JPH07213045A - リニアレール一体形リニアスケール - Google Patents
リニアレール一体形リニアスケールInfo
- Publication number
- JPH07213045A JPH07213045A JP6019862A JP1986294A JPH07213045A JP H07213045 A JPH07213045 A JP H07213045A JP 6019862 A JP6019862 A JP 6019862A JP 1986294 A JP1986294 A JP 1986294A JP H07213045 A JPH07213045 A JP H07213045A
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- Japan
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- linear
- mover
- rail
- linear rail
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- Transmission And Conversion Of Sensor Element Output (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 装置をコンパクト化しかつ低コスト化するこ
とが可能なリニアスケールを提供する。 【構成】 可動子を案内するために固定子側に配置され
たリニアレール７を、ロックウェル硬さが４９以上のＭ
ｎ−Ａｌ系磁石で形成し、かつこのリニアレール７の所
定位置に、可動子の移動方向に沿って異なる磁極を交互
に着磁して形成したリニアスケール９。
とが可能なリニアスケールを提供する。 【構成】 可動子を案内するために固定子側に配置され
たリニアレール７を、ロックウェル硬さが４９以上のＭ
ｎ−Ａｌ系磁石で形成し、かつこのリニアレール７の所
定位置に、可動子の移動方向に沿って異なる磁極を交互
に着磁して形成したリニアスケール９。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、リニアモータの可動子
の位置を検出するために、固定子側に配置されるリニア
スケールに関する。
の位置を検出するために、固定子側に配置されるリニア
スケールに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、複数個の永久磁石と電機子コ
イルとを有し、電機子コイルに駆動電流を流すことによ
り発生した推力を利用して、固定子に沿って可動子を移
動させるようにしたリニアモータが、例えば、ＩＣ部品
などの搬送等に広く使われている。（例えば、特開平３
−２１８２４９号、特開平３−２６５４５８号参照）。
リニアモータの固定子側には、通常、可動子を案内する
ためのリニアレール（ガイドレール）が配置されてい
る。さらに、可動子の位置制御を行うために、読取ヘッ
ドとリニアスケールが可動子側あるいは固定子側にそれ
ぞれ配置されている。従来では、図４に示すように、リ
ニアスケール４０とリニアガイド（ガイドレール）４１
とはそれぞれ別々に取り付けられていた。（実開昭６１
−１４９８２０号参照）。ここで、４２は車輪であり、
４３はリニアエンコーダセンサであり、４４は可動子で
あり、４５は磁石であり、４６は固定子であり、４７は
コイルである。
イルとを有し、電機子コイルに駆動電流を流すことによ
り発生した推力を利用して、固定子に沿って可動子を移
動させるようにしたリニアモータが、例えば、ＩＣ部品
などの搬送等に広く使われている。（例えば、特開平３
−２１８２４９号、特開平３−２６５４５８号参照）。
リニアモータの固定子側には、通常、可動子を案内する
ためのリニアレール（ガイドレール）が配置されてい
る。さらに、可動子の位置制御を行うために、読取ヘッ
ドとリニアスケールが可動子側あるいは固定子側にそれ
ぞれ配置されている。従来では、図４に示すように、リ
ニアスケール４０とリニアガイド（ガイドレール）４１
とはそれぞれ別々に取り付けられていた。（実開昭６１
−１４９８２０号参照）。ここで、４２は車輪であり、
４３はリニアエンコーダセンサであり、４４は可動子で
