JP6534658B2 - スキャニング顕微鏡、およびスキャニング顕微鏡の点像分布関数(psf)を決定する方法 - Google Patents
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Description
すると検出器信号k(s,r)は次式によって表すことができる:
k(s,r)=(p×PSF)(s,r) 式(1)
2つの関数pおよびPSFのコンボリューションは、一般に次式により定義される:
(p×PSF)(r):=∫p(r’)PSF(r−r’)dr’ 式(2)
そして、異なる検出部材についての検出・点像分布関数では、異なる検出部材の相互の相対位置に相当していてsにより表されるシフトだけが変化するという知見が活用される:
PSF(s,r):=PSFexc(r)PSFdet(r+s) 式(3)
したがって、式(1)および(2)により次式が得られる:
k(s,r)=∫p(r’)PSFexc(r−r’)PSFdet(r+s−r’)dr’ 式(3’)
最小化されるべき関数として、マルチフレーム・ブラインド・デコンボリューションでは一般に次の関数を選択することができる:
Claims (15)
- スキャニング顕微鏡を作動させるため、および前記スキャニング顕微鏡により試料画像が記録されるときに用いられる点像分布関数を決定するための方法であって、
試料が少なくとも1つの照明光線で走査され、
照明光線による走査中に前記スキャニング顕微鏡の検出器装置によって少なくとも1つの試料画像が記録され、
少なくとも1つの試料画像から点像分布関数が計算され、該点像分布関数を用いて前記スキャニング顕微鏡により試料画像が記録される方法において、
前記検出器装置は複数の検出器部材を有しており、該検出器部材の相互の間隔は、試料点が前記検出器装置で生成するエアリーディスクよりも小さくなっており、
試料上での照明光線のそれぞれ異なる位置について、前記検出器部材を介して生成される検出器信号が読み出され、それにより試料の走査を通じて、読み出される検出器信号が複数の試料画像を生じさせ、
複数の試料画像を用いて、フィット関数を反復式に適合化することによって照明・点像分布関数と検出・点像分布関数とを計算し、
前記検出・点像分布関数は、前記検出器部材がどの試料領域から光を受信したかを規定し、同一の検出器部材の順次記録される検出器信号については同一であり、異なる検出器部材の検出器信号についてはシフトに関してのみ相違し、前記シフトは異なる検出器部材の間の間隔に相当し、
前記照明・点像分布関数は、異なる試料点に対して、前記照明光線の走査動作に応じたシフトによってのみ異なり、
前記フィット関数は、前記照明・点像分布関数、前記検出・点像分布関数、異なる検出器信号についての照明・点像分布関数と検出・点像分布関数との間のそれぞれのオフセット、および、試料を位置解像式に表す試料関数に対する、記録された試料画像の関係を記述し、
計算された前記照明・点像分布関数と前記検出・点像分布関数とを用いて異なる検出器信号に関する点像分布関数を計算する、ことを特徴とする方法。 - 点像分布関数の計算とともに各試料画像から全体画像が計算されることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 計算された点像分布関数を用いて、全体画像の画素を規定する測定領域のサイズが計算されることを特徴とする、請求項1または2に記載の方法。
- 前記フィット関数は、照明・点像分布関数を記述する、反復式に適合化されるべき式と、検出・点像分布関数を記述する、反復式に適合化されるべき式とを含んでいることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 反復式に適合化されるべき両方の前記式はそれぞれゼルニケ多項式によって形成されていることを特徴とする、請求項4に記載の方法。
- 反復式に適合化されるべき両方の前記式についての初期値として、前記スキャニング顕微鏡の光学的な結像手段に関する所与の情報を用いて事前に決定された理論上の照明・点像分布関数および理論上の検出・点像分布関数が利用されることを特徴とする、請求項5または5に記載の方法。
- 理論上の照明・点像分布関数および理論上の検出・点像分布関数は前記スキャニング顕微鏡の光学的な結像手段に関する所与の情報を用いて決定され、
計算上の照明・点像分布関数に対する理論上の照明・点像分布関数の差異、および計算上の検出・点像分布関数に対する理論上の検出・点像分布関数の差異が求められ、
