JP5148969B2 - カンチレバー評価システム、カンチレバー評価方法及びカンチレバー評価プログラム - Google Patents
カンチレバー評価システム、カンチレバー評価方法及びカンチレバー評価プログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP5148969B2 JP5148969B2 JP2007279315A JP2007279315A JP5148969B2 JP 5148969 B2 JP5148969 B2 JP 5148969B2 JP 2007279315 A JP2007279315 A JP 2007279315A JP 2007279315 A JP2007279315 A JP 2007279315A JP 5148969 B2 JP5148969 B2 JP 5148969B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cantilever
- fluid
- data storage
- storage means
- lattice
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q30/00—Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices
- G01Q30/08—Means for establishing or regulating a desired environmental condition within a sample chamber
- G01Q30/12—Fluid environment
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q30/00—Auxiliary means serving to assist or improve the scanning probe techniques or apparatus, e.g. display or data processing devices
- G01Q30/04—Display or data processing devices
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
Description
に近づけて、探針と試料との間に発生する原子間力の引力や斥力、電流(トンネル電流)などの物理的現象を測定する。これにより、試料表面の形状や性質を原子レベルで測定することができる。
カンチレバーの変形を考慮した測定信号の解析のために、流体中のカンチレバーの挙動を評価することができるカンチレバー評価システム、カンチレバー評価方法及びカンチレバー評価プログラム提供することにある。
程式を計算して、前記計算対象の格子点の座標を算出して、前記梁格子座標データ記憶手段に記憶する手段、及び各計算対象の格子点の座標の算出を繰り返して行なうタイムステップ制御手段として機能させることを要旨とする。
請求項1、5又は6に記載の発明によれば、制御手段は、カンチレバーを片持ち梁構造体としてモデル化し、カンチレバー周辺の流体を、各梁格子点をそれぞれ含み長手方向に対して直交する2次元の面において挙動する流体としてモデル化する。更に、片持ち梁構造体に強制振動を印加した場合の支持点における各タイムステップの振幅を梁格子座標データ記憶手段に記録する。そして、制御手段は、タイムステップ毎に、各梁格子点の先のタイムステップの変位を境界条件として用いて、各梁格子点を含む計算対象面における流体分布を、流体物性値及び過去の流体分布を用いて算出する。次に、制御手段は、算出した流体分布と流体物性値を用いて流体抗力を算出し、この流体抗力、構造パラメータ及び材料物性値を用いて片持ち梁構造体の運動方程式を計算して、計算対象の格子点の座標を算出して、梁格子座標データ記憶手段に記憶する。制御手段は、このようなステップ毎の処理を、梁格子点毎に繰り返して行なう。
値シミュレーションを行なうことができる。更に、この場合、カンチレバーをモデル化した1次元に直交する2次元面で流体をモデル化することにより、全体として3次元の挙動をシミュレーションすることができる。従って、カンチレバーの挙動を効率的かつ的確に評価し、精度の高い測定が可能なカンチレバーの設計やカンチレバーの変形を考慮した測定信号の解析に役立てることができる。また、カンチレバーを1次元にモデル化し、流体を2次元でモデル化しているので、それぞれの計算は、3次元モデルの計算よりも簡単であり、計算負荷を軽減することができる。
入力手段10は、シミュレーション条件やパラメータ等の各種データや指示データを入力するための手段である。本実施形態では、シミュレーション条件として、強制振動の設定データやモードの設定データが用いられる。また、パラメータとして、カンチレバーを構成する材料や液体の物性値(カンチレバーの材料の密度ρb及びヤング率E、液体の密度ρL及び粘性率μ等)やカンチレバーの形状に関する値(形状、幅A、高さB及び長さL)が用いられる。入力手段10は、入力された各種データや指示データをカンチレバー評価システム20に供給する。
モーメントI(z)が用いられる。