あり、４５は磁石であり、４６は固定子であり、４７は
コイルである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来のリニアモータで
は、リニアスケール４０は、リニアガイド４１とは別に
配置されていたので、リニアスケール４０の他にリニア
ガイド４１が必要となり、装置が大型化しかつ高価にな
ってしまっていた。
は、リニアスケール４０は、リニアガイド４１とは別に
配置されていたので、リニアスケール４０の他にリニア
ガイド４１が必要となり、装置が大型化しかつ高価にな
ってしまっていた。
【０００４】したがって、本発明は、前記従来技術の問
題点に鑑みてなされたもので、その目的とするところ
は、装置をコンパクト化しかつ低コスト化することが可
能なリニアスケールを提供することにある。
題点に鑑みてなされたもので、その目的とするところ
は、装置をコンパクト化しかつ低コスト化することが可
能なリニアスケールを提供することにある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、リニアモータの可動子の位置を検出す
るために、可動子側に設けられた読取ヘッドと対向する
ように固定子側に配置されたリニアスケールにおいて、
上記可動子を案内するために固定子側に配置されたリニ
アレールを、ロックウェル硬さが４９以上のＭｎ−Ａｌ
系磁石で形成し、かつこのリニアレールの所定位置に、
可動子の移動方向に沿って異なる磁極を交互に着磁し
た。
に、本発明では、リニアモータの可動子の位置を検出す
るために、可動子側に設けられた読取ヘッドと対向する
ように固定子側に配置されたリニアスケールにおいて、
上記可動子を案内するために固定子側に配置されたリニ
アレールを、ロックウェル硬さが４９以上のＭｎ−Ａｌ
系磁石で形成し、かつこのリニアレールの所定位置に、
可動子の移動方向に沿って異なる磁極を交互に着磁し
た。
【０００６】
【作用】本発明は、可動子を案内するためのリニアレー
ル自体をリニアスケールとして利用するものである。こ
のように構成すれば、リニアレールとリニアスケールと
が一体化され装置構成をコンパクトにすることが可能に
なる。つまり、従来では、リニアスケールとリニアレー
ル（ガイドレール）とを別々に配置していたために装置
が大型化してしまっていたので、本発明のように、両者
を一体化すれば装置のコンパクト化が図れる。ここで、
リニアスケールはＮ・Ｓの磁極が交互に着磁可能なよう
な磁石材料で形成される必要がある。一方、リニアレー
ルは、可動子の重量を支持すると共に走行の維持が可能
なだけの硬度を有する材料で形成される必要がある。従
来のリニアスケールは、例えば、Ｆｅ−Ｃｒ−Ｃｏ系の
磁石で形成されていたが、このＦｅ−Ｃｒ−Ｃｏ系磁石
の硬さ（ＨＶ：ビッカース硬さ）は、通常３００〜４０
０程度であり、ガイドレールに要求される硬度を有しな
い。従って、リニアレールとリニアスケールとを一体化
する際に、Ｆｅ−Ｃｒ−Ｃｏ系の磁石材料をリニアレー
ルに使用するのは望ましくない。そこで、本発明では、
リニアスケールに必要な磁気特性とリニアレールに要求
される硬度とを兼ね備えた磁石材料として、Ｍｎ−Ａｌ
系磁石が適することに着目して、Ｍｎ−Ａｌ系磁石をリ
ニアレールに使用した。このＭｎ−Ａｌ系磁石を使用す
れば、ロックウェル硬さ（ＨＲＣ）を４９以上にするこ
とが可能であり、可動子の重量を支持するのに必要な硬
度をリニアレールに付与できる。
ル自体をリニアスケールとして利用するものである。こ
のように構成すれば、リニアレールとリニアスケールと
が一体化され装置構成をコンパクトにすることが可能に
なる。つまり、従来では、リニアスケールとリニアレー
ル（ガイドレール）とを別々に配置していたために装置
が大型化してしまっていたので、本発明のように、両者
を一体化すれば装置のコンパクト化が図れる。ここで、
リニアスケールはＮ・Ｓの磁極が交互に着磁可能なよう
な磁石材料で形成される必要がある。一方、リニアレー
ルは、可動子の重量を支持すると共に走行の維持が可能
なだけの硬度を有する材料で形成される必要がある。従
来のリニアスケールは、例えば、Ｆｅ−Ｃｒ−Ｃｏ系の
磁石で形成されていたが、このＦｅ−Ｃｒ−Ｃｏ系磁石
の硬さ（ＨＶ：ビッカース硬さ）は、通常３００〜４０
０程度であり、ガイドレールに要求される硬度を有しな
