JP2017185520A - Au−Sn系はんだ合金 - Google Patents
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Abstract
【課題】 高い信頼性が要求される電子部品の封止用や接合用として使用される各種特性に優れた高温用のAu−Sn系はんだ合金を安価に提供する。【解決手段】 Snを24.0質量%を超え30.0質量%以下含有し、Bi、Ge、In、Sb、Ni、Si、及びCuからなる群のうちの1種以上をさらに含有し、残部が製造上不可避的に含まれる元素を除きAuからなるAu−Sn系はんだ合金であって、Biを含有する場合は1ppm以上800ppm以下、Geを含有する場合は1ppm以上800以下、Inを含有する場合は1ppm以上800ppm以下、Sbを含有する場合は1ppm以上800ppm以下、Niを含有する場合は1ppm以上500ppm以下、Siを含有する場合は1ppm以上1000ppm以下、Cuを含有する場合は1ppm以上1000以下である。【選択図】 なし
Description
本発明は、Au及びSnを主成分とする高温用のPbフリーはんだ合金に関し、特に水晶デバイス等の電子部品の接合用又は封止用として使用される表面状態が制御されたAu−Sn系はんだ合金に関する。
近年、環境に有害な化学物質に対する規制がますます厳しくなってきており、この規制は電子部品などを基板に接合する目的で使用されるはんだ材料に対しても例外ではない。はんだ材料には古くから鉛(Pb)が主成分として使われ続けてきたが、既にRoHS指令などで鉛は規制対象物質になっている。このため、鉛を含まないはんだ(以降、Pbフリーはんだ又は無鉛はんだとも称する)の開発が盛んに行われている。
電子部品を基板に接合する際に使用するはんだは、その使用限界温度によって高温用(約260〜400℃)と中低温用(約140〜230℃)とに大別され、それらのうち中低温用はんだに関してはSnを主成分とするもので鉛フリーはんだが実用化されている。例えば、特許文献1にはSnを主成分とし、Agを1.0〜4.0重量%、Cuを2.0重量%以下、Niを0.5重量%以下、Pを0.2重量%以下含有する無鉛はんだ合金組成が記載されており、特許文献2にはAgを0.5〜3.5重量%、Cuを0.5〜2.0重量%含有し、残部がSnからなる合金組成の無鉛はんだが記載されている。
一方、高温用のPbフリーはんだに関しても、様々な機関で研究開発が行われている。例えば、特許文献3には、Biを30〜80質量%含み、溶融温度が350〜500℃のBi/Agロウ材が開示されている。また、特許文献4には、Biを含む共晶合金に2元共晶合金を加え、さらに添加元素を加えたはんだ合金が開示されており、このはんだ合金は4元系以上の多元系はんだではあるものの、液相線温度の調整とばらつきの減少が可能となることが示されている。
高温用のPbフリーはんだ材料のうち高価なAu系はんだ合金では既にAu−Sn合金やAu−Ge合金などが水晶デバイス、SAWフィルター、MEMS(微小電子機械システム)等で使用されている。Au−Sn合金は、Au−20質量%Sn(Auが80質量%及びSnが20質量%からなる組成を意味しており、以下においても同様である)が共晶点の組成であり、その融点は280℃である。一方、Au−Ge合金は、Au−12.5質量%Geが共晶点の組成であり、その融点は356℃である。
これらAu−Sn合金とAu−Ge合金との使い分けは、まずはこの融点の違いによる。すなわち、高温用の温度範囲の中でも比較的温度の低い箇所の接合にはAu−Sn合金を用い、比較的温度の高い箇所の接合にはAu−Ge合金を用いる。しかし、これらAu系合金はPb系はんだやSn系はんだに比較して非常に硬い性質を有している。特にAu−Ge合金はGeが半金属であることから、シート形状などに加工することが非常に難しい。そのため、生産性や収率を上げることが難しく、これがコストアップの原因になっていた。
Au−Sn合金においてもAu−Ge合金ほどではないものの加工しづらく、特にプリフォーム材などへの加工時に生産性や収率が低くなる傾向にある。これは、Au−20質量%Snは共晶点であるとはいえ、金属間化合物から構成されているため転位が移動しづらく、よって変形させるのが困難なため、薄く圧延したりプレスで打抜いたりするとクラックやバリが発生しやすいためである。しかも、Au−20質量%Sn合金は材料コストが他のはんだ材料と比較して桁違いに高い。そのため、Au−Sn合金はその融点や加工性の点から、特に高信頼性が要求される水晶デバイス封止用としてもっぱら使用されているのが実状である。
