JP2015208777A - ボール状Au−Ag−Ge系はんだ合金並びにこのボール状Au−Ag−Ge系はんだ合金を用いて封止された電子部品及び電子部品搭載装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】特に濡れ広がり性、接合性に優れ、加工性や応力緩和性等にも優れるとともに、適した融点を有し、かつAu含有量が少なく低コストである高温用鉛フリーのボール状Au−Ag−Ge系はんだ合金を提供する。
【解決手段】ボール状のAu−Ag−Ge系はんだ合金であって、その形状は縦横比が1.00以上1.20以下であり、かつAgを5.0質量%以上18.0質量%以下含有し、Geを7.0質量%以上20.0質量%以下含有し、残部が製造上、不可避に含まれる元素を除き、Auからなることを特徴とする。
【選択図】 図1
【解決手段】ボール状のAu−Ag−Ge系はんだ合金であって、その形状は縦横比が1.00以上1.20以下であり、かつAgを5.0質量%以上18.0質量%以下含有し、Geを7.0質量%以上20.0質量%以下含有し、残部が製造上、不可避に含まれる元素を除き、Auからなることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
本発明はボール状の高温用鉛フリーはんだ合金に関するものであり、Auを主成分としたボール状はんだ合金、および該はんだ合金を用いて封止した電子部品などに関する。
近年、環境に有害な化学物質に対する規制がますます厳しくなってきており、この規制は電子部品などを基板に接合する目的で使用されるはんだ材料に対しても例外ではない。はんだ材料には古くから鉛が主成分として使われ続けてきたが、すでにRohs指令などで規制対象物質になっている。このため、鉛(Pb)を含まないはんだ(以降、鉛フリーはんだまたは無鉛はんだと称する。)の開発が盛んに行われている。
電子部品を基板に接合する際に使用するはんだは、その使用限界温度によって高温用(約260℃〜400℃)と中低温用(約140℃〜230℃)に大別され、それらのうち、中低温用はんだに関してはSnを主成分とするもので鉛フリーはんだが実用化されている。
例えば、中低温用の鉛フリーはんだ材料としては、特許文献1として示す特開平11−77366号公報にはSnを主成分とし、Agを1.0〜4.0重量%、Cuを2.0重量%以下、Niを1.0重量%以下、Pを0.2重量%以下含有する無鉛はんだ合金組成が記載されている。また、特許文献2として示す特開平8−215880号公報にはAgを0.5〜3.5重量%、Cuを0.5〜2.0重量%含有し、残部がSnからなる合金組成の無鉛はんだが記載されている。
一方、高温用の鉛フリーはんだ材料に関しても、さまざまな機関で開発が行われている。例えば、特許文献3として示す特開2002−160089号公報には、Biを30〜80at%含んだ溶融温度が350〜500℃のBi/Agろう材が記載されている。また、特許文献4として示す特開2008−161913号公報には、Biを含む共晶合金に2元共晶合金を加え、さらに添加元素を加えたはんだ合金が記載されており、このはんだ合金は、4元系以上の多元系はんだではあるものの、液相線温度の調整とばらつきの減少が可能になるとしている。
また、高価な高温用の鉛フリーはんだ材料としてはすでにAu−Sn合金やAu−Ge合金などが水晶デバイス、SAWフィルター、そして、MEMS等の電子部品搭載装置で使用されている。
例えば、特許文献5として示す特許第2821787号公報には、Au−Ge、Au−Sb又はAu−Siの板状低融点Au合金ろうを予加熱し、次に加熱保温部を設けたプレス金型にその材料を順次送って100℃〜350℃の温度範囲でプレス加工を行うことを特徴とする板状低融点Au合金ろうのプレス加工方法について記載されている。
また、特許文献6として示す特許第2731435号公報には、電子部品のパッケージングにおいて外部リードのろう付けに用いられるろう材であって、Agが10〜35wt%、In、Ge及びGaのうち少なくとも1種類を合計で3〜15wt%、及び残部がAuのAu合金であり、かつエレクトロマイグレーションテストにおいて短絡するまでの時間が1.5時間以上であることを特徴とするエレクトロマイグレーション防止性ろう材について記載されている。
一方、特許文献7として示す特開2011−198777号公報には、ボール状のSn−Ag−Cu合金などの非Au系鉛フリーはんだ合金が記載され、また特許文献8として示す特開2011−235342号公報には、シート状やワイヤ状やボール状の非Au系鉛フリーZn系はんだ合金が記載されている。
高温用の鉛フリーはんだ材料に関しては、上記、引用文献以外にもさまざまな機関で開発されてはいるが、未だ低コストで汎用性のあるはんだ材料は見つかっていない。すなわち、一般的に電子部品や基板には熱可塑性樹脂や熱硬化性樹脂などの比較的耐熱温度の低い材料が多用されているため、作業温度を400℃未満、望ましくは370℃以下にする必要がある。しかしながら、例えば特許文献3に開示されているBi/Agろう材では、液相線温度が400〜700℃と高いため、接合時の作業温度も400〜700℃以上となり、接合される電子部品や基板の耐熱温度を超えてしまうことになる。