求められた前記差異を基礎として結像収差が特定されることを特徴とする、請求項1乃至6のいずれかに記載の方法。 - 電子式の記憶装置に、照明光または試料から発せられる試料光が当たる前記スキャニング顕微鏡の各部材の取扱に関するユーザーガイドが保存されており、
さまざまな結像収差に対するユーザーガイドの対応関係が保存されており、
前記電子式の評価手段により、特定された結像収差に依存して、それに対応するユーザーガイドが選択されて利用者に出力されることを特徴とする、請求項7に記載の方法。 - アダプティブ光学系によって前記スキャニング顕微鏡の結像収差を修正可能であり、
電子式の制御・評価装置により、特定された結像収差に依存して、前記アダプティブ光学系が前記スキャニング顕微鏡の結像収差を低減するために位置調節されることを特徴とする、請求項7または8に記載の方法。 - 点像分布関数の高さ依存性を判定するためにさらに別の複数の試料画像が記録されて、そこから少なくとも1つの別の全体画像が計算され、
異なる全体画像に関わる測定は照明・点像分布関数と検出・点像分布関数との間の高さオフセットに関して相違しており、
複数の全体画像から点像分布関数の高さ依存性が計算されることを特徴とする、請求項1乃至9のいずれかに記載の方法。 - 試料、照明光を発する光源装置、または前記検出器装置の高さ調節が行われずに、異なる全体画像のための試料画像が記録され、そのために、
前記光源装置は異なる試料平面と光学的に共役である平面に配置された少なくとも2つの光源ユニットを有しており、および/または
前記検出器装置は2つの異なる試料平面が結像される2つの検出器領域を含んでいることを特徴とする、請求項10に記載の方法。 - 前記異なる全体画像のうちの第1の全体画像のための試料画像は前記異なる全体画像のうちの第2の全体画像のための試料画像と同時に記録されることを特徴とする、請求項11に記載の方法。
- 異なる波長領域の照明光によって試料の走査がそのつど実行され、および/または試料から発せられる異なる波長領域の試料光が前記検出器装置によって測定され、
計算されるべき照明・点像分布関数および/または計算されるべき検出・点像分布関数は、照明・点像分布関数および/または検出・点像分布関数の波長依存性を記述するためのパラメータを含んでいることを特徴とする、請求項1乃至12のいずれかに記載の方法。 - フィット関数は検出器要素の相互の配置を記述する適合化されるべきパラメータを決定するため、および/または、照明光の走査方向に対して相対的な前記検出器装置の向きを決定するためのパラメータを含むことを特徴とする、請求項1乃至13のいずれかに記載の方法。
- スキャニング顕微鏡であって、
少なくとも1つの照明光線を発するための光源装置と、
少なくとも1つの照明光線の走査運動を試料にわたって生起するためのスキャン装置と、照明光線による走査中に少なくとも1つの試料画像を記録するための検出器装置と、
少なくとも1つの試料画像から、試料画像が記録されるときに用いられる点像分布関数を計算するためにセットアップされた電子式の制御・評価装置とを有しているスキャニング顕微鏡において、
前記検出器装置は検出器部材を有し、前記検出器部材の相互の間隔は試料点が前記検出器装置で生成するエアリーディスクよりも小さくなっており、
さらに前記電子式の制御・評価手段は、試料上での照明光線のそれぞれ異なる位置について前記検出器部材を介して生成される検出器信号を読み出すようにセットアップされており、それにより試料の走査を通じて読み出される検出器信号が複数の試料画像を生じさせ、
前記電子式の制御・評価手段は、複数の試料画像を用いて、フィット関数を反復式に適合化することによって照明・点像分布関数と検出・点像分布関数とを計算し、これらを用いて異なる検出器信号に関する点像分布関数を計算するようにセットアップされており、
前記検出・点像分布関数は、前記検出器部材がどの試料領域から光を受信したかを規定し、同一の検出器部材の順次記録される検出器信号については同一であり、異なる検出器部材の検出器信号についてはシフトに関してのみ相違し、前記シフトは異なる検出器部材の間の間隔に相当し、
前記照明・点像分布関数は、異なる試料点に対して、前記照明光線の走査動作に応じたシフトによってのみ異なり、
前記フィット関数は、前記照明・点像分布関数、前記検出・点像分布関数、異なる検出器信号についての照明・点像分布関数と検出・点像分布関数との間のそれぞれのオフセット、および、試料を位置解像式に表す試料関数に対する、記録された試料画像の関係を記述していることを特徴とするスキャニング顕微鏡。
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