た境界条件とを用いて、次のタイムステップの流れ関数値ψz(x,y;t+1)及び渦度ωz(x,y;t+1)を算出すると、流体分布データ記憶部23に記憶する。
は、カンチレバーCの位置は初期高さh0で、変位h(z;t)及び速度[(∂/∂t)h(z;t)]は「0」として記憶されている。本実施形態においては、連成計算手段34が、タイム
ステップtにおける変位h(z;t)及び速度[(∂/∂t)h(z;t)]を算出すると、格子座標
データ記憶部24に記憶する。
パラメータ設定手段31は、シミュレーションに用いるパラメータを設定する処理を行なう。具体的には、パラメータ設定手段31は、入力手段10を介して取得したカンチレバーCの材料やその周辺の液体の物性値をパラメータデータ記憶部22に記録する。
次モーメントI(z)を算出する。そして、断面積S(z)及び断面二次モーメントI(z)をパ
ラメータデータ記憶部22に記憶する。
連成計算手段34は、カンチレバーCの周辺の液体の流体運動と、この流体運動による作用力や他の力などが作用したときのカンチレバーCの各座標における変位(カンチレバーの撓み)とを連立して計算する処理を行なう。そして、連成計算手段34は、流体運動計算手段41、流体抗力計算手段42、タッピングモード計算手段43及び梁変形計算手段44等として機能する。流体運動計算手段41は、特定した梁格子点毎に、先のタイムステップにおける梁格子点の変位を格子座標データ記憶手段から取得し、この変位を境界条件として用いて、計算対象の格子点を含む計算対象面における流体分布を、パラメータデータ記憶手段に記録された流体物性値及び流体分布データ記憶手段に記憶された流体分布を用いて算出する。流体抗力計算手段42は、特定した梁格子点毎に、算出した流体分布と、パラメータデータ記憶手段に記録された流体物性値を用いて流体抗力を算出する。梁変形計算手段44は、特定した梁格子点毎に、流体抗力と、パラメータデータ記憶手段に記録された構造パラメータ及び材料物性値を用いた片持ち梁構造体の運動方程式を計算
して、計算対象の格子点の座標を算出して、梁格子座標データ記憶手段に記憶する。
を用いて、次のタイムステップt+1の流れ関数値ψz(x,y;t+1)及び渦度ωz(x,y;t+1)を算出する。
体から受ける圧力と粘性力との和で算出する。このため、流体抗力計算手段42は、カンチレバー表面での圧力分布PNを算出するための流体圧力算出式と、カンチレバー表面での粘性力分布PTを算出するための流体粘性力算出式と、圧力分布PN及び粘性力分布PTの和をカンチレバーC全体において積分した流体抗力算出式とを記憶している。流体圧力算出式としては図3に示す(3)式、流体粘性力算出式としては図3に示す(4)式、流体抗力算出式としては図3に示す(5)式をそれぞれ用いる。
ている。探針の高さHInは、カンチレバーCの先端の高さに依存するため、本実施形態で
は、相互作用力FInは、カンチレバーCの先端の変位h(z)を用いて算出される。タッピ
ングモード計算手段43は、タッピングモードの場合には、カンチレバーCの先端(z=L)の変位h(z)を取得して、相互作用力を算出して、梁変形計算手段44に供給する。
4は、変位算出式及び速度算出式を記憶している。変位算出式としては、図4に示す(6)式を用いる。また、速度算出式としては、算出した変位h(z)を時間で偏微分(∂/∂t)した式を用いる。本実施形態では、(6)式の変位算出式及び速度算出式は、現タイムステップ及び先のタイムステップにおける変位h(z)を時間発展的に用いた差分法によっ
て算出される。
一方、カンチレバー形状可視化手段35は、タイムステップ毎の変位h(z)と速度[(∂/∂t)h(z;t)]とを用いて、シミュレーション画像を生成する手段である。出力する解
析結果がシミュレーション画像の場合には、このカンチレバー形状可視化手段35は、シミュレーション画像をタイムステップ毎に生成して、出力手段15に出力する。
析を行なう手段である。本実施形態では、振動振幅解析手段36は、カンチレバーの先端
高さの時間変化解析、カンチレバーの先端高さの振動振幅のスペクトル解析及びカンチレバーの先端傾きの振動振幅スペクトル解析を行なう。振動振幅解析手段36は、それぞれの解析に必要なデータを格子座標データ記憶部24から取得し、各解析結果を配置して表示するグラフを生成するための解析結果データを作成する。
高さを算出し、この先端高さの時間依存性を表示するグラフを生成する。
反射スポット解析手段37は、走査型プローブ顕微鏡の測定信号としてのレーザ光が反射するスポット位置の解析を行なう手段である。反射スポット解析手段37には、レーザ光の出射位置(カンチレバーとの相対位置)に関するデータが記憶されている。更に、反射スポット解析手段37には、カンチレバーの先端の変位h(z=L)及び傾き[(∂/∂z
)h(z=L)]と、レーザ光の位置及び照射方向とを用いて、レーザ光が反射するスポット
位置を算出するスポット位置算出式が記憶されている。反射スポット解析手段37は、カンチレバーの先端の変位h(z=L)を格子座標データ記憶部24から取得し、差分法を用
いて傾き[(∂/∂z)h(z=L)]を算出する。更に、反射スポット解析手段37は、変位h(z=L)及び傾き[(∂/∂z)h(z=L)]とスポット位置算出式とを用いてスポット位置を
