JP2628087B2 - リニアステップモータの位置検出装置 - Google Patents
リニアステップモータの位置検出装置Info
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Description
【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は、リニアステップモータの移動子の位置の検
出およびリニアステップモータのクローズ制御のための
位置検出装置に関する。
出およびリニアステップモータのクローズ制御のための
位置検出装置に関する。
(従来の技術) リニアステップモータは、例えば第6図に示されるよ
うに、長手方向に沿って一定ピッチ(P)で歯1aと溝1b
とが交互に形成された固定子1と、軸受6,6によって固
定子1と所定間隔を保持した状態で固定子1の長手方向
に移動可能な移動子2とから構成されている。
うに、長手方向に沿って一定ピッチ(P)で歯1aと溝1b
とが交互に形成された固定子1と、軸受6,6によって固
定子1と所定間隔を保持した状態で固定子1の長手方向
に移動可能な移動子2とから構成されている。
前記移動子2は、固定子1の歯1aに対向する移動子歯
2aが形成されたポール(極)を複数個有していて、これ
らのポール(極)を順次励磁することにより固定子1上
を移動することができる。
2aが形成されたポール(極)を複数個有していて、これ
らのポール(極)を順次励磁することにより固定子1上
を移動することができる。
このようなリニアステップモータにおける移動子2の
固定子1に対する移動量の検出には、従来、第7図のよ
うな検出機構が用いられていた。この検出機構は、固定
子歯1a,1b,…のピッチ間隔と同じ間隔に配置された検出
歯4a,4b間にホール素子が挟持され、前記検出歯4a,4bの
中央部には永久磁石5が固定されていて、永久磁石5の
発生する磁束がホール素子3を通ることによりホール素
子3からの出力信号を検出するものである。すなわち、
検出歯4a,4bが固定子歯1a,1a,…に対向する位置にある
ときと、溝1b,1b,…に対向する位置にあるときとでホー
ル素子3を貫通する磁束が変化するため、この変化に伴
う出力の変化が検出される。
固定子1に対する移動量の検出には、従来、第7図のよ
うな検出機構が用いられていた。この検出機構は、固定
子歯1a,1b,…のピッチ間隔と同じ間隔に配置された検出
歯4a,4b間にホール素子が挟持され、前記検出歯4a,4bの
中央部には永久磁石5が固定されていて、永久磁石5の
発生する磁束がホール素子3を通ることによりホール素
子3からの出力信号を検出するものである。すなわち、
検出歯4a,4bが固定子歯1a,1a,…に対向する位置にある
ときと、溝1b,1b,…に対向する位置にあるときとでホー
ル素子3を貫通する磁束が変化するため、この変化に伴
う出力の変化が検出される。
このような位置検出装置として、従来、例えば特開昭
58−222772号公報記載の技術が周知であり、この従来技
術によれば、複数のホール素子群を整列配置して移動子
に固着し、これらの各ホール素子の組合せからなる回路
網を形成して、移動子コイルからの漏洩磁束の悪影響を
軽減しつつ、移動子の移動量を検出するというものであ
る。
58−222772号公報記載の技術が周知であり、この従来技
術によれば、複数のホール素子群を整列配置して移動子
に固着し、これらの各ホール素子の組合せからなる回路
網を形成して、移動子コイルからの漏洩磁束の悪影響を
軽減しつつ、移動子の移動量を検出するというものであ
る。
また、第8図にはバランス型リニアステップモータの
外観が示されており、第9図にはその概略断平面図が示
されている。
外観が示されており、第9図にはその概略断平面図が示
されている。
この形式のリニアステップモータは、長手方向に沿っ
てその左右両側に一定ピッチで歯11aと溝11bとが交互に
形成された固定子11,11と、この固定子11,11の歯11aに
対向して設けられた移動子歯12aを有する移動子12とを
備えている。そして。この移動子12に内蔵した移動子巻
線13に通電することにより、移動子12は軸受14に支持さ
れながら固定子11の長手方向に沿って移動する。
てその左右両側に一定ピッチで歯11aと溝11bとが交互に
形成された固定子11,11と、この固定子11,11の歯11aに
