JP6194863B2 - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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原子間力顕微鏡(AFM)101は、ベース部10と、ベース部10の上方に柱121、122、123、124を介して固定されたヘッド部30と、光源部41と検出器42と備える変位測定部40と、原子間力顕微鏡101全体を制御するコンピュータ150とを備える。
ヘッド部30は、略四角筒形状の筐体部31と、カンチレバー32を支持するカンチレバーホルダ33と、カンチレバーホルダ33をXYZ方向に移動させるピエゾスキャナ(微動機構)34とを備える。
「コンタクトモード」は、CPU151がカンチレバー32と試料Sとの間に働く斥力が一定となるようにフィードバック制御を行いながら試料S表面を走査し、フィードバック量から高さを測定するモードである。そして、「ノンコンタクトモード」は、共振点付近で振動しているカンチレバー32と試料Sとの間に働く引力が一定となるようにフィードバック制御を行いながら試料S表面を走査し、フィードバック量から高さを測定するモードである。さらに、「ダイナミックモード」は、共振点付近で振動しているカンチレバー32と試料Sとの間に働く斥力が一定となるようにフィードバック制御を行いながら試料Sの表面を走査し、フィードバック量から高さを測定するモードである。
そこで、本発明は、試料の表面がピエゾスキャナ等の微動機構の水平走査方向に対して平行となるように配置することができる走査型プローブ顕微鏡の提供を目的とする。
本発明の走査型プローブ顕微鏡によれば、各ネジ機構を独立して可動させることにより、傾きを調整することができる。
原子間力顕微鏡(AFM)1は、ベース部10と、ベース部10の上方にネジ機構(粗動機構)20を介して取り付けられたヘッド部30と、光源部41と検出器42と備える変位測定部40と、原子間力顕微鏡1全体を制御するコンピュータ50とを備える。
ヘッド部30は、略四角筒形状の筐体部31と、カンチレバー32を支持するカンチレバーホルダ33と、カンチレバーホルダ33をXYZ方向に移動させるピエゾスキャナ(微動機構)34とを備える。
まず、ステップS101の処理において、測定者は、試料台12の載置面に試料Sを載置する。
=lc×tanθav−lc×tanθx
=lc×((hav/ls)−(hx/ls))
=(lc/ls)×(hav−hx) ・・・(1)
ここで、x=1,2,3である。
次に、ステップS106の処理において、試料表面情報表示制御部51cは、制御信号と変位信号Vとに基づいて、試料Sの測定範囲の表面情報を表示装置53に表示する。
(1)上述した原子間力顕微鏡1では、ベース部10が移動する構成を示したが、ヘッド部30が移動するような構成としてもよい。
12 試料台
20 ネジ機構(粗動機構)
30 ヘッド部
32 カンチレバー
32a 探針
34 ピエゾスキャナ(微動機構)
40 変位測定部
51 CPU(制御部)
Claims (2)
- 探針を自由端部に有するカンチレバーと、当該カンチレバーをXYZ方向に移動させる 微動機構とを備えるヘッド部と、
前記カンチレバーの自由端部のZ方向における変位を検出する変位測定部と、
試料が載置される載置面を有する試料台と、
前記微動機構を制御しながら前記変位測定部で変位を検出することにより、前記試料の測定範囲の表面情報を取得する制御部とを備える走査型プローブ顕微鏡であって、
前記ヘッド部に対して前記試料台の載置面を傾斜させる粗動機構を備え、
前記制御部は、前記試料の測定範囲の表面情報を取得する前に、前記試料の少なくとも3個の計測点の表面情報を取得し、当該表面情報に基づいて前記粗動機構に制御信号を出力することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - 前記微動機構は、ピエゾスキャナであり、
前記粗動機構は、3個のネジ機構であることを特徴とする請求項1に記載の走査型プローブ顕微鏡。
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JP2014156041A JP6194863B2 (ja) | 2014-07-31 | 2014-07-31 | 走査型プローブ顕微鏡 |
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Family Applications (1)
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PL2791688T3 (pl) * | 2011-12-12 | 2021-12-13 | Universität Basel | Sposób i urządzenie do sterowania mikroskopem sondy skanującej |
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