算出する。そして、反射スポット解析手段37は、算出したスポット位置を、スポット位置解析結果データ記憶部25に記憶する。
御部21のタイムステップ制御手段33によって設定されたタイムステップ毎に、以下の処理を繰り返す。
速度[(∂/∂t)h(z;t)]の取得処理を実行して、計算対象面を特定する(ステップS2−1)。具体的には、連成計算手段34の流体運動計算手段41は、流体分布データ記憶部23から、現タイムステップにおける流れ関数値ψz(x,y;t)、渦度ωz(x,y;t)を取得する。流体運動計算手段41は、格子座標データ記憶部24から、カンチレバーCの変位h(z;t)及び速度[(∂/∂t)h(z;t)]を取得する。
、流体の密度ρL及び粘性率μを、ナビエ・ストークスの方程式に代入する。これにより、次のタイムステップの流れ関数値ψz(x,y;t+1)及び渦度ωz(x,y;t+1)を算出する。
を実行する(ステップS2−6)。具体的には、連成計算手段34の流体抗力計算手段42は、まず、カンチレバーの長さLをパラメータデータ記憶部22から取得する。流体抗力計算手段42は、カンチレバーの長さLと、算出したカンチレバー表面での圧力分布PN及び粘性力分布PTとを流体抗力算出式に代入して、カンチレバー全体に加わる流体抗
力Fliqを算出し、梁変形計算手段44に供給する。
以上により、2次元面内での流体計算を終了し、図2に示す評価シミュレーションに戻る。
式に代入して相互作用力を算出し、梁変形計算手段44に供給する。
出式に代入して、次のタイムステップにおける各格子の速度[(∂/∂t)h(z)]を算出する。そして、梁変形計算手段44は、算出した各格子の変位h(z)及び速度[(∂/∂t)
h(z)]を格子座標データ記憶部24に記憶する。
。反射スポット解析手段37は、取得した変位h(z=L)から傾き[(∂/∂z)h(z=L)]
を算出する。そして、反射スポット解析手段37は、変位h(z=L)及び傾き[(∂/∂z
)h(z=L)]をスポット位置算出式に代入して、スポット位置を算出し、スポット位置解析結果データ記憶部25に記憶する。以上により、1のタイムステップの処理が完了する。
カンチレバー形状可視化手段35は、カンチレバーCの挙動を動画でディスプレイに表示する。図8〜図12には、特定時間におけるカンチレバーCの挙動の静止画の一例が表示されている。ここで、図8〜図11は、図番が大きくなるにつれて、強制振動が供給されてからの経過時間が長くなっている状態を示している。図12は、図8〜図11とは異なる方向から見たカンチレバーCを示している。図9〜図12には、各座標点におけるX方向の変位及び傾きが考慮されて、各時間における変形したカンチレバーCが表示されている。また、図9〜図12には、カンチレバーCの周辺の流体の動きのベクトルも表示されている。
・ 本実施形態では、カンチレバー評価システム20の制御部21は、2次元面内での流体計算処理を実行する(ステップS1−2)。この場合、制御部21は、取得した流れ関数値ψz(x,y;t)及び渦度ωz(x,y;t)と、カンチレバーの変位h(z;t)及び速度[(∂/∂
t)h(z;t)]に応じた境界条件とを用いて、次のタイムステップの流れ関数値ψz(x,y;t+1)及び渦度ωz(x,y;t+1)を算出する(ステップS2−3)。制御部21は、算出した流れ関数値ψz(x,y)及び渦度ωz(x,y)を用いてカンチレバーの流体抗力を算出する。制御部21は、1次元弾性梁の弾性変形計算処理を実行する(ステップS1−4)。この場合、算出した流体抗力を変位算出式に代入して、次のタイムステップでの1次元梁の変位h(z;t+1)の計算処理を実行する(ステップS3−2)。そして、これらステップS1−2及び
ステップS1−4をそれぞれ格子点毎(計算対象面毎)に繰り返し、更に、それをタイムステップ毎に繰り返す。
交互に繰り返す。従って、カンチレバーCから液体への影響を考慮した式と、液体からカンチレバーへの影響を考慮した式とを連立させて計算を行なうので、カンチレバーCとその周辺の流体の挙動も含めた総合的な数値シミュレーションを行なうことができる。この場合、カンチレバーCをモデル化した1次元に直交する2次元面で液体をモデル化しているので、全体として3次元の挙動をシミュレーションすることができる。従って、このシミュレーションによってカンチレバーの挙動の評価を行なうことができ、精度の高い測定が可能なカンチレバーの設計やカンチレバーの変形を考慮した測定信号の解析に役立てることができる。また、カンチレバーCを1次元にモデル化し、流体を2次元でモデル化しているので、それぞれの計算は、3次元モデルの計算よりもはるかに簡単であり、計算負荷を軽減することができる。
面二次モーメントI(z)は、カンチレバーCがモデル化した1次元とは異なる方向の形状
に関するパラメータ(幅及び高さ)から算出される値である。このため、モデル化した1次元とは異なる他の2次元の要素もカンチレバーCの計算に影響を与えることになるため、全体として3次元の挙動をより正確にシミュレーションすることができる。
出式に代入して、スポット位置を算出する。例えば、図13(a)に示すカンチレバーC1及び図13(b)に示すカンチレバーC2のように、変位h(z=L)が同じであっても
