JP2015175417A - 運動案内装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】運動案内装置1は、長手方向に延びる軌道体と、軌道体に取り付けられて軌道体に沿って移動可能な移動体20と、長手方向に沿って軌道体に配置されるエンコーダスケールと、エンコーダスケールに対向配置されるセンサ50と、移動体20の長手方向の端面に配置されて、軌道体の幅方向からセンサ50を収容してエンコーダスケールに対向するように保持するフォルダ60と、を備える。
【選択図】図6
Description
センサは、軌道レールと載置部材の間の僅かな隙間(空間)に配置されるので、センサに不具合が発生した場合には、載置部材を取り外さなければ、センサのメンテナンスを行うことができない。しかし、載置部材が重量物等の場合には、載置部材の取り外しや再取り付けに時間とコストがかかってしまう。載置部材の取り外しや再取り付けが著しく困難な場合もある。
したがって、従来のリニアガイドは、センサのメンテナンス性に劣るという問題がある。
したがって、従来のリニアガイドは、センサの組み立て性に劣るという問題がある。
図1は、本発明の実施形態に係るリニアガイド1を示す斜視図である。
図2は、リニアガイド1を示す図であって、(a)正面図、(b)側面図、(c)上面図である。
軌道レール10とスライダブロック20が重なり合う方向をZ方向(高さ方向)と言う。+Z方向を上、−Z方向を下と言う場合もある。
Y方向及びZ方向に垂直な方向をX方向(幅方向)と言う。+X方向を右、−X方向を左と言う場合もある。X方向を向く面等を側面と言う。
ガイド部2は、軌道レール10とスライダブロック20等を備え、スライダブロック20が軌道レール10に沿って円滑に移動する。
スライダブロック20の上面(外面)20aには、スライダブロック20と共に移動する載置部材を取り付けることができる。
位置検出部3は、エンコーダスケール40とセンサ50からなるリニア磁気エンコーダ4を備え、軌道レール10とスライダブロック20の相対位置を検出する。
位置検出部3は、スライダブロック20の+Y方向の端面20sに配置される。位置検出部3は、センサ50をスライダブロック20に取り付けるフォルダ60を備える。
軌道レール10の外面のうち、幅方向(X方向)を向く一対の側面10cには、長手方向(Y方向)に沿うローラ転走面11がそれぞれ形成される。軌道レール10には、四つのローラ転走面11が設けられる。
軌道レール10は、ボルト取付穴12に挿通したボルト(不図示)によりベース部材等(不図示)に固定される。
一対の蓋体28は、ブロック本体21のY方向の両端面に装着される。一対の蓋体28のうち、+Y方向に配置された蓋体28には、さらにフォルダ60が重ねて装着される。
負荷ローラ転走路24は、ローラ転走面22とローラ転走面11から形成される。ローラ戻し路25は、ブロック本体21の内部においてローラ転走面22に対して平行に延びるように形成される。方向転換路26は、負荷ローラ転走路24とローラ戻し路25を接続するU字状に形成される。方向転換路26は、蓋体28に形成される。
無限循環路23には、複数のローラ(転動体)30が収容、配列される。
複数のローラ30は、負荷ローラ転走路24の一端まで転がって、方向転換路26に導かれる。さらに、複数のローラ30は、ローラ戻し路25及び方向転換路26を経由した後に、負荷ローラ転走路24に戻される。
軌道レール10とスライダブロック20の間に複数のローラ30を介在させることにより、軌道レール10に対してスライダブロック20をY方向に移動させる際の抵抗が低減される。
図5は、フォルダ60及びセンサ50を示す図であって、(a)正面図、(b)右側面図、(b)上面図、(c)左側面図である。
リニア磁気エンコーダ4は、エンコーダスケール40及びセンサ50によって構成される。このリニア磁気エンコーダ4は、例えば1μm程度の分解能を有する。
軌道レール10の上面10aには、エンコーダスケール40の断面形状とほぼ同一形状の溝が軌道レール10に沿って形成される。この溝は、ボルト取付穴12を避けるために、軌道レール10の上面10aにおいて幅方向の右側又は左側に配置される。
エンコーダスケール40の上面40aは、軌道レール10の上面10aに対して段差が生じないように、面同士が揃えられる。軌道レール10の上面10aに、エンコーダスケール40の上面40aが露出する。
エンコーダスケール40の上面40aを非磁性体カバー15で覆うことにより、例えば切削屑やクーラント液等がエンコーダスケール40に付着しないように保護している。
例えば、ガイド部2をリニアモータで駆動した場合には、センサ50の検出信号は、信号処理部を介して、モータドライバに送られる。このモータドライバは、ユーザー端末からの位置指令に基づいて、スライダブロック20が指令位置に移動するように、リニアモータのコイル部に供給する電流を制御する。このようにして、ガイド部2を駆動するリニアモータの制御を行うことができる。