そして、Au−Sn系はんだやAu−Ge系はんだの場合は非常に高価なAuを多量に使用するため、汎用のPb系はんだやSn系はんだなどに比較して非常に高価であり、実用化されてはいるものの、その使用範囲は水晶デバイス、SAWフィルター、そして、MEMSなどのとくに高い信頼性が必要とされる箇所のはんだ付けの使用に限られている。加えて、Au系はんだは非常に硬く加工しづらい。具体的には圧延工程を必要とするリボン材への加工、プレス加工を必要とする打抜き材への加工、そして高い真球度や表面酸化抑制が要求されるボール形状への加工は難しく、特に良好な濡れ広がり性と接着性を得られるようなボール状はんだ合金に成形することは非常に困難である。
さらに、このような加工性の悪さを解決するため、Au系はんだをはんだペースト化するなどの工夫もされているが、ボイド発生やさらなるコストアップなどの新たな問題を引き起こしてしまう。
以上のような問題を含め、さまざまなAu系はんだの問題に対処すべく、上記した特許文献5や特許文献6に記載の技術が提案されている。しかしながら、特許文献5に記載のAu−Ge、Au−Sb、Au−Si等の板状(シート状)低融点Au合金ろうの素材特性は、室温においてガラス板のような脆性を示し、また方向性があるため、一般に長手方向に平行な面においては僅かな曲げに対しても破断し易く、亀裂の伝播が進み易いという欠点がある。
そこで、従来から所謂コンパウンド金型を用いてプレス加工を行ってきているが、このコンパウンド金型技術においても金型精度の問題や金型寿命の問題があるため、加熱保温部を設けたプレス金型に材料を順次送って100℃〜350℃の温度範囲でプレス加工する技術が行われている。しかし、所謂温間でのプレス加工でも課題は山積していると言わざるを得ない。
つまり、温間プレスでは、はんだ合金の酸化が進行してしまう。Auを多く含有するはんだであっても、その他の金属、例えば、GeやSnなどを含んでいるAu系はんだは、これらの元素の酸化進行を防ぐことが出来ず、常温より高い温度でプレスしたとき、表面が酸化して濡れ性が大きく低下してしまう。さらに、温度が高い状態であるから常温に比べてはんだが膨張し、工夫をしても常温でのプレスに比較して形状の精度が出せない。加えて、柔らかくなったはんだは金型に張り付き易くなり、はんだが撓んだり歪んだりした状態でプレスすることになるため、バリや欠けが発生しやすくなる。温間プレスは通常のプレスよりも設備費が高価になることも課題である。
また、上記特許文献6には、既に述べたようにAgを10〜35wt%、In、Ge及びGaのうち少なくとも1種類を合計で3〜15wt%含有し、残部がAuのAu合金からなるエレクトロマイグレーション防止性ろう材が記載されている。そして、これらの元素の効果として、Auを主成分とすることでエレクトロマイグレーションを防止でき、Agを10〜35wt%加えるのはろう付け強度を得るためであり、またIn、Ge及びGaのうち少なくとも1種類を合計で3〜15wt%加えるのは、融点を下げるためであると記載されている。
しかし、特許文献6に記載のAu合金は、Ag−28wt%CuやAg−15wt%CuのAg系ろう材との比較において、エレクトロマイグレーションの発生を防止でき、強固で安定したろう付け強度が得られるろう材として開発されている。そのため、1%NaCl溶液中に放置した後のろう付け強度の評価は行っているものの、濡れ広がりなどを含めた接合状態の確認は行われていない。信頼性評価には、前記接合状態を含めた応力緩和性を確認するための温度サイクル試験などを実施する必要があるが、特許文献6の技術ではその確認がなされておらず、高い信頼性が得られるかどうかは不明である。
一方、Au−Ag−Ge系はんだ合金は良好な濡れ広がり性と接合性を確保するためにはボール状とするのが最適である。特許文献7や特許文献8に示された鉛フリーはんだ合金は非Au系はんだ合金であるため加工が容易で真球に近いボール状に形成し易い。しかし、Au−Ag−Ge系はんだ合金は非Au系はんだ合金と比べると融点が高いAuを使用しているため、温度分布があると偏析し易くアトマイズの製法ではノズルが一部詰まるなどして、ボールが歪んだ形状となることがある。歪んだ形状では濡れ広がり性が安定せず接合不良の原因となる。また、搬送時安定しない。さらにレーザエネルギー吸収量が安定せず溶融状態が安定しない。さらにまた、はんだ飛び散りの原因にもなる。
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、水晶デバイス、SAWフィルターやMEMS等の非常に高い信頼性を要求される電子部品や電子部品搭載装置の接合においても十分に使用できる各種特性に優れ、特に濡れ広がり性と接合性に優れる高温用ボール状Au−Ag−Ge系はんだ合金を提供することである。さらに、鉛を含有せず、低コストであり、加工性、応力緩和性、そして信頼性に優れたはんだ合金を提供することである。
そこで、上記目的を達成するために本発明によるボール状Au−Ag−Ge系はんだ合金は、ボール状のAu−Ag−Ge系はんだ合金であって、その形状は縦横比(「長径÷短径、または、長辺÷短辺」のことをいう。以下同じ)が1.00以上1.20以下であり、かつAgを5.0質量%以上18.0質量%以下含有し、Geを7.0質量%以上20.0質量%以下含有し、残部が製造上、不可避に含まれる元素を除き、Auからなることを特徴としている。
また、本発明においては、縦横比が1.00以上1.20以下であり、かつAgを5.0質量%以上10.0質量%以下含有し、Geを7.0質量%以上20.0質量%以下含有し、残部が製造上、不可避に含まれる元素を除き、Auからなることが好ましい。
