JP5577977B2 - 表面分析装置 - Google Patents
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- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
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- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/26—Electron or ion microscopes; Electron or ion diffraction tubes
Description
a)前記複数種の物理量の2次元分布データのうちの任意の第1の物理量の2次元分布データに基づいて前記領域についての3次元画像を作成するとともに、該3次元画像に別の種類である第2の物理量の2次元分布データに基づいて作成した色分布を重ね合わせたカラー3次元画像を作成して表示画面の第1の表示領域に表示する第1表示処理手段と、
b)ユーザによる操作手段の操作に応じて、前記表示画面上に表示されている前記カラー3次元画像上の任意の位置に試料表面と交差する仮想面像を形成して該カラー3次元画像に重畳して表示する仮想面像形成手段と、
c)前記カラー3次元画像上において前記仮想面像と前記試料表面とが交差する一次元領域を関心領域とし、第1及び第2の物理量の2次元分布データを用いて、前記関心領域の延伸方向に沿った位置情報と第1及び第2の物理量の値との関係を示すグラフを作成して、前記表示画面の第1の表示領域とは異なる第2の表示領域に表示する第2表示処理手段と、
を備えることを特徴としている。
d)ユーザによる前記操作手段の操作に応じて、前記表示画面の第2の表示領域に表示されたグラフ上で前記関心領域上の任意の位置を設定する特定位置設定手段と、
e)前記特定位置設定手段により設定された前記関心領域上の特定位置における第1及び第2の物理量の値をそれら物理量の2次元分布データから求め、それを数値情報として前記表示画面の第2の表示領域又は第1及び第2の表示領域とは異なる第3の表示領域に表示する数値情報提示手段と、
をさらに備える構成とするとよい。
2…試料台
3…スキャナ
4…カンチレバー
5…プローブ
6…変位量算出部
7…スキャナ駆動部
10…変位検出部
11…レーザ光源
12…レンズ
13…ビームスプリッタ
14…ミラー
15…光検出器
20…パーソナルコンピュータ
21…制御部
22…データ処理部
23…データ記憶部
24…表示処理部
25…入力部
26…表示部
Claims (3)
- 試料上の同一領域から複数種の物理量の2次元分布データを収集し、該データに基づいて表示画面を作成して表示手段に表示する表面分析装置であって、
a)前記複数種の物理量の2次元分布データのうちの任意の第1の物理量の2次元分布データに基づいて前記領域についての3次元画像を作成するとともに、該3次元画像に別の種類である第2の物理量の2次元分布データに基づいて作成した色分布を重ね合わせたカラー3次元画像を作成して表示画面の第1の表示領域に表示する第1表示処理手段と、
b)ユーザによる操作手段の操作に応じて、前記表示画面上に表示されている前記カラー3次元画像上の任意の位置に試料表面と交差する仮想面像を形成して該カラー3次元画像に重畳して表示する仮想面像形成手段と、
c)前記カラー3次元画像上において前記仮想面像と前記試料表面とが交差する一次元領域を関心領域とし、第1及び第2の物理量の2次元分布データを用いて、前記関心領域の延伸方向に沿った位置情報と第1及び第2の物理量の値との関係を示すグラフを作成して、前記表示画面の第1の表示領域とは異なる第2の表示領域に表示する第2表示処理手段と、
を備えることを特徴とする表面分析装置。
- 請求項1に記載の表面分析装置であって、
前記仮想面像形成手段は、前記操作手段により前記カラー3次元画像上で試料の上方の任意の位置に2つの点が指定されたとき、該2点を結ぶ線と、それら2点からそれぞれ試料基準面に鉛直に引かれた2本の線とを3つの辺として仮想面像を形成することを特徴とする表面分析装置。 - 請求項1又は2に記載の表面分析装置であって、
d)ユーザによる前記操作手段の操作に応じて、前記表示画面の第2の表示領域に表示されたグラフ上で前記関心領域上の任意の位置を設定する特定位置設定手段と、
e)前記特定位置設定手段により設定された前記関心領域上の特定位置における第1及び第2の物理量の値をそれら物理量の2次元分布データから求め、それを数値情報として前記表示画面の第2の表示領域又は第1及び第2の表示領域とは異なる第3の表示領域に表示する数値情報提示手段と、
をさらに備えることを特徴とする表面分析装置。
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