センサ本体51のY方向の両端面50s(図4及び5(c)参照)には、それぞれX方向に沿う突部55が形成される。突部(端部)55は、断面形状が矩形に形成される。
センサ本体51の右側(+X方向)の側面50cには、鉄片等の磁性体53が埋め込まれる。センサ本体51の左側(−X方向)の側面50cには、MR素子52に接続された電気ケーブル54が繋がる。
フォルダ60は、Y方向から見ると、蓋体28とほぼ同一形状に形成される。つまり、フォルダ60は、軌道レール10を跨る鞍形状に形成される。フォルダ60は、Y方向において、蓋体28よりも厚く形成される。
二つの側面カバー67は、フォルダ本体61の両側面61cを覆う。上面カバー68は、フォルダ本体61の上面61aを覆う。
鞍形部62は、Y方向の両側に配置された鞍形平板状の部位である。連結部63は、鞍形部62の下部からY方向に延びて、鞍形部62同士を連結する部位である。フォルダ本体61は、一対の鞍形部62と一対の連結部63により、フレーム形状に形成される。
収容部64の−Z方向には軌道レール10の上面10aが露出し、+Z方向には上面カバー68が配置される。収容部64の+X方向及び−X方向には、それぞれ側面カバー67が配置される。
つまり、センサ50の両端面50sの突部55が、フォルダ本体61の溝65にそれぞれ嵌め込まれることにより、センサ50がフォルダ60の収容部64に収容される。
センサ50が収容部64に収容されると、MR素子52が軌道レール10の上面10aに対して僅かな隙間を隔てて対向配置される。
このため、センサ50は、フォルダ60(フォルダ本体61)に対して、Y方向及びZ方向に移動できなくなる。また、センサ50は、フォルダ60に対して、X方向回り、Y方向回り及びZ方向回りに回転できなくなる。
一方、センサ50は、突部55が溝65に嵌め込まれた状態で、フォルダ60に対してX方向に移動可能である。
センサ50のセンサ本体51には、磁性体53が埋め込まれる。磁石部66は、この磁性体53を吸着して保持することにより、センサ50のX方向の移動を抑止する。
収容部64で磁石部66がセンサ50を吸着保持すると、MR素子52がエンコーダスケール40の上面40aに対して僅かな隙間を隔てて対向配置される。
図7は、センサ50をフォルダ60に対して着脱する着脱手順を示す図であって、(a)不装着状態、(b)装着状態を示す。
これにより、収容部64がフォルダ本体61の+X方向の側面61cに現れる(開口)する。
これにより、フォルダ60へのセンサ50の装着が完了する。
例えば、スライダブロック20に振動が加わって、センサ50が磁石部66から外れてしまっても、磁石部66がセンサ50を吸引するので、センサ50が磁石部66に再び保持される。このように、保持部72は、ねじのように振動によって緩むことがないので、センサ50の位置決めが確実に行われる。
例えば、軌道レール10におけるエンコーダスケール40のX方向の設置位置が変更された場合であっても、センサ50をエンコーダスケール40に対して容易に対向配置できる。
大型タイプや小型タイプのリニアガイド1においても、フォルダ60は、嵌合部71と保持部72を備えるので、上述の効果が得られる。フォルダ60は、磁石部66のX方向の位置を調整することにより、センサ50(MR素子52)をエンコーダスケール40に対して対向配置できる。
センサ50の両端面50sに溝を設け、フォルダ60に一対の突部を設けて、嵌め合わせてもよい。
ねじ穴69のX方向の位置が異なる複数の上面カバー68を用意してもよい。複数の上面カバー68のいずれかを選択することにより、磁石部66とセンサ50のX方向の位置を任意に変更することができる。
ねじ穴69をX方向に延びる長円形の穴にしてもよい。磁石部66をX方向にスライドさせることができるので、センサ50のX方向の位置を任意に変更することができる。
Claims (6)
- 長手方向に延びる軌道体と、
前記軌道体に取り付けられて、前記軌道体に沿って移動可能な移動体と、
前記長手方向に沿って前記軌道体に配置されるエンコーダスケールと、
前記エンコーダスケールに対向配置されるセンサと、
前記移動体の前記長手方向の端面に配置されて、前記軌道体の幅方向から前記センサを収容して前記エンコーダスケールに対向するように保持するフォルダと、
を備える運動案内装置。 - 前記フォルダは、前記センサを前記軌道体の幅方向に案内する案内部を備える請求項1に記載の運動案内装置。
- 前記フォルダは、前記センサを前記幅方向において位置決めする保持部を備える請求項1または2に記載の運動案内装置。
- 前記保持部は、前記センサを吸着保持する磁石部を備える請求項3に記載の運動案内装置。
- 前記磁石部は、前記幅方向において位置変更可能である請求項4に記載の運動案内装置。
- 前記フォルダの前記長手方向の端面に配置されて、前記軌道体と前記移動体の間への異物の侵入を防止する防塵シールを備える請求項1から5のうちいずれか一項に記載の運動案内装置。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6085658B1 (ja) * | 2015-10-28 | 2017-02-22 | Thk株式会社 | 位置検出装置及び位置検出装置付き運動案内装置 |
