JP3128512B2

JP3128512B2 - プローブ走査装置

Info

Publication number: JP3128512B2
Application number: JP08118014A
Authority: JP
Inventors: 正敏安武
Original assignee: セイコーインスツルメンツ株式会社
Priority date: 1996-05-13
Filing date: 1996-05-13
Publication date: 2001-01-29
Anticipated expiration: 2016-05-13
Also published as: JPH09304401A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は走査型プローブ顕
微鏡等のプローブ走査装置に関し、特に微小プローブを
試料表面に近接させるｚ粗動と試料表面を測定する時に
該微小プローブと試料表面との距離を制御するｚ微動の
ための機構と、試料表面を走査するｘ，ｙ走査のための
機構とを一体化し、３次元のプローブ走査を可能にした
プローブ走査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の走査型プローブ顕微鏡の一例を、
図６を参照して説明する。円筒状のピエゾ素子５５の上
面に、試料台５１が載置されている。該試料台５１上に
は試料５２が置かれており、該試料５２の上方にはカン
チレバー５３の自由端に取り付けられた微小プローブ５
４が対向して置かれている。ピエゾ素子５５の円筒面に
は、ｚ微動のための円筒面に巻かれた電極５６と、ｘ，
ｙ走査のための４分割された電極５７ａ、５７ｂ（図示
されていない）、５８ａ、５８ｂ（図示されていない）
が形成されている。パルスモータ６０は例えば５００オ
ングストローム／パルス程度の性能を有しており、該パ
ルスモータ６０が駆動されるとねじ棒６１が回動して、
ピエゾ素子５５はｚ粗動される。

【０００３】カンチレバー５３のそり量はレーザ発生器
７１から出力されたレーザ光７２の入射位置を位置検出
器７３で検出することにより検出される。該位置検出器
７３は４分割された光検出電極から構成されており、カ
ンチレバー５３のそり量が０の時には、レーザ光７２の
スポットが該４分割電極の中央に来るように位置合わせ
されている。このため、カンチレバー５３にそりが発生
すると、該レーザ光７２のスポットが該４分割電極上を
移動し、４分割電極から出力される電圧に差が発生す
る。この電圧は増幅器７４によって増幅され、差動増幅
器７５に入力する。差動増幅器７５の反転入力端子
（−）にはカンチレバーのそり量の基準値が設定されて
おり、例えばそのそり量が０の時には、差動増幅器７５
の出力が０になるようになされている。

【０００４】差動増幅器７５の差分出力は並列接続され
た積分回路７６と比例回路７７に入力し、積分回路７６
において該差分が平均化され、比例回路７７において該
差分の高周波成分が抽出され、これらが合成された後、
電圧増幅器７８で増幅されて電極５６に印加される。位
置検出器７３、増幅器７４、差動増幅器７５、積分回路
７６、比例回路７７、および電圧増幅器７８からなる回
路は、フイードバック回路を構成している。ＣＲＴ８０
は、ラスタスキャナ８１からｘおよびｙ方向の走査信号
を受け、またライン８２からカンチレバー５３のそり信
号を受けて、ディスプレイ上に試料５２の表面の形状あ
るいは物理量を映出する。

【０００５】以上のように、従来の走査型プローブ顕微
鏡においては、ｚ粗動はパルスモータ６０とねじ棒６１
により行い、ｚ微動はピエゾ素子５５上の円筒状電極５
６に前記フイードバック信号を印加することにより行
い、ｘ，ｙ走査は４分割された電極５７ａ、５７ｂ、５
８ａ、５８ｂにラスタスキャナ８１から出力されたｘ，
ｙ走査信号を印加することにより行っていた。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来は
上記のような構成のピエゾスキャナを用いていたので、
前記ピエゾ素子の電極への印加電圧とその変位量との関
係（印加電圧変位特性）が非線形（ノンリニアリティ）
であり、また該変位量を大きく取れないという問題があ
った。また、数百ボルト〜千ボルト程度の高電圧を前記
電極に印加することが必要であり、周辺をシールドした
り、装置の蓋を開けると電圧を落とす保護回路が必要と
なり、その取扱いが難しいという問題があった。