傾き[(∂/∂z)h(z=L)]が異なる場合がある。この場合には、反射されるレーザ光LL1,LL2のスポット位置が異なる。反射したレーザ光が、走査型プローブ顕微鏡の計測信号となるので、傾き[(∂/∂z)h(z=L)]を用いてスポット位置を算出することにより、このレーザ光のスポット位置をより的確に把握して、計測信号をより正確に取得することができる。
○ 上記実施形態において、タッピングモードの場合の評価シミュレーションについて説明したが、タッピングモードを含めないでシミュレーションを行なってもよい。この場合には、上述したステップS1−3の処理を省略する。更に、シミュレーション条件設定画面に、タッピングモードの利用希望の有無を選択できるように構成してもよい。
ンに用いる材料物性値を決定するようにしてもよい。
Claims (6)
- カンチレバーの形状に基づく構造パラメータと、前記カンチレバーを構成する材料の材料物性値と、前記カンチレバーの周辺の流体の流体物性値とを含むパラメータを記憶したパラメータデータ記憶手段と、
前記カンチレバーを1次元の片持ち梁構造体としてモデル化したときの前記梁構造体の長手方向の各梁格子点の変位に関するデータを記憶する梁格子座標データ記憶手段と、
タイムステップ、梁格子点毎に、各梁格子点をそれぞれ含み前記長手方向に対して直交する面における前記流体の2次元面内流体分布に関するデータを記憶する流体分布データ記憶手段と、
前記カンチレバーの振動特性を算出する制御手段とを備えたカンチレバー評価システムであって、
前記制御手段が、
前記片持ち梁構造体の支持点に強制振動を印加した場合の支持点の変位を、タイムステップ毎に前記梁格子座標データ記憶手段に記録する手段と、
計算対象の梁格子点を特定する手段と、
前記特定した梁格子点毎に、
先のタイムステップにおける前記梁格子点の変位を前記梁格子座標データ記憶手段から取得し、この変位を境界条件として用いて、計算対象の格子点を含む計算対象面における、次のタイムステップの2次元面内流体分布を、前記パラメータデータ記憶手段に記録された流体物性値及び前記流体分布データ記憶手段に記憶された2次元面内流体分布をナビエ・ストークスの方程式に適用して算出し、このタイムステップの2次元面内流体分布として記録する手段と、
算出した2次元面内流体分布と、前記パラメータデータ記憶手段に記録された前記流体物性値を用いて流体抗力を算出する手段と、
前記流体抗力と、前記パラメータデータ記憶手段に記録された構造パラメータ及び材料物性値を用いた片持ち梁構造体の運動方程式を計算して、前記計算対象の格子点の座標を算出して、前記梁格子座標データ記憶手段に記憶する手段と、
各計算対象の格子点の座標の算出を繰り返して行なうタイムステップ制御手段と
を備えたことを特徴とするカンチレバー評価システム。 - 前記制御手段は、
前記強制振動の周波数を、所定の範囲で順次変更する強制振動設定手段と、
強制振動の周波数毎に前記片持ち梁構造体の先端の振幅を算出し、この振動の周波数特性を出力する手段とを更に備えたことを特徴とする請求項1に記載のカンチレバー評価システム。 - 前記制御手段は、
前記片持ち梁構造体の先端の格子点において、前記カンチレバーの先端に設けられた探針が測定試料及びこの試料の基板から受ける作用力を算出する手段を更に備え、
前記制御手段は、この作用力を含む片持ち梁構造体の運動方程式を計算することを特徴とする請求項1又は2に記載のカンチレバー評価システム。 - 前記カンチレバーの先端の格子点の座標と、この格子点に隣接する格子点の座標から先端部の傾斜角度を算出する手段と、
前記格子点の座標及び傾斜角度を用いて、前記先端の格子点に照射したレーザの反射光路を特定して反射スポットの位置を算出する手段とを更に備えたことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のカンチレバー評価システム。 - カンチレバーの形状に基づく構造パラメータと、前記カンチレバーを構成する材料の材料物性値と、前記カンチレバーの周辺の流体の流体物性値とを含むパラメータを記憶したパラメータデータ記憶手段と、
前記カンチレバーを1次元の片持ち梁構造体としてモデル化したときの前記梁構造体の長手方向の各梁格子点の変位に関するデータを記憶する梁格子座標データ記憶手段と、
タイムステップ、梁格子点毎に、各梁格子点をそれぞれ含み前記長手方向に対して直交する面における前記流体の2次元面内流体分布に関するデータを記憶する流体分布データ記憶手段と、
制御手段とを備えたカンチレバー評価システムを用いて、前記カンチレバーの振動特性を算出するためのカンチレバー評価方法であって、
前記制御手段が、
前記片持ち梁構造体の支持点に強制振動を印加した場合の支持点の変位を、タイムステップ毎に前記梁格子座標データ記憶手段に記録する段階と、
計算対象の梁格子点を特定する段階と、
前記特定した梁格子点毎に、
先のタイムステップにおける前記梁格子点の変位を前記梁格子座標データ記憶手段から取得し、この変位を境界条件として用いて、計算対象の格子点を含む計算対象面における、次のタイムステップの2次元面内流体分布を、前記パラメータデータ記憶手段に記録された流体物性値及び前記流体分布データ記憶手段に記憶された2次元面内流体分布をナビエ・ストークスの方程式に適用して算出し、このタイムステップの2次元面内流体分布として記録する段階と、