JP7001184B1 (ja) | 2021-03-03 | 2022-01-19 | オムロン株式会社 | ワーク形状計測システム |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6804800B2 (ja) * | 2016-01-18 | 2020-12-23 | Thk株式会社 | 転がり案内装置 |
JP6234497B2 (ja) | 2016-03-15 | 2017-11-22 | Thk株式会社 | エンコーダ装置及びエンコーダ装置付き運動案内装置 |
JP1586244S (ja) * | 2017-05-09 | 2020-09-14 | ||
USD875150S1 (en) * | 2017-05-31 | 2020-02-11 | Thk Co., Ltd. | End plate for motion guide device |
DE102018207638A1 (de) * | 2018-05-16 | 2019-11-21 | Robert Bosch Gmbh | Führungswagen für eine Linearbewegungsvorrichtung, eine Linearbewegungs-vorrichtung und ein Verfahren |
JP6734008B2 (ja) * | 2018-10-16 | 2020-08-05 | Thk株式会社 | 転がり案内装置のセンサ取付け部材及びセンサ取付け方法 |
JP7412152B2 (ja) * | 2019-12-09 | 2024-01-12 | Thk株式会社 | 取付部材及びこの取付部材を備える運動案内装置 |
CN113007301B (zh) * | 2019-12-20 | 2022-06-10 | 上银科技股份有限公司 | 线性传动装置 |
JP7390184B2 (ja) * | 2019-12-26 | 2023-12-01 | Thk株式会社 | センサ及び、このセンサを備える運動案内装置 |
US11231095B2 (en) | 2020-01-10 | 2022-01-25 | Hiwin Technologies Corp. | Linear transmission device |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1772790A1 (de) * | 2005-08-12 | 2007-04-11 | Schneeberger Holding AG | Linearführungssystem mit einer Einrichtung zur Bestimmung einer Position eines Führungswagens |
JP4441525B2 (ja) * | 2006-12-07 | 2010-03-31 | 上銀科技股▲分▼有限公司 | 外掛け式感知器を備えたリニアスライドウェイ |
JP2013119889A (ja) * | 2011-12-06 | 2013-06-17 | Thk Co Ltd | 運動案内装置 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0953638A (ja) * | 1995-08-11 | 1997-02-25 | Nippon Thompson Co Ltd | 位置検出装置並びにこれを具備した軌道台ユニット及び案内ユニット |
JPH1061664A (ja) * | 1996-08-15 | 1998-03-06 | Nippon Thompson Co Ltd | 直動転がり案内ユニット |
TW435627U (en) | 1999-03-05 | 2001-05-16 | Hiwin Tech Corp | A linear guideway with MR sensor |
JP4568453B2 (ja) * | 2000-05-29 | 2010-10-27 | Thk株式会社 | 運動案内装置 |
EP1182767B1 (de) | 2000-08-16 | 2008-11-19 | Schaeffler KG | Linearführung |
JP4259978B2 (ja) | 2003-03-25 | 2009-04-30 | Thk株式会社 | リニアモータアクチュエータ |
DE10347360B4 (de) * | 2003-10-11 | 2021-07-01 | Robert Bosch Gmbh | Führung mit Messeinrichtung und Verfahren zur Herstellung einer solchen Führung |
JP2006002842A (ja) * | 2004-06-17 | 2006-01-05 | Nsk Ltd | 直動案内軸受装置 |