そこで、Au−Sn合金のコストをできるだけ抑えると共に使いやすくすることを目的として、特許文献5に示すようなAu−Sn−Ag系はんだ合金が開発されている。この特許文献5のはんだ合金は、比較的低融点で扱いやすく、強度及び接着性に優れ、かつ安価なロウ材及び圧電デバイスを提供することを目的として、Au、Ag及びSnの三元組成図において質量%基準の組成比を(Au、Ag、Sn)として表したとき、点A1(41.8、7.6、50.5)、点A2(62.6、3.4、34.0)、点A3(75.7、3.2、21.1)、点A4(53.6、22.1、24.3)、点A5(30.3、33.2、36.6)で囲まれる領域にあるロウ材を用いる技術が開示されている。
高温用の鉛フリーはんだ材料に関しては、上記した引用文献以外にも様々な機関で開発されてはいるが、未だ低コストで汎用性のあるはんだ材料は見つかっていない。すなわち、一般的に電子部品や基板には熱可塑性樹脂や熱硬化性樹脂などの比較的耐熱温度の低い材料が多用されているため、作業温度を400℃未満、望ましくは370℃以下にする必要がある。しかしながら、例えば特許文献3に開示されているBi/Agロウ材では、液相線温度が400〜700℃と高いため、接合時の作業温度も400〜700℃以上になると推測され、接合される電子部品や基板の耐熱温度を超えてしまうことになる。
また、高価なAu系はんだではAu−Sn系はんだやAu−Ge系はんだが実用化されているものの、Au系はんだは極めて高価なAuを多量に使用するため、汎用のPb系はんだやSn系はんだなどに比べて非常に高価である。そのため、もっぱら水晶デバイス、SAWフィルター、MEMSなどの特に高い信頼性を必要とする箇所のはんだ付けに使用されているにすぎない。
加えて、Au系はんだは、非常に硬くて加工し難いため、例えば、シート形状に圧延加工する際に時間がかかる上、圧延ロールには疵のつき難い特殊な材質のものを用いなければならないため、余分なコストがかかる。また、プレス成形時においてもAu系はんだの硬くて脆い性質のためクラックやバリが発生し易く、他のはんだに比べて収率が格段に低い。ワイヤ形状に加工する場合にも同様の深刻な問題があり、非常に圧力の高い押出機を使用しても硬いため押出速度を速くできず、Pb系はんだの数100分の1程度の生産性しかない。
さらに、このような加工性の悪さを解決するため、Au系はんだをはんだペースト化するなどの工夫もされているが、この場合はボイドの発生やさらなるコストアップなどの新たな問題を引き起こすおそれがある。特許文献5に示すAu−Sn−Ag系はんだ合金は、上記したようなAu系はんだの様々な課題を解決すべく、前述した点A1〜点A5に囲まれる領域内の組成にする技術が開示されており、特に、Agを添加することによってAu−Sn合金の強度や接着性が向上すると記載されている。しかし、熱力学的にはAgはAuより酸化されやすいため濡れ性が向上するとは考えにくく、よって接合性を向上させるのは難しいと思われる。さらに、前述した点A1〜点A5に囲まれる領域内の組成は、AuやAgに比べて極めて酸化され易いSnが、一般的に使用されているAu−20質量%Snよりかなり多く含まれるため濡れ性が低下しやすく、よって強度や接着性を向上させるのは困難であると考えられる。
本発明は、上記したAu−Sn系はんだが抱える様々な課題に鑑みてなされたものであり、水晶デバイス、SAWフィルター、MEMS等の非常に高い信頼性が要求される電子部品の封止用や接合用として使用可能な各種特性に優れた高温用のAu−Sn系はんだ合金をより安価に提供することを目的としている。
上記目的を達成するため、本発明が提供するAu−Sn系はんだ合金は、Snを24.0質量%を超え30.0質量%以下含有し、Bi、Ge、In、Sb、Ni、Si、及びCuからなる群のうちの1種以上をさらに含有し、残部が製造上不可避的に含まれる元素を除きAuからなるAu−Sn系はんだ合金であって、質量基準において、Biを含有する場合は1ppm以上800ppm以下、Geを含有する場合は1ppm以上800以下、Inを含有する場合は1ppm以上800ppm以下、Sbを含有する場合は1ppm以上800ppm以下、Niを含有する場合は1ppm以上500ppm以下、Siを含有する場合は1ppm以上1000ppm以下、Cuを含有する場合は1ppm以上1000以下であることを特徴としている。
本発明によれば、従来のAu系はんだに比べて同等以上の濡れ広がり性、接合性、及び接合信頼性等を確保しつつより低コストのAu−Sn系はんだ合金を提供することができる。
以下、本発明のAu−Sn系はんだ合金について説明する。この本発明のAu−Sn系はんだ合金は、Au及びSnの2つを主成分として構成されるものであり、Snを24.0質量%を超え30.0質量%以下含有し、Bi、Ge、In、Sb、Ni、Si、及びCuからなる群のうちの1種以上をさらに含有し、残部が製造上不可避的に含まれる元素を除きAuからなる。