対向して設けられた移動子歯12aを有する移動子12とを
備えている。そして。この移動子12に内蔵した移動子巻
線13に通電することにより、移動子12は軸受14に支持さ
れながら固定子11の長手方向に沿って移動する。
(発明が解決しようとする課題) しかしながら、前記バランス型リニアステップモータ
においては、前記第7図の間隙Hに相当する検出歯(4
a,4b)と固定子歯11aとの間の間隙の変化が、ホール素
子による検出出力に影響し、このため検出結果に誤差が
生じるという問題があった。
においては、前記第7図の間隙Hに相当する検出歯(4
a,4b)と固定子歯11aとの間の間隙の変化が、ホール素
子による検出出力に影響し、このため検出結果に誤差が
生じるという問題があった。
本発明は前述した従来の課題を解決するために成され
たものであり、その目的とするところは、移動子の長手
方向への運動が非直線状となったり固定子歯と検出歯と
の間の間隙の総和が変化したとしても、これらに影響さ
れることなく移動子の移動量を正確に検出することので
きるリニアスステップモータの位置検出装置を提供する
ことにある。
たものであり、その目的とするところは、移動子の長手
方向への運動が非直線状となったり固定子歯と検出歯と
の間の間隙の総和が変化したとしても、これらに影響さ
れることなく移動子の移動量を正確に検出することので
きるリニアスステップモータの位置検出装置を提供する
ことにある。
(課題を解決するための手段) 前記目的と達成するために、本発明は、長手方向に沿
い一定ピッチで歯と溝が交互に形成された第1固定子
と、長手方向に沿い前記ピッチと同一ピッチで歯と溝が
交互に形成されると共に前記第1固定子の歯に歯が対向
するように設けられた第2固定子と、前記第1固定子と
第2固定子の歯に対向する複数の移動子歯を有し内蔵す
る移動子巻線への通電により前記長手方向に沿って移動
する移動子と、を備えたリニアステップモータの位置検
出装置において、前記移動子に固着されると共に前記第
1固定子と第2固定子との間にこれらの歯と等しい幅に
形成され一端部が前記第1固定子の歯に対向したときに
他端部が前記第2固定子の歯に対向する検出歯と、前記
検出歯に保持されたホール素子および永久磁石と、を有
することを特徴とし、 また、前記検出歯は、前記第1固定子及び第2固定子
の夫々の歯に対し1/4ピッチずつズラして複数個配置さ
れると共に、各検出歯に保持された各ホール素子を組合
せて回路網を形成し、前記第1固定子の歯と前記検出歯
の一端部との間隙と、前記第2固定子の歯と前記検出歯
の他端部との間隙の総和が変化したとしてもホール素子
出力のオフセット量の変化を防止するようにしたことを
特徴とする。
い一定ピッチで歯と溝が交互に形成された第1固定子
と、長手方向に沿い前記ピッチと同一ピッチで歯と溝が
交互に形成されると共に前記第1固定子の歯に歯が対向
するように設けられた第2固定子と、前記第1固定子と
第2固定子の歯に対向する複数の移動子歯を有し内蔵す
る移動子巻線への通電により前記長手方向に沿って移動
する移動子と、を備えたリニアステップモータの位置検
出装置において、前記移動子に固着されると共に前記第
1固定子と第2固定子との間にこれらの歯と等しい幅に
形成され一端部が前記第1固定子の歯に対向したときに
他端部が前記第2固定子の歯に対向する検出歯と、前記
検出歯に保持されたホール素子および永久磁石と、を有
することを特徴とし、 また、前記検出歯は、前記第1固定子及び第2固定子
の夫々の歯に対し1/4ピッチずつズラして複数個配置さ
れると共に、各検出歯に保持された各ホール素子を組合
せて回路網を形成し、前記第1固定子の歯と前記検出歯
の一端部との間隙と、前記第2固定子の歯と前記検出歯
の他端部との間隙の総和が変化したとしてもホール素子
出力のオフセット量の変化を防止するようにしたことを
特徴とする。
(作 用) 前記構成により、請求項1記載の発明によれば、第1
固定子の歯と検出歯の一端部との間隙と、第2固定子の
歯と検出歯の他端部との間隙が夫々等しくない場合、例
えば、移動子巻線への励磁により吸引力にバラツキが生
じ、前記夫々の間隙に差が生じたとしても、以下の理由
からホール素子の出力に影響を与えないという利点を有
する。
固定子の歯と検出歯の一端部との間隙と、第2固定子の
歯と検出歯の他端部との間隙が夫々等しくない場合、例
えば、移動子巻線への励磁により吸引力にバラツキが生
じ、前記夫々の間隙に差が生じたとしても、以下の理由
からホール素子の出力に影響を与えないという利点を有
する。
すなわち、本発明はホール素子および永久磁石を検出
歯にて保持し、永久磁石の発生する磁束が夫々前記夫々
の間隙と、第1固定子及び第固定子の夫々の歯を通って
ホール素子を貫通するとき、夫々の間隙の一方の間隙が
小さくなって該一方の間隙を通過する磁束が多くなって
も、他方の間隙は大きくなって該他方の間隙を通過する
磁束が小さくなるため、全体としてホール素子を貫通す
る磁束に変化はなく、従って、位置検出精度が夫々の間
隙に影響されることはない。
歯にて保持し、永久磁石の発生する磁束が夫々前記夫々
の間隙と、第1固定子及び第固定子の夫々の歯を通って
ホール素子を貫通するとき、夫々の間隙の一方の間隙が
小さくなって該一方の間隙を通過する磁束が多くなって
も、他方の間隙は大きくなって該他方の間隙を通過する
磁束が小さくなるため、全体としてホール素子を貫通す
る磁束に変化はなく、従って、位置検出精度が夫々の間
隙に影響されることはない。
また、請求項2の発明によれば、検出歯の熱膨張等に
より第1固定子の歯と検出歯の一端部との間隙と、第2
固定子の歯と検出歯の他端部との間隙の総和が変化した
場合、ホール素子出力はオフセット量が変化して基準レ
ベルに対し出力波形全体が上方または下方に移動するこ
ととなる。
より第1固定子の歯と検出歯の一端部との間隙と、第2
固定子の歯と検出歯の他端部との間隙の総和が変化した
場合、ホール素子出力はオフセット量が変化して基準レ
ベルに対し出力波形全体が上方または下方に移動するこ
ととなる。
しかし、本発明においては、その検出歯が上記の如く
1/4ピッチずつズラして複数個設けられていて、これら
各ホール素子の組合わせから成る回路網を形成すること
によって、例えば各ホール素子出力の減算処理を施すこ
とにより、前記オフセット量の変化が防止される。
1/4ピッチずつズラして複数個設けられていて、これら
各ホール素子の組合わせから成る回路網を形成すること
によって、例えば各ホール素子出力の減算処理を施すこ
とにより、前記オフセット量の変化が防止される。
(実施例) 以下、図面に基づき本発明の実施例を詳説する。
第1図には本発明装置における位置検出部の概略構成
が示されている。
が示されている。
本発明が適用されたバランス型リニアステップモータ
の外観は、前述した第8図、第9図と同様であり、歯11
aおよび溝11bが交互に一定ピッチPで形成された固定子
11と、軸受14によって長手方向に移動可能に支持された
移動子12とを備えていて、前記移動子12は、固定子歯11
aに対向する移動子歯12aを有するポール(極)に夫々巻
回された移動子巻線13を備えている。
の外観は、前述した第8図、第9図と同様であり、歯11
aおよび溝11bが交互に一定ピッチPで形成された固定子
11と、軸受14によって長手方向に移動可能に支持された
移動子12とを備えていて、前記移動子12は、固定子歯11
aに対向する移動子歯12aを有するポール(極)に夫々巻
回された移動子巻線13を備えている。
ここで、本発明においては、前記移動子に固着される
と共に左右両側の夫々に配置される固定子の一方である
第1固定子と他方である第2固定子との間にこれらの歯
と等しい幅に形成され一端部が第1固定子の歯に対向し
たときに他端部が第2固定子の歯に対向する検出歯と、
検出歯に保持されたホール素子および永久磁石と、を有
することを特徴としている。
と共に左右両側の夫々に配置される固定子の一方である
第1固定子と他方である第2固定子との間にこれらの歯
と等しい幅に形成され一端部が第1固定子の歯に対向し
たときに他端部が第2固定子の歯に対向する検出歯と、
検出歯に保持されたホール素子および永久磁石と、を有
することを特徴としている。
第1図において、本実施例では、位置検出部15は、左
右両側の固定子11,11間にその固定子歯11aと等しい幅を
有する検出歯16,16と、これら検出歯16,16の間に挟持さ
れたホール素子17およびこのホール素子17に対しその左
右両側に対象に配置された永久磁石18a,18bとを有し、
このような位置検出部15が移動子12に固着されていて、
移動子12と共にその左右両側の固定子11,11間を移動す
る。実施例ではこのような位置検出部15が前後に2組設
けられており、その一方の組が固定子歯11aと対向する
位置関係にあるときは、他方の組は固定子歯11aのピッ
