JP5742698B2 - 走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置 - Google Patents
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Description
a)前記所定の物理量の3次元分布データに基づいてそのデータ値を色情報又は濃淡情報とした3次元分布画像を作成して表示する3次元分布画像表示処理手段と、
b)前記3次元分布画像表示処理手段により表示される3次元分布画像上で該画像により示される立体オブジェクトを任意の位置で切断する平面をユーザが指定するための断面位置指定手段と、
c)前記断面位置指定手段により指定された平面で切断された2次元断面上の各位置の前記データ値を該断面に交差する方向の凹凸として示す凹凸像を作成し、該凹凸像をその切断した平面の位置に表示する凹凸像表示処理手段と、
を備えることを特徴としている。
d)前記凹凸像表示処理手段により表示される凹凸像上で任意の点をユーザが指定するための点指定手段と、
e)前記点指定手段により指定された点に対応するデータ値について、予め決められた若しくはユーザにより選択された処理を実行してデータ値を更新する、又は予め決められた若しくはユーザにより選択された処理により得られたデータ値に置換するデータ値処理手段と、
をさらに備える構成とするとよい。
11…試料
12…試料台
13…スキャナ
14…カンチレバー
15…探針
16…スキャナ駆動部
17…レーザ光源
18…レンズ
19…ビームスプリッタ
20…ミラー
21…光検出器
22…変位量算出部
30…パーソナルコンピュータ
31…制御部
32…データ処理部
33…表示処理部
34…データ記憶部
35…入力部
36…表示部
50…立体オブジェクト
51…切断平面
52…2次元分布画像
53…凹凸像
60…表示画面
61…凹凸像表示欄
61a…カーソル
61b…補正メニュー
62…断面画像表示欄
62a…観察区間
63…1次元グラフ表示欄
Claims (3)
- 走査型プローブ顕微鏡を用いて収集された3次元空間内の各位置における所定の物理量を示す3次元分布データに基づいて該物理量の分布を示す画像を作成して表示する走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置において、
a)前記所定の物理量の3次元分布データに基づいてそのデータ値を色情報又は濃淡情報とした3次元分布画像を作成して表示する3次元分布画像表示処理手段と、
b)前記3次元分布画像表示処理手段により表示される3次元分布画像上で該画像により示される立体オブジェクトを任意の位置で切断する平面をユーザが指定するための断面位置指定手段と、
c)前記断面位置指定手段により指定された平面で切断された2次元断面上の各位置の前記データ値を該断面に交差する方向の凹凸として示す凹凸像を作成し、該凹凸像をその切断した平面の位置に表示する凹凸像表示処理手段と、
を備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置。
- 請求項1に記載の走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置であって、
d)前記凹凸像表示処理手段により表示される凹凸像上で任意の点をユーザが指定するための点指定手段と、
e)前記点指定手段により指定された点に対応するデータ値について、予め決められた若しくはユーザにより選択された処理を実行してデータ値を更新する、又は予め決められた若しくはユーザにより選択された処理により得られたデータ値に置換するデータ値処理手段と、
をさらに備えることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置。 - 請求項2に記載の走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置であって、
前記データ値処理手段は、前記点指定手段により指定された点に対応するデータ値を、2次元的又は3次元的にその周囲にあるデータ値を用いた補間値に置換するものであることを特徴とする走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置。
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JP2011271629A JP5742698B2 (ja) | 2011-12-12 | 2011-12-12 | 走査型プローブ顕微鏡用データ処理装置 |
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