上記組成のAu−Sn系はんだ合金であれば、従来のAu系はんだ合金に比べて同等以上の濡れ広がり性や接合信頼性等が得られる上、Au含有量を下げることができるので、低コストを実現できる。よって水晶デバイス、SAWフィルター、MEMSなどを有する電子機器のように極めて高い信頼性が要求される電子機器や該電子機器を搭載する電子装置の接合用や封止用のはんだ合金を従来のAu系はんだよりも安価に提供することができる。
具体的に説明すると、Auは非常に酸化されにくいため、高い信頼性が要求される電子部品類用のはんだとして、濡れ性に代表される特性面においては最も適している。そのため、水晶デバイスやSAWフィルター等の高い信頼性が要求される電子部品類の接合用又は封止用としてAu系はんだが多用されている。このように高い信頼性が要求される電子部品類では、接合信頼性を高めるため、はんだとこれにより接合される接合部の接合面とが均質な金属間化合物を生成した状態で接合されることが望ましい。そこで、はんだが先ず接合面に均一に濡れ広がってから均一な金属間化合物を生成することがはんだ接合時の望ましい条件となる。また、Au系はんだはAuを主成分とするため非常に高価であり、その低コスト化が常に要望されている。しかし上記した良好な濡れ性や接合性、及び低コスト化を同時に実現するのは技術的に非常に難しく、従来のはんだ合金では実現が困難であった。
本発明はこのような市場の要望に応えるかたちでなされたものであり、所定量のSnを有するAu−Sn系はんだ合金に、Bi、Ge、In、Sb、Ni、Si、及びCuからなる群のうちの1種以上を少量含有させることを特徴としており、これにより、上記した優れた濡れ性や接合性に加えてはんだ材料の加工性や柔軟性を格段に向上させることができ、さらにAu−20質量%Snの共晶点の組成よりSn含有量を増加させることでAu含有量を低減させることができるので、低コスト化を実現することができる。本発明のAu−Sn系はんだ合金は上記した加工性を向上させるべく共晶点の組成からAu含有量を低減させているため、Snの含有量は共晶点の組成よりSnリッチ側の24.0質量%を超え30.0質量%以下となる。
Sn含有量が24.0質量%以下ではAu削減量が少なく、コスト削減効果が限定的となってしまう。逆にSn含有量が30.0質量%を超えてしまうと本発明における添加元素を添加したとしても十分な加工性を得られなかったり液相線温度が高くなり過ぎて使いづらい材料となってしまう。Sn含有量が24.5質量%を超え29.0質量%以下であれば本発明のはんだ合金の特長が得られやすく好ましい。
Au−Sn系合金において、共晶点の組成よりSnリッチ側にSn含有量を多くすると液相線温度が上昇するが、特に問題なく使用することができる。Snの含有量を22質量%程度より多くすることで生じる問題は接合時や接合後に生じる問題ではなく、所望の形状に加工する際に脆くて加工しにくくなるというものである。本発明はこのような共晶点よりもSn含有量を多くすることで生ずる加工性の問題に対して、上記した添加元素を含有させることで対処している。
但し、本発明のはんだ合金においては上記したBi等の添加元素の添加量を各々最大でも1000質量ppm程度の少量に抑えている。これにより、Au含有量を低減しながらもAu−Sn合金の共晶点に比較的近い組成にしている。すなわち、Bi等の添加元素の添加量を少量にすることでAu−Sn合金の共晶点からSn含有量を適度に多くした範囲において固相線温度を280℃からほとんど変えることなく加工性や柔軟性を向上させることができるのでAu−20質量%Snはんだ合金から本組成のはんだ合金に代替しても接合条件等の取り扱い条件を大きく変更する必要がない。よって非常に使いやすい合金といえる。また、コストを下げることも可能になる。
このように従来のAu系はんだに比べて同等以上の濡れ広がり性、接合性、加工性、接合信頼性を有するので、水晶デバイス、SAWフィルター等の電子部品の接合用や封止用のはんだ合金として好適に用いることができ、この電子部品を備えた電子機器の信頼性を高めることができる。上記したように本発明のAu−Sn合金に添加されるBi、Ge、In、Sb、Ni、Si、及びCuの果たす役割は加工性や柔軟性の向上とAu含有量を少なくして材料コストを下げることにあるが、加工性や柔軟性を向上するメカニズムは異なっており、大別して以下の3つの部類に分けることができる。
<Bi、Ge、In、Sb>
Bi、Ge、In、Sbは本発明のAu−Sn合金に添加される添加元素群のうちの第1部類であり、これら4つの元素のうちの1種以上含有させることによって得られる効果は機械的強度の向上による加工性や柔軟性の向上にあり、それらの効果が発生する原理は固溶強化のように格子をひずませることで転位移動を抑制するものである。