チ(P)の1/4だけズレた位置関係になっている。な
お、上記固定子11,11は第1図に示す如く、夫々の歯11a
が対向するように設けられている。
右両側の固定子11,11間にその固定子歯11aと等しい幅を
有する検出歯16,16と、これら検出歯16,16の間に挟持さ
れたホール素子17およびこのホール素子17に対しその左
右両側に対象に配置された永久磁石18a,18bとを有し、
このような位置検出部15が移動子12に固着されていて、
移動子12と共にその左右両側の固定子11,11間を移動す
る。実施例ではこのような位置検出部15が前後に2組設
けられており、その一方の組が固定子歯11aと対向する
位置関係にあるときは、他方の組は固定子歯11aのピッ
チ(P)の1/4だけズレた位置関係になっている。な
お、上記固定子11,11は第1図に示す如く、夫々の歯11a
が対向するように設けられている。
第2図はこれら2組の位置検出部15,15によるホール
素子出力であり、互いに90度だけ位相がズレている。従
って、この2つの信号の位相を比較することにより移動
方向を検出することができ、また、この出力波形を波形
整形してカウントまたは分割することにより、移動子の
長手方向の位置が検出される。
素子出力であり、互いに90度だけ位相がズレている。従
って、この2つの信号の位相を比較することにより移動
方向を検出することができ、また、この出力波形を波形
整形してカウントまたは分割することにより、移動子の
長手方向の位置が検出される。
本発明が適用されたバランス型リニアステップモータ
は、一般に左右の移動子巻線(電磁石)による吸引力の
バラツキにより、移動子12の長手方向への移動が非直線
状になり、夫々の固定子歯11aと検出歯16との間の左右
の間隙(H1,H2)、すなわち、検出歯16の一端部(第1
図の下方側端部)と第1図の下方側の第1固定子として
の固定子11の歯11aの間隙H1、及び検出歯16の他端部
(第1図の上方側端部)と第1図の上方側の第2固定子
としての固定子11の歯11aの間隙H2が一定となり難い。
しかし、その間隙の総和H0は、 H0=H1+H2 のように一定であるため、ホール素子17と永久磁石18a,
18bとを第1図のように配置すると、これらの間隙H1,H2
が変化してもホール素子の出力には影響は受けないこと
になる。
は、一般に左右の移動子巻線(電磁石)による吸引力の
バラツキにより、移動子12の長手方向への移動が非直線
状になり、夫々の固定子歯11aと検出歯16との間の左右
の間隙(H1,H2)、すなわち、検出歯16の一端部(第1
図の下方側端部)と第1図の下方側の第1固定子として
の固定子11の歯11aの間隙H1、及び検出歯16の他端部
(第1図の上方側端部)と第1図の上方側の第2固定子
としての固定子11の歯11aの間隙H2が一定となり難い。
しかし、その間隙の総和H0は、 H0=H1+H2 のように一定であるため、ホール素子17と永久磁石18a,
18bとを第1図のように配置すると、これらの間隙H1,H2
が変化してもホール素子の出力には影響は受けないこと
になる。
すなわち、例えば間隙H1が微小量dHだけ減少して(H1
−dH)となり、これに伴い間隙H2がdHだけ増加して(H2
+dH)となったとすると、一方の永久磁石18bのN極か
ら発生する磁束は検出歯16内を通過してホール素子17を
貫通するものと、間隙H1および固定子歯11aを介してS
極に至るものとがあるが、この場合、間隙H1がdHだけ狭
くなっているため該間隙H1を通過する磁束が増加し、ホ
ール素子17を貫通する磁束の量は少くなる。
−dH)となり、これに伴い間隙H2がdHだけ増加して(H2
+dH)となったとすると、一方の永久磁石18bのN極か
ら発生する磁束は検出歯16内を通過してホール素子17を
貫通するものと、間隙H1および固定子歯11aを介してS
極に至るものとがあるが、この場合、間隙H1がdHだけ狭
くなっているため該間隙H1を通過する磁束が増加し、ホ
ール素子17を貫通する磁束の量は少くなる。
しかしこの場合、他方の永久磁石18aのN極から発生
する磁束のうち、間隙H2および固定子歯11aを介してS
極に至る量が減少する分だけホール素子17を貫通する磁
束の量が多くなり、従って2つの永久磁石18a,18bの発
する磁束が全体としてホール素子17を貫通する量は一定
となる。
する磁束のうち、間隙H2および固定子歯11aを介してS