算出した2次元面内流体分布と、前記パラメータデータ記憶手段に記録された前記流体物性値を用いて流体抗力を算出する段階と、
前記流体抗力と、前記パラメータデータ記憶手段に記録された構造パラメータ及び材料物性値を用いた片持ち梁構造体の運動方程式を計算して、前記計算対象の格子点の座標を算出して、前記梁格子座標データ記憶手段に記憶する段階と、
各計算対象の格子点の座標の算出を繰り返して行なうタイムステップ制御段階と
を実行することを特徴とするカンチレバー評価方法。 - カンチレバーの形状に基づく構造パラメータと、前記カンチレバーを構成する材料の材料物性値と、前記カンチレバーの周辺の流体の流体物性値とを含むパラメータを記憶したパラメータデータ記憶手段と、
前記カンチレバーを1次元の片持ち梁構造体としてモデル化したときの前記梁構造体の長手方向の各梁格子点の変位に関するデータを記憶する梁格子座標データ記憶手段と、
タイムステップ、梁格子点毎に、各梁格子点をそれぞれ含み前記長手方向に対して直交する面における前記流体の2次元面内流体分布に関するデータを記憶する流体分布データ記憶手段と、
制御手段とを備えたカンチレバー評価システムを用いて、前記カンチレバーの振動特性
を算出するためのカンチレバー評価プログラムであって、
前記制御手段を、
前記片持ち梁構造体の支持点に強制振動を印加した場合の支持点の変位を、タイムステップ毎に前記梁格子座標データ記憶手段に記録する手段、
計算対象の梁格子点を特定する手段、
前記特定した梁格子点毎に、
先のタイムステップにおける前記梁格子点の変位を前記梁格子座標データ記憶手段から取得し、この変位を境界条件として用いて、計算対象の格子点を含む計算対象面における、次のタイムステップの2次元面内流体分布を、前記パラメータデータ記憶手段に記録された流体物性値及び前記流体分布データ記憶手段に記憶された2次元面内流体分布をナビエ・ストークスの方程式に適用して算出し、このタイムステップの2次元面内流体分布として記録する手段、
算出した2次元面内流体分布と、前記パラメータデータ記憶手段に記録された前記流体物性値を用いて流体抗力を算出する手段、
前記流体抗力と、前記パラメータデータ記憶手段に記録された構造パラメータ及び材料物性値を用いた片持ち梁構造体の運動方程式を計算して、前記計算対象の格子点の座標を算出して、前記梁格子座標データ記憶手段に記憶する手段、及び
各計算対象の格子点の座標の算出を繰り返して行なうタイムステップ制御手段
として機能させることを特徴とするカンチレバー評価プログラム。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007279315A JP5148969B2 (ja) | 2007-10-26 | 2007-10-26 | カンチレバー評価システム、カンチレバー評価方法及びカンチレバー評価プログラム |
US12/677,607 US8332187B2 (en) | 2007-10-26 | 2008-10-22 | Cantilever evaluation system, cantilever evaluation method, and cantilever evaluation program |
EP08842062A EP2187197A4 (en) | 2007-10-26 | 2008-10-22 | SYSTEM, METHOD AND PROGRAM FOR ASSESSING A CANTILEVER |
PCT/JP2008/069155 WO2009054417A1 (ja) | 2007-10-26 | 2008-10-22 | カンチレバー評価システム、カンチレバー評価方法、およびカンチレバー評価プログラム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007279315A JP5148969B2 (ja) | 2007-10-26 | 2007-10-26 | カンチレバー評価システム、カンチレバー評価方法及びカンチレバー評価プログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009109235A JP2009109235A (ja) | 2009-05-21 |
JP5148969B2 true JP5148969B2 (ja) | 2013-02-20 |
Family
ID=40579521
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007279315A Active JP5148969B2 (ja) | 2007-10-26 | 2007-10-26 | カンチレバー評価システム、カンチレバー評価方法及びカンチレバー評価プログラム |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8332187B2 (ja) |
EP (1) | EP2187197A4 (ja) |
JP (1) | JP5148969B2 (ja) |
