JP2015192088A - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
基板処理装置および基板処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015192088A JP2015192088A JP2014069392A JP2014069392A JP2015192088A JP 2015192088 A JP2015192088 A JP 2015192088A JP 2014069392 A JP2014069392 A JP 2014069392A JP 2014069392 A JP2014069392 A JP 2014069392A JP 2015192088 A JP2015192088 A JP 2015192088A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- liquid
- processing apparatus
- substrate processing
- spm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 354
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims description 10
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 293
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 34
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 28
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 claims abstract description 17
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 112
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 59
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 56
- 230000003068 static effect Effects 0.000 claims description 55
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 claims description 54
- 230000008030 elimination Effects 0.000 claims description 52
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 12
- QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N hydrogen peroxide;hydrate Chemical compound O.OO QOSATHPSBFQAML-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000005611 electricity Effects 0.000 abstract description 11
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 abstract description 8
- 238000006386 neutralization reaction Methods 0.000 description 56
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 43
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 38
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 36
- 230000003472 neutralizing effect Effects 0.000 description 24
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 13
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 13
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 12
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 7
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 6
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 5
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 4
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 4
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 208000033999 Device damage Diseases 0.000 description 2
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 231100000989 no adverse effect Toxicity 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000005502 peroxidation Methods 0.000 description 1
- 150000002978 peroxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having at least one potential-jump barrier or surface barrier, e.g. PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic System or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3105—After-treatment
- H01L21/311—Etching the insulating layers by chemical or physical means
- H01L21/31127—Etching organic layers
- H01L21/31133—Etching organic layers by chemical means
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/42—Stripping or agents therefor
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/26—Processing photosensitive materials; Apparatus therefor
- G03F7/42—Stripping or agents therefor
- G03F7/422—Stripping or agents therefor using liquids only
- G03F7/423—Stripping or agents therefor using liquids only containing mineral acids or salts thereof, containing mineral oxidizing substances, e.g. peroxy compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
- H01L21/67051—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly spraying means, e.g. nozzles
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Weting (AREA)
Abstract
【解決手段】基板処理装置1では、二酸化炭素溶解ユニット62により純水に対する二酸化炭素の溶解量を制御して、除電液の比抵抗が目標比抵抗とされる。続いて、除電液供給部6により、SPM液よりも比抵抗が大きい除電液が除電液ノズル65によって液滴状態で基板9上に供給される。基板9の上面91全体に液滴状態の除電液が次々と接触することにより、基板9が比較的緩やかに除電される。そして、除電処理の終了後に、処理液供給部3により基板9上にSPM液が供給されてSPM処理が行われる。これにより、SPM処理の際に、基板9からSPM液へと大量の電荷が急激に移動するのが防止され、基板9の損傷を防止できる。また、除電液の比抵抗を目標比抵抗に維持することにより、基板9の損傷が生じない範囲で、基板9の除電効率を向上し、除電処理に要する時間を短くすることができる。