また、本発明においては、前記Ag及びGeと共に、Ni、Sb、Cu、Pの少なくとも1種を含有し、Niを含有する場合その含有量は0.01質量%以上1.50質量%以下、Sbを含有する場合その含有量は0.01質量%以上21.00質量%以下、Cuを含有する場合その含有量は0.01質量%以上18.00質量%以下、Pを含有する場合その含有量は0.001質量%以上0.500質量%以下であって、残部が製造上、不可避に含まれる元素を除き、Auからなることが好ましい。
また、本発明によるボール状Au−Ag−Ge系はんだ合金は、上記のボール状Au−Ag−Ge系はんだ合金が一方向から潰され、縦横比が1.00を超え1.50以下であることを特徴としている。
一方、本発明による電子部品は、上記のボール状Au−Ag−Ge系はんだ合金を用いて封止されていることを特徴としている。
また、本発明による電子部品搭載装置は、上記のボール状Au−Ag−Ge系はんだ合金を用いて封止された電子部品が搭載されていることを特徴としている。
本発明によれば、鉛を含有せず、加工性などの各種特性、特に接合時の濡れ広がり性及び接合性に優れ、水晶デバイス、SAWフィルター、MEMSなどの非常に高い信頼性を要求される箇所に使用することが可能な、従来のAu系はんだよりもとくに濡れ広がり性、接合性に優れた高温用Au−Ag−Ge系はんだ合金ボールを提供することができる。さらに、本発明のボール状はんだ合金は濡れ広がり性が特に優れるため、不良が発生せず、製造上の各種収率等が高く、ボール状はんだ合金を効率よく製造でき、低コスト化を実現できる。その上適切な縦横比のボール状としたことにより、優れた濡れ広がり性を有していて高い接合信頼性が得られる。したがって、各種特性に優れたボール状Au系はんだを提供でき、工業的な貢献度は極めて高い。
以下、本発明のボール状Au−Ag−Ge系はんだ合金について詳しく説明する。
本発明のボール状Au−Ag−Ge系はんだ合金は、ボール状のAu−Ag−Ge系はんだ合金であって、その形状は縦横比が1.00以上1.20以下であり、かつAgを5.0質量%以上18.0質量%未満含有し、Geを7.0質量%以上20.0質量%以下含有し、残部が製造上、不可避に含まれる元素を除き、Auからなることを特徴としている。
本発明のボール状Au−Ag−Ge系はんだ合金は、ボール状のAu−Ag−Ge系はんだ合金であって、その形状は縦横比が1.00以上1.20以下であり、かつAgを5.0質量%以上18.0質量%未満含有し、Geを7.0質量%以上20.0質量%以下含有し、残部が製造上、不可避に含まれる元素を除き、Auからなることを特徴としている。
また、上記Ag及びGeと共に、Ni、Sb、Cu、Pの少なくとも1種を含有することができ、Niを含有する場合の含有量は0.01質量%以上1.50質量%以下、Sbを含有する場合の含有量は0.01質量%以上21.00質量%以下、Cuを含有する場合の含有量は0.01質量%以上18.00質量%以下、Pを含有する場合の含有量は0.001質量%以上0.500質量%以下であって、残部がAu及び不可避不純物からなる。
本発明のはんだ合金は、コストが高いAu系はんだのコストを下げるとともに、濡れ性と接合性を十分に保持し、しかも良好な加工性を得るために、Au−Ge共晶合金を基本として、Auと全率固溶するAgを含有させたAu−Ag−Ge系合金を基本とする。このような組成を有する合金を選定することにより、Au系はんだの加工性の悪さを改善すると同時にAu含有量を下げて低コスト化を図り、さらにAgを選定したことによりAu系はんだと同等の濡れ性を確保することができる。
以下、本発明のAu−Ag−Ge系はんだ合金の形状や必須の元素、及び、必要に応じて含有することができる任意の元素について、更に詳しく説明する。
<縦横比>
本発明において、ボール状のAu−Ag−Ge系はんだ合金の縦横比を1.00以上1.20以下とすることは必須条件である。本発明においてボール状とは、真球型に限るものではなくフットボール型や部分的に平面視直線部分を有する長楕円型も含む。いずれの場合も縦横比が上記範囲内であればよい。
本発明において、ボール状のAu−Ag−Ge系はんだ合金の縦横比を1.00以上1.20以下とすることは必須条件である。本発明においてボール状とは、真球型に限るものではなくフットボール型や部分的に平面視直線部分を有する長楕円型も含む。いずれの場合も縦横比が上記範囲内であればよい。
なお、本発明のAu−Ag−Ge系はんだ合金のボール状の形状の縦横比とは、計算式1及び図1と図2に定義した通りであり、球型の直径が一番長い箇所の測定値を長径又は長辺とし、直径が一番短い箇所の測定値を短径又は短辺とする。
[計算式1] 縦横比=長径÷短径 または 長辺÷短辺
ただし、図1はフットボール型の例を、図2は長楕円型の例を示すが、これらは一例であり、形状は図示したものに限定されず、また長径と長辺、短径と短辺の区別も厳密なものではない。なお、図1と図2は長径と長辺、短径と短辺の区別をわかりやすくするため、図示した縦横比は本発明の上記縦横比の範囲外のものを示している。
[計算式1] 縦横比=長径÷短径 または 長辺÷短辺
