JP4838099B2 - 一軸アクチュエータ - Google Patents

Description

本発明は、モータの駆動によりテーブル等を一軸方向に移動させる一軸アクチュエータに関するものである。

従来から、ベース部材に固定されたレールに対してテーブルをスライド自在に設け、モータの駆動によりこのテーブルをレールに沿って移動させる一軸アクチュエータは一般に知られている。また、この種の一軸アクチュエータにおいて、ベース部材に磁気スケールをレールに沿って設け、テーブル側に配備した磁気センサにより磁気スケールを読取ることによってテーブルの位置検出を行うことも行われており、例えば特許文献１に開示される一軸アクチュエータでは、テーブルの側方に磁気センサを配備し、これに対向するベース上の位置に磁気スケールを配備した構成となっている。
特開平７−９９７６６号公報

この種の一軸アクチュエータでは、潜在的な課題として省スペース化が求められているが、特許文献１のものでは、テーブルの側方に磁気スケールや磁気センサを配備するため、一軸アクチュエータの幅方向（テーブルの移動方向と直交する方向）の省スペース化を図る上で改善の余地がある。なお、一軸アクチュエータの省スペース化が進むと、駆動機構の収容部の断面領域において余分なスペースがほとんど存在しなくなりメンテナンス性が悪くなることが考えられるため、上記の改善策を講じる場合には、この点に配慮されているのが望ましい。

本発明は、このような課題に鑑み、一軸アクチュエータの省スペース化を進めること、より好ましくはメンテナンス性のよい構成とすることを目的とする。

上記の事情に鑑み、本発明の一軸アクチュエータは、ベース部材と、このベース部材に固定される案内レールおよびこのレールに移動自在に装着されるスライダを具備したリニアガイド装置と、前記スライダに固定されるテーブルと、前記ベース部材に固定される磁気スケールおよびこの磁気スケールを読取る磁気センサを有する位置検出手段とを備えた一軸アクチュエータにおいて、前記スライダ又はテーブルからなる可動部材の側方部に固定されて前記磁気センサを保持するセンサホルダを備えており、このセンサホルダは、前記テーブル側からベース部材側に向かって延びる胴部と、その胴部の下端から前記レール側に向かって延びかつ前記スライダの下面と前記ベース部材との間に形成される隙間に位置するセンサ固定部とを備え、前記胴部が前記可動部材に対してその側方から当接させられた状態で当該胴部が前記可動部材にボルトで固定されることにより前記可動部材の前記側方部に固定されており、前記磁気センサは、前記センサ固定部の下面に固定されることにより、前記隙間に配備された状態で前記センサホルダを介して前記可動部材に固定されており、前記磁気スケールは、前記ベース部材上における前記磁気センサに対向する位置に配備されているものである。

この構成によると、磁気センサおよび磁気スケールとリニアガイド装置とがレール長手方向と直交する方向（すなわち一軸アクチュエータの幅方向）にオーバラップした状態で配置されるため、その分、幅方向におけるこれらの占有スペースが縮小される。

より具体的な構成として、ベース部材上に、互いに平行に配置される複数の前記リニアガイド装置を備え、前記磁気センサは、これらリニアガイド装置の並び方向における最も外側のリニアガイド装置のスライダとベース部材との間に形成される前記隙間であって、かつ当該リニアガイド装置の案内レールよりも外側の隙間に配備され、前記センサホルダは、前記最も外側のリニアガイド装置のスライダの外側に固定されているものである。

この構成によると、前記並び方向（すなわち一軸アクチュエータの幅方向）における最も外側のリニアガイド装置の案内レールよりも外側に磁気センサ等を配置しながらも、当
該リニアガイド装置から外側への磁気センサ等のはみ出しを抑えることができる。
また、本発明の他の一軸アクチュエータは、ベース部材と、このベース部材に固定される案内レールおよびこのレールに移動自在に装着されるスライダを具備したリニアガイド装置と、前記スライダに固定されるテーブルと、前記ベース部材に固定される磁気スケールおよびこの磁気スケールを読取る磁気センサを有する位置検出手段とを備えた一軸アクチュエータにおいて、前記ベース部材上に、前記リニアガイド装置として互いに平行に配置される複数のリニアガイド装置を備え、さらにこれら複数のリニアガイド装置のうち最も外側のリニアガイド装置のスライダ又は前記テーブルからなる可動部材に固定されて前記磁気センサを保持するセンサホルダを備えており、前記磁気センサは、前記最も外側のリニアガイド装置のスライダの下面とベース部材との間に形成される隙間であって、かつ当該リニアガイド装置の案内レールよりも外側に位置する隙間に配備された状態で前記センサホルダを介して前記可動部材に固定され、前記磁気スケールは、前記ベース部材上における前記磁気センサに対向する位置に配備されており、前記センサホルダは、前記可動部分に当接され、前記並び方向における外側から当該センサホルダに形成される貫通孔にボルトが挿入されかつこのボルトが前記可動部分に形成されるねじ穴に螺合挿入されることにより前記可動部材に固定されているものである。
この構成によっても、磁気センサおよび磁気スケールとリニアガイド装置とがレール長手方向と直交する方向（すなわち一軸アクチュエータの幅方向）にオーバラップした状態で配置されるため、その分、幅方向におけるこれらの占有スペースが縮小される。特に、この構成によれば、スライダの側方からアクセスして磁気センサ（センサホルダ）の脱着作業を行うことができるため、テーブルやこれに搭載される作業機器に邪魔されることなく磁気センサを脱着することが可能となる。

なお、両外側のリニアガイド装置の外側に側壁部を有するものでは、当該側壁部のうち前記リニアガイド装置に対向する面に、前記可動部材に着脱可能に固定されかつ前記磁気センサが固定された前記センサホルダを前記隙間から前記並び方向に取出し可能とする凹部が形成されているのが好適である。

この構成によると、磁気センサを凹部内に（前記並び方向に）引出して交換等を行うことが可能となる。そのため、両外側のリニアガイド装置に対して側壁部を接近させた配置構成を採ることにより一軸アクチュエータを前記並び方向にコンパクト化する一方で、磁気センサのメンテナンス性も良好に確保することができる。

本発明の請求項１〜４に係る一軸アクチュエータによれば、磁気センサおよび磁気スケールとリニアガイド装置とをレール長手方向と直交する方向（すなわち一軸アクチュエータの幅方向）にオーバラップさせてコンパクトに配置したため、その分、一軸アクチュエータを幅方向にコンパクトに構成することができる。特に、請求項４に係る一軸アクチュエータの構成によると、磁気センサの脱着作業を行い易くなるため、上記のように一軸アクチュエータをコンパクト化しながらもメンテナンス性がよいものとなる。

本発明の実施形態について図面を用いて説明する。

図１および図２は、本発明に係る一軸アクチュエータの一種を構成する単軸ロボットの概略を示しており、図１は平面図で、図２は断面図（図１のII−II断面図）でそれぞれ単軸ロボットを示している。

これらの図に示すように単軸ロボット１０は、ケース部材２と、各種作業用機器を搭載するためのテーブル３と、このテーブル３を移動させるための駆動機構とを備えている。

前記ケース部材２は、フレーム１２（本発明のベース部材に相当する）と、一対の上部カバー１４と、一対の端面カバー１６とからなり、一軸方向に延びる箱形に形成されている。なお、当実施形態では、説明の便宜のためにケース部材２の延びる一軸方向を前後方向とし、ケース部材２の幅方向（図２の左右方向）を左右方向として説明する。

前記フレーム１２は、例えばアルミニウム合金等の押出し材やダイキャストからなる前後方向に細長の部材で、所定厚みを有する底壁部１２ａと、この底壁部１２ａの左右両側から上方に延びる側壁部１２ｂと有する上方に開口した断面略Ｕ字形に形成されている。

前記一対（左右一対）の上部カバー１４は、図２に示すように、ケース部材２の側壁部１２ｂに連続して上下方向に延び、その上端部からケース部材２の内側に向かって水平に延びる断面逆Ｌ字形の部材で、左右対称に形成されている。これら上部カバー１４は、前後方向に細長に形成されており、同図に示すように、それぞれボルト１５によりフレーム１２の前記側壁部１２ｂの上端部に固定されている。

前記一対（前後一対）の端面カバー１６は、例えば矩形のブロック状の部材で、フレーム１２の前後端面に図外のボルトで固定されている。

そして、フレーム１２に対して上部カバー１４および端面カバー１６が組み付けられることにより、これらフレーム１２等が協働して上記駆動機構等を収容するための空間をもつ前記ケース部材２を構成している。

このケース部材２の内部には、テーブル３と上記駆動機構とが配備されている。

具体的には、フレーム１２の内底面に、左右方向に所定間隔を隔てて並ぶ一対のリニアガイド装置２０が配備され、これらリニアガイド装置２０に前記テーブル３が固定され、さらに駆動源としてのリニアモータがケース部材２内に組み込まれている。

各リニアガイド装置２０は、前後方向に延びるレール２１（案内レール）と、このレール２１に鋼球２２等からなるスライド軸受を介してスライド自在に装着されるスライダ２３とから構成されており、レール２１が互いに平行に並ぶ状態でフレーム１２の底壁部１２ａに固定されている。すなわち、鋼球２２の接するスライダ２３の部分には前後方句に延びるスライド用溝が形成され、この溝の近傍に、スライダ２３を貫通して前後方向に延びる鋼球循環路２３ｃが穿設され、スライダ２３の両端部にスライド用溝から鋼球循環路２３ｃへ、鋼球循環路２３ｃからスライド用の溝へ各鋼球２２を導く不図示のガイド部材がそれぞれ配置されており、これらスライド用溝、鋼球循環路２３ｃ、ガイド部材および充填される複数の鋼球２２からなる複数の機械要素によりスライド軸受が構成されている。なお、リニアガイド装置２０は、レール２１の底面からスライダ２３の上面までの寸法ｈ（図４参照）が高精度に設けられている。

そして、これらリニアガイド装置２０の各スライダ２３に乗った状態で、当該スライダ２３に対して前記テーブル３が固定されている。

テーブル３は、平面視矩形の部材であって、上記スライダ２３に固定されるテーブルベース３１と、このテーブルベース３１上に積層固定されるテーブル本体３２とから構成されている。

テーブル本体３２は、その左右両側部が前記上部カバー１４を覆うように上部カバー１４の上方に配置され、両上部カバー１４の間に形成される開口部分を介してテーブルベース３１に固定されており、テーブル本体３２の上面には、その左右両端に、前後方向に延びる突条からなる取付座３２ａが形成されており、これら取付座３２ａに対して各種作業用部材がボルトで固定されるようになっている。

なお、テーブル本体３２の上部であって両取付座３２ａの間の部分には、前後方向に延びるシャッタ部材１７が設けられている。このシャッタ部材１７は、テーブル本体３２の前部、後部でそれぞれ両上部カバー１４の上面に接触するように導かれ、かつその部分から前後両端までの間が、それぞれ両上部カバー１４の上面に接触した状態で、前後両端が端面カバー１６にそれぞれ固定されており、これによって両上部カバー１４の間に形成される前記開口部分がシャッタ部材１７により覆われるようになっている。テーブル３は、このシャッタ部材１７が両上部カバー１４の上面から離れることにより両カバー１４の間を貫通し得るようになっており、シャッタ部材１７は、テーブル本体３２が移動したとしても、テーブル本体３２以外の前後方向の部位では、両上部カバー１４の間を塞ぐようになっている。なお、図１の平面図は、当該両上部カバー１４およびシャッタ部材１７の一部を取り除いて示している。

ケース部材２の内部に戻って、フレーム１２の左右略中央には、マグネットプレート４が配置されている。このマグネットプレート４は、前後方向に細長い平板状のプレート部材４１上に、プレート部材４１側となる下面がＳ極、反プレート部材４１側となる上面がＮ極となる状態と、下面がＮ極、上面がＳ極となる状態とを交互にとるように複数個の永久磁石４２が並べて配列されたもので、永久磁石４２が上向きになる状態でフレーム１２に固定されている。より詳しくは、フレーム１２の底壁部１２ａ上面に、下向きに凹み、かつ前後方向に延びる溝部１３ａが形成され、この溝部１３ａの内底面に前記マグネットプレート４がボルトで固定されている。

一方、前記テーブルベース３１のうち上記マグネットプレート４と対面する位置には、可動ブロック３３が固定されている。この可動ブロック３３は、複数の磁心を有するコイル（不図示）を具備したもので、これらコイルと上記マグネットプレート４の永久磁石４２とが互いに対面（コイル中心の磁心の端面が対面）するようになっている。また、コイルは、図示されない基板に接続され、この基板及び当該基板に接続されたケーブルＷ１を介して図外の電源および制御回路に電気的に接続されるようになっている。

すなわち、上記コイルとマグネットプレート４とにより上記リニアモータが構成され、このリニアモータの駆動によりテーブル３が前記レール２１に沿って移動するように構成されている。なお、ケース部材２の側面側には、屈曲自在なダクト部材６が隣接されており、上記ケーブルＷ１は、後述するセンサ制御用基板５３のケーブルＷ２と共にこのダクト部材６に保持されるようになっている。

また、右側のリニアガイド装置２０のレール２１より外側（図２では右側）の位置には、磁気的に目盛りを記録したプレート状の磁気スケール５０がレール２１に沿ってフレーム１２の底壁部１２ａに固定されている。そして、前記テーブル３の右端部に、ＭＲセンサやホールセンサ等の磁気センサ５２が配備されており、この磁気センサ５２により磁気スケール５０を読取ることによりテーブル３の位置が検出されるようになっている。前記磁気センサ５２は、前記レール２１の直ぐ側方であって、スライダ２３の下面２３ａと底壁部１２ａとの間に形成される隙間Ｓ内に配置され、磁気スケール５０は、底壁部１２ａであって上記磁気センサ５２に対向する位置にそれぞれ配備されている。

磁気センサ５２は、センサ制御用基板５３と共にセンサホルダ５４（以下、単にホルダ５４という）に一体に組み付けられており、このホルダ５４が前記テーブルベース３１に組付けられることにより、当該テーブル３に固定されている。

ホルダ５４は、図３および図４に示すように、前後方向に細長く、かつスライダ２３に沿って上下方向に延びる厚板状の胴部５４ａと、その前後方向中央部分において胴部５４ａの上端および下端からケース内側に向かってそれぞれ延びる位置決め部５４ｂおよびセンサ固定部５４ｃとを具備しており、前記中央部分の断面がコ字形に形成されている。

磁気センサ５２は、このホルダ５４の前記センサ固定部５４ｃの下面に固定（保持）されている。そして、同図に示すように、テーブルベース３１に形成される切欠き３１ａに前記位置決め部５４ｂが差し込まれた状態で、前記胴部５４ａが当該テーブルベース３１の端面（側面）に突き当てられ、この状態で胴部５４ａに形成された図外の貫通穴にボルト５１が側方（右方）から挿入され、さらにこのボルト５１がテーブルベース３１の端面に形成される図外のボルト穴に螺合挿入されることにより前記ホルダ５４がテーブルベース３１に固定されている。このようにホルダ５４がテーブルベース３１に固定されることにより、磁気センサ５２が、センサ固定部５４ｃと共にスライダ２３の側方（右方）から前記隙間Ｓ内に挿入されて磁気スケール５０に対向する位置に配備されている。

なお、ホルダ５４は、位置決め部５４ｂの下面からセンサ固定部５４ｃまでの寸法が高い精度で形成されており、図２に示すように、位置決め部５４ｂの下面をスライダ２３の上面２３ｂに当接させた状態でテーブルベース３１に対して固定されている。これにより磁気センサ５２がスライダ２３に対して上下方向に位置決めされ、後述するように磁気センサ５２と磁気スケール５０との間に所定のクリアランスが確保されている。

ホルダ５４の前記胴部５４ａには、詳しく図示していないが中空の基板収容部が設けられており、この基板収容部に前記センサ制御用基板５３が配置されている。そして、このセンサ制御用基板５３がケーブルＷ２を介して図外の電源及び制御回路に電気的に接続されるようになっている。なお、図４中、符号Ｗ３は、センサ制御用基板５３と磁気センサ５２とを接続するケーブルである。

ホルダ５４の前記基板収容部は、図２に示すようにその側方（右方）からカバー５６により覆われており、これによりセンサ制御用基板５３が保護されるようになっている。このカバー５６は、図４に示すように、ホルダ５４の胴部５４ａに当接されており、この状態でカバー５６に形成される図外の貫通穴にボルト５７が側方（右方）から挿入され、さらにこのボルト５７が胴部５４ａの側面に形成される図外のボルト穴に螺合挿入されることによりホルダ５４に固定されている。

なお、フレーム１２の前後方向一端側（図１では左側）であって一方側（図１では下側）の側壁部１２ｂには、図３および図４に示すように、ホルダ５４に対向する面に、外側（右方）に向かって凹むセンサ脱着作業用の凹部１２ｃが形成されており、これによって後述するように磁気センサ５２の脱着を容易に行えるようになっている。

以上のような当実施形態の単軸ロボット１０によると、上記可動ブロック３３内のコイルに流れる電流が制御されることにより、その電流と永久磁石４２による磁界との相互作用によって生じる推力により、テーブル３が前後方向に移動する。そして、このような動作中に上記磁気センサ５２で磁気スケール５０が読取られることにより位置の検出が行われ、この検出に基づいてテーブル３の位置や移動速度の制御が行われることとなる。

なお、このような単軸ロボット１０によると、上記の通り、磁気スケール５０がスライダ２３の下面２３ａとフレーム１２の底壁部１２ａとの隙間Ｓ内に配備され、磁気センサ５２および磁気スケール５０とリニアガイド装置２０とが左右方向にオーバラップしたコンパクトな配置構成となっているので、従来のこの種の単軸ロボット、つまりテーブルの側方に磁気センサ等とが並んでいるものと比べると単軸ロボット１０を左右方向にコンパクト化（省スペース化）することができる。例えば、テーブル３の位置検出を高精度で行う場合には、磁気スケール５０の磁気目盛りを細かくする分、これによる読取り精度の低下を補完するために磁気スケール５０および磁気センサ５２の幅（左右方向の寸法）を拡張することが行われるが、このような場合でも、上記のようにリニアガイド装置２０と磁気センサ５２等とを左右方向にオーバラップさせた配置構成となっているので、磁気センサ５２等をコンパクトに配置して単軸ロボット１０を左右方向にコンパクトに構成することができる。

しかも、フレーム１２の右側の側壁部１２ｂにはセンサ脱着作業用の凹部１２ｃを設けているので、上記のようにスライダ２３とフレーム１２との間の隙間Ｓに磁気センサ５２を配備しながらも当該磁気センサ５２の脱着を比較的簡単に行うことができる。具体的には、例えば磁気センサ５２を取外す場合には、凹部１２ｃに対応する位置にテーブル３をセットし、前記ボルト５１を緩めて上部カバー１４を取り外した後、前記ボルト５１を緩め、図４中に二点鎖線で示すように、ホルダ５４を凹部１２ｃ内に引き出す。このようにすると磁気センサ５２および前記センサ固定部５４ｃがスライダ２３側面より外側（図４では右方）に引き出されるので、この状態でホルダ５４を上方に取り出すことにより、側壁部１２ｂに邪魔されることなく磁気センサ５２を容易にケース部材２の外に取り出すことができる。従って、リニアガイド装置２０に対して側壁部１２ｂを可及的に接近させ、これにより単軸ロボット１０を左右方向にコンパクト化する一方で、磁気センサ５２のメンテナンス性も良好に確保することができる。

また、この単軸ロボット１０では、上記のようにリニアガイド装置２０のスライダ２３に対して磁気センサ５２が上下方向に位置決めされる構成となっているので、磁気センサ５２と磁気スケール５０との間に要求されるクリアランスが精度良く確保され、磁気センサ５２による検出とそれに基づく制御の精度が高められるという利点もある。

すなわち、フレーム１２の底壁部１２ａのうちレール２１が載置される部分から磁気スケール５０が固着される部分までの高さ寸法は高い精度で設けられており、上記の通りリニアガイド装置２０は、レール２１の底面からスライダ２３の上面２３ｂまでの寸法が高い精度で設けられている。そのため、スライダ２３に対して磁気センサ５２を位置決めすることにより、フレーム１２の底壁部１２ａと磁気センサ５２との間のクリアランスが精度良く確保される。従って、磁気センサ５２と磁気スケール５０との間に求められるクリアランスを精度良く確保することができ、その結果、磁気センサ５２による感度のバラツキが無くなり、磁気センサ５２による検出とそれに基づく制御の精度が高められることとなる。

なお、以上説明した単軸ロボット１０は、本発明に係る一軸アクチュエータの一種を構成する単軸ロボットの一例であって、その具体的構造は本発明の要旨を逸脱しない範囲で適宜変更可能である。

例えば、実施形態では、リニアモータを適用した駆動機構によりテーブル３を駆動するようにしているが、ボールねじ機構を適用してもよい。つまり、前後方向に延びるボールねじ軸をケース部材２内に支持するとともに当該ボールねじ軸をテーブル３に螺合挿入し、このボールねじ軸をモータにより回転駆動することによりテーブル３を前後方向に移動させる機構を採用してもよい。要するに、テーブル３の駆動機構は、リニアガイド装置２０によりテーブル３を案内しながら移動させるものであれば、種々の機構が適用可能である。

また、リニアモータとしては、実施形態のもの以外に、例えばＮ，Ｓの磁極が交互に逆向きに位置するように前後方向に配列された多数個の環状の永久磁石を有したシャフト部材と、このシャフト部材を囲繞するように、コイルを具備した筒状の可動ブロックとを備え、この可動ブロックが前記テーブル３に固定されるものであってもよい。

また、実施形態では、ホルダ５４をテーブル３０に固定しているが、ホルダ５４をスライダ２３に直接固定するようにしてもよい。この場合、実施形態のように、ボルト５１によりホルダ５４を側方（右方）から固定する以外に、上方から固定するようにしてもよい。但し、ホルダ５４を側方から固定する構成によると、磁気センサ５２（ホルダ５４）の脱着作業を、テーブル３やこれに搭載される作業用機器に邪魔されることなく単軸ロボット１０の側方（右方）から行うことが可能となるためメンテナンス性が良いというメリットがある。

また、上記実施形態では、一軸アクチュエータの一種を構成する単軸ロボットについて説明したが、本発明の一軸アクチュエータは、例えば基板上に部品を搬送して実装する所謂実装機の基台をベース部材として構成されるものであってもよい。すなわち、本発明の一軸アクチュエータは、ベース部材が機械の構成部品を兼ねるものであって、この構成部品兼用のベース部材上に直接固定される案内レールおよびこのレールに移動自在に装着されるスライダを具備したリニアガイド装置と、このスライダに固定されるテーブルと、このテーブルの位置を検出する位置検出手段とにより構成され、このような一軸アクチュエータにおいて上記各種実施形態の構成を採用したものであってもよい。

本発明に係る一軸アクチュエータを構成する単軸ロボットの概略を示す平面図である。 単軸ロボットの概略を示す断面図（図１のII−II断面図）である。 テーブルに対する磁気センサ（ホルダ）の取付け構造を示す図１の要部拡大図である。 テーブルに対する磁気センサ（ホルダ）の取付け構造を示す図２の要部拡大図である。

符号の説明

２ ケース部材
３ テーブル
４ マグネットプレート
１０ 単軸ロボット
２０ リニアガイド装置
２１ レール
２３ スライダ
３１ テーブルベース
３２ テーブル本体
３３ 可動ブロック
５０ 磁気スケール
５２ 磁気センサ
５４ センサホルダ

Claims (4)

1. ベース部材と、このベース部材に固定される案内レールおよびこのレールに移動自在に装着されるスライダを具備したリニアガイド装置と、前記スライダに固定されるテーブルと、前記ベース部材に固定される磁気スケールおよびこの磁気スケールを読取る磁気センサを有する位置検出手段とを備えた一軸アクチュエータにおいて、
   前記スライダ又はテーブルからなる可動部材の側方部に固定されて前記磁気センサを保持するセンサホルダを備えており、
   このセンサホルダは、前記テーブル側からベース部材側に向かって延びる胴部と、その胴部の下端から前記レール側に向かって延びかつ前記スライダの下面と前記ベース部材との間に形成される隙間に位置するセンサ固定部とを備え、前記胴部が前記可動部材に対してその側方から当接させられた状態で当該胴部が前記可動部材にボルトで固定されることにより前記可動部材の前記側方部に固定されており、
   前記磁気センサは、前記センサ固定部の下面に固定されることにより、前記隙間に配備された状態で前記センサホルダを介して前記可動部材に固定されており、
   前記磁気スケールは、前記ベース部材上における前記磁気センサに対向する位置に配備されていることを特徴とする一軸アクチュエータ。
2. 請求項１に記載の一軸アクチュエータにおいて、
   ベース部材上に、互いに平行に配置される複数の前記リニアガイド装置を備え、
   前記磁気センサは、これらリニアガイド装置の並び方向における最も外側のリニアガイド装置のスライダとベース部材との間に形成される前記隙間であって、かつ当該リニアガイド装置の案内レールよりも外側の隙間に配備され、
   前記センサホルダは、前記最も外側のリニアガイド装置のスライダの外側に固定されていることを特徴とする一軸アクチュエータ。
3. ベース部材と、このベース部材に固定される案内レールおよびこのレールに移動自在に装着されるスライダを具備したリニアガイド装置と、前記スライダに固定されるテーブルと、前記ベース部材に固定される磁気スケールおよびこの磁気スケールを読取る磁気センサを有する位置検出手段とを備えた一軸アクチュエータにおいて、
   前記ベース部材上に、前記リニアガイド装置として互いに平行に配置される複数のリニアガイド装置を備え、さらにこれら複数のリニアガイド装置のうち最も外側のリニアガイド装置のスライダ又は前記テーブルからなる可動部材に固定されて前記磁気センサを保持するセンサホルダを備えており、
   前記磁気センサは、前記最も外側のリニアガイド装置のスライダの下面とベース部材との間に形成される隙間であって、かつ当該リニアガイド装置の案内レールよりも外側に位置する隙間に配備された状態で前記センサホルダを介して前記可動部材に固定され、
   前記磁気スケールは、前記ベース部材上における前記磁気センサに対向する位置に配備されており、
   前記センサホルダは、前記可動部分に当接され、前記並び方向における外側から当該センサホルダに形成される貫通孔にボルトが挿入されかつこのボルトが前記可動部分に形成されるねじ穴に螺合挿入されることにより前記可動部材に固定されていることを特徴とする一軸アクチュエータ。
4. 請求項３に記載の一軸アクチュエータにおいて、
   前記並び方向における両外側のリニアガイド装置の外側に位置する側壁部を備え、
   当該側壁部のうち前記リニアガイド装置に対向する面に、前記可動部材に着脱可能に固定されかつ前記磁気センサが固定された前記センサホルダを前記隙間から前記並び方向に取出し可能とする凹部が形成されていることを特徴とする一軸アクチュエータ。
   

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