WO (1) | WO2009054417A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6664690B2 (ja) * | 2016-03-16 | 2020-03-13 | 株式会社豊田中央研究所 | シミュレーション装置及びプログラム |
JP6977617B2 (ja) * | 2018-02-27 | 2021-12-08 | 株式会社島津製作所 | 材料試験機 |
CN108959765B (zh) * | 2018-07-02 | 2023-02-17 | 天津大学 | 用于碳酸盐岩土海域的悬臂式重力锚及悬臂长度设计方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0571951A (ja) | 1991-09-10 | 1993-03-23 | Canon Inc | 原子間力顕微鏡及び情報処理装置 |
JPH11118813A (ja) | 1997-10-21 | 1999-04-30 | Shimadzu Corp | 溶液セル付き原子間力顕微鏡 |
US6189374B1 (en) * | 1999-03-29 | 2001-02-20 | Nanodevices, Inc. | Active probe for an atomic force microscope and method of use thereof |
US6452170B1 (en) * | 1999-04-08 | 2002-09-17 | University Of Puerto Rico | Scanning force microscope to determine interaction forces with high-frequency cantilever |
US7441444B2 (en) * | 2001-03-30 | 2008-10-28 | The Johns Hopkins University | AFM cantilevers and methods for making and using same |
US7288404B2 (en) * | 2002-04-29 | 2007-10-30 | Regents Of The University Of California | Microcantilevers for biological and chemical assays and methods of making and using thereof |
US7853422B2 (en) * | 2004-11-05 | 2010-12-14 | Japan Science And Technology Agency | Dynamic-mode atomic-force-microscope probe (Tip) vibration simulation method, program, recording medium, and vibration simulator |
JP4705870B2 (ja) * | 2006-03-30 | 2011-06-22 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 接触モード原子間力顕微鏡の凝着シミュレータ、凝着シミュレーションプログラム、凝着シミュレーションプログラムを記憶した記録媒体及び凝着シミュレーション方法 |
US7992431B2 (en) * | 2006-11-28 | 2011-08-09 | Drexel University | Piezoelectric microcantilevers and uses in atomic force microscopy |
-
2007
- 2007-10-26 JP JP2007279315A patent/JP5148969B2/ja active Active
-
2008
- 2008-10-22 US US12/677,607 patent/US8332187B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2008-10-22 WO PCT/JP2008/069155 patent/WO2009054417A1/ja active Application Filing
- 2008-10-22 EP EP08842062A patent/EP2187197A4/en not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2187197A1 (en) | 2010-05-19 |
JP2009109235A (ja) | 2009-05-21 |
US8332187B2 (en) | 2012-12-11 |
EP2187197A4 (en) | 2013-02-27 |
US20100204968A1 (en) | 2010-08-12 |
WO2009054417A1 (ja) | 2009-04-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Di Maio et al. | Continuous Scan, a method for performing modal testing using meaningful measurement parameters; Part I | |