い。従って、リニアレールとリニアスケールとを一体化
する際に、Ｆｅ−Ｃｒ−Ｃｏ系の磁石材料をリニアレー
ルに使用するのは望ましくない。そこで、本発明では、
リニアスケールに必要な磁気特性とリニアレールに要求
される硬度とを兼ね備えた磁石材料として、Ｍｎ−Ａｌ
系磁石が適することに着目して、Ｍｎ−Ａｌ系磁石をリ
ニアレールに使用した。このＭｎ−Ａｌ系磁石を使用す
れば、ロックウェル硬さ（ＨＲＣ）を４９以上にするこ
とが可能であり、可動子の重量を支持するのに必要な硬
度をリニアレールに付与できる。
【０００７】
【実施例】本発明の実施例を図により説明する。まず、
本発明のリニアスケールが適用されるリニアモータの全
体構成を図２により説明する。ベース１上には、センタ
ーヨーク２とサイドヨーク３が固着されている。センタ
ーヨーク２とサイドヨーク３の内側には、図３に示すよ
うに、複数個の永久磁石４が、相隣る磁極の極性が相互
に異なるように配置されている。さらに、対向する永久
磁石４ａ，４ｂ同士もその磁極は相互に異なっており、
一定の磁気空隙５を介して配置されている。このベース
１に固着されたセンターヨーク２とサイドヨーク３及び
複数の永久磁石４により固定子Ａが構成される。
本発明のリニアスケールが適用されるリニアモータの全
体構成を図２により説明する。ベース１上には、センタ
ーヨーク２とサイドヨーク３が固着されている。センタ
ーヨーク２とサイドヨーク３の内側には、図３に示すよ
うに、複数個の永久磁石４が、相隣る磁極の極性が相互
に異なるように配置されている。さらに、対向する永久
磁石４ａ，４ｂ同士もその磁極は相互に異なっており、
一定の磁気空隙５を介して配置されている。このベース
１に固着されたセンターヨーク２とサイドヨーク３及び
複数の永久磁石４により固定子Ａが構成される。
【０００８】そして、この磁気空隙５に電機子コイル６
が配置されている。電機子コイル６は、多相コイルで構
成され、各コイルに流れる電流を切り替えることによ
り、電機子コイル６が一定推力を得て一定方向に移動で
きるようになっている。この電機子コイル６の多相コイ
ルの電流の切り替えは、通常は電機子コイル６に設けた
ホール素子（図示せず）が磁極の極性を検出することに
より出力する検出信号に基づいて行われる。このように
して、電機子コイル６が移動することにより、電機子コ
イル６を有する可動子Ｂが移動するようになっている。
が配置されている。電機子コイル６は、多相コイルで構
成され、各コイルに流れる電流を切り替えることによ
り、電機子コイル６が一定推力を得て一定方向に移動で
きるようになっている。この電機子コイル６の多相コイ
ルの電流の切り替えは、通常は電機子コイル６に設けた
ホール素子（図示せず）が磁極の極性を検出することに
より出力する検出信号に基づいて行われる。このように
して、電機子コイル６が移動することにより、電機子コ
イル６を有する可動子Ｂが移動するようになっている。
【０００９】また、固定子Ａの両端部には、可動子Ｂを
案内するためのリニアレール（ガイドレール）７が配置
されている。一方、可動子Ｂの両端部には、このリニア
レール７に沿って走行するリニアスライダー８が配置さ
れている。ここで、リニアレール７とリニアスライダー
８の詳細を図１に示す。本発明では、リニアレール７に
リニアスケール９を一体形成した。リニアレール７にリ
ニアスケール９を一体形成するのは、片側のリニアレー
ル７のみでよい。
案内するためのリニアレール（ガイドレール）７が配置
されている。一方、可動子Ｂの両端部には、このリニア
レール７に沿って走行するリニアスライダー８が配置さ
れている。ここで、リニアレール７とリニアスライダー
８の詳細を図１に示す。本発明では、リニアレール７に
リニアスケール９を一体形成した。リニアレール７にリ
ニアスケール９を一体形成するのは、片側のリニアレー
ル７のみでよい。
【００１０】このように一体形成することにより装置を
コンパクトにすることができる。ここで、このリニアレ
ール７は、Ｍｎ−Ａｌ系磁石で形成されている。このよ
うに、リニアレール７をＭｎ−Ａｌ系磁石で形成したの
は、Ｍｎ−Ａｌ系磁石が、リニアスケール９に必要な磁
気特性とリニアレール７に要求される硬度とを兼ね備え
ているからである。
コンパクトにすることができる。ここで、このリニアレ