ただし、図1はフットボール型の例を、図2は長楕円型の例を示すが、これらは一例であり、形状は図示したものに限定されず、また長径と長辺、短径と短辺の区別も厳密なものではない。なお、図1と図2は長径と長辺、短径と短辺の区別をわかりやすくするため、図示した縦横比は本発明の上記縦横比の範囲外のものを示している。
このようにボール状Au−Ag−Ge系はんだ合金の形状を制御することによって、はんだ合金は溶融した場合、平面視真円に近い状態に濡れ広がるのである。はんだ合金がある程度ボール状であっても、真球度が低下するに従い、はんだ溶融時にはんだが接合面に円状に広がらず、接合したい部分を部分的にはみ出したり、あるいは不足したりして接合できない部分が発生し、十分な合金化ができていない部分ができてしまうこととなる。さらにはんだの厚さが不均一になりチップの傾き等の原因になったり、十分な封止ができなかったりする。
このような不具合が発生しないようにするために、本発明のボール状Au−Ag−Ge系はんだ合金の縦横比は1.00以上1.20以下とする。縦横比が1.20以下であれば、はんだ溶融時に表面張力によってはんだが半球状に広がり、接合面は円形に均一に濡れ広がるのである。縦横比が1.20を超えてしまうと、本発明のボール状Au−Ag−Ge系はんだ合金の場合は、はんだ溶融時の表面張力によっても接合面に均一に濡れ広がることは難しくなってしまう。
また、縦横比が1.00以上1.10以下であれば、より一層、はんだ溶融時に表面張力によってはんだが半球状に広がり、接合面は円形に均一に濡れ広がることとなりより好ましい。
また、本発明のボール状Au−Ag−Ge系はんだ合金を一方向から潰し、縦横比が1.00を超え1.50以下となるようにする。基本的には短径(短辺)がより短くなる方向に潰すが、長径(長辺)側を潰してもよい。結果として縦横比が上記範囲内になればよい。一方向から潰したはんだ合金を接合面に置いたとき、潰された平らな平面が接合面に接することになる。このため、はんだの置かれた接合面をはんだ側から垂直に見た場合、はんだは略円状になっている。この状態ではんだを溶融させるとはんだは円状に濡れ広がるのである。
なお、Au−Sn系はんだ合金やAu−Ge系はんだ合金を一方向から潰して縦横比を1.50近くにすると、硬いためにクラックが入って円状に潰れず、よって円状に濡れ広がらなかったり、場合によってははんだが割れてしまったりする。
なお、Au−Sn系はんだ合金やAu−Ge系はんだ合金を一方向から潰して縦横比を1.50近くにすると、硬いためにクラックが入って円状に潰れず、よって円状に濡れ広がらなかったり、場合によってははんだが割れてしまったりする。
<Au>
Auは本発明のはんだ合金の主成分であり、当然、必須の元素である。Auは非常に酸化しづらいため、高い信頼性が要求される電子部品類の接合や封止用のはんだとして、特性面においては最も適している。このため、水晶デバイスやSAWフィルターの封止用としてAu系はんだが多用されており、本発明のはんだ合金もAuを基本とし、このような高信頼性を要求される技術分野に属するはんだを提供する。
Auは本発明のはんだ合金の主成分であり、当然、必須の元素である。Auは非常に酸化しづらいため、高い信頼性が要求される電子部品類の接合や封止用のはんだとして、特性面においては最も適している。このため、水晶デバイスやSAWフィルターの封止用としてAu系はんだが多用されており、本発明のはんだ合金もAuを基本とし、このような高信頼性を要求される技術分野に属するはんだを提供する。
ただし、Auは非常に高価な金属であることから、コスト面からするとできるだけ使いたくない金属であるため、汎用品には使用されていない。本発明においては、接合性や信頼性は維持しながら、Auの含有量を減らすため、以下に述べるようにAuにAgとGeを含有させる。
<Ag>
Agは本発明のはんだ合金において必須の元素である。Agを含有させることにより、Auの含有量を下げ、さらに融点も下げることができる。しかも、AgはAuには及ばないものの非常に酸化しづらい元素であるため、後述する含有量であれば、Au−12.5質量%GeはんだやAu−20質量%Snはんだと同等の濡れ性、並びに信頼性等を得ることができる。また、AgはAuよりも酸化し易いものの、例えばAu−Ge合金におけるGeやAu−Sn合金におけるSnなどよりも格段に酸化し難いため、十分な濡れ性を確保でき、よって高い信頼性を得ることができる。
Agは本発明のはんだ合金において必須の元素である。Agを含有させることにより、Auの含有量を下げ、さらに融点も下げることができる。しかも、AgはAuには及ばないものの非常に酸化しづらい元素であるため、後述する含有量であれば、Au−12.5質量%GeはんだやAu−20質量%Snはんだと同等の濡れ性、並びに信頼性等を得ることができる。また、AgはAuよりも酸化し易いものの、例えばAu−Ge合金におけるGeやAu−Sn合金におけるSnなどよりも格段に酸化し難いため、十分な濡れ性を確保でき、よって高い信頼性を得ることができる。
本発明のはんだ合金におけるAgの含有量は5.0質量%以上18.0質量%以下である。Ag含有量が5.0重量%未満では、液相線温度が高くなりすぎるため、接合温度が高くなりすぎたり、液相線温度と固相線温度の差が開きすぎて溶け別れ現象を起こしてしまったりする。そのため、良好な接合ができず、要求される信頼性を得ることができない。逆にAg含有量が18.0質量%を超えると、Geを7.0質量%以上20.0質量%以下共存させる本発明のはんだ合金では、結晶粒が粗大化したり、Agリッチ相の割合が多くなりすぎたりするため、加工性や応力緩和性の低下を招いてしまう。なお、加工性や応力緩和性を向上させるためにはAg含有量を10.0質量%未満程度にすることがより好ましい。
<Ge>
Geは上記Agと同様に本発明のはんだ合金において必須の元素である。Geは、Au−12.5質量%Geはんだが実用的に使われていることからも分かるようにAuと共晶合金を作り、加工性が良好なため、この利点を活かすべく含有するものである。融点もAuの1064℃を360℃という高温用はんだとして適した温度まで下げることができる。当然、本発明ではGeとAuの共晶合金を作る組成を基本とすることによって、加工性に優れ、よって高い信頼性を有するAu−Ag−Ge系合金を提供することができる。
Geは上記Agと同様に本発明のはんだ合金において必須の元素である。Geは、Au−12.5質量%Geはんだが実用的に使われていることからも分かるようにAuと共晶合金を作り、加工性が良好なため、この利点を活かすべく含有するものである。融点もAuの1064℃を360℃という高温用はんだとして適した温度まで下げることができる。当然、本発明ではGeとAuの共晶合金を作る組成を基本とすることによって、加工性に優れ、よって高い信頼性を有するAu−Ag−Ge系合金を提供することができる。
本発明のはんだ合金におけるGeの含有量は7.0質量%以上20.0質量%以下である。Geの含有量が7.0質量%未満であるか、又は20.0質量%を超えると、いずれの場合も液相線温度が高くなりすぎるため、接合温度が高くなりすぎたり、液相線温度と固相線温度の差が開きすぎて溶け別れ現象を起こしたりする。その結果、良好な接合ができず、要求される信頼性を得ることはできなくなる。また、Geの含有量が20.0質量%を超えると、はんだ合金が酸化し易くなるため、良好な接合ができなくなってしまう。
<Ni>
Niは本発明のはんだ合金において必要に応じて含有してよい任意の元素である。Niを含有させる目的は結晶の微細化による加工性の向上である。つまり、NiはAuやAgにほとんど固溶しないため、溶融後の冷却時に初晶として析出し、その初晶が核となって結晶が微細化する。そのため、はんだ合金の柔らかさが増し、加工性、応力緩和性が向上する。
Niは本発明のはんだ合金において必要に応じて含有してよい任意の元素である。Niを含有させる目的は結晶の微細化による加工性の向上である。つまり、NiはAuやAgにほとんど固溶しないため、溶融後の冷却時に初晶として析出し、その初晶が核となって結晶が微細化する。そのため、はんだ合金の柔らかさが増し、加工性、応力緩和性が向上する。
本発明のはんだ合金におけるNiの含有量は、0.01質量%以上1.50質量%以下である。Niの含有量が0.01質量%未満では、少なすぎて含有させた効果が得られない。逆に1.50質量%を超えてしまうと、他の元素含有量がどのような量であっても結晶が粗大化してしまうため、加工性や応力緩和性が低下してしまう。
<Sb>
Sbは本発明のはんだ合金において必要に応じて含有してよい任意の元素である。Sbを含有させる目的は共晶合金による加工性の向上にある。すなわち、SbはAuと、そしてAgとも共晶合金を作る元素であり、添加することではんだ合金を柔らかくすることが可能である。その結果、応力緩和性に優れ、高い信頼性を得ることができる。
Sbは本発明のはんだ合金において必要に応じて含有してよい任意の元素である。Sbを含有させる目的は共晶合金による加工性の向上にある。すなわち、SbはAuと、そしてAgとも共晶合金を作る元素であり、添加することではんだ合金を柔らかくすることが可能である。その結果、応力緩和性に優れ、高い信頼性を得ることができる。
本発明のはんだ合金におけるSbの含有量は、0.01質量%以上21.00質量%以下である。Sbの含有量が0.01質量%未満では、少なすぎるため含有による効果が得られない。逆に21.00質量%を超えると、結晶の微細化効果が得られにくくなると共に、液相線温度が高くなりすぎるため良好な接合ができなくなる。
<Cu>
Cuは本発明のはんだ合金において必要に応じて含有してよい任意の元素である。Cuを含有させる目的は固溶強化と低コスト化にある。すなわち、CuはAuに固溶して転位をとめる働きをするため、合金の強度を上げることができる。ただし、Cuは柔らかい金属であるため、はんだ合金の柔軟性を下げる心配はない。Cuのさらに好ましい効果として、はんだ合金の低コスト化がある。CuはAgやGeよりも安価な金属であるため、コストを下げる効果が大きい。
Cuは本発明のはんだ合金において必要に応じて含有してよい任意の元素である。Cuを含有させる目的は固溶強化と低コスト化にある。すなわち、CuはAuに固溶して転位をとめる働きをするため、合金の強度を上げることができる。ただし、Cuは柔らかい金属であるため、はんだ合金の柔軟性を下げる心配はない。Cuのさらに好ましい効果として、はんだ合金の低コスト化がある。CuはAgやGeよりも安価な金属であるため、コストを下げる効果が大きい。
本発明のはんだ合金におけるCuの含有量は、要求されるはんだの特性とコストを考慮して決定すればよいが、0.01質量%以上18.0質量%以下とする。Cuの含有量が0.01質量%未満では、量が少なすぎて含有させた効果が得られない。逆に18.00質量%を超えると、金属間化合物が生成し、急激に加工性を低下させてしまう。
<P>
Pは本発明のはんだ合金において必要に応じて含有してよい任意の元素である。Pを含有させる目的は濡れ性の向上にある。Pが濡れ性を向上させるメカニズムは、還元性が強く、自ら酸化することにより、はんだ合金表面の酸化を抑制すると共に基板面を還元し、濡れ性を向上させることにある。
Pは本発明のはんだ合金において必要に応じて含有してよい任意の元素である。Pを含有させる目的は濡れ性の向上にある。Pが濡れ性を向上させるメカニズムは、還元性が強く、自ら酸化することにより、はんだ合金表面の酸化を抑制すると共に基板面を還元し、濡れ性を向上させることにある。
また、Pの含有により、接合時にボイドの発生を低減させる効果も得られる。即ち、上記のごとくPは自らが酸化しやすいため、優先的に酸化が進む。その結果、はんだ母相の酸化を防ぎ、電子部品等の接合面を還元して濡れ性を確保することができる。そして、この接合の際に、はんだや接合面表面の酸化物がなくなるため、酸化膜によって形成される隙間(ボイド)が発生しにくくなり、接合性や信頼性等を向上させる。
なお、Pは、はんだ合金や基板を還元して酸化物になると気化し、雰囲気ガスに流されるため、はんだや基板等に残らない。このため、Pの残渣が信頼性等に悪影響を及ぼす可能性はなく、この点からもPは優れた元素と言える。
本発明のはんだ合金におけるPの含有量は、0.001質量%以上0.500質量%以下とする。Pは非常に還元性が強いため、微量を含有させれば濡れ性向上の効果が得られるが、0.001質量%未満では濡れ性向上の効果やボイドを低減させる効果が得られない。逆に0.500質量%を超えて含有しても、濡れ性向上の効果はあまり変わらず、過剰な含有によってPやP酸化物の気体が多量に発生し、気体によるボイド率を上げてしまったり、Pが脆弱な相を形成して偏析し、はんだ接合部を脆化して信頼性を低下させたりする恐れがある。
以下、具体的な実施例を挙げて本発明をさらに詳細に説明するが、本発明はこれら実施例によって何ら限定されるものではない。
まず、原料として、それぞれ純度99.9質量%以上のAu、Ag、Ge、Ni、Sb、Cu及びPを準備した。大きな薄片やバルク状の原料については、溶解後の合金においてサンプリング場所による組成のバラツキがなく、均一になるように留意しながら切断、粉砕等を行い、3mm以下の大きさに細かくした。これら原料から所定量を秤量して、高周波溶解炉用グラファイトるつぼに入れた。
まず、原料として、それぞれ純度99.9質量%以上のAu、Ag、Ge、Ni、Sb、Cu及びPを準備した。大きな薄片やバルク状の原料については、溶解後の合金においてサンプリング場所による組成のバラツキがなく、均一になるように留意しながら切断、粉砕等を行い、3mm以下の大きさに細かくした。これら原料から所定量を秤量して、高周波溶解炉用グラファイトるつぼに入れた。
原料の入ったるつぼを高周波溶解炉に入れ、酸化を抑制するために窒素を原料1kg当たり0.7L/分以上の流量で流した。この状態で溶解炉の電源を入れ、原料を加熱溶融させた。金属が溶融しはじめたら混合棒でよく攪拌し、局所的な組成のばらつきが起きないように均一に混ぜた。十分溶融したことを確認した後、高周波電源を切り、速やかにるつぼを取り出し、るつぼ内の溶湯をはんだ母合金の鋳型に流し込んだ。鋳型には、ボールを製造するための液中アトマイズ用に直径24mmの円柱形状のものを使用した。
このようにして、原料の混合比率を変えた以外は全て同様の方法により、試料1〜69のはんだ母合金を作製した。これらの試料1〜69の各はんだ母合金について、ICP発光分光分析器(SHIMAZU S−8100)を用いて組成分析を行った。得られた分析結果を下記表1に示した。
次に、試料1〜69を得るための各はんだ母合金からのボール状はんだ合金の製造方法と、はんだ合金試料の縦横比の測定方法について説明する。
<ボール状はんだ合金の製造方法>
準備した試料1〜69の各母合金(直径24mm)を液中アトマイズ装置のノズルに投入し、このノズルを250℃に加熱した油の入った石英管の上部(高周波溶解コイルの中)にセットした。ノズル中の母合金を高周波により540℃まで加熱して5分保持した後、不活性ガスによりノズルに圧力を加えてアトマイズを行い、ボール状のはんだ合金とした。尚、ボール直径は設定値を0.30mmとし、予めノズル先端の直径を調整した。得られたボール状形状の各試料はそれぞれエタノール洗浄を3回行い、その後、真空乾燥機で真空中40℃−3時間の乾燥を行った。そして、乾燥させたボール状形状の各試料を本発明の縦横比を満たすものと満たさないものとに選別した。選別方法としては特開平11−319728号公報に示されるような装置を用い、試料の落下方向に対して直角となる方向に直進する振動を加え試料を落下させて選別のための傾斜面に試料を落下させ、一定範囲内に落下したものを縦横比を満たすものとし、その他の区域に落下したものを縦横比を満たさないものとして第1段階の選別を行った。その後、後述する縦横比の測定により各試料を最終的に選別した。
準備した試料1〜69の各母合金(直径24mm)を液中アトマイズ装置のノズルに投入し、このノズルを250℃に加熱した油の入った石英管の上部(高周波溶解コイルの中)にセットした。ノズル中の母合金を高周波により540℃まで加熱して5分保持した後、不活性ガスによりノズルに圧力を加えてアトマイズを行い、ボール状のはんだ合金とした。尚、ボール直径は設定値を0.30mmとし、予めノズル先端の直径を調整した。得られたボール状形状の各試料はそれぞれエタノール洗浄を3回行い、その後、真空乾燥機で真空中40℃−3時間の乾燥を行った。そして、乾燥させたボール状形状の各試料を本発明の縦横比を満たすものと満たさないものとに選別した。選別方法としては特開平11−319728号公報に示されるような装置を用い、試料の落下方向に対して直角となる方向に直進する振動を加え試料を落下させて選別のための傾斜面に試料を落下させ、一定範囲内に落下したものを縦横比を満たすものとし、その他の区域に落下したものを縦横比を満たさないものとして第1段階の選別を行った。その後、後述する縦横比の測定により各試料を最終的に選別した。
さらに試料36〜40、65〜69についてはボール状の形状を潰し、平面のある形状とした。具体的には温間プレスを用い、酸化抑制のために窒素を5L/分の流量で流しながら200℃に加熱した金型で試料を潰し、30秒保持後、窒素を満たしたサイドボックスに移動し、常温まで冷却して取出した。潰しの程度は所望の縦横比となるように金型の隙間を制御して潰し量を調整した。
<はんだ合金試料の縦横比の測定>
試料1〜35、41〜64については三次元測定機によって任意の50カ所について直径を測定し、最小の長さを短径または短辺、最大の長さを長径または長辺とした。
潰した試料36〜40、65〜69については、潰した方向のうち実際に潰された部分の長さ(厚さ)を任意に10カ所測定して最小の長さ(厚さ)を短辺とし、短辺を測定した方向と垂直方向について長さを任意に10カ所測定して最大の長さを長辺とした。
はんだ合金試料の縦横比の測定結果を表1に示す。
試料1〜35、41〜64については三次元測定機によって任意の50カ所について直径を測定し、最小の長さを短径または短辺、最大の長さを長径または長辺とした。
潰した試料36〜40、65〜69については、潰した方向のうち実際に潰された部分の長さ(厚さ)を任意に10カ所測定して最小の長さ(厚さ)を短辺とし、短辺を測定した方向と垂直方向について長さを任意に10カ所測定して最大の長さを長辺とした。
はんだ合金試料の縦横比の測定結果を表1に示す。
次に、各評価について説明し、得られた各評価結果を表2に示す。
<濡れ広がり性の評価(接合体の縦横比の測定)>
濡れ広がり性を評価するため、図3の模式図に示すようなNiめっきしたCu基板上に各試料のはんだ合金をはんだ付けした接合体を以下のように作製して、接合体の縦横比を測定した。
濡れ広がり性を評価するため、図3の模式図に示すようなNiめっきしたCu基板上に各試料のはんだ合金をはんだ付けした接合体を以下のように作製して、接合体の縦横比を測定した。
濡れ性試験機(装置名:雰囲気制御式濡れ性試験機)を起動し、加熱するヒーター部分に2重のカバーをしてヒーター部の周囲4箇所から窒素ガスを12L/分の流量で流した。その後、ヒーター設定温度を融点より50℃高い温度にして加熱した。ヒーター温度が設定値で安定した後、Niめっき(膜厚:3.0μm)したCu基板(板厚:0.3mm)をヒーター部にセッティングして25秒加熱し、次にボール状のはんだ合金をCu基板上に載せて25秒加熱した。加熱が完了した後、Cu基板をヒーター部から取り上げ、その横の窒素雰囲気が保たれている場所に一旦設置して冷却し、十分に冷却した後大気中に取り出した。
得られた接合体、即ち図3に示すようにCu基板のNiめっき層にはんだ合金が接合された接合体について、濡れ広がったはんだ合金の濡れ広がり長さを測定して縦横比を求めた。具体的には、図3に示す最大のはんだ濡れ広がり長さを長径とし、最小のはんだ濡れ広がり長さ短径とし、測定値より下記計算式2によって縦横比を算出した。
[計算式2] 縦横比=長径÷短径
接合体の縦横比の測定結果を表2に示す。
[計算式2] 縦横比=長径÷短径
接合体の縦横比の測定結果を表2に示す。
計算式2の縦横比が1に近いほど基板上に円形状に濡れ広がっており、濡れ広がり性がよいと判断できる。1より大きくなるに従い、濡れ広がり形状が円形からずれていき、溶融はんだの移動距離にバラつきがでている状態を示している。この状態では、合金層の厚みや成分バラつきが大きくなったりし、均一で良好な接合ができなくなってしまう。さらに、ある方向に多くのはんだが流れるように広がって、はんだ量が過剰な箇所とはんだが無い箇所ができ、接合不良や場合よっては接合できなかったりしてしまう場合も発生する。このような状態を発生させないためには、接合体の縦横比は1.3未満が好ましい。
<接合性の評価(ボイド率の測定)>
上記濡れ性の評価の際と同様にして得られた図3に示す接合体について、はんだ合金が接合されたCu基板のボイド率をX線透過装置(株式会社東芝製、TOSMICRON−6125)を用いて測定した。具体的には、はんだ合金とCu基板の接合面を上部から垂直にX線を透過し、下記計算式3を用いてボイド率を算出した。
[計算式3]
ボイド率(%)=ボイド面積÷(ボイド面積+はんだ合金とCu基板の接合面積)×100
接合体のボイド率の測定結果を表2に示す。
上記濡れ性の評価の際と同様にして得られた図3に示す接合体について、はんだ合金が接合されたCu基板のボイド率をX線透過装置(株式会社東芝製、TOSMICRON−6125)を用いて測定した。具体的には、はんだ合金とCu基板の接合面を上部から垂直にX線を透過し、下記計算式3を用いてボイド率を算出した。
[計算式3]
ボイド率(%)=ボイド面積÷(ボイド面積+はんだ合金とCu基板の接合面積)×100
接合体のボイド率の測定結果を表2に示す。
<ヒートサイクル試験(信頼性の評価)>
はんだ接合の信頼性を評価するためにヒートサイクル試験を行った。なお、この試験は、上記接合性の評価と同様にして得たはんだ合金とCu基板が接合された接合体を用いて行った。まず、接合体に対して、−40℃の冷却と250℃の加熱を1サイクルとして、これを300サイクル繰り返した。その後、はんだ合金が接合されたCu基板を樹脂に埋め込み、断面研磨を行い、SEM(日立製作所製 S−4800)により接合面の観察を行った。接合面にはがれやはんだにクラックが入っていた場合を「×」、そのような不良がなく、初期状態と同様の接合面を保っていた場合を「○」とした。300サイクルのヒートサイクル試験にてクラックの観察されなかった接合体に関しては500サイクルまで繰り返した。
接合体のヒートサイクル試験結果を表2に示す。
はんだ接合の信頼性を評価するためにヒートサイクル試験を行った。なお、この試験は、上記接合性の評価と同様にして得たはんだ合金とCu基板が接合された接合体を用いて行った。まず、接合体に対して、−40℃の冷却と250℃の加熱を1サイクルとして、これを300サイクル繰り返した。その後、はんだ合金が接合されたCu基板を樹脂に埋め込み、断面研磨を行い、SEM(日立製作所製 S−4800)により接合面の観察を行った。接合面にはがれやはんだにクラックが入っていた場合を「×」、そのような不良がなく、初期状態と同様の接合面を保っていた場合を「○」とした。300サイクルのヒートサイクル試験にてクラックの観察されなかった接合体に関しては500サイクルまで繰り返した。
接合体のヒートサイクル試験結果を表2に示す。
上記表2から分かるように、本発明の試料1〜40の各はんだ合金は、各評価項目において良好な特性を示している。即ち、濡れ広がり性の評価では、全ての試料で縦横比が1.25以下で円状に均一に広がっており、接合性の評価ではボイド率は8.5%以下であって良好な接合ができていることがわかる。さらに、信頼性の評価であるヒートサイクル試験では全ての試料で500サイクルまで不良が発生しなかった。このように良好な結果が得られた理由は本発明のはんだ合金は縦横比が決められた範囲内であるからである。
一方、比較例である試料41〜69の各はんだ合金は、少なくともいずれかの特性において好ましくない結果となった。即ち、濡れ広がり性の評価では、縦横比が1.3以上で不均一に広がる試料が多数発生した。また、接合性の評価ではボイド率が10%以上となる試料が多く発生した。そして信頼性の評価であるヒートサイクル試験では一部の試料が300サイクルまではもったものの、全ての試料に関して500サイクルまでには不良が発生した。
尚、本発明のはんだ合金は、上記した各特性の評価において良好な結果が得られている上、必須三元素の構成の場合においては、Auの含有量を最低で62質量%まで減らすことが可能である。このAu含有量は、Au−Ge系はんだ合金において最も一般的な共晶組成であるAu−12.5質量%Geよりも少なく、本発明のはんだ合金は低コストであることが分かる。
尚、本発明のはんだ合金は、上記した各特性の評価において良好な結果が得られている上、必須三元素の構成の場合においては、Auの含有量を最低で62質量%まで減らすことが可能である。このAu含有量は、Au−Ge系はんだ合金において最も一般的な共晶組成であるAu−12.5質量%Geよりも少なく、本発明のはんだ合金は低コストであることが分かる。
Claims (6)
- ボール状のAu−Ag−Ge系はんだ合金であって、その形状は縦横比(「長径÷短径、または、長辺÷短辺」のことをいう。以下同じ)が1.00以上1.20以下であり、かつAgを5.0質量%以上18.0質量%以下含有し、Geを7.0質量%以上20.0質量%以下含有し、残部が製造上、不可避に含まれる元素を除き、Auからなることを特徴とするボール状Au−Ag−Ge系はんだ合金。
- 縦横比が1.00以上1.20以下であり、かつAgを5.0質量%以上10.0質量%未満含有し、Geを7.0質量%以上20.0質量%以下含有し、残部が製造上、不可避に含まれる元素を除き、Auからなることを特徴とする請求項1に記載のボール状Au−Ag−Ge系はんだ合金。
- 前記Ag及びGeと共に、Ni、Sb、Cu、Pの少なくとも1種を含有し、Niを含有する場合その含有量は0.01質量%以上1.50質量%以下、Sbを含有する場合その含有量は0.01質量%以上21.00質量%以下、Cuを含有する場合その含有量は0.01質量%以上18.00質量%以下、Pを含有する場合その含有量は0.001質量%以上0.500質量%以下であって、残部が製造上、不可避に含まれる元素を除き、Auからなることを特徴とする請求項1または2に記載のボール状Au−Ag−Ge系はんだ合金。
- 請求項1〜請求項3のいずれかに記載のボール状Au−Ag−Ge系はんだ合金が一方向から潰され、縦横比が1.00を超え1.50以下であることを特徴とするボール状Au−Ag−Ge系はんだ合金。
- 請求項1〜4のいずれかに記載のボール状Au−Ag−Ge系はんだ合金を用いて封止されていることを特徴とする電子部品。
- 請求項5に記載の電子部品が搭載されていることを特徴とする電子部品搭載装置。
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