Bi、Ge、In、Sbは本発明のAu−Sn合金に添加される添加元素群のうちの第1部類であり、これら4つの元素のうちの1種以上含有させることによって得られる効果は機械的強度の向上による加工性や柔軟性の向上にあり、それらの効果が発生する原理は固溶強化のように格子をひずませることで転位移動を抑制するものである。
具体的には、BiはAuにほとんど固溶せず、Snに僅かに固溶する。このため、金属間化合物から構成されるAu−Sn合金に対して固溶強化的なメカニズムにより強度を向上し、加工性等が向上する。Biの含有量は1ppm以上800ppm以下である。1ppm未満では含有量が少なすぎて含有させた効果が実質的に現れない。逆に、800ppmを超えて含有させると格子のひずみが大きくなり過ぎて、はんだ合金が硬く、脆くなり過ぎてしまう。Biの含有量は10ppm以上500ppm以下であると含有させた効果がより一層現れるので好ましい。
GeはAuやSnに数質量%固溶するため、Au−Sn合金に僅かな量を含有させることにより強度を向上させる。Geがはんだ合金母材に少量固溶することにより、固溶強化によって機械的強度が向上する。このため引張りやせん断といった応力が加わっても破断しづらくなり、加工性や柔軟性が向上する。Geの含有量は1ppm以上800ppm以下である。1ppm未満では含有量が少なすぎて含有させた効果が実質的に現れない。逆に800ppmを超えて含有させると、AuやSnのサイトのGe置換割合が多くなり過ぎ、結合力が低下してシート材等への加工が難しくなってしまう。Geの含有量は10ppm以上500ppm以下であると含有させた効果がより一層現れるので好ましい。
InはAuに4質量%程度に固溶し、Snに1質量%程度固溶する。InもGeと同様に僅かな量を含有させた場合は加工性向上の効果を得られるが、過剰に入れると逆に加工性の低下に繋がってしまう。Inの含有量は1ppm以上800ppm以下である。1ppm未満では含有量が少なすぎて含有させた効果が実質的に現れない。逆に800ppmを超えて含有させると加工性や柔軟性が極端に低下してしまう。Inの含有量は10ppm以上500ppm以下であると含有させた効果がより一層現れるので好ましい。
SbはAuやSnに僅かに固溶する。SbはBiと似通った性質を持っており、Au−Sn合金に含有させた場合も同様な挙動を示す。Sbの含有量は1ppm以上800ppm以下である。1ppm未満では含有量が少なすぎて含有させた効果が実質的に現れない。逆に800ppmを超えて含有させると格子のひずみが大きくなり過ぎて、はんだ合金が硬く、脆くなり過ぎてしまう。Sbの含有量は10ppm以上500ppm以下であると含有させた効果がより一層現れるので好ましい。
<Ni、Si>
Ni、Siは本発明のAu−Sn合金に添加される添加元素群のうちの第2部類であり、これら2つの元素のうち少なくとも一方を含有させることによって得られる効果は加工性や柔軟性の向上にあり、その効果が発生する原理は結晶の微細化に起因する。具体的には、Niの融点は1455℃、Siは融点が1414℃であり、いずれも非常に高い。このため、はんだ接合時に溶融してから固化する際、先ず、融点の高いNiやSiが固化して核となり結晶が生成していく。このようにはんだ中にNiやSiが分散して核となるため結晶が微細化する。微細化したはんだ合金は熱応力等が加わってもクラックの発生や進展が起こりにくく、よって加工性や柔軟性が向上する。このように加工性等が向上したはんだ合金は共晶点の組成からある程度ずれても所望の形状に加工しやすくなる。
Ni、Siは本発明のAu−Sn合金に添加される添加元素群のうちの第2部類であり、これら2つの元素のうち少なくとも一方を含有させることによって得られる効果は加工性や柔軟性の向上にあり、その効果が発生する原理は結晶の微細化に起因する。具体的には、Niの融点は1455℃、Siは融点が1414℃であり、いずれも非常に高い。このため、はんだ接合時に溶融してから固化する際、先ず、融点の高いNiやSiが固化して核となり結晶が生成していく。このようにはんだ中にNiやSiが分散して核となるため結晶が微細化する。微細化したはんだ合金は熱応力等が加わってもクラックの発生や進展が起こりにくく、よって加工性や柔軟性が向上する。このように加工性等が向上したはんだ合金は共晶点の組成からある程度ずれても所望の形状に加工しやすくなる。
Niの含有量は1ppm以上500ppm以下である。1ppm未満では含有量が少なすぎて含有させた効果が実質的に現れない。逆に500ppmを超えて含有させると核が多くなり過ぎて逆に結晶が粗大化したり、はんだ合金が硬く、脆くなり過ぎてしまう。Niの含有量は10ppm以上300ppm以下であると含有させた効果がより一層現れるので好ましい。