ール７は、Ｍｎ−Ａｌ系磁石で形成されている。このよ
うに、リニアレール７をＭｎ−Ａｌ系磁石で形成したの
は、Ｍｎ−Ａｌ系磁石が、リニアスケール９に必要な磁
気特性とリニアレール７に要求される硬度とを兼ね備え
ているからである。
【００１１】例えば、このリニアレール７を、従来のリ
ニアスケールの材料であるＦｅ−Ｃｒ−Ｃｏ系の磁石で
形成してしまうと、このＦｅ−Ｃｒ−Ｃｏ系磁石の硬さ
（ＨＶ：ビッカース硬さ）は、通常３００〜４００程度
でなので、リニアレール７に要求される硬度を有せず、
リニアレール７とリニアスケール９とを一体化すること
は困難である。このような理由から、本発明では、リニ
アレール７としてＭｎ−Ａｌ系磁石を使用したのであ
る。このＭｎ−Ａｌ系磁石を使用すれば、ロックウェル
硬さ（ＨＲＣ）を、４９〜５６の範囲にすることが可能
になる。リニアレール７が、この範囲のロックウェル硬
さを有すれば、可動子Ｂの重量を支持することが可能で
ある。ここで、ロックウェル硬さは、圧子にダイヤモン
ドまたは鋼球を用い、基準荷重を加えてセットし、つぎ
に試験荷重とし、ふたたび基準荷重にもどしたとき、前
後２回の基準荷重におけるくぼみ深さの差ｔより算出さ
れる。
ニアスケールの材料であるＦｅ−Ｃｒ−Ｃｏ系の磁石で
形成してしまうと、このＦｅ−Ｃｒ−Ｃｏ系磁石の硬さ
（ＨＶ：ビッカース硬さ）は、通常３００〜４００程度
でなので、リニアレール７に要求される硬度を有せず、
リニアレール７とリニアスケール９とを一体化すること
は困難である。このような理由から、本発明では、リニ
アレール７としてＭｎ−Ａｌ系磁石を使用したのであ
る。このＭｎ−Ａｌ系磁石を使用すれば、ロックウェル
硬さ（ＨＲＣ）を、４９〜５６の範囲にすることが可能
になる。リニアレール７が、この範囲のロックウェル硬
さを有すれば、可動子Ｂの重量を支持することが可能で
ある。ここで、ロックウェル硬さは、圧子にダイヤモン
ドまたは鋼球を用い、基準荷重を加えてセットし、つぎ
に試験荷重とし、ふたたび基準荷重にもどしたとき、前
後２回の基準荷重におけるくぼみ深さの差ｔより算出さ
れる。
【００１２】次に、リニアレール７に使用されるＭｎ−
Ａｌ系磁石（Ｍｎ−Ａｌ−Ｃ系合金磁石）の組成と製法
とを説明する。Ｍｎ−Ａｌ−Ｃ系合金の組成は、６８．
０〜７３．０％のＭｎと、（１／１０Ｍｎ−６．６）〜
（１／３Ｍｎ−２２．２）％のＣと、残部のＡｌであ
る。その製法は、まず、上記組成の合金を溶解、鋳造し
てビレットを作成し、これを９００℃以上の温度下で容
体化処理する。次に、６００℃以上の温度下で焼入れ処
理し、その後、４８０℃〜６５０℃の温度範囲内で焼戻
し処理する。最後に、５３０℃〜８３０℃の温度範囲内
で温間塑性加工を行う。
Ａｌ系磁石（Ｍｎ−Ａｌ−Ｃ系合金磁石）の組成と製法
とを説明する。Ｍｎ−Ａｌ−Ｃ系合金の組成は、６８．
０〜７３．０％のＭｎと、（１／１０Ｍｎ−６．６）〜
（１／３Ｍｎ−２２．２）％のＣと、残部のＡｌであ
る。その製法は、まず、上記組成の合金を溶解、鋳造し
てビレットを作成し、これを９００℃以上の温度下で容
体化処理する。次に、６００℃以上の温度下で焼入れ処
理し、その後、４８０℃〜６５０℃の温度範囲内で焼戻
し処理する。最後に、５３０℃〜８３０℃の温度範囲内
で温間塑性加工を行う。
【００１３】例えば、ビレットとして（Ｍｎ：６９．３
％，Ｃ：０．４３％，Ａｌ：残部）を作成し、これを１
１００℃の温度下で一時間容体化処理し、６００℃の温
度下で焼入れ処理した後、６００℃の温度下で３０分間
焼戻し処理し、最後に、７００℃の温度下で押出し加工
を行ったところ、Ｂｒ＝５５００Ｇ，ＢＨc ＝２５００
Ｏｅの磁気特性を有し、かつＨＲＣ＝４９〜５６の硬さ
を有するＭｎ−Ａｌ−Ｃ系合磁石が得られた。このよう
な磁気特性と硬度とを有すれば、リニアスケールとリニ
アレールの両方に必要な条件を満足する。
％，Ｃ：０．４３％，Ａｌ：残部）を作成し、これを１
１００℃の温度下で一時間容体化処理し、６００℃の温
度下で焼入れ処理した後、６００℃の温度下で３０分間
焼戻し処理し、最後に、７００℃の温度下で押出し加工
を行ったところ、Ｂｒ＝５５００Ｇ，ＢＨc ＝２５００
Ｏｅの磁気特性を有し、かつＨＲＣ＝４９〜５６の硬さ
を有するＭｎ−Ａｌ−Ｃ系合磁石が得られた。このよう
な磁気特性と硬度とを有すれば、リニアスケールとリニ