【選択図】図1
Description
比抵抗計67、67aは、除電液配管64、64aを流れる除電液の比抵抗を測定する。比抵抗計67、67aからの出力は制御部8へと送られる。また、制御部8には、比抵抗設定部81により設定された除電液の目標比抵抗、すなわち、後述の除電処理における除電液の好ましい比抵抗が送られ、予め記憶されている。比抵抗設定部81には、基板9上に予め形成されているデバイスのサイズと除電液の目標比抵抗との関係を示すテーブルが記憶されており、比抵抗設定部81にデバイスのサイズが入力されると、当該サイズと上記テーブルとに基づいて目標比抵抗が設定される。比抵抗設定部81では、基板9上に予め形成されているデバイスのサイズが小さいほど(すなわち、デバイスの配線の最小幅が小さいほど)、大きな目標比抵抗が設定される。本実施の形態では、目標比抵抗は、0.05〜18MΩ・cmの範囲で設定される。目標比抵抗が18MΩ・cmである場合、二酸化炭素溶解ユニット62では、純水配管61からの純水に対する二酸化炭素の溶解は行われず、当該純水が除電液として除電液ノズル65、65aから基板9の上下面に供給される。
除電液の目標比抵抗は、デバイスのサイズ以外の条件(例えば、基板処理装置に搬入される前に基板に対して行われた処理の種類)に基づいて設定されてもよい。
2 基板保持部
3 処理液供給部
5 基板回転機構
6 除電液供給部
7 IPA供給部
8 制御部
9 基板
65,65a 除電液ノズル
81 比抵抗設定部
91 上面
S11〜S20,S31〜S33 ステップ
Claims (9)
- 基板を処理する基板処理装置であって、
主面を上側に向けた状態で基板を保持する基板保持部と、
前記基板の前記主面上に処理液を供給する処理液供給部と、
前記処理液よりも比抵抗が大きい除電液を供給する除電液供給部と、
前記除電液供給部から供給される前記除電液の液滴を形成して、当該液滴を前記基板の前記主面上に供給する液滴形成部と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
前記液滴形成部が、除電液の液滴を形成するノズルを含むことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1または2に記載の基板処理装置であって、
前記除電液を、前記基板の前記主面の裏側面に供給する裏面側供給部をさらに備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項3に記載の基板処理装置であって、
前記裏面側供給部が、除電液の連続流を形成するノズルを含むことを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし4に記載の基板処理装置であって、
前記処理液が、加熱された硫酸と過酸化水素水とを混合したSPM液であり、前記所定の処理がSPM処理であることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載の基板処理装置であって、
前記除電液が、純水に二酸化炭素を溶解させたものであることを特徴とする基板処理装置。 - 基板を処理する基板処理方法であって、
a)処理液よりも比抵抗が大きい除電液を用意する工程と、
b)前記除電液の液滴を形成して、当該液滴を、前記主面を上側に向けた状態で保持される基板の前記主面上に供給する工程と、
c)前記b)工程よりも後に、前記処理液を前記基板の前記主面上に供給して所定の処理を行う工程と、
を備えることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項7に記載の基板処理方法であって、
d)前記b)工程よりも前および/または前記b)工程と同時に、前記除電液を前記基板の前記主面の裏側面に供給する工程
をさらに備えたことを特徴とする基板処理方法。 - 請求項8に記載の基板処理方法であって、
前記d)工程よりも前および/または前記d)工程と同時に、前記除電液を前記基板の前記主面の裏側面に供給する工程をさらに備えたことを特徴とする基板処理方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014069392A JP6483348B2 (ja) | 2014-03-28 | 2014-03-28 | 基板処理装置および基板処理方法 |
PCT/JP2015/059545 WO2015147237A1 (ja) | 2014-03-28 | 2015-03-27 | 基板処理装置および基板処理方法 |
TW104110120A TWI672730B (zh) | 2014-03-28 | 2015-03-27 | 基板處理裝置及基板處理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014069392A JP6483348B2 (ja) | 2014-03-28 | 2014-03-28 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015192088A true JP2015192088A (ja) | 2015-11-02 |
JP6483348B2 JP6483348B2 (ja) | 2019-03-13 |
Family
ID=54195741
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014069392A Active JP6483348B2 (ja) | 2014-03-28 | 2014-03-28 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6483348B2 (ja) |
TW (1) | TWI672730B (ja) |
WO (1) | WO2015147237A1 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107393846A (zh) * | 2016-05-09 | 2017-11-24 | 株式会社荏原制作所 | 基板清洗装置 |
JP2019129205A (ja) * | 2018-01-23 | 2019-08-01 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP2019195109A (ja) * | 2016-05-09 | 2019-11-07 | 株式会社荏原製作所 | 基板洗浄装置 |
JP7399783B2 (ja) | 2020-04-30 | 2023-12-18 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置、基板処理方法、学習用データの生成方法、学習方法、学習装置、学習済モデルの生成方法、および、学習済モデル |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6811675B2 (ja) | 2017-04-28 | 2021-01-13 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP7194623B2 (ja) * | 2019-03-25 | 2022-12-22 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10149893A (ja) * | 1996-11-20 | 1998-06-02 | Colcoat Kk | 除電装置及び除電方法 |
JP2008153322A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 二流体ノズル、基板処理装置および基板処理方法 |
JP2013077625A (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-25 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2013214737A (ja) * | 2012-03-09 | 2013-10-17 | Ebara Corp | 基板処理方法及び基板処理装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10223592A (ja) * | 1997-01-31 | 1998-08-21 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板洗浄装置 |
JPH11221532A (ja) * | 1998-02-05 | 1999-08-17 | Hitachi Ltd | 基板洗浄方法および基板洗浄装置 |
JP5893823B2 (ja) * | 2009-10-16 | 2016-03-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板液処理装置及び基板液処理方法並びに基板液処理プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