【０００７】そこで、本発明者は、ｚ方向粗動機構であ
るパルスモータおよびねじ等を粘性体の入ったハウジン
グとヒータ機構とボイスコイル機構とに置き換え、ｚ方
向微動素子であるピエゾ素子をばね要素に置き換えた試
料位置決め装置を開発し、特許出願した（特願平８−２
５２０１号）。

【０００８】この試料位置決め装置によれば、前記ピエ
ゾスキャナが有していた前記問題点を全て解消すること
ができるが、ｚ方向粗動機構とｚ方向微動機構とを一体
化した装置を提供するだけであり、これらの機構にｘ，
ｙ走査機構を一体化するという配慮がなされていなかっ
た。また、該試料位置決め装置はサンプルスキャンに使
用されるものであり、プローブスキャンに使用すること
に対して配慮がなされていなかった。

【０００９】本発明の目的は、前記した従来技術の問題
点を除去し、ｚ方向の粗動・微動機構およびｘ，ｙスキ
ャン機構を一体化した、簡単な構成のプローブ走査装置
を提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記した目的を達成する
ために、試料の表面に探針を近接させて、該試料表面の
形状あるいは物理量を計測する装置に使用されるプロー
ブ走査装置であって、ｘ、ｙおよびｚ方向の３方向に配
置されたボイスコイルモータと、該ボイスコイルモータ
からの力により、ｘ、ｙおよびｚ方向の３方向に移動さ
せられる探針支持手段とを具備し、前記ボイスコイルモ
ータを駆動することにより、前記探針をｚ方向の粗動・
微動およびｘ、ｙ方向の走査を可能にしたことを特徴と
するプローブ走査装置において、前記探針支持手段は、
ｚ方向に延びる弾性体を含み、前記ｘ、ｙ方向のボイス
コイルモータによって生成されたｘ、ｙ方向の力を前記
弾性体の一部に印加することにより、前記探針をｘ、ｙ
方向に拡大走査するようにした点に特徴がある。

【００１１】この発明によれば、筐体中に一体化した
ｘ，ｙおよびｚの３方向のボイスコイルモータにより、
探針をｚ方向に粗動・微動させることができると共に、
ｘ，ｙ方向に走査することができるようになる。このた
め、従来のピエゾスキャナが有していた問題点を全て解
消することができる。また、プローブスキャンが可能に
なる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下に、図面を参照して、本発明
を詳細に説明する。図１は、本発明の一実施形態のプロ
ーブ走査装置の構成図である。図示されているように、
筐体１に第１の磁石２が固着され、該磁石２の心棒部３
に可動子４が遊嵌されている。該可動子４はメンブレン
５によって弾性的に前記筐体１に支持されており、また
その周囲にコイル６が巻回されている。該磁石２、心棒
部３、可動子４、メンブレン５およびコイル６は、スピ
ーカ等で使用されているボイスコイルモータを形成して
いる。

【００１３】前記可動子４には、細線７の一方の端部が
固着されており、該細線７の他方の端部はｚ方向に延び
るスピンドル８の一端に固着されている。該スピンドル
８の他端には、変位検出器９が装着されており、該変位
検出器９にカンチレバー等の探針１０が装着されてい
る。また、該スピンドル８はその中央部で第１のばね１
１により、またその下端部で第２のばね１２により中筒
１３に支持されている。該第１、第２のばね１１、１２
は例えば図２(a) 、(b) に示されているように、中筒１
３に設けられた十字型の板ばね又は通常の板ばねから構
成されている。なお、前記細線７は、後述されるように
スピンドル８がｘ，ｙ方向に走査された時に起きる可動
子４に対するスピンドル８の歪みを吸収する働きをして
いる。

【００１４】前記筐体１は試料室に突出する細管部１４
とこれに連なる太管部１５とを有し、該太管部１５の一
部にヒータ用コイル１６が巻回されている。また、該太
管部１５と前記中筒１３との間には、例えばグリコール
フタレート等のポリマ類からなる粘性体１７が挿入され
ている。該粘性体１７は室温では固体と同様の性質を示
すが、前記ヒータ用コイル１６に通電することにより加
熱されると粘性を示すようになる。