アレールの両方に必要な条件を満足する。
【００１４】上記リニアスケール９は、リニアレール７
の所定位置に、可動子Ｂの移動方向に沿って異なる磁極
（Ｎ・Ｓ）を一定ピッチで交互に着磁することにより形
成される。リニアスケール９は、リニアレール７の上面
に形成しても、側面に形成してもよい。そして、このリ
ニアレール７上に、上記リニアスライダー８が配置され
ている。このリニアスライダー８は可動子Ｂ側に設けら
れており、可動子Ｂが移動するのに伴ってリニアレール
７に沿って移動する。
の所定位置に、可動子Ｂの移動方向に沿って異なる磁極
（Ｎ・Ｓ）を一定ピッチで交互に着磁することにより形
成される。リニアスケール９は、リニアレール７の上面
に形成しても、側面に形成してもよい。そして、このリ
ニアレール７上に、上記リニアスライダー８が配置され
ている。このリニアスライダー８は可動子Ｂ側に設けら
れており、可動子Ｂが移動するのに伴ってリニアレール
７に沿って移動する。
【００１５】具体的には、リニアスライダー８は、断面
がコ字型に形成されており、その凹部内面の四隅にそれ
ぞれボール１０が設けられている。そして、リニアスラ
イダー８は、その凹部内面とリニアレール７の表面とが
所定の間隙を維持した状態で対向配置され、ボール１０
を介してリニアレール７に沿って移動する。
がコ字型に形成されており、その凹部内面の四隅にそれ
ぞれボール１０が設けられている。そして、リニアスラ
イダー８は、その凹部内面とリニアレール７の表面とが
所定の間隙を維持した状態で対向配置され、ボール１０
を介してリニアレール７に沿って移動する。
【００１６】また、リニアスライダー８の内面には、リ
ニアスケール９と対向するように、周知の磁気抵抗効果
素子（例えば、特開昭６２−１１２０１２号参照）で形
成された読取ヘッド１１が設けられている。そして、リ
ニアスライダー８がリニアレール７に沿って移動する
と、読取ヘッド１１が所定の間隙を隔てた状態でリニア
スケール９上を動く。これにより、読取ヘッド１１の磁
気抵抗効果素子の抵抗値が変化して所定の出力電圧が発
生し可動子Ｂの位置が検出される。
ニアスケール９と対向するように、周知の磁気抵抗効果
素子（例えば、特開昭６２−１１２０１２号参照）で形
成された読取ヘッド１１が設けられている。そして、リ
ニアスライダー８がリニアレール７に沿って移動する
と、読取ヘッド１１が所定の間隙を隔てた状態でリニア
スケール９上を動く。これにより、読取ヘッド１１の磁
気抵抗効果素子の抵抗値が変化して所定の出力電圧が発
生し可動子Ｂの位置が検出される。
【００１７】上述の実施例では、リニアレール７上にリ
ニアスライダー８をボール１０を介して設置したが、本
発明はこれに限定されず、加圧気体供給源から加圧気体
を供給することにより、リニアスライダー８を所定の間
隙を維持した状態で浮上させて、リニアスライダー８を
リニアレール７に沿って非接触の状態で移動させるよう
にしてもよい（特開平３−２１８２４９号参照）。
ニアスライダー８をボール１０を介して設置したが、本
発明はこれに限定されず、加圧気体供給源から加圧気体
を供給することにより、リニアスライダー８を所定の間
隙を維持した状態で浮上させて、リニアスライダー８を
リニアレール７に沿って非接触の状態で移動させるよう
にしてもよい（特開平３−２１８２４９号参照）。
【００１８】また、上述の実施例では、永久磁石４を固
定しておいて電機子コイル６を移動させるタイプ（可動
コイル型）を説明したが、本発明はこれに限定されず、
電機子コイル６を固定しておいて永久磁石４を移動させ
るタイプ（可動マグネット型）のリニアモータにも適用
可能である。
定しておいて電機子コイル６を移動させるタイプ（可動
コイル型）を説明したが、本発明はこれに限定されず、
電機子コイル６を固定しておいて永久磁石４を移動させ
るタイプ（可動マグネット型）のリニアモータにも適用
可能である。
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば、リニアレールとリニア
スケールとを一体化したので、装置をコンパクト化する
ことができる。これにより、スペースを有効活用できる
と共にコストを低下させることができる。さらに、Ｍｎ
−Ａｌ系磁石をリニアレールに使用したので、リニアス
ケールに必要な磁気特性と、可動子の重量を支持するの