KR101450965B1 (ko) * | 2011-09-29 | 2014-10-15 | 다이닛뽕스크린 세이조오 가부시키가이샤 | 기판처리장치 및 기판처리방법 |
JP5911690B2 (ja) * | 2011-09-29 | 2016-04-27 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置および基板処理方法 |
-
2014
- 2014-03-28 JP JP2014069392A patent/JP6483348B2/ja active Active
-
2015
- 2015-03-27 TW TW104110120A patent/TWI672730B/zh active
- 2015-03-27 WO PCT/JP2015/059545 patent/WO2015147237A1/ja active Application Filing
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10149893A (ja) * | 1996-11-20 | 1998-06-02 | Colcoat Kk | 除電装置及び除電方法 |
JP2008153322A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 二流体ノズル、基板処理装置および基板処理方法 |
JP2013077625A (ja) * | 2011-09-29 | 2013-04-25 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および基板処理方法 |
JP2013214737A (ja) * | 2012-03-09 | 2013-10-17 | Ebara Corp | 基板処理方法及び基板処理装置 |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107393846A (zh) * | 2016-05-09 | 2017-11-24 | 株式会社荏原制作所 | 基板清洗装置 |
JP2019195109A (ja) * | 2016-05-09 | 2019-11-07 | 株式会社荏原製作所 | 基板洗浄装置 |
US10991602B2 (en) | 2016-05-09 | 2021-04-27 | Ebara Corporation | Substrate washing device |
CN107393846B (zh) * | 2016-05-09 | 2024-04-09 | 株式会社荏原制作所 | 基板清洗装置、基板清洗方法及基板处理装置 |
JP2019129205A (ja) * | 2018-01-23 | 2019-08-01 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
WO2019146338A1 (ja) * | 2018-01-23 | 2019-08-01 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
KR20200100855A (ko) * | 2018-01-23 | 2020-08-26 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 |
KR102497589B1 (ko) * | 2018-01-23 | 2023-02-07 | 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 | 기판 처리 방법 및 기판 처리 장치 |
JP7281868B2 (ja) | 2018-01-23 | 2023-05-26 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP7399783B2 (ja) | 2020-04-30 | 2023-12-18 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置、基板処理方法、学習用データの生成方法、学習方法、学習装置、学習済モデルの生成方法、および、学習済モデル |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TWI672730B (zh) | 2019-09-21 |
TW201603115A (zh) | 2016-01-16 |
WO2015147237A1 (ja) | 2015-10-01 |
JP6483348B2 (ja) | 2019-03-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5911690B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP6483348B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
TWI540628B (zh) | 基板處理裝置及基板處理方法 | |
JP5911689B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP4986565B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP6624609B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2007134689A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
US9972515B2 (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method | |
TWI631996B (zh) | Substrate processing method and substrate processing device | |
JP2019061988A (ja) | 薬液生成方法、薬液生成装置および基板処理装置 | |
JP2010129809A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
US20180138059A1 (en) | Substrate liquid processing apparatus and method | |
JP6032878B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2008028365A (ja) | 処理装置及び処理方法 | |
JP4963994B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2005268308A (ja) | レジスト剥離方法およびレジスト剥離装置 | |
TWI634607B (zh) | 基板處理裝置及基板處理方法 | |
JP4836846B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP6262431B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2014187253A (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP6262430B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP7201494B2 (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 | |
JP6268410B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
TW202303673A (zh) | 基板處理方法、電漿產生裝置及電漿產生裝置之設計方法 | |
JP2017011206A (ja) | 基板処理方法および基板処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161220 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180306 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20180320 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180410 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180703 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180831 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190129 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190214 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6483348 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |