点における垂線との間の現在角度をモニタし、プローブが、第2の方向に沿ってその地点に向かって移動している工程、及び
現在角度が、所定の望ましい角度に接近するように、追加アクチュエータ及び少なくとも第2の追加アクチュエータを制御し、特に所定の望ましい角度がゼロである工程を更に含む。
ある方向と、ある地点における試料表面に対する垂線との間の現在角度をモニタし、プローブが、その方向に沿ってその地点に向かって移動している工程、及び
現在角度が、所定の望ましい角度に接近するように、第1の追加アクチュエータ及び少なくとも第2の追加アクチュエータを制御し、特に所定の望ましい角度がゼロである工程を含む走査型プローブ顕微鏡制御方法が提供される。
試料と相互作用するための先端を有し、先端が第1の方向に沿って試料に向かって移動するように構成されているプローブ、
試料又はプローブを保持するためのナノスキャナを備える走査型プローブ顕微鏡装置であって、
上述のような第1の方向に沿ったナノスキャナの伸長をモニタするための手段、第1の方向に沿ってプローブレベルを調節するためのアクチュエータ、及びアクチュエータを制御するためのコントローラを備え、コントローラが、ナノスキャナが規定可能な閾値を下回るか又は超える伸長を示した際に、アクチュエータを制御してプローブレベルを調節するように構成されていることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡装置が提供される。
圧電が、閾値16にて全伸長範囲の80%又は最後の2μmを超えて伸長すると、コントローラ31は、モータ3を再始動させることになるが、今度は、下方に移動して、至適圧電作動距離13を回復させることになる(図3)。全伸張範囲が15μmの圧電素子1を使用する場合、典型的には、カンチレバー2を、例えば3μmだけ下降又は上昇させる。ユーザは、所与の組み合わせのAFM及びモータ3にあわせて、この値を調節することができる。
この場合、垂線Nは、移動方向R2と垂線Nとが本質的に平行になるまで、プローブ2の移動方向R2に接近する。第1のアクチュエータ3、第2のアクチュエータ32、及び第3のアクチュエータ33の伸長又は収縮、並びに角度αのモニタリングは、アクチュエータ制御ユニット34で操作する。そのような補正された至適な望ましい角度で測定したAFMの結果は、図6に示されている。
カンチレバーの実質的な側方の反りは、フォトダイオード24に反映したレーザ光線の変化により観察することができる。したがって、移動方向R2に沿って実質的に垂直に接近している間に、カンチレバー2が側方の反りを示す場合、角度αを調節する必要がある。加えて、記録された垂直圧入力曲線の形状に応じて、角度αが至適であるか否かを検出することが可能である。
1 圧電素子
11 最大収縮
12 最大伸長
13 至適動作範囲
14 非至適動作範囲
15 カンチレバー上昇閾値
16 カンチレバー降下閾値
2 カンチレバー
21 カンチレバー先端
22 レーザ
23 鏡
24 フォトダイオード
25 カンチレバーホルダ
3 モータ
31 コントローラ
32 第2のモータ(第2の追加アクチュエータ)
33 第3のモータ(第3の追加アクチュエータ)
34 アクチュエータ制御ユニット
4 試料
41 試料ホルダ
51 第2の方向に沿った軸
52 垂線に沿った軸
53 試料表面の地点(51と53との交点)
R 第1の方向
R2 第2の方向
N 垂線
α 51と53との角度
Claims (18)
- 試料(4)と相互作用する先端(21)を有するプローブ(2)と、前記試料(4)又は前記プローブ(2)を保持するナノスキャナ(1)とを備えた走査型プローブ顕微鏡を制御する走査型プローブ顕微鏡制御方法であって、
前記先端(21)が前記試料(4)に向かって移動する第1の方向(R)に沿った前記ナノスキャナ(1)の伸長をモニタする工程と、
モニタされた前記ナノスキャナ(1)の示す伸長が閾値より小なるとき、又は、閾値より大なるとき、追加アクチュエータ(3)によって前記プローブ(2)のレベルを前記第1の方向(R)に沿って調節する工程と、
を備えたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡制御方法。 - 前記ナノスキャナ(1)は圧電素子であることを特徴とする請求項1に記載の走査型プローブ顕微鏡制御方法。
- 前記プローブ(2)はカンチレバーであることを特徴とする請求項1又は2に記載の走査型プローブ顕微鏡制御方法。
- 前記レベルの調節は、前記プローブ(2)の降下又は上昇、又は、前記試料(4)の降下又は上昇によってなされることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の走査型プローブ顕微鏡制御方法。
- 前記ナノスキャナ(1)が、その最大伸長の20%未満の又は80%を超える伸長を示すとき、前記レベルが調節されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の走査型プローブ顕微鏡制御方法。