に必要な硬度とをリニアレールに付与できる。
スケールとを一体化したので、装置をコンパクト化する
ことができる。これにより、スペースを有効活用できる
と共にコストを低下させることができる。さらに、Ｍｎ
−Ａｌ系磁石をリニアレールに使用したので、リニアス
ケールに必要な磁気特性と、可動子の重量を支持するの
に必要な硬度とをリニアレールに付与できる。
【図１】本発明のリニアスケールの斜視図である。
【図２】本発明のリニアスケールが適用されるリニアモ
ータの全体構成を示す断面図である。
ータの全体構成を示す断面図である。
【図３】永久磁石の配置を示す図である。
【図４】従来のリニアスケールの配置状態を示す図であ
る。
る。
【符号の説明】 Ａ 固定子 Ｂ 可動子 ４ 永久磁石 ６ 電機子コイル ７ リニアレール ８ リニアスライダー ９ リニアスケール １１ 読取ヘッド
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０２Ｋ 41/035
Claims (1)
- 【請求項１】 リニアモータの可動子の位置を検出する
ために、可動子側に設けられた読取ヘッドと対向するよ
うに固定子側に配置されたリニアスケールにおいて、上
記可動子を案内するために固定子側に配置されたリニア
レールを、ロックウェル硬さが４９以上のＭｎ−Ａｌ系
磁石で形成し、かつこのリニアレールの所定位置に、可
動子の移動方向に沿って異なる磁極を交互に着磁して形
成したことを特徴とするリニアレール一体形リニアスケ
ール。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6019862A JPH07213045A (ja) | 1994-01-20 | 1994-01-20 | リニアレール一体形リニアスケール |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6019862A JPH07213045A (ja) | 1994-01-20 | 1994-01-20 | リニアレール一体形リニアスケール |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07213045A true JPH07213045A (ja) | 1995-08-11 |
Family
ID=12011038
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6019862A Pending JPH07213045A (ja) | 1994-01-20 | 1994-01-20 | リニアレール一体形リニアスケール |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07213045A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1005143A2 (en) * | 1998-11-23 | 2000-05-31 | Linear Drives Limited | Coaxial linear motor for extended travel |
| JP2002361307A (ja) * | 2001-06-12 | 2002-12-17 | Kawasaki Steel Corp | 圧延機の交換用搬送装置 |
| KR100778063B1 (ko) * | 2006-04-19 | 2007-11-21 | (주)원에스티 | 엔코더를 구비하는 리니어 가이드 및 리니어 모터 |
| JP2008114328A (ja) * | 2006-11-02 | 2008-05-22 | Yamaha Motor Co Ltd | 一軸アクチュエータ |
| JP2008193845A (ja) * | 2007-02-06 | 2008-08-21 | Kuronofangu Kk | リニアモータ |
| US8739425B2 (en) | 2009-02-16 | 2014-06-03 | Renishaw Plc | Encoder scale member and method for mounting |
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