極に至る量が減少する分だけホール素子17を貫通する磁
束の量が多くなり、従って2つの永久磁石18a,18bの発
する磁束が全体としてホール素子17を貫通する量は一定
となる。
第3図は他の実施例を示すものであり、この実施例で
は固定子歯11aと等しい幅を有する検出歯16−1,16−2
を移動方向の前後に配置し、一方の検出歯16−1の中央
部にホール素子17が保持され、他方の検出歯16−2の中
央部に永久磁石18が保持されている。
は固定子歯11aと等しい幅を有する検出歯16−1,16−2
を移動方向の前後に配置し、一方の検出歯16−1の中央
部にホール素子17が保持され、他方の検出歯16−2の中
央部に永久磁石18が保持されている。
すなわち、この実施例においても、固定子歯11aと位
置検出歯16との間の左右の間隙H1,H2が変化しても、一
方の間隙を通過する磁束の量が増減した分だけ、他方の
間隙を通過する磁束が減増するので、ホール素子17を貫
通する磁束の量は一定となる。
置検出歯16との間の左右の間隙H1,H2が変化しても、一
方の間隙を通過する磁束の量が増減した分だけ、他方の
間隙を通過する磁束が減増するので、ホール素子17を貫
通する磁束の量は一定となる。
次に本発明においては、前記検出歯は、前記第1固定
子及び第2固定子の夫々の歯に対し1/4ピッチずつズラ
して複数個配置されると共に、各検出歯に保持された各
ホール素子を組合せて回路網を形成し、前記第1固定子
の歯と前記検出歯の一端部との間隙と、前記第2固定子
の歯と前記検出歯の他端部との間隙の総和が変化したと
してもホール素子出力のオフセット量の変化を防止する
ようにしたことを特徴とする。
子及び第2固定子の夫々の歯に対し1/4ピッチずつズラ
して複数個配置されると共に、各検出歯に保持された各
ホール素子を組合せて回路網を形成し、前記第1固定子
の歯と前記検出歯の一端部との間隙と、前記第2固定子
の歯と前記検出歯の他端部との間隙の総和が変化したと
してもホール素子出力のオフセット量の変化を防止する
ようにしたことを特徴とする。
本実施例において、第4図には、前記構成に係る位置
検出部15を3組用いた実施例が示されており、各位置検
出部15a,15b,15cにおける夫々の検出歯16a,16b,16cは、
固定子歯11aに対し夫々1/4ピッチずつズラした位置関係
を有している。また、第5図は前記各位置検出部15a,15
b,15cに設けられたホール素子17a,17b,17cの出力処理回
路図である。
検出部15を3組用いた実施例が示されており、各位置検
出部15a,15b,15cにおける夫々の検出歯16a,16b,16cは、
固定子歯11aに対し夫々1/4ピッチずつズラした位置関係
を有している。また、第5図は前記各位置検出部15a,15
b,15cに設けられたホール素子17a,17b,17cの出力処理回
路図である。
すなわち、同図において、ホール素子17aは差動増幅
器19aの正端子へ接続され、またホール素子17bは差動増
幅器19aの負端子および差動増幅器19bの正端子へ接続さ
れ、更にホール素子17cは差動増幅器19bの負端子へ接続
されている。
器19aの正端子へ接続され、またホール素子17bは差動増
幅器19aの負端子および差動増幅器19bの正端子へ接続さ
れ、更にホール素子17cは差動増幅器19bの負端子へ接続
されている。
以上において、検出歯16a,16b,16cの熱膨張やその他
の何らかの原因で左右両側の固定子歯11a,11aと検出歯1
6a,16b,16cとの間の間隙の総和H0(=H1+H2)が変化し
た場合、各ホール素子17a,17b,17cの出力波形はオフセ
ット分が変化し、基準レベル(0V)に対して波形全体が
上ったり下ったりすることになる。そこで、各ホール素
子17a,17b,17cを前述した第5図の様に接続して減算処
理することにより、前記問題を解消することができる。
の何らかの原因で左右両側の固定子歯11a,11aと検出歯1
6a,16b,16cとの間の間隙の総和H0(=H1+H2)が変化し
た場合、各ホール素子17a,17b,17cの出力波形はオフセ
ット分が変化し、基準レベル(0V)に対して波形全体が
上ったり下ったりすることになる。そこで、各ホール素
子17a,17b,17cを前述した第5図の様に接続して減算処
理することにより、前記問題を解消することができる。
すなわち、ホール素子の出力をSINQで近似し、オフセ