JP4587105B2 (ja) | 2005-05-18 | 2010-11-24 | Smc株式会社 | リニアアクチュエータ及びその加工方法 |
DE102006003980A1 (de) * | 2006-01-27 | 2007-08-02 | Schaeffler Kg | Linearführungseinheit mit Längenmesssystem |
US7547141B2 (en) * | 2006-10-23 | 2009-06-16 | Hiwin Technologies Corp. | Linear motion guide apparatus having detecting device |
JP2008267545A (ja) * | 2007-04-24 | 2008-11-06 | Nsk Ltd | 直動転がり案内装置 |
JP2008303953A (ja) * | 2007-06-06 | 2008-12-18 | Nsk Ltd | 直動装置およびその異常判定方法 |
DE102007042796A1 (de) * | 2007-09-07 | 2009-03-12 | Robert Bosch Gmbh | Führungsschiene mit absoluter Maßverkörperung |
JP5073607B2 (ja) * | 2008-08-01 | 2012-11-14 | Juki株式会社 | ミシン |
CN201340257Y (zh) * | 2008-12-21 | 2009-11-04 | 中铁宝桥股份有限公司 | 钢轨弯折支距及钢轨工作边直线度激光辅助检测仪 |
US20100162582A1 (en) | 2008-12-30 | 2010-07-01 | Chih-Mao Shiao | Positioning Device of a Magnetic Ruler |
-
2014
- 2014-03-14 JP JP2014051590A patent/JP6361189B2/ja active Active
-
2015
- 2015-03-10 CN CN201580012776.8A patent/CN106104030B/zh active Active
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- 2015-03-10 US US15/124,183 patent/US9863478B2/en active Active
- 2015-03-10 DE DE112015001248.6T patent/DE112015001248B4/de active Active
- 2015-03-12 TW TW104107971A patent/TWI654379B/zh active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1772790A1 (de) * | 2005-08-12 | 2007-04-11 | Schneeberger Holding AG | Linearführungssystem mit einer Einrichtung zur Bestimmung einer Position eines Führungswagens |
JP4441525B2 (ja) * | 2006-12-07 | 2010-03-31 | 上銀科技股▲分▼有限公司 | 外掛け式感知器を備えたリニアスライドウェイ |
JP2013119889A (ja) * | 2011-12-06 | 2013-06-17 | Thk Co Ltd | 運動案内装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6085658B1 (ja) * | 2015-10-28 | 2017-02-22 | Thk株式会社 | 位置検出装置及び位置検出装置付き運動案内装置 |
WO2017073349A1 (ja) * | 2015-10-28 | 2017-05-04 | Thk株式会社 | 位置検出装置及び位置検出装置付き運動案内装置 |
US10401198B2 (en) | 2015-10-28 | 2019-09-03 | Thk Co., Ltd. | Position detection apparatus and motion guide apparatus with position detection apparatus |
JP7001184B1 (ja) | 2021-03-03 | 2022-01-19 | オムロン株式会社 | ワーク形状計測システム |
JP2022134465A (ja) * | 2021-03-03 | 2022-09-15 | オムロン株式会社 | ワーク形状計測システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
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