一方、Siの含有量は1ppm以上1000ppm以下である。1ppm未満では含有量が少なすぎて含有させた効果が実質的に現れない。逆に1000ppmを超えて含有させるとSiが偏析して加工性を低下させたり、接合時に溶け別れ現象などを生じて好ましくない。Siの含有量は10ppm以上800ppm以下であると含有させた効果がより一層現れるので好ましい。
<Cu>
Cuは本発明のAu−Sn合金に添加される添加元素群のうちの第3部類であり、この元素を含有させることによって得られる効果は加工性や柔軟性の向上にあり、その効果が発生する原理は接合面との合金化に起因する。具体的にはCuはNiやSiと同様に核生成により加工性等を向上させる上、接合部との接合面で合金化しやすく強固な接合が可能になる。すなわち、一般的にはんだ接合する際の接合部の最上面はAuやAgが多いが、その下地にはNiやCuが存在する。従ってAu−Sn系はんだにCuを少量含有させることにより、この下地のNiやCuとの良好な接合が可能になる。
Cuは本発明のAu−Sn合金に添加される添加元素群のうちの第3部類であり、この元素を含有させることによって得られる効果は加工性や柔軟性の向上にあり、その効果が発生する原理は接合面との合金化に起因する。具体的にはCuはNiやSiと同様に核生成により加工性等を向上させる上、接合部との接合面で合金化しやすく強固な接合が可能になる。すなわち、一般的にはんだ接合する際の接合部の最上面はAuやAgが多いが、その下地にはNiやCuが存在する。従ってAu−Sn系はんだにCuを少量含有させることにより、この下地のNiやCuとの良好な接合が可能になる。
このような効果を発揮するCuの含有量は質量基準で1ppm以上1000ppm以下である。1ppm未満では含有量が少なすぎて含有させた効果が実質的に現れない。逆に1000ppmを超えて含有させると接合界面における化合物層が厚くなり過ぎたり、硬くなり過ぎたりして接合信頼性を低下させてしまう。Cuの含有量は10ppm以上700ppm以下であると含有させた効果がより一層現れるので好ましい。
原料として、Au及びSnについては純度99.9999質量%以上のもの、それら以外のBi、Ge、In、Sb、Ni、Si、及びCuについては純度99.99質量%以上のものを準備した。大きな薄片やバルク状の原料については、溶解後の合金においてサンプリング場所による組成のバラツキがなく、均一になるように留意しながら、切断及び粉砕などにより3mm以下の大きさに細かくした。次に、これら原料から所定量を秤量して、高周波溶解炉用のグラファイト製坩堝に入れた。
上記各原料の入った坩堝を高周波溶解炉に入れ、酸化を抑制するために窒素を原料1kg当たり0.7リットル/分以上の流量で流した。この状態で溶解炉の電源を入れ、原料を加熱溶融させた。原料が溶融しはじめたら混合棒でよく撹拌し、局所的な組成のばらつきが起きないように均一に混合した。十分溶融したことを確認した後、高周波電源を切り、速やかに坩堝を取り出し、坩堝内の溶湯をはんだ母合金の鋳型に流し込んだ。
鋳型には、打抜き品を製造するために幅45mm×厚さ5mm×長さ250mmの鋳型を用いて平板状のはんだ母合金を作製した。このようにして、上記各原料の混合比率を変えた試料1〜51のAu−Sn系はんだ母合金を作製した。得られた試料1〜51のはんだ母合金の各々の組成を、ICP発光分光分析器(SHIMAZU S−8100)を用いて組成分析した。得られた組成分析結果を下記表1及び表2に示す。
<円板状と四角形状の打抜き品の製造>
次に、試料1〜51の打抜き品製造用の上記板状はんだ母合金(厚さ5mmの板状インゴット)に対して、圧延機を用いて厚さ50μmまで圧延した。圧延作業に関しては以下に注意を払い加工した。先ず、試料がロールに貼り付かないように必要に応じて潤滑油を適量かけながら圧延した。このようにロールとリボン及びリボンとリボンの間に油膜を作ることによって、ロールとリボン又はリボン同士が貼り付くことを抑えることができる。また、試料の送り速度にも配慮が必要であり、送り速度が速すぎるとリボン同士が貼り付きやすくなったり、張力がかかりすぎて切れてしまったりする。逆に送り速度が遅すぎると撓みが発生して巻きずれを起こしたり、均一な厚みのリボンが得られなかったりする。
次に、試料1〜51の打抜き品製造用の上記板状はんだ母合金(厚さ5mmの板状インゴット)に対して、圧延機を用いて厚さ50μmまで圧延した。圧延作業に関しては以下に注意を払い加工した。先ず、試料がロールに貼り付かないように必要に応じて潤滑油を適量かけながら圧延した。このようにロールとリボン及びリボンとリボンの間に油膜を作ることによって、ロールとリボン又はリボン同士が貼り付くことを抑えることができる。また、試料の送り速度にも配慮が必要であり、送り速度が速すぎるとリボン同士が貼り付きやすくなったり、張力がかかりすぎて切れてしまったりする。逆に送り速度が遅すぎると撓みが発生して巻きずれを起こしたり、均一な厚みのリボンが得られなかったりする。
得られた各リボンに対してプレス機を用いて打抜き品に加工した。具体的にはリボンをプレス機にセットして、その後、潤滑油を供給しながら直径15.0mmの円板状(以下、φ15mm品とも称する)と、8.0mm×8.0mmの四角形状(以下、□8mm品とも称する)に打抜いた。その際、φ15mm品よりも加工が難しい□8mm品に関して、打ち抜いて得た1000個の打ち抜き品のうちの不良品の個数から下記計算式1を用いて良品率(%)を算出して加工性の評価とした。なお、打ち抜いた際に割れ、欠け、バリなどが発生した場合を不良品と判断し、そのような欠陥等が無くきれいに打ち抜けた場合を良品と判断した。
[計算式1]
良品率=(打ち抜き品の個数−不良品の個数)÷1000×100
良品率=(打ち抜き品の個数−不良品の個数)÷1000×100
上記にて得たφ15mm品及び□8mm品の打抜き品を有機溶剤の入った容器に回収し、該有機溶剤によって洗浄した。その後、真空乾燥機で真空引きしながら2時間乾燥した。そして、φ15mm品は濡れ広がり性の評価に用い、□8mm品は接合性評価、保管性評価、及び信頼性評価に用いた。
<濡れ広がり性の評価(縦横比の測定)>
濡れ広がり性を評価するため、円板状のφ15mm品の試料を用いて基板との接合体を作り、その接合面を垂直方向から見て濡れ広がったはんだの縦横比を測定した。具体的には、先ず濡れ性試験機(装置名:雰囲気制御式濡れ性試験機)を起動し、加熱するヒーター部分に2重のカバーをしてヒーター部の周囲4箇所から窒素ガスを12L/分の流量で流した。その後、ヒーター設定温度を各試料の融点より50℃高い温度にして加熱した。
濡れ広がり性を評価するため、円板状のφ15mm品の試料を用いて基板との接合体を作り、その接合面を垂直方向から見て濡れ広がったはんだの縦横比を測定した。具体的には、先ず濡れ性試験機(装置名:雰囲気制御式濡れ性試験機)を起動し、加熱するヒーター部分に2重のカバーをしてヒーター部の周囲4箇所から窒素ガスを12L/分の流量で流した。その後、ヒーター設定温度を各試料の融点より50℃高い温度にして加熱した。
ヒーターが設定温度で安定した後、上面にNiめっき層(膜厚:3.0μm)を有するCu基板(板厚:0.3mm)をヒーター部にセッティングして25秒加熱し、次にφ15mm品のはんだ試料を該Cu基板上に載せて25秒加熱した。はんだ試料の加熱が完了した後、Cu基板をヒーター部から取り上げ、その横の窒素雰囲気が保たれている場所に一旦置いて十分に冷却させてから大気中に取り出した。
得られた図1に示すようなCu基板1のNiめっき層2にはんだ合金試料3が接合された接合体に対して濡れ広がったはんだ合金試料3の縦横比を求めた。具体的には、図2に示すように最大のはんだ濡れ広がり長さである長径(X1)と、最小のはんだ濡れ広がり長さである短径(X2)とを測定し、下記計算式2により縦横比を算出した。
[計算式2]
縦横比=長径÷短径
縦横比=長径÷短径
この縦横比が1に近いほどNiめっき層2を有するCu基板1上により真円状に濡れ広がっていることになるので濡れ広がり性がよいと判断できる。逆に、縦横比が1より大きくなるに従い、濡れ広がり形状が真円からずれていくので、溶融はんだの接合面方向の移動距離にバラつきがでて反応がより不均一になり、合金層の厚みがバラついたり成分がバラついたりして均一で良好な接合が行われていないと判断できる。さらに接合面のうちある方向にのみ多くのはんだが流れるように広がるので、はんだ量が過剰な箇所と不足する箇所とができ、接合不良や場合よっては接合できない箇所が発生しやすくなる。
<接合性の評価(ボイド率の測定)>
接合性を評価するため、Siチップと基板とを□8mm品のはんだ試料で接合した接合体を作製し、そのボイド率を測定した。具体的には先ずダイボンダー(ウェストボンド社製、MODEL:7327C)を起動し、加熱するヒーター部分にカバーをしてヒーター部の周囲から窒素を流しながら(窒素流量:合計8L/分)、ヒーターの設定温度を各試料の融点より50℃高い温度にして加熱した。
接合性を評価するため、Siチップと基板とを□8mm品のはんだ試料で接合した接合体を作製し、そのボイド率を測定した。具体的には先ずダイボンダー(ウェストボンド社製、MODEL:7327C)を起動し、加熱するヒーター部分にカバーをしてヒーター部の周囲から窒素を流しながら(窒素流量:合計8L/分)、ヒーターの設定温度を各試料の融点より50℃高い温度にして加熱した。
ヒーターが設定温度で安定した後、上面にNiめっき層(膜厚:3.0μm)を有するCu基板(板厚:0.3mm)をヒーター部にセッティングして25秒加熱し、次に□8mm品のはんだ合金試料を該Cu基板上に載せて25秒加熱し、さらにSiチップを載せて2秒間スクラブし、10秒放置した。10秒経過後、Cu基板をヒーター部から取り上げ、その横の窒素雰囲気が保たれている場所に一旦置いて十分に冷却させてから大気中に取り出した。
このようにして得た図3に示すような接合体の接合性を確認するため、接合体のボイド率をX線透過装置(株式会社 東芝製 TOSMICRON−6125)を用いて測定した。具体的には、Niめっき層2を有するCu基板1とSiチップ4とがはんだ合金試料3で接合された接合体の接合面に対してSiチップ4側から垂直にX線を透過し、下記計算式3を用いてボイド率(%)を算出した。
[計算式3]
ボイド率=ボイド面積÷(ボイド面積+はんだとCu基板の接合面積)×100
ボイド率=ボイド面積÷(ボイド面積+はんだとCu基板の接合面積)×100
<保管性の評価>
はんだ試料を長期間保管した場合、はんだ表面が腐食したり酸化したりして表面状態が変化すると濡れ性や接合性が低下してしまい、良好な接合ができなくなるおそれがある。さらに、はんだ表面が経時変化すると接合状態にバラつきを生じるおそれがある。従って、はんだ表面が環境によって変化しないことが良好な接合を得るために好ましい。この保管性を評価するため、各□8mm品を恒温恒湿槽(ヤマト科学株式会社製、型式:IW242)に入れ、温度85℃、湿度85%RHの高温恒湿条件下で1000時間の試験を行った。
はんだ試料を長期間保管した場合、はんだ表面が腐食したり酸化したりして表面状態が変化すると濡れ性や接合性が低下してしまい、良好な接合ができなくなるおそれがある。さらに、はんだ表面が経時変化すると接合状態にバラつきを生じるおそれがある。従って、はんだ表面が環境によって変化しないことが良好な接合を得るために好ましい。この保管性を評価するため、各□8mm品を恒温恒湿槽(ヤマト科学株式会社製、型式:IW242)に入れ、温度85℃、湿度85%RHの高温恒湿条件下で1000時間の試験を行った。
そして、試料1の恒温恒湿試験前の酸化膜の膜厚を100として、各試料の恒温恒湿試験開始前と開始してから100時間後及び1000時間後の酸化膜の膜厚とを相対評価した。ここで酸化膜の膜厚は、はんだ合金表面付近の最高酸化濃度を100%として、はんだ表面から深さ方向に酸素濃度を測定していったときに酸素濃度が50%まで減少したときのはんだ表面からの深さ(距離)と定義した。なお、はんだ合金の酸素濃度の測定は電界放射型オージェ電子分光装置(ULVAC−PHI製、型式:SAM−4300)により行った。
<信頼性の評価(ヒートサイクル試験)>
はんだ接合の信頼性を評価するためにヒートサイクル試験を行った。高い信頼性を得るためにははんだ材料が柔軟性に富み、熱応力などを吸収できる応力緩和性を有することが求められる。この試験は、上記した接合性の評価と同様にはんだ合金試料を用いて作製したCu基板とSiチップとの接合体を各試料2個ずつ用意し、それらのうちの一方に対して、−40℃の冷却と+150℃の加熱とを1サイクルとするヒートサイクルを途中確認のため500サイクルまで繰り返し、もう一方に対して、同様のヒートサイクルを1000サイクルまで繰り返した。
はんだ接合の信頼性を評価するためにヒートサイクル試験を行った。高い信頼性を得るためにははんだ材料が柔軟性に富み、熱応力などを吸収できる応力緩和性を有することが求められる。この試験は、上記した接合性の評価と同様にはんだ合金試料を用いて作製したCu基板とSiチップとの接合体を各試料2個ずつ用意し、それらのうちの一方に対して、−40℃の冷却と+150℃の加熱とを1サイクルとするヒートサイクルを途中確認のため500サイクルまで繰り返し、もう一方に対して、同様のヒートサイクルを1000サイクルまで繰り返した。
その後、これら500サイクル及び1000サイクルのヒートサイクルが施された試料を樹脂に埋め込み、断面研磨を行い、SEM(装置名:HITACHI S−4800)により接合面の観察を行った。この観察の結果、接合面に剥がれが生じるか又ははんだにクラックが入った場合を「×」、そのような不良がなく、初期状態と同様の接合面を保っていた場合を「○」とした。これら信頼性の評価結果を上記の加工性の評価、濡れ広がり性評価、接合性評価及び保管性評価と共に下記表3及び表4に示す。
