JP4866695B2 - シミュレーション装置、シミュレーション方法及びシミュレーションプログラム - Google Patents
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- 238000004088 simulation Methods 0.000 title claims description 95
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 38
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 371
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 66
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 61
- 238000013500 data storage Methods 0.000 claims description 52
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 31
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 22
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims description 19
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 8
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 claims description 5
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 38
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 19
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 19
- 230000008569 process Effects 0.000 description 16
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 12
- 230000009471 action Effects 0.000 description 4
- 238000000547 structure data Methods 0.000 description 4
- 238000005411 Van der Waals force Methods 0.000 description 2
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 2
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 229910003480 inorganic solid Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 230000011218 segmentation Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
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Description
・ステップ(1) 水平面内の一点(X,Y)に探針先端原子を移動させる。
・ステップ(2) 垂直軸の一点Zに探針先端原子を移動させる。
・ステップ(3) 図13に示すように、すべての探針原子と試料原子の間での力Fを計算する。
・ステップ(4) 図14(a)に示すように、ステップ(2)に戻り、ステップ(2)〜(3)を繰り返し、作用力グラフ(F(Z))を得る。
・ステップ(5) ある力の値F0に対して、F(Z0)=F0となる高さZ0を求める。
・ステップ(6) 図14(b)に示すように、ステップ(1)に戻り、ステップ(1)〜(5)を繰り返し、高さZ0の二次元分布(Z0(x,y))を得る。
もう一つの方法は、生体分子及び探針を連続体とみなして粗視化し、その間の相互作用を有限要素法で解析するトップダウン的な手法であり、高速に計算することができる。
本発明は、上述の問題に鑑みてなされ、走査プローブ顕微鏡におけるシミュレーション画像を高速に生成することができるシミュレーション装置、シミュレーション方法及びシミュレーションプログラムを提供することにある。
ルとの相対位置を算出する演算処理部とを備え、走査プローブ顕微鏡の測定画像のシミュレーションを行なう方法であって、前記演算処理部が、前記試料モデルを所定のメッシュにより分割し、前記メッシュ毎に、前記試料モデルの構成原子の配置座標に基づいて各メッシュ内で最突出位置の座標を特定し、前記各メッシュの代表値を算出する試料表面処理段階と、前記探針モデルを前記試料モデルに接近させて、前記代表値を用いて最近接位置を特定する接近処理段階と、前記探針モデルの位置を走査させて、各測定位置について前記接近処理段階において特定した最近接位置を取得して粗視化画像を生成する走査処理段階とを備えたことを要旨とする。
請求項1、5又は6に記載の発明によれば、演算処理部が、試料モデルを所定のメッシュにより分割する。そして、メッシュ毎に、構成原子の配置座標に基づいて各メッシュ内で最突出位置の座標を特定し、各メッシュの代表値を算出する。そして、探針モデルを試料モデルに接近させて、代表値を用いて最近接位置を特定する。そして、探針モデルの位置を走査させて、各測定位置において接近処理手段から最近接位置を取得して粗視化画像を生成する。これにより、幾何学的な位置関係に基づいて、高速にシミュレーション画像を生成することができる。
料モデルの表面を走査した場合に得られるシミュレーション画像に関するデータが記録される。
次に、制御部21が備える各処理手段(211〜218)について説明する。
5から取得する。具体的には、この探針走査手段216は、原子配置データ記憶部22に記憶された試料モデルの原子配置データに基づいて、探針モデルの走査させる範囲を決定する。そして、探針走査手段216は、この走査範囲において、探針モデルを走査させる。この場合、衝突高さを取得する各測定位置(xy座標)に関するデータを衝突高さ特定手段215に供給する。更に、探針走査手段216は、衝突高さ特定手段215から取得した衝突高さに関するデータを、各測定位置に関するデータと関連付けてシミュレーション画像データ記憶部24に記憶する。
まず、入力部10を用いて、試料モデル(ここではタンパク質)の原子構造及び探針モデルの原子構造を入力する。本実施形態では、評価対象のタンパク質の原子構造をタンパク質構造データバンクから取得するものとする。また、探針モデルの原子構造については、所定の形状に切削して形成した結晶構造体を用いる。
を含む2次元座標を用いて説明したが、xy平面において形成されたメッシュを用いて分割を行ない、試料表面高さを算出すると図6に示す3次元表示のようになる。
手段217は、シミュレーション画像をxy平面において回転させながら測定画像とのフィッティングを行なう。そして、画像比較手段217は、xy平面における回転角を変数とした場合、フィッティングの差分最小値の逆数を一致度(評価値)として算出する。
そして、制御部21の画像比較手段217は、算出した一致度と基準値とを比較する(ステップS1−4)。この基準値に関するデータは、画像比較手段217に予め保持させておく。
・ 本実施形態では、試料表面高さ算出手段212は、原子配置データ記憶部22に登録された原子配置データを、xy平面における所定の大きさのメッシュに分割する。そして、各メッシュ内において最高位置(z軸方向の最突出位置)に存在する原子の高さを特定し、各メッシュの高さとして設定する。これにより、試料モデルの表面の情報を間引いて用いるので、計算負荷を軽減することができる。
○ 上記実施形態において、試料表面高さ算出手段212は、原子配置データ記憶部22に登録された原子配置データを、xy平面における所定の大きさのメッシュに分割する。そして、各メッシュ内において最高位置に存在する原子の高さを特定し、各メッシュの高さとして設定する。このようなメッシュ毎の高さを用いて試料表面高さ(本実施形態では、z軸方向の値)を算出する。この場合、最突出位置(最高位置)に存在する原子の種類に応じて、メッシュ毎の試料表面高さを変更することも可能である。例えば、原子種類毎に、ファンデルワールス力に応じたバイアス距離を設定した距離修正テーブルを準備しておく。そして、試料表面高さ算出手段212は、最突出位置に存在する原子の種類を特定し、距離修正テーブルを用いて特定されるバイアス距離を、この原子の座標に加算して試料高さを算出する。これにより、原子の種類によって異なるファンデルワールス力を考慮して、試料表面高さを算出することができる。
を算出することも可能である。
価用回転角度と、比較的小さな角度からなる複数の詳細評価用回転角度とを制御部21に記憶させておく。この概算評価用回転角度は回転の粗動に用いられ、詳細評価用回転角度は微調整のために用いられる。そして、制御部21は、記憶した各概算評価用回転角度を用いて試料を配置した複数のシミュレーション画像を生成する(ステップS1−1)。
Claims (6)
- 試料モデルの構成原子と配置座標を記録した原子配置データ記憶部と、探針モデルの形状を記録した探針形状データ記憶部と、試料モデルと探針モデルとの相対位置を算出する演算処理部とを備え、走査プローブ顕微鏡の測定画像のシミュレーションを行なう装置であって、
前記演算処理部が、
前記試料モデルを所定のメッシュにより分割し、前記メッシュ毎に、前記試料モデルの構成原子の配置座標に基づいて各メッシュ内で最突出位置の座標を特定し、前記各メッシュの代表値を算出する試料表面処理手段と、
前記探針モデルを前記試料モデルに接近させて、前記代表値を用いて最近接位置を特定する接近処理手段と、
前記探針モデルの位置を走査させて、各測定位置において前記接近処理手段から最近接位置を取得して粗視化画像を生成する走査処理手段と
を備えたことを特徴とするシミュレーション装置。 - 前記探針形状データ記憶部には、探針モデルの構成原子と配置座標とが記録され、
前記演算処理部が、前記探針モデルを所定のメッシュにより分割し、前記メッシュ毎に、前記探針モデルの構成原子の配置座標に基づいて各メッシュ内で最突出位置の座標を特定し、前記各メッシュの代表値を算出する探針表面処理手段を更に備えたことを特徴とする請求項1に記載のシミュレーション装置。 - 前記演算処理部が、
走査プローブ顕微鏡により実測した測定画像を取得し、この測定画像と前記粗視化画像とを比較して一致度に関する評価値を算出する評価手段と、
前記評価値が基準値以上になるまで、前記試料モデルを、順次、所定角度ずつ回転させて前記粗視化画像の生成を行なう原子配置変更処理手段と
を更に備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載のシミュレーション装置。 - 前記試料モデルにおける各メッシュにおいて、隣接するメッシュの最近接位置の差分を算出する手段と、
この差分が所定値以下のメッシュに対して、前記メッシュの所定周囲内に存在する試料の構成原子を特定し、前記試料モデルの構成原子と前記探針モデルの構成原子との作用力を算出して微視化画像を生成する手段と、
前記所定周囲においては、前記粗視化画像に前記微視化画像を重畳させた合成画像を生成する手段と
を更に備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載のシミュレーション装置。 - 試料モデルの構成原子と配置座標を記録した原子配置データ記憶部と、探針モデルの形状を記録した探針形状データ記憶部と、試料モデルと探針モデルとの相対位置を算出する演算処理部とを備え、走査プローブ顕微鏡の測定画像のシミュレーションを行なう方法であって、
前記演算処理部が、
前記試料モデルを所定のメッシュにより分割し、前記メッシュ毎に、前記試料モデルの構成原子の配置座標に基づいて各メッシュ内で最突出位置の座標を特定し、前記各メッシュの代表値を算出する試料表面処理段階と、
前記探針モデルを前記試料モデルに接近させて、前記代表値を用いて最近接位置を特定する接近処理段階と、
前記探針モデルの位置を走査させて、各測定位置について前記接近処理段階において特
定した最近接位置を取得して粗視化画像を生成する走査処理段階と
を備えたことを特徴とするシミュレーション方法。 - 試料モデルの構成原子と配置座標を記録した原子配置データ記憶部と、探針モデルの形状を記録した探針形状データ記憶部と、試料モデルと探針モデルとの相対位置を算出する演算処理部とを備え、走査プローブ顕微鏡の測定画像のシミュレーションを行なうプログラムであって、
前記演算処理部を、
前記試料モデルを所定のメッシュにより分割し、前記メッシュ毎に、前記試料モデルの構成原子の配置座標に基づいて各メッシュ内で最突出位置の座標を特定し、前記各メッシュの代表値を算出する試料表面処理手段、
前記探針モデルを前記試料モデルに接近させて、前記代表値を用いて最近接位置を特定する接近処理手段、及び
前記探針モデルの位置を走査させて、各測定位置において前記接近処理手段から最近接位置を取得して粗視化画像を生成する走査処理手段
として機能させることを特徴とするシミュレーションプログラム。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006256169A JP4866695B2 (ja) | 2006-09-21 | 2006-09-21 | シミュレーション装置、シミュレーション方法及びシミュレーションプログラム |
EP07741048A EP2065696A4 (en) | 2006-09-21 | 2007-03-29 | SIMULATOR, METHOD, AND SIMULATION PROGRAM |
PCT/JP2007/057612 WO2008035473A1 (en) | 2006-09-21 | 2007-03-29 | Simulator, simulation method and simulation program |
US12/440,714 US8160848B2 (en) | 2006-09-21 | 2007-03-29 | Apparatus for generating coarse-grained simulation image of sample to be measured with a probe of a scanning probe microscope |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006256169A JP4866695B2 (ja) | 2006-09-21 | 2006-09-21 | シミュレーション装置、シミュレーション方法及びシミュレーションプログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008076247A JP2008076247A (ja) | 2008-04-03 |
JP4866695B2 true JP4866695B2 (ja) | 2012-02-01 |
Family
ID=39200303
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006256169A Active JP4866695B2 (ja) | 2006-09-21 | 2006-09-21 | シミュレーション装置、シミュレーション方法及びシミュレーションプログラム |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8160848B2 (ja) |
EP (1) | EP2065696A4 (ja) |
JP (1) | JP4866695B2 (ja) |
WO (1) | WO2008035473A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8590061B1 (en) * | 2011-03-22 | 2013-11-19 | Iowa State University Research Foundation, Inc. | Optimal excitation force design indentation-based rapid broadband nanomechanical spectroscopy |
JP6011097B2 (ja) * | 2012-07-18 | 2016-10-19 | 富士通株式会社 | 試料評価方法及び試料評価プログラム |
CN103065643B (zh) * | 2012-12-20 | 2016-06-15 | 华为技术有限公司 | 存储装置、存储系统以及数据存储方法 |
DE102017127645A1 (de) * | 2017-11-23 | 2019-05-23 | Nanotools Gmbh | Verfahren zum Bereitstellen einer Sondeneinrichtung für die Rastersondenmikroskopie |
JP2019128302A (ja) * | 2018-01-26 | 2019-08-01 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 走査プローブ顕微鏡 |
JP7281841B2 (ja) * | 2018-01-26 | 2023-05-26 | 株式会社日立ハイテクサイエンス | 走査プローブ顕微鏡 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0223918B1 (en) | 1985-11-26 | 1990-10-24 | International Business Machines Corporation | Method and atomic force microscope for imaging surfaces with atomic resolution |
US5376790A (en) * | 1992-03-13 | 1994-12-27 | Park Scientific Instruments | Scanning probe microscope |
JPH06117844A (ja) * | 1992-10-05 | 1994-04-28 | Advantest Corp | Spm用探針の評価方法 |
JPH07174769A (ja) * | 1993-12-21 | 1995-07-14 | Advantest Corp | 走査型探針顕微鏡の探針先端表面形状評価方法 |
JPH0835831A (ja) * | 1994-07-22 | 1996-02-06 | Hitachi Ltd | 摩擦摩耗解析装置 |
JP3364817B2 (ja) | 1994-12-27 | 2003-01-08 | 森 勇蔵 | 走査型プローブ顕微鏡用探針の製造方法 |
WO1996020406A1 (fr) * | 1994-12-27 | 1996-07-04 | Research Development Corporation Of Japan | Procede d'analyse elementaire par microscope a sonde de balayage utilisant un procede d'application de haute tension a impulsions ultracourtes |
AU2003301375A1 (en) * | 2002-10-17 | 2004-05-04 | Intel Corporation | Model-based fusion of scanning probe microscopic images for detection and identification of molecular structures |
JP3753701B2 (ja) | 2003-03-18 | 2006-03-08 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 走査型プローブ顕微鏡用探針の製造方法 |
JP3912421B2 (ja) * | 2003-04-18 | 2007-05-09 | 日立化成工業株式会社 | 分子の検出方法、分子の計数方法、分子局在化の検出方法、及びこれらに用いる分子検出装置 |
-
2006
- 2006-09-21 JP JP2006256169A patent/JP4866695B2/ja active Active
-
2007
- 2007-03-29 WO PCT/JP2007/057612 patent/WO2008035473A1/ja active Application Filing
- 2007-03-29 US US12/440,714 patent/US8160848B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2007-03-29 EP EP07741048A patent/EP2065696A4/en not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2065696A4 (en) | 2012-12-19 |
WO2008035473A1 (en) | 2008-03-27 |
EP2065696A1 (en) | 2009-06-03 |
JP2008076247A (ja) | 2008-04-03 |
US20100042378A1 (en) | 2010-02-18 |
US8160848B2 (en) | 2012-04-17 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090916 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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R250 | Receipt of annual fees |
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|
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R250 | Receipt of annual fees |
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