JP5577977B2 (ja) | 表面分析装置 | |
EP3270096B1 (en) | Measurement system, measurement method, and measurement program | |
JP6627903B2 (ja) | データ補正方法、データ補正方法をコンピュータに実行させるプログラム、画像処理装置、走査型プローブ顕微鏡 | |
JP5148969B2 (ja) | カンチレバー評価システム、カンチレバー評価方法及びカンチレバー評価プログラム | |
Payton et al. | Modelling oscillatory flexure modes of an atomic force microscope cantilever in contact mode whilst imaging at high speed | |
JP4866695B2 (ja) | シミュレーション装置、シミュレーション方法及びシミュレーションプログラム | |
JP4876216B2 (ja) | 表面位置計測方法および表面位置計測装置 | |
CN106104278A (zh) | 扫描探针显微镜 | |
US20070062252A1 (en) | Noncontact Sensitivity and Compliance Calibration Method for Cantilever-Based Instruments | |
Balmes | Orthogonal Maximum Sequence Sensor Placements Algorithms for modal tests, expansion and visibility | |
JP6707249B2 (ja) | マイクロ断層可視化方法およびシステム | |
JP2018173310A (ja) | 測定精度の評価方法、弾性率の測定方法、プログラム、および走査型プローブ顕微鏡システム | |
Xia et al. | AFM SMILER: A Scale Model Interactive Learning Extended Reality Toolkit for Atomic Force Microscopy Created With Digital Twin Technology | |
Klapetek et al. | Fast mechanical model for probe–sample elastic deformation estimation in scanning probe microscopy | |
JP2015007591A (ja) | 自動車車体剛性試験方法および自動車車体剛性試験装置 | |
Oliver et al. | Automated robot-based 3d vibration measurement system | |
Hill | Calibration Procedure for DIC Strain Measurements during Vibration-Based Fatigue Testing | |
JP2005140575A (ja) | 超音波探傷シミュレーションシステム、超音波探傷シミュレーションシステム方法およびその記録媒体 | |
Tian et al. | Nonlinear viscoelastic modelling of stylus probing for surface metrology | |
JP2005083886A (ja) | 微少領域の摩擦力および摩擦係数測定方法 | |
Jackson | Modelling and control of coupled AFM arrays for parallel imaging verified through a macro scale experiment. | |
WO2022190753A1 (ja) | 検査装置及び検査方法 | |
JP7444017B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
JP2008059274A (ja) | 振動解析システム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120529 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120727 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121113 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121129 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5148969 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151207 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313117 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |