JP6624287B2 - 走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置 - Google Patents
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Description
アプローチラインのデータ取得時には、弾性支持体であるカンチレバーの先端側に取り付けられた探針を試料表面の測定点の鉛直上方に位置させた状態から、カンチレバーの基部を試料表面に近づけていく。このとき、カンチレバーの基部側を降下させてもよく、試料を上昇させてもよい。試料表面と探針の先端がある程度離れている間は、探針の先端と試料表面の間に働く力はほぼ0であるが、探針の先端がさらに近づくと試料表面との間にファンデルワールス力が働き、探針の先端が試料表面に引き寄せられる。これによりカンチレバーの先端側が下がるように撓む。この撓みはカンチレバーの先端側の鉛直方向の負の変位量として計測される。その状態からカンチレバーの基部を試料表面に近づけていくと、今度は探針の先端が試料表面に接触した状態のままカンチレバーの先端側が上がるように撓み、変位量が正の値に転じる。そして、この変位量が所定の正の値に達したところでカンチレバーの基部を試料表面に近づける動作を停止する。アプローチライン(図1の実線)は、これら一連の、試料表面とカンチレバーの基部の距離に対するカンチレバーの先端側の変位量の変化を表すものであり、そのデータは図1の右方から左方に向かって取得される。
a) 前記複数の測定点のそれぞれにおける前記二軸データから1乃至複数種類の特徴量を求める特徴量算出部と、
b) 前記1乃至複数種類の特徴量のうちの1つを使用者に選択させる特徴量選択部と、
c) 前記使用者による前記特徴量の選択に基づいて、前記複数の測定点のそれぞれにおける特徴量を、各測定点を1画素とする二次元マッピング画像として画面表示する二次元マッピング画像表示部と、
d) 前記二次元マッピング画像における画素の1つが使用者により選択されると、該選択された画素と該画素に隣接する1乃至複数の画素に対応する測定点の前記二軸データを画面表示する二軸データ表示部と
を備えることを特徴とする。
前記二軸データ表示部が二軸データを画面表示する測定点は、好ましくは使用者により選択された画素を中心とする所定範囲内に位置する画素に対応する測定点であり、例えば選択された画素(測定点)を中心とする3点×3点や、5点×5点とすることができる。
e) 前記画面表示された二軸データのうちの1乃至複数個が使用者により選択されると、該選択された二軸データを拡大して画面表示する拡大表示部
を備えた構成とすることができる。
f) 前記二次元マッピング画像において2つの画素が使用者により選択された場合に、当該2点を結ぶ線分上の位置を1軸とし、前記第1の物理量を別の1つの軸として、対応する位置の第2の物理量の値に応じた色を付して二次元的に画面表示する二次元データ表示部
を備えた構成を採ることができる。
上記実施例ではフォースカーブを解析画面に表示するものとしたが、種々の二軸データ(第1の物理量の変化に対する第2の物理量の変化を示すデータ)をさせるものとして構成することができる。例えば、探針に流す電流量に対する電圧値の変化を示すI/Vカーブ、探針から試料表面の測定点に与える力の大きさに対する電圧値の変化を示すF/Vカーブの表示などにも好適に用いることができる。
10…試料
11…試料台
12…スキャナ
121…XYスキャナ
122…Zスキャナ
15…カンチレバー
16…探針
17…光学的変位検出部
171…レーザ光源
172…ハーフミラー
173…ミラー
174…光検出器
175…変位量演算部
2…制御・処理部
3…測定制御部
4…データ処理部
40…記憶部
41…特徴量算出部
42…特徴量選択部
43…二次元マッピング画像表示部
44…二軸データ表示部
45…拡大表示部
46…二次元データ表示部
5…入力部
6…表示部
Claims (4)
- 走査型プローブ顕微鏡を用いて探針で試料表面を走査することにより該試料表面の複数の測定点のそれぞれについて取得された、第1の物理量の変化に対する第2の物理量の変化を示す二軸データを処理する走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置であって、
a) 前記複数の測定点のそれぞれにおける前記二軸データから1乃至複数種類の特徴量を求める特徴量算出部と、
b) 前記1乃至複数種類の特徴量のうちの1つを使用者に選択させる特徴量選択部と、
c) 前記使用者による前記特徴量の選択に基づいて、前記複数の測定点のそれぞれにおける特徴量を、各測定点を1画素とする二次元マッピング画像として画面表示する二次元マッピング画像表示部と、
d) 前記二次元マッピング画像における画素の1つが使用者により選択されると、該選択された画素と該画素に隣接する1乃至複数の画素に対応する測定点の前記二軸データを画面表示する二軸データ表示部と
を備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置。 - e) 前記画面表示された二軸データのうちの1乃至複数個が使用者により選択されると、該選択された二軸データを拡大して画面表示する拡大表示部
を備えることを特徴とする請求項1に記載の走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置。 - 前記拡大表示部が、使用者により複数の二軸データが選択された場合に、該複数の二軸データのそれぞれに対応する、前記二次元マッピング画像上の位置を表示することを特徴とする請求項2に記載の走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置。
- f) 前記二次元マッピング画像において2つの画素が使用者により選択された場合に、当該2点を結ぶ線分上の位置を1軸とし、前記第1の物理量を別の1つの軸として、対応する位置の第2の物理量の値に応じた色を付して二次元的に画面表示する二次元データ表示部
を備えることを特徴とする請求項1に記載の走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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PCT/JP2016/068919 WO2017221423A1 (ja) | 2016-06-24 | 2016-06-24 | 走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置 |
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