ット分をαとすると、 位置検出部15aのホール素子17aの出力は SINθ+α 位置検出部15bのホール素子17bの出力は COSθ+α 位置検出部15cのホール素子17cの出力は −SINθ+α となり、第5図の各出力I,IIは となり、90゜位相のずれた2つの信号が検出できること
になる。しかも、上式で明らかなようにオフセット分α
は出力には現われないため、オフセット分の変化に影響
されない位置検出装置が得られることになる。
ット分をαとすると、 位置検出部15aのホール素子17aの出力は SINθ+α 位置検出部15bのホール素子17bの出力は COSθ+α 位置検出部15cのホール素子17cの出力は −SINθ+α となり、第5図の各出力I,IIは となり、90゜位相のずれた2つの信号が検出できること
になる。しかも、上式で明らかなようにオフセット分α
は出力には現われないため、オフセット分の変化に影響
されない位置検出装置が得られることになる。
(発明の効果) この発明は以上説明した通り、長手方向に沿い一定ピ
ッチで歯と溝が交互に形成された第1固定子と、長手方
向に沿い前記ピッチと同一ピッチで歯と溝が交互に形成
されると共に前記第1固定子の歯に歯が対向するように
設けられた第2固定子と、前記第1固定子と第2固定子
の歯に対向する複数の移動子歯を有し内蔵する移動子巻
線への通電により前記長手方向に沿って移動する移動子
と、を備えたリニアステップモータの位置検出装置にお
いて、前記移動子に固着されると共に前記第1固定子と
第2固定子との間にこれらの歯と等しい幅に形成され一
端部が前記第1固定子の歯に対向したときに他端部が前
記第2固定子の歯に対向する検出歯と、前記検出歯に保
持されたホール素子および永久磁石と、を有し、移動子
の長手方向への運動が非直線状となっても、移動子の移
動量を正確に検出できる。
ッチで歯と溝が交互に形成された第1固定子と、長手方
向に沿い前記ピッチと同一ピッチで歯と溝が交互に形成
されると共に前記第1固定子の歯に歯が対向するように
設けられた第2固定子と、前記第1固定子と第2固定子
の歯に対向する複数の移動子歯を有し内蔵する移動子巻
線への通電により前記長手方向に沿って移動する移動子
と、を備えたリニアステップモータの位置検出装置にお
いて、前記移動子に固着されると共に前記第1固定子と
第2固定子との間にこれらの歯と等しい幅に形成され一
端部が前記第1固定子の歯に対向したときに他端部が前
記第2固定子の歯に対向する検出歯と、前記検出歯に保
持されたホール素子および永久磁石と、を有し、移動子
の長手方向への運動が非直線状となっても、移動子の移
動量を正確に検出できる。
また、前記検出歯は、前記第1固定子及び第2固定子
の夫々の歯に対し1/4ピッチずつズラして複数個配置さ
れると共に、各検出歯に保持された各ホール素子を組合
せて回路網を形成したことにより、前記第1固定子の歯
と前記検出歯の一端部との間隙と、前記第2固定子の歯
と前記検出歯の他端部との間隙の総和が変化したとして
もホール素子出力のオフセットが生じることはなく、こ
のため正確な位置検出を行うことができる。
の夫々の歯に対し1/4ピッチずつズラして複数個配置さ
れると共に、各検出歯に保持された各ホール素子を組合
せて回路網を形成したことにより、前記第1固定子の歯
と前記検出歯の一端部との間隙と、前記第2固定子の歯
と前記検出歯の他端部との間隙の総和が変化したとして
もホール素子出力のオフセットが生じることはなく、こ
のため正確な位置検出を行うことができる。
第1図は本発明装置における位置検出部の概略構成を示
す図、第2図はホール素子の出力信号のタイムチャート
を示す図、第3図は他の実施例における位置検出部の概
略構成を示す図、第4図は位置検出部を3組備えた状態
を示す図、第5図はその信号処理回路図、第6図は従来
のリニアステップモータの外観を示す図、第7図はその
位置検出部の概略を示す図、第8図はバランス型リニア
ステップモータの外観を示す図、第9図はその概略平面
を示す図である。 11……固定子、11a……固定子歯、11b……固定子溝、12
……移動子、12a……移動子歯、15,15a,15b,15c……位
置検出部、16,16a,16b,16c……検出歯、17,17a,17b,17c
……ホール素子、18,18a,18b……永久磁石。
す図、第2図はホール素子の出力信号のタイムチャート
を示す図、第3図は他の実施例における位置検出部の概