上記表3及び表4から分るように、本発明の要件を満たす試料1〜36の各Au−Sn系はんだ合金の試料は、加工性、濡れ広がり性、接合性、保管性、及び信頼性の全ての評価項目において良好な特性を示している。即ち、加工性の評価では、良品率が99%以上であり、濡れ広がり性の評価では、縦横比が1.02以下であり、接合性評価ではボイド率が0.2%以下であり、均一な濡れ広がりと非常に優れた加工性及び接合性を示した。さらに保管性の評価では試験後100hr及び1000hrで酸化膜厚がほとんど変化なく、はんだ合金表面が変化しづらく非常に優れた保管性を示し、柔軟性や応力緩和性などが求められる信頼性評価では1000サイクルまでに不良は一切発生しなかった。このように優れた結果が得られた理由は、本発明のはんだ合金においてはんだ合金組成が適切な範囲にあるためだと考えられる。
一方、比較例である試料37〜51の各はんだ合金は、各元素の含有量が適切でなかったため、試料50、51を除いて全ての評価項目で好ましくない結果となった。すなわち、加工性の評価では良品率が試料50、51を除き91%未満であり、濡れ広がり性評価では試料50、51を除いて1.1以上であり、接合性の評価ではボイド率が0.7%以上であり、試料50、51以外では10%以上であった。保管性の評価では試験前の酸化膜が相対比較で試験後100hrでは実施例1の1.1倍以上あり、さらに試験後1000hrで1.2倍以上に厚くなっている。そして、信頼性評価では試料50、51を除いて500サイクルまでに不良が発生した。
1 Cu基板
2 Niめっき層
3 はんだ合金試料
4 Siチップ
2 Niめっき層
3 はんだ合金試料
4 Siチップ
Claims (5)
- Snを24.0質量%を超え30.0質量%以下含有し、Bi、Ge、In、Sb、Ni、Si、及びCuからなる群のうちの1種以上をさらに含有し、残部が製造上不可避的に含まれる元素を除きAuからなるAu−Sn系はんだ合金であって、Biを含有する場合は1ppm以上800ppm以下、Geを含有する場合は1ppm以上800以下、Inを含有する場合は1ppm以上800ppm以下、Sbを含有する場合は1ppm以上800ppm以下、Niを含有する場合は1ppm以上500ppm以下、Siを含有する場合は1ppm以上1000ppm以下、Cuを含有する場合は1ppm以上1000以下であることを特徴とするAu−Sn系はんだ合金。
- Snを24.5質量%を超え29.0質量%以下含有し、Bi、Ge、In、Sb、Ni、Si、及びCuからなる群のうちの1種以上をさらに含有し、残部が製造上不可避的に含まれる元素を除きAuからなるAu−Sn系はんだ合金であって、Biを含有する場合は10ppm以上500ppm以下、Geを含有する場合は10ppm以上500ppm以下、Inを含有する場合は10ppm以上500ppm以下、Sbを含有する場合は10ppm以上500ppm以下、Niを含有する場合は10ppm以上300ppm以下、Siを含有する場合は10ppm以上800ppm以下、Cuを含有する場合は10ppm以上700ppm以下であることを特徴とする請求項1に記載のAu−Sn系はんだ合金。
- 請求項1又は2に記載のAu−Sn系はんだ合金を用いて封止したことを特徴とする水晶デバイス。
- 請求項1又は2に記載のAu−Sn系はんだ合金を用いて封止したことを特徴とするSAWフィルター。
- 請求項1又は2に記載のAu−Sn系はんだ合金を用いて接合された電子部品を含むことを特徴とする電子機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016075679A JP2017185520A (ja) | 2016-04-05 | 2016-04-05 | Au−Sn系はんだ合金 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Publications (1)
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JP2017185520A true JP2017185520A (ja) | 2017-10-12 |
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Country Status (1)
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JP (1) | JP2017185520A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN111805040A (zh) * | 2020-06-30 | 2020-10-23 | 北京航空航天大学 | 一种适用于超高真空电子器件封接钎焊的金基钎料 |
-
2016
- 2016-04-05 JP JP2016075679A patent/JP2017185520A/ja active Pending
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