JP2015207760A5 - 半導体装置 - Google Patents

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  1. RAMと、
    データ記憶部と、を有する半導体装置であって、
    記SRAMは、第1のトランジスタと、配線と、を有し、
    前記第1のトランジスタは、シリコンをチャネル形成領域に有し、
    前記配線は、前記第1のトランジスタに電気的に接続され、
    前記データ記憶部は、第2のトランジスタと、容量素子と、を有し、
    前記第2のトランジスタは、酸化物半導体をチャネル形成領域に有し、
    前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第1のトランジスタのソース又はドレインに電気的に接続され、
    前記容量素子は、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方に電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタのソース又はドレインと、前記配線とは、互いに重なる領域を有し、
    前記配線と、前記第2のトランジスタのソース又はドレインとは、互いに重なる領域を有し、
    前記第2のトランジスタのソース又はドレインと、前記容量素子の電極とは、互いに重なる領域を有することを特徴とする半導体装置。
  2. RAMと、
    データ記憶部と、を有する半導体装置であって、
    記SRAMは、第1のトランジスタと、配線と、を有し、
    前記第1のトランジスタは、シリコンをチャネル形成領域に有し、
    前記配線は、前記第1のトランジスタに電気的に接続され、
    前記データ記憶部は、第2のトランジスタと、第3のトランジスタと、容量素子と、を有し、
    前記第2のトランジスタは、酸化物半導体をチャネル形成領域に有し、
    前記第3のトランジスタは、シリコンをチャネル形成領域に有し、
    前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第1のトランジスタのソース又はドレインに電気的に接続され、
    前記容量素子は、前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方に電気的に接続され、
    前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第3のトランジスタのゲートに電気的に接続され、
    前記第3のトランジスタのソース又はドレインは、前記第1のトランジスタのソース又はドレインに電気的に接続され、
    前記第1のトランジスタのソース又はドレインと、前記配線とは、互いに重なる領域を有し、
    前記配線と、前記第2のトランジスタのソース又はドレインとは、互いに重なる領域を有し、
    前記第2のトランジスタのソース又はドレインと、前記容量素子の電極とは、互いに重なる領域を有することを特徴とする半導体装置。
  3. 請求項2において、
    前記第3のトランジスタは、インバータを構成するnチャネル型トランジスタ又はpチャネル型トランジスタであることを特徴とする半導体装置。
  4. 請求項1乃至請求項3のいずれか一において、
    前記SRAMは、マルチポートであることを特徴とする半導体装置。
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