【００１５】前記筐体１には、また、第２の磁石２１が
装着されており、その心棒部２２に可動子２３が遊嵌さ
れている。該可動子２３はメンブレン２４により筐体１
に弾性的に支持されており、また該可動子２３の周囲に
コイル２５が巻回されている。該可動子２３には細線２
６の一端が固着され、その他端はｘ方向のスピンドル２
７に固着されている。該スピンドル２７の他端は前記太
管部１５の側部に固着されている。前記第２の磁石２
１、心棒部２２、可動子２３、メンブレン２４およびコ
イル２５は前記と同様のボイスコイルモータを形成して
いる。該ボイスコイルモータはｘ方向のスピンドル２７
に作用するが、図示されていない同構成のボイスコイル
モータが９０°回転した位置に設けられており、ｙ方向
のスピンドルに作用する。

【００１６】前記探針１０と対向する位置には試料台３
１が設けられ、該試料台３１上に検査すべき試料３２が
載置されている。また、該試料台３１は粗動ｘ，ｙ，ｚ
ステージ３３上に設置されている。図３は、図１のプロ
ーブ走査装置に接続されるｚ粗動・ｚ微動回路とｘ，ｙ
走査回路の概略の構成を示すブロック図であり、図１と
同一の符号は同一または同等物を示す。探針１０の変
位、例えばカンチレバーのそり量が変位検出器９から検
出されると、該検出信号は差動増幅器４１により基準値
発生器４２からの基準値と比較される。該基準値は探針
１０と試料面との距離が所定値になった時に変位検出器
９が出力する値と等しくされているので、該探針１０と
試料面との距離が該所定値からずれている時には、差動
増幅器４１はそのずれ量に応じた大きさの信号を出力す
る。差動増幅器４１の差分出力は積分回路４３と比例回
路４４とにより処理され、Ｖ−Ｉ変換器４５に入る。Ｖ
−Ｉ変換器４５は入力してきた電圧を電流に変換し、コ
イル４に通電する。

【００１７】一方、ラスタスキャナ４６はｘおよびｙ方
向の走査信号電流ｘi ，ｙi を、それぞれｘ方向可動子
２３とｙ方向可動子３４に巻回されているコイル２５と
３５に供給する。また、該ラスタスキャナ４６はＣＲＴ
４７にｘ，ｙ走査信号を供給する。試料表面の形状、物
理量等の検査情報は、Ｖ−Ｉ変換器４５の入力側から取
り出されてＣＲＴ４７に供給される。

【００１８】次に、本実施形態の動作を、図１、図３を
参照して説明する。最初に、試料３２の表面に探針１０
を近付ける時の粗動動作を説明する。前記ヒータ用コイ
ル１６には図示されていない温度コントローラが接続さ
れているので、まず該温度コントローラをオンにして、
ヒータ用コイル１６に通電し、粘性体１７を加熱する。
例えばポリマ等の場合には、融点の少し上の温度まで加
熱すると、該粘性体１７はその粘度を急激に下げる。

【００１９】次に、前記変位検出器９、差動増幅器４
１、積分回路４３、比例回路４４およびＶ−Ｉ変換器４
５からなるフィードバック回路が動作する。すなわち、
最初は探針１０と試料表面との距離は大きいから、基準
値発生器４２から出力される基準値と変位検出器９から
の変位検出値との差は大きいので、差動増幅器４１から
は大きな信号電圧が出力される。該信号電圧は積分回路
４３および比例回路４４により処理され、Ｖ−Ｉ変換器
４５により電流Ｉに変換されて、可動子４に巻回された
コイル６に流れる。

【００２０】そうすると、磁石２の磁界とコイル６に流
れる電流Ｉにより、可動子４を下方に動かす力が発生す
る。この結果、該可動子４に接続された細線７、スピン
ドル８は下降する力を受け、また前記中筒１３は前記第
１および第２のばね１１、１２を介してスピンドル８か
ら同方向の力を受ける。この時、粘性体１７の粘度は下
がっているため、中筒１３は容易に下方に移動する。こ
の移動は、前記コイル６に流れる電流Ｉが大きいため、
速やかに行われる。

【００２１】以上のようにして、探針１０が試料３２の
表面に近付き両者の間が所定の距離になると、変位検出
器９からの変位検出値と基準値発生機４２からの基準値
とがほぼ等しい大きさになるから、差動増幅器４１から
出力される信号電圧は０付近の大きさになり、前記コイ
ル６に流れる電流Ｉも小さくなって、ｚ粗動は停止す
る。前記温度コントローラをオフにするタイミングは、
ｚ粗動の停止時か、あるいは余熱を考慮に入れて、該停
止時より早目にする。ヒータ用コイル１６による粘性体
１７の加熱がなくなると、粘性体の粘度は上がる。特
に、前記ポリマ等の場合には、融点の温度を下回ると固
化が始まり、中筒１３と太管部１５とは強固に固定され
る。

【００２２】上記の説明では前記フィードバック回路を
用いてｚ粗動を行うようにしたが、別に定電流電源を設
け、該定電流電源からコイル６に電流を流すようにし、
ｚ粗動の終点検出はカンチレバーの振動振幅の減衰量ま
たはそり量で行うようにしてもよい。

【００２３】ｚ粗動が終了すると、ｘ，ｙ走査とｚ微動
とが同時に行われる。まず、ｘ，ｙ走査機構およびその
動作について、図１および図４を参照して説明する。こ
こに、図４(a)はｘ方向の走査電流ｘi 、同図(b)はｙ方
向の走査電流ｙi 、同図(c)は試料表面のｘ，ｙ走査領
域を示している。図(c)の３２は試料であり、３２ａは
そのｘ，ｙ走査領域を示す。なお、ｘ方向の走査とｙ方
向の走査は同一または同等の機構により行われるので、
これらの代表としてｘ方向の走査機構に注目して、以下
に説明する。

【００２４】図１の磁石２１の心棒部２２に遊嵌された
可動子２３に巻回されているコイル２５に、前記ラスタ
スキャナ４６から図４(a)に示されているような波形の
電流ｘi が通電されると、該可動子２３に接続されてい
るｘ方向の細線２６とスピンドル２７がｘ方向の力を受
ける。

【００２５】いま、前記コイル２５に負方向の電流Ｉが
流れて、スピンドル２７が図１の左方向に押されたとす
ると、太管部１５は力点１５ａにおいて図示されていよ
うな力Ｆを受ける。そうすると、太管部１５は細管部１
４のたわみにより、該力Ｆと同方向に振られる。逆に、
前記コイル２５に正方向の電流Ｉが流れて、スピンドル
２７が図１の右方向に引かれたとすると、太管部１５は
力点１５ａにおいて力−Ｆを受ける。そうすると、太管
部１５は細管部１４の逆方向のたわみにより、該力−Ｆ
と同方向に振られる。このようにして、太管部１５は−
ｘから＋ｘ方向に振られると、探針１０はスピンドル
８、第１、第２のばね１１、１２、中筒１３および粘性
体１７を介して太管部１５に接続されているので、その
走査幅を拡大されて、−ｘから＋ｘ方向に走査されるこ
とになる。

【００２６】次に、上記の動作を、図５を参照して定量
的に説明する。図５は図１の細管部１４、太管部１５お
よび中筒１３を介して取り付けられた探針１０の概略の
概念図を示すものであり、図５の作用点１５ｂに前記探
針１０が取り付けられているものと仮定する。いま、力
点１５ａに力Ｆが印加されたとすると、該力点１５ａで
のたわみ量ｙは下記の(1) 式のようになる。

【００２７】

【数１】ここに、Ｅは細管部および太管部の材料のヤング率を示
す。また、前記Ｉ1 は太管部の断面二次モーメント、Ｉ
0 は細管部の断面二次モーメントを示している。次に、
前記作用点１５ｂにおけるたわみ量ｙ_Tは、下記の(2)
式で表すことができる。

【００２８】

【数２】ここに、θは力点１５ａでのたわみ角である。この式か
ら、作用点１５ｂ、すなわち走査点でのたわみ量は力点
１５ａでのたわみ量ｙに比べて、（ｌ_T−ｌ）ｔａｎθ
だけ拡大されていることがわかる。

