JP2015224143A5 - - Google Patents
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Claims (4)
- 側面同士を対向させて並べられるような形状に成形された複数の種結晶基板を用意する工程と、
隣り合う前記種結晶基板の前記側面同士が対向して並んだ配置となるように、前記複数の種結晶基板を、基材上に加熱硬化型の接着剤で接着する工程と、
前記複数の種結晶基板の主面上方に、各々の主面上方に成長した結晶同士が結合して一体化するように、ＩＩＩ族窒化物結晶を成長させる工程と、
を有するＩＩＩ族窒化物基板の製造方法。 - 前記複数の種結晶基板を前記基材上に接着する工程は、前記加熱硬化型の接着剤を乾燥させる工程を含む請求項１に記載のＩＩＩ族窒化物基板の製造方法。
- 前記複数の種結晶基板を前記基材上に接着する工程では、隣接して配置される前記種結晶基板同士の間に凹部が形成された前記基材上に、前記複数の種結晶基板を接着する請求項１または２に記載のＩＩＩ族窒化物基板の製造方法。
- 前記凹部は、余分な前記接着剤を流し込ませるための凹部である請求項３に記載のＩＩＩ族窒化物基板の製造方法。
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