略構成を示す図、第4図は位置検出部を3組備えた状態
を示す図、第5図はその信号処理回路図、第6図は従来
のリニアステップモータの外観を示す図、第7図はその
位置検出部の概略を示す図、第8図はバランス型リニア
ステップモータの外観を示す図、第9図はその概略平面
を示す図である。 11……固定子、11a……固定子歯、11b……固定子溝、12
……移動子、12a……移動子歯、15,15a,15b,15c……位
置検出部、16,16a,16b,16c……検出歯、17,17a,17b,17c
……ホール素子、18,18a,18b……永久磁石。
Claims (2)
- 【請求項1】長手方向に沿い一定ピッチで歯と溝が交互
に形成された第1固定子と、長手方向に沿い前記ピッチ
と同一ピッチで歯と溝が交互に形成されると共に前記第
1固定子の歯に歯が対向するように設けられた第2固定
子と、前記第1固定子と第2固定子の歯に対向する複数
の移動子歯を有し内蔵する移動子巻線への通電により前
記長手方向に沿って移動する移動子と、を備えたリニア
ステップモータの位置検出装置において、前記移動子に
固着されると共に前記第1固定子と第2固定子との間に
これらの歯と等しい幅に形成され一端部が前記第1固定
子の歯に対向したときに他端部が前記第2固定子の歯に
対向する検出歯と、前記検出歯に保持されたホール素子
および永久磁石と、を有することを特徴とするリニアス
テップモータの位置検出装置。 - 【請求項2】前記検出歯は、前記第1固定子及び第2固
定子の夫々の歯に対し1/4ピッチずつズラして複数個配
置されると共に、各検出歯に保持された各ホール素子を
組合せて回路網を形成し、前記第1固定子の歯と前記検
出歯の一端部との間隙と、前記第2固定子の歯と前記検
出歯の他端部との間隙の総和が変化したとしてもホール
素子出力のオフセット量の変化を防止するようにしたこ
とを特徴とする請求項1記載のリニアステップモータの
位置検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1039998A JP2628087B2 (ja) | 1989-02-20 | 1989-02-20 | リニアステップモータの位置検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1039998A JP2628087B2 (ja) | 1989-02-20 | 1989-02-20 | リニアステップモータの位置検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH02219456A JPH02219456A (ja) | 1990-09-03 |
JP2628087B2 true JP2628087B2 (ja) | 1997-07-09 |
Family
ID=12568597
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1039998A Expired - Fee Related JP2628087B2 (ja) | 1989-02-20 | 1989-02-20 | リニアステップモータの位置検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2628087B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08249602A (ja) * | 1995-03-06 | 1996-09-27 | Mitsubishi Electric Corp | 磁気式記憶再生方法ならびにそれに用いる磁気再生装置、磁気記憶媒体およびその製法 |
DE102006038162A1 (de) * | 2006-08-16 | 2008-02-21 | Siemens Ag | Elektromotor mit Messsystem für Position oder Bewegung |
-
1989
- 1989-02-20 JP JP1039998A patent/JP2628087B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH02219456A (ja) | 1990-09-03 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |