JP2015187748A - イメージ走査のための方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (42)
- イメージ走査装置のターゲットの焦点の合ったフォーカスレベルを推定する方法であって、
前記イメージ走査装置は、前記ターゲットの一つ以上のイメージ走査ラインを取得するように構成された第一のライン走査検出器と、前記ターゲットの一つ以上のフォーカス走査ラインを取得するように構成された第二のライン走査検出器とを含み、
前記方法は、
前記第一のライン走査検出器を使用して、前記ターゲットの少なくとも一つのイメージ走査ラインを取得するステップであって、少なくとも一つのイメージ走査ラインのそれぞれは、それぞれのフォーカスレベルで取得されるステップと、
前記第二のライン走査検出器を使用して、前記ターゲットの少なくとも一つのフォーカス走査ラインを取得するステップであって、少なくとも一つのフォーカス走査ラインのそれぞれは、それぞれのフォーカスレベルで取得されるステップと、
前記少なくとも一つのフォーカス走査ラインを少なくとも使用して、少なくとも一つのフォーカスパラメータを計算するステップと、
前記の計算したフォーカスパラメータを使用して、前記ターゲットの名目上の焦点の合ったフォーカスレベルを推定するステップと、
を含む方法。 - 前記少なくとも一つのイメージ走査ライン又は更なる前記フォーカス走査ラインのいずれかを使用して、少なくとも一つの更なるフォーカスパラメータを計算するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記計算するステップは、少なくとも一つのイメージ走査ライン及び少なくとも一つのフォーカス走査ラインのそれぞれを使用して、前記第一のライン走査検出器及び前記第二のライン走査検出器のそれぞれに対して少なくとも一つのフォーカスパラメータを計算するステップを含む、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記少なくとも一つのイメージ走査ラインの前記フォーカスレベルは、前記少なくとも一つのイメージ走査ラインの前記フォーカスレベルと異なる、請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
- 少なくとも一つのフォーカス走査ラインを取得する前記ステップは、複数のフォーカス走査ラインが異なるフォーカスレベルで取得されるように、前記第二のライン走査検出器のフォーカスレベルを調節するステップを含む、請求項1〜4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記イメージ走査ライン及び前記フォーカス走査ラインは、前記イメージ走査ライン及び前記フォーカス走査ラインのそれぞれを生成するように、前記ターゲットを通過し、前記第一のライン走査検出器及び前記第二のライン走査検出器のそれぞれがイメージ情報を受け取る光学軸を定義する標準平面を有する平面の範囲内の共通の位置から取得される、請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
- イメージ情報は、ビームスプリッタを使用して、前記ライン走査検出器のうちの一つに反射される、請求項6に記載の方法。
- 前記イメージ走査ライン及び前記フォーカス走査ラインは、前記ターゲットの異なる位置から取得され、イメージ情報は、前記イメージ走査ライン及び前記フォーカス走査ラインのそれぞれを生成するように、前記ターゲットから異なる光学軸に沿った前記第一のライン走査検出器及び前記第二のライン走査検出器によって取得される、請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法。
- イメージ情報は、ミラーを使用して、前記ライン走査検出器のうちの一つに反射される、請求項8に記載の方法。
- 前記ミラーは、異なるフォーカスレベルで前記ターゲットのフォーカス走査ラインを提供するために、前記光学軸のそれぞれを中心とした点の周りを回転する、請求項9に記載の方法。
- 前記ミラーは、異なるフォーカスレベルで前記ターゲットのフォーカス走査ラインを提供するために、前記光学軸のそれぞれから離れている点の周りを回転する、請求項9に記載の方法。
- 前記フォーカスライン走査が前記ターゲットの共通位置から取得されるように、前記ミラーの回転に基づいて前記ターゲットを動かすステップをさらに含む、請求項10又は11に記載の方法。
- 異なるフォーカスレベルで複数のフォーカスライン走査を取得するように、前記ターゲットに対して前記第二のライン走査検出器を動かすステップをさらに含む、請求項1〜12のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第二のライン走査検出器の前記走査ラインにわたって、位置の関数として前記フォーカスレベルを調節するステップをさらに含む、請求項1〜13のいずれか一項に記載の方法。
- 詳細なパラメータを生成するために、少なくとも一つのフォーカス走査ライン又は少なくとも一つのイメージ走査ラインのうちの一つ又はそれぞれからイメージデータを使用するステップと、
前記フォーカスパラメータを計算する際に前記詳細なパラメータを使用するステップと、
をさらに含む、請求項1〜14のいずれか一項に記載の方法。 - 前記ライン走査検出器は、マルチチャンネルの検出器である場合、前記方法は、前記検出器の異なるチャンネルに対して焦点の合ったフォーカスレベルを計算するステップを含む、請求項1〜15のいずれか一項に記載の方法。
- それぞれのチャンネルに対するフォーカスパラメータを評価するステップと、
前記評価するステップにおいて、前記チャンネルに対する前記フォーカスパラメータのうちの一つ以上を使用するステップと、
をさらに含む、請求項16に記載の方法。 - 前記少なくとも一つのフォーカスパラメータは、焦点が合ったフォーカスレベルを表す最大値を有するフォーカスの性能指数値である、請求項1〜17のいずれか一項に記載の方法。
- 前記フォーカスの性能指数値は、正規化された値である、請求項18に記載の方法。
- 請求項3〜17のいずれか一項に従属する場合、前記第一のライン走査検出器の前記フォーカスレベルは、前記第一の走査ライン検出器及び前記第二の走査ライン検出器のフォーカスの性能指数値間の差の大きさ及び符号に基づいた量及び方向によって修正される、請求項18又は19に記載の方法。
- 前記差が第一の所定量よりも大きい場合、前記第一のライン走査検出器の前記フォーカスレベルは、第一のセンスで修正される、請求項20に記載の方法。
- 前記差が所定量よりも小さい場合、前記第一のライン走査検出器の前記フォーカスレベルは、第二のセンスで修正される、請求項20又は21に記載の方法。
- 前記方法は、前記第一のライン走査検出器の前記フォーカスレベルを前記名目上の焦点の合ったフォーカスレベルに調節するステップをさらに含む、請求項1〜22のいずれか一項に記載の方法。
- 時間的なシフトは、前記第一のライン走査検出器及び前記第二のライン走査検出器の前記走査ラインからのデータ間に適用され、前記時間的なシフトは前記ターゲット及び前記イメージ走査装置の間の相対運動の関数である、請求項1〜23のいずれか一項に記載の方法。
- イメージ走査ラインは、帯状の領域を形成するように、前記ターゲット上の多数の位置から取得される、請求項1〜24のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第一のライン走査検出器の前記フォーカスレベルは、前記帯状の領域の範囲内の前記イメージ走査ラインが異なるフォーカスレベルで取得されるように、帯状の領域の形成中に、リアルタイムで前記名目上の焦点の合ったフォーカスレベルに調節される、請求項25に記載の方法。
- イメージ走査装置であって、
ターゲットの一つ以上のイメージ走査ラインを取得するように構成された第一のライン走査検出器と、
前記ターゲットの一つ以上のフォーカス走査ラインを取得するように構成された第二のライン走査検出器と、
前記第一のライン走査検出器を使用して、それぞれのフォーカスレベルで前記ターゲットの少なくとも一つのイメージ走査ラインを取得し、
前記第二のライン走査検出器を使用して、それぞれのフォーカスレベルで前記ターゲットの少なくとも一つのフォーカス走査ラインを取得し、
前記少なくとも一つのフォーカス走査ラインを少なくとも使用して、少なくとも一つのフォーカスパラメータを計算し、
前記の計算したフォーカスパラメータを使用して、前記ターゲットの名目上の焦点の合ったフォーカスレベルを推定するように構成されたプロセッサと、
を含むイメージ走査装置。 - 前記ターゲット及び前記第一のライン走査検出器の間の前記フォーカスレベルを修正するように構成された第一のフォーカス装置をさらに含み、
前記プロセッサは、前記第一のライン走査検出器の前記フォーカスレベルを推定した名目上の焦点の合ったフォーカスレベルに動かすために、前記第一のフォーカス装置を操作するようにさらに構成される、請求項26に記載のイメージ走査装置。 - 前記イメージ走査装置は、
前記ターゲットを保持するターゲットの試料台と、
前記ターゲットのイメージを前記第一のライン走査検出器及び前記第二のライン走査検出器に提供する結像光学系と、
前記第一のライン走査検出器に前記ターゲットの異なる位置からのイメージ情報を取得させる駆動システムと、
をさらに含む、請求項27又は28に記載のイメージ走査装置。 - 前記第一のライン走査検出器及び前記第二のライン走査検出器のそれぞれは、ターゲットの共通の位置の像を取得するように配置され、前記結像光学系は、前記イメージ情報の一部分を、前記ターゲットから前記第一のライン走査検出器及び部分的に第二のライン走査検出器へ向かわせるためのビームスプリッタを含む、請求項29に記載のイメージ走査装置。
- 前記第一のライン走査検出器及び前記第二のライン走査検出器は、前記結像光学系の異なるそれぞれの光学軸上に位置する、請求項29に記載のイメージ走査装置。
- 前記結像光学系は、前記イメージ情報の一部分を、前記ターゲットから前記第一のライン走査検出器又は前記第二のライン走査検出器のうちの一つに向かわせるように配置されたミラーを含む、請求項31に記載のイメージ走査装置。
- 異なるイメージ情報を、前記ライン走査検出器に向かわせるように、前記ミラーを回転させるように適合されたミラー駆動部をさらに含む、請求項32に記載のイメージ走査装置。
- 前記ミラー駆動部は、前記フォーカスライン走査が前記ターゲットの共通の位置から取得されるように、前記駆動システムにしたがって、作動する、請求項33に記載のイメージ走査装置。
- 前記第二のライン走査検出器をそのそれぞれの光学軸に沿って動かすように適合された検出器駆動部をさらに含む、請求項27〜34のいずれか一項に記載のイメージ走査装置。
- 前記第二のライン走査検出器の前記走査ラインにわたる位置の関数として前記フォーカスレベルを調節するように、前記第二のライン走査検出器を回転させるように適合された検出器駆動部をさらに含む、請求項27〜34のいずれか一項に記載のイメージ走査装置。
- フォーカス走査ラインをさらに提供するための第三のライン走査検出器をさらに含む、請求項27〜36のいずれか一項に記載のイメージ走査装置。
- 前記第一のライン走査検出器及び前記第二のライン走査検出器のうちの一つ又はそれぞれは、マルチチャンネル検出器である、請求項27〜37のいずれか一項に記載のイメージ走査装置。
- 前記第一のライン走査検出器及び前記第二のライン走査検出器は、実質的に同一である、請求項27〜38のいずれか一項に記載のイメージ走査装置。
- フォーカスライン走査検出器及びイメージライン走査検出器の前記フォーカスレベルは、独立に制御できる、請求項27〜39のいずれか一項に記載のイメージ走査装置。
- 前記装置は、バーチャル顕微鏡である、請求項27〜39のいずれか一項に記載のイメージ走査装置。
- 請求項1〜26のいずれか一項に記載の方法を実行するために、使用されるプログラムコードを含む、コンピュータプログラム製品。
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