JP6696570B2 - 走査型プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Description
a)試料上の測定対象領域内の所定の1次元領域を順方向と逆方向とで走査するように前記探針と前記試料との相対位置を移動させ、順方向走査における画像データと逆方向走査における画像データとをそれぞれ取得するデータ取得部と、
b)前記データ取得部による画像データの取得の際に、前記フィードバック制御の制御ループの中で前記変位検出部により得られる変位量に基づいて得られる試料表面の物性情報を反映した信号値を参照情報として取得する参照情報取得部と、
c)各測定点において順方向走査時に得られた前記参照情報と逆方向走査時に得られた参照情報とを比較し、その参照情報の示す値が小さいほうの走査時の画像データを選択するという処理を前記測定対象領域内の各測定点について実行することで、該測定対象領域に対応した画像データを求める画像データ選択処理部と、
を備え、前記参照情報取得部は、前記カンチレバーを所定周波数で振動させたときのその加振信号に対する前記変位検出部により得られる検出信号の位相遅れ量を参照情報として取得することを特徴としている。
また上記課題を解決するためになされた本発明の第2の態様は、探針が設けられたカンチレバーと、該カンチレバーの変位を検出する変位検出部と、を具備し、前記探針を試料の表面に近接させた状態で、前記変位検出部により検出された変位に基づいて、該探針と試料との間の相互作用が一定になるように該探針と試料との離間間隔をフィードバック制御しつつ、該探針で該試料上の測定対象領域内を走査することで該領域の表面形状画像を取得する走査型プローブ顕微鏡であって、水平力モードにより試料表面の物性情報を取得する走査型プローブ顕微鏡において、
a)試料上の測定対象領域内の所定の1次元領域を順方向と逆方向とで走査するように前記探針と前記試料との相対位置を移動させ、順方向走査における画像データと逆方向走査における画像データとをそれぞれ取得するデータ取得部と、
b)前記データ取得部による画像データの取得の際に、前記フィードバック制御の制御ループの中で前記変位検出部により得られる変位量に基づいて得られる試料表面の物性情報を反映した信号値を参照情報として取得する参照情報取得部と、
c)各測定点において順方向走査時に得られた前記参照情報と逆方向走査時に得られた参照情報とを比較し、その参照情報の示す値が小さいほうの走査時の画像データを選択するという処理を前記測定対象領域内の各測定点について実行することで、該測定対象領域に対応した画像データを求める画像データ選択処理部と、
を備え、前記参照情報取得部は、前記カンチレバーの長手方向に対し直交する方向に該カンチレバーと試料とを相対的に移動させたときに、前記変位検出部により得られる該カンチレバーの捻りの程度を反映した変位量を参照情報として取得することを特徴としている。
これによって、例えば位相モードで得られる位相像、電流モードで得られる抵抗率分布画像などについても、より正確な画像を作成して表示することが可能となる。
以下、本発明に係る走査型プローブ顕微鏡(SPM)の第1実施例について、添付図面を参照して説明する。
図1は第1実施例のSPMの要部の構成図である。
第1実施例のSPMにおける測定動作を、図1に加え図2〜図4を用いて説明する。
なお、ここまで述べた測定及び処理動作は従来のSPMと同じである。
図5は第2実施例のSPMの要部の構成図である。上述した第1実施例のSPMと同じ又は相当する構成要素には同じ符号を付して、特に要しない限り説明を略す。このSPMは、ダイナミックモードで試料表面形状測定を行うものである。そのために、加振制御部23はカンチレバー15に付設された図示しない圧電素子を駆動し、該カンチレバー15を所定周波数で以て振動させる。また、振幅算出部24は変位量演算部175で得られた変位量に基づいて、上記加振時のカンチレバー15の振動の振幅を求める。偏差検出部20はその振動振幅と該振幅の目標値との偏差を求め、この偏差がゼロになるようにフィードバック制御が行われる。
第1、第2実施例では、試料表面形状測定のためにZスキャナ122をフィードバック制御する閉ループ中で求まる偏差を利用してトレース画像データとリトレース画像データとの選択を行っていたが、偏差の代わりに、SPMで取得可能な試料表面の物性情報を反映した別のデータを利用して正確性の高い画像データの選択を行うこともできる。
図6は第3実施例のSPMの要部の構成図である。このSPMでは、ダイナミックモードによる試料表面形状測定と並行して実施可能である位相モードによる測定で得られるデータを用いて画像データの選択を行う。
10…試料
11…試料台
121…XYスキャナ
122…Zスキャナ
13…Y方向駆動部
14…Z方向駆動部
15…カンチレバー
16…探針
17…光学的変位検出部
171…レーザ光源
172…ハーフミラー
173…ミラー
174…光検出器
175…変位量演算部
2…制御部
20…偏差検出部
21…制御量算出部
22…走査制御部
23…加振制御部
24…振幅算出部
25…位相遅れ検出部
3…データ処理部
30…画像形成部
31…画像データ選択部
32…偏差情報記憶部
33…画像データ記憶部
33a…トレース画像データ記憶領域
33b…リトレース画像データ記憶領域
33c…選択画像データ記憶領域
4…表示処理部
5…表示部
6…入力部
100…測定対象領域
101…走査領域
Claims (2)
- 探針が設けられたカンチレバーと、該カンチレバーの変位を検出する変位検出部と、を具備し、前記探針を試料の表面に近接させた状態で、前記変位検出部により検出された変位に基づいて、該探針と試料との間の相互作用が一定になるように該探針と試料との離間間隔をフィードバック制御しつつ、該探針で該試料上の測定対象領域内を走査することで該領域の表面形状画像を取得する走査型プローブ顕微鏡であって、位相モードにより試料表面の物性情報を取得する走査型プローブ顕微鏡において、
a)試料上の測定対象領域内の所定の1次元領域を順方向と逆方向とで走査するように前記探針と前記試料との相対位置を移動させ、順方向走査における画像データと逆方向走査における画像データとをそれぞれ取得するデータ取得部と、
b)前記データ取得部による画像データの取得の際に、前記フィードバック制御の制御ループの中で前記変位検出部により得られる変位量に基づいて得られる試料表面の物性情報を反映した信号値を参照情報として取得する参照情報取得部と、
c)各測定点において順方向走査時に得られた前記参照情報と逆方向走査時に得られた参照情報とを比較し、その参照情報の示す値が小さいほうの走査時の画像データを選択するという処理を前記測定対象領域内の各測定点について実行することで、該測定対象領域に対応した画像データを求める画像データ選択処理部と、
を備え、前記参照情報取得部は、前記カンチレバーを所定周波数で振動させたときのその加振信号に対する前記変位検出部により得られる検出信号の位相遅れ量を参照情報として取得することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。 - 探針が設けられたカンチレバーと、該カンチレバーの変位を検出する変位検出部と、を具備し、前記探針を試料の表面に近接させた状態で、前記変位検出部により検出された変位に基づいて、該探針と試料との間の相互作用が一定になるように該探針と試料との離間間隔をフィードバック制御しつつ、該探針で該試料上の測定対象領域内を走査することで該領域の表面形状画像を取得する走査型プローブ顕微鏡であって、水平力モードにより試料表面の物性情報を取得する走査型プローブ顕微鏡において、
a)試料上の測定対象領域内の所定の1次元領域を順方向と逆方向とで走査するように前記探針と前記試料との相対位置を移動させ、順方向走査における画像データと逆方向走査における画像データとをそれぞれ取得するデータ取得部と、
b)前記データ取得部による画像データの取得の際に、前記フィードバック制御の制御ループの中で前記変位検出部により得られる変位量に基づいて得られる試料表面の物性情報を反映した信号値を参照情報として取得する参照情報取得部と、
c)各測定点において順方向走査時に得られた前記参照情報と逆方向走査時に得られた参照情報とを比較し、その参照情報の示す値が小さいほうの走査時の画像データを選択するという処理を前記測定対象領域内の各測定点について実行することで、該測定対象領域に対応した画像データを求める画像データ選択処理部と、
を備え、前記参照情報取得部は、前記カンチレバーの長手方向に対し直交する方向に該カンチレバーと試料とを相対的に移動させたときに、前記変位検出部により得られる該カンチレバーの捻りの程度を反映した変位量を参照情報として取得することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
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