- 前記プローブ(2)又は前記試料(4)を、前記ナノスキャナ(1)の最大伸長の10−30%だけ降下又は上昇させることによって前記レベルが調節されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の走査型プローブ顕微鏡制御方法。
- 前記ナノスキャナ(1)が、当該ナノスキャナ(1)の最大伸長の分よりも50nm、100nm、200nm、500nm、700nm、1μm、又は2μmだけ小さい伸長を示す、又は、当該ナノスキャナ(1)の最大収縮の分よりも50nm、100nm、200nm、500nm、700nm、1μm、又は2μmだけ小さい収縮を示すときはいつでも、前記レベルが調節される
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の走査型プローブ顕微鏡制御方法。 - 前記プローブ(2)又は前記試料(4)を50nm−3μmの範囲の距離だけ降下又は上昇させることによって、前記レベルが調節されることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の走査型プローブ顕微鏡制御方法。
- 第2の方向(R2)に沿って前記試料(4)の表面上の点(53)に向かって前記プローブ(2)が移動するとき、前記第2の方向(R2)と、前記試料(4)の表面に対する前記点(53)における法線(N)とがなす現在角度(α)をモニタする工程と、
前記現在角度(α)が、特にゼロに予め定められた所望の角度に接近するべく、前記追加アクチュエータ(3)及び少なくとも第2の追加アクチュエータを制御する工程と、
を更に備えたことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載の走査型プローブ顕微鏡制御方法。 - 前記追加アクチュエータ(3)、前記第2の追加アクチュエータ(32)、及び第3の追加アクチュエータ(33)は、前記現在角度(α)が前記予め定められた所望の角度に接近するように制御されることを特徴とする請求項9に記載の走査型プローブ顕微鏡制御方法。
- 試料(4)と相互作用する先端(21)を有し、当該先端(21)が第1の方向(R)に沿って前記試料(4)に向かって移動するプローブ(2)と、
前記試料(4)又は前記プローブ(2)を保持するナノスキャナ(1)と、
前記第1の方向(R)に沿った前記圧電素子の伸長をモニタするための手段と、
前記第1の方向(R)に沿った前記プローブ(2)のレベルを調節するアクチュエータ(3)と、
当該アクチュエータ(3)を制御するコントローラ(31)であって、前記ナノスキャナ(1)の示す伸長が閾値より小なるとき、又は、閾値より大なるとき、前記アクチュエータ(3)を制御して前記プローブ(2)のレベルを調節するコントローラ(31)と、
を備えたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡装置。 - 前記ナノスキャナ(1)は圧電素子であることを特徴とする請求項11に記載の走査型プローブ顕微鏡装置。
- 前記プローブ(2)はカンチレバー(2)であることを特徴とする請求項11又は12に記載の走査型プローブ顕微鏡装置。
- 前記ナノスキャナ(1)は、前記第1の方向(R)に対して直交するように延在する第2の方向に移動可能であることを特徴とする請求項11乃至13のいずれか一項に記載の走査型プローブ顕微鏡装置。
- 前記試料(4)を保持するための試料ホルダ(41)を更に備えたことを特徴とする請求項11乃至14のいずれか一項に記載の走査型プローブ顕微鏡装置。
- 少なくとも第2の追加アクチュエータ(32)を更に備え、
前記追加アクチュエータ(3)及び前記第2の追加アクチュエータ(32)は、第2の方向(R2)と、前記試料(4)の表面に対する当該表面上の点(53)における法線(N)とがなす現在角度(α)を調節し、前記プローブ(2)は、前記第2の方向(R2)に沿って前記点(53)に向かって移動する
ことを特徴とする請求項11乃至15のいずれか一項に記載の走査型プローブ顕微鏡装置。 - 第3の追加アクチュエータ(33)を更に備え、
特に、前記追加アクチュエータ(3)、前記第2の追加アクチュエータ(32)、及び前記第3のアクチュエータ(33)は、前記第2の方向(R2)と前記法線(N)とがなす前記現在角度(α)を調節する
ことを特徴とする請求項16に記載の走査型プローブ顕微鏡装置。 - 前記現在角度(α)が、特にゼロである所望の角度に接近するように、前記追加アクチュエータ(3)、前記第2の追加アクチュエータ(32)、及び特に前記第3の追加アクチュエータ(33)を制御するアクチュエータ制御ユニット(34)を更に備えたことを特徴とする請求項16又は17に記載の走査型プローブ顕微鏡装置。
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