【００２９】次に、前記(1) 式を、ｌ₀を変数として微
分すると、下記の(3) 式のようになる。

【００３０】

【数３】前記力点１５ａでのたわみ量の最大値を求めるために、
(3) 式＝０とおいてｌ ₀を求めると、下式のようにな
る。ｌ₀＝（−１±２^1/2）ｌしたがって、ｌ₀＝０．４１４ｌとなり、力点１５ａで
のたわみ量ｙは、細管部の長さｌ₀と力点までの長さｌ
との比（ｌ₀／ｌ）を０．４１４にすると、最大にな
る。このため、ｌ₀／ｌ＝０．４１４となるように設計
するのが最適である。

【００３１】図４に戻って、ｘ，ｙ走査の動作を説明す
ると、今ｘ走査電流ｘi およびｙ走査電流ｙi が共に０
であるとすると、探針１０は同図(c) の試料３２上のあ
る一点Ｏを指している。この状態から、ｘ走査電流ｘi
およびｙ走査電流ｙi に図示されているように負の電流
−Ｉが通電されると、時刻ｔ1 において、探針１０は試
料３２上の走査原点（ｘ0 ，ｙ0 ）に来る。次に、ｘ走
査電流ｘi が直線的に増加すると、その間探針１０は試
料３２上をｘ方向に走査し、時刻ｔ２になると、試料３
２上の走査終点（ｘn ，ｙ0 ）に来る。この間、探針１
０は試料３２の表面の形状に応じたｚ微動を行い、該形
状に関わる情報が変位検出器９から出力される。

【００３２】次に、時刻ｔ2 〜ｔ3 の間は、探針１０は
前記と同じ走査線上を走査し、時刻ｔ3 になると前記走
査原点（ｘ0 ，ｙ0 ）に戻る。この帰線期間に得られる
探針１０からの情報は、ブランキングをすることによ
り、前記ＣＲＴ４７に映らないようにすることができ
る。時刻ｔ4 になると、ｙ走査電流ｙi が一段階増加す
るので、探針１０は位置（ｘ0 ，ｙ1 ）に来る。そし
て、時刻ｔ4 〜ｔ5 の間は、該位置（ｘ0 ，ｙ1 ）を起
点とするｘ方向の走査が行われる。この間、探針１０は
試料３２の表面の形状に応じたｚ微動を行い、該形状に
関わる情報が変位検出器９から出力される。以下同様の
動作が繰り返されると、走査領域３２ａ内の走査が順次
行われ、探針１０が最後の走査終点位置（ｘn ，ｙn ）
に来ると、ｘ，ｙ走査は終了する。

【００３３】次に、前記ｘ，ｙ走査の間に行われるｚ微
動の動作を簡単に説明する。前記フィードバック回路
（図３参照）は、試料３２の表面の凹凸に合わせて探針
１０、例えばカンチレバーのそり量が一定になるよう
に、探針１０を上下に変位ｚだけ動かす。この変位ｚ
は、ボイスコイル６に電流Ｉを流すことにより発生する
力Ｆを、前記第１および第２のばね１１、１２の合計の
ばね定数Ｋで割った量である。式で書くと、次のように
なる。

【００３４】ｚ＝Ｆ／Ｋここに、力Ｆは、ボイスコイル６と磁石２の心棒部３と
の間の磁場Ｂとボイスコイル６に流れる電流Ｉの乗に比
例する。したがって、変位ｚは該ボイスコイル６に流れ
る電流Ｉに比例し、変位ｘは探針１０が試料３２の表面
をトレースした時の変位量であるから、試料３２の表面
の凹凸は前記電流Ｉに比例する。すなわち、ボイスコイ
ル６に流れる電流Ｉをモニタすると、試料３２の表面の
凹凸を計測することができる。この時のリニアリティ
は、従来のピエゾスキャナより良好である。

【００３５】以上のように、本実施形態によれば、ｘ，
ｙ，ｚ方向に設けられかつ一体化されたボイスコイルモ
ータにより、ｚ粗動・ｚ微動とｘ，ｙ走査を行うことが
できるので、従来のピエゾスキャナに比べて、高電圧を
必要とせず取扱が簡単でかつ安全性に優れている上に、
走査幅を拡大することができる。また、本実施形態は、
プローブスキャンを実現しているので、例えば半導体の
ウェハのような大型の試料の表面を検査することができ
るというメリットもある。

【００３６】なお、前記した実施形態では、前記細管部
１４と太管部１５を筐体１と一体構造としたが、本発明
はこれに限定されず、筐体１と細管部１４とを別構造と
し、該細管部を筐体１と異なる材料の弾性体で構成して
もよい。また、細管でなく、複数本の弾性線条体等から
構成してもよい。

【００３７】

【発明の効果】前記の説明から明らかなように、本発明
によれば、ｘ，ｙおよびｚ方向の３方向に配置されたボ
イスコイルモータを一体化し、該ボイスコイルモータか
らの力により弾性体でできた探針支持手段を押圧したり
引っ張ったりするようにして探針をｘ，ｙおよびｚの３
方向に移動させるようにしたので、従来のピエゾスキャ
ナに比べて、高電圧対策等の安全性の配慮が不要にな
り、弱い力で広範囲のｘ，ｙ走査が可能になるという効
果がある。また、プローブスキャンが実現できるので、
大型の試料の表面を検査することが可能になるという効
果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のプローブ走査装置の一実施形態の構成
図である。

【図２】図１の第１、第２のばねの一具体例を示す平面
図である。

【図３】ｘ，ｙ，ｚ方向のボイスコイルモータを駆動さ
せるためのブロック図である。

【図４】ｘ，ｙ方向のボイスコイルモータに供給する走
査電流の波形図と、走査領域を示す図である。

【図５】細管部と太管部のたわみを説明するための図で
ある。

【図６】従来のピエゾスキャナの概略の構成を示す図で
ある。

【符号の説明】

１筐体２、２１第１、第２の磁石３、２２心棒部４、２３可動子５、２４メンブレン６、２５コイル７、２６細線８、２７スピンドル９変位検出器１０探針１１、１２第１、第２のばね１３中筒１４細管１５太管１６ヒータ用コイル１７粘性体３１試料台３２試料

フロントページの続き (56)参考文献特開平６−241776（ＪＰ，Ａ) 特開平８−75758（ＪＰ，Ａ) 特開平１−124947（ＪＰ，Ａ) 特開平９−113519（ＪＰ，Ａ) 特開平９−196930（ＪＰ，Ａ) 特開平９−281120（ＪＰ，Ａ) 国際公開96／7074（ＷＯ，Ａ１) 欧州特許出願公開124472（ＥＰ，Ａ２) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01N 13/10 - 13/24 G01B 7/34 H01J 37/28 ＪＩＣＳＴファイル（ＪＯＩＳ)

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】試料の表面に探針を近接させて、該試料
表面の形状あるいは物理量を計測する装置に使用される
プローブ走査装置であって、ｘ、ｙおよびｚ方向の３方
向に配置されたボイスコイルモータと、該ボイスコイル
モータからの力により、ｘ、ｙおよびｚ方向の３方向に
移動させられる探針支持手段とを具備し、前記ボイスコ
イルモータを駆動することにより、前記探針をｚ方向の
粗動・微動およびｘ、ｙ方向の走査を可能にしたことを
特徴とするプローブ走査装置において、前記探針支持手
段は、ｚ方向に延びる弾性体を含み、前記ｘ、ｙ方向の
ボイスコイルモータによって生成されたｘ、ｙ方向の力
を前記弾性体の一部に印加することにより、前記探針を
ｘ、ｙ方向に拡大走査するようにしたことを特徴とする
プローブ走査装置。
【請求項２】請求項1記載のプローブ走査装置におい
て、前記探針支持手段は、ｚ方向に延びる細管部と太管
部とを含み、前記ｘ、ｙ方向のボイスコイルモータによ
って生成されたｘ、ｙ方向の力を前記太管部の一部に印
加することにより、前記探針をｘ、ｙ方向に拡大走査す
るようにしたことを特徴とするプローブ走査装置。
【請求項３】請求項２記載のプローブ走査装置におい
て、前記太管部の一部に印加する力に対して、該太管部
の変位量が最大になる長さに、前記細管部の長さを設定
したことを特徴とするプローブ走査装置。
【請求項４】請求項１または２記載のプローブ走査装
置において、前記探針支持手段は、前記ｚ方向に延びる
太管部に粘性体を介して支持された探針支持部材を含
み、該粘性体は探針のｚ粗動時に軟化され、ｚ微動時に
硬化されることを特徴とするプローブ走査装置。