JP2013130468A - アクチュエータ - Google Patents

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Abstract

【課題】 異物排除部材によってエンコーダスケール上の異物を確実に排除することができ、且つ、異物排除部材の交換や位置の調整を容易に行えること
【解決手段】 エンコーダスケールが設けられたハウジングと、上記ハウジングに対して移動可能に設けられるとともに上記エンコーダスケールに対応する読取ヘッドを備えたエンコーダが設けられたスライダと、を具備し、上記読取ヘッドの進行方向両側に異物排除部材が着脱可能に設置されていることを特徴とするもの。
【選択図】図4

Description

本発明は、例えば、リニアモータを用いたアクチュエータに係り、特に、スライダに設けられたエンコーダの読取ヘッドの進行方向両側に異物排除部材が着脱可能に設置され、エンコーダスケール上の異物を排除することができ、且つ、該異物排除部材の交換や異物排除部材とエンコーダスケールとの間の隙間の調整を容易に行うことができるように工夫したものに関する。
従来のアクチュエータは、概略次のような構成になっている。
まず、ハウジングがあり、このハウジングに対して移動可能に設けられたスライダがある。上記ハウジング内には、永久磁石が直線上に異なる磁極で交互に配列されている。また、上記スライダにはコイルが設けられている。そして、上記コイルと上記永久磁石との相互作用により、上記スライダが上記ハウジングに対して移動するように構成されている。
また、上記スライダには読み取りヘッド(センサ)を備えたエンコーダが設置されていて、一方、上記ハウジングには上記スライダの移動方向に沿って上記エンコーダに対応するエンコーダスケールが設置されている。上記エンコーダとエンコーダスケールとにより上記スライダの上記ハウジング上での位置を検出する構成になっている。
ところで、上記読取ヘッドはエンコーダスケールの表面に近い場所に配置されエンコーダスケールの磁気を検出するものであるが、仮に、エンコーダスケール上に異物が存在していると、上記読取ヘッドと上記エンコーダスケール間に異物が入り込んでしまい、読取ヘッドやエンコーダスケールが該異物によって破損してしまうことがある。
具体的には、スライダによって搬送される各種物品(例えば、ガラス製品)が何らかの理由により破損しその破片がエンコーダスケール上に落下したような場合が想定される。その場合には、微小ガラス片が読取ヘッドとエンコーダスケールとの間に入り込んでしまい、読取ヘッドやエンコーダスケールがその微小ガラス片によって破損してしまうおそれがある。
そこで、上記読取ヘッドの進行方向両側に、異物排除部材を設けることが考えられている。このようなものは、例えば、特許文献1や特許文献2に開示されている。
特開2009−183073号公報 特開2000−304838号公報
上記従来の構成によると次のような問題があった。
まず、特許文献1、特許文献2に開示されている異物排除部材は読取ヘッドに対して一体に設けられているため、異物排除部材の交換や位置の調整ができないという問題があった。すなわち、アクチュエータをどのような用途で用いるかによって発生しうる異物の大きさは異なり、それに伴って異物排除部材の交換や位置の調整が必要になるが、上記したように、異物排除部材は読取ヘッドに対して一体に設けられているためその対応が困難であるという問題があった。
また、従来の異物排除部材は、その進行方向両側の先端面が進行方向に対して直交する一面で構成されているため、異物をエンコーダスケール上で左右に排除することなくそのまま移動方向に沿って移動させてしまうことになる。そのため、その異物によってエンコーダスケールが破損したり、より微小化された異物が読取ヘッドとエンコーダスケールとの間に入り込んでしまうことが懸念されていた。
本発明は、このような点に基づいてなされたもので、その目的とするところは、スライダに設けられたエンコーダの読取ヘッドの進行方向両側に異物排除部材を着脱可能に設置し、エンコーダスケール上の異物を確実に排除することができ、且つ、その異物排除部材の交換や位置の調整を容易に行うことが可能なアクチュエータを提供することにある。
上記課題を解決するべく請求項1に記載されたアクチュエータは、エンコーダスケールが設けられたハウジングと、上記ハウジングに対して移動可能に設けられるとともに上記エンコーダスケールに対応する読取ヘッドを備えたエンコーダが設けられたスライダと、を具備し、上記読取ヘッドの進行方向両側に異物排除部材が着脱可能に設置されていることを特徴とするものである。
また、請求項2に記載されたアクチュエータは、請求項1記載のアクチュエータにおいて、上記異物排除部材は上記エンコーダスケールとの間の隙間を調整するべく移動可能に取り付けられていることを特徴とするものである。
また、請求項3に記載されたアクチュエータは、請求項1又は請求項2記載のアクチュエータにおいて、上記異物排除部材の先端部には後方へ向けて傾斜された傾斜面が形成されていることを特徴とするものである。
以上述べたように、請求項1記載のアクチュエータによると、読取ヘッドの進行方向両側に異物排除部材が着脱可能に設置されているため、上記異物排除部材を交換することができ、これによって発生する異物の大きさ等に応じて、上記異物排除部材とエンコーダスケールとの間の隙間を容易に調整することができる。
また、請求項2記載のアクチュエータは、上記異物排除部材は上記エンコーダスケールとの間の隙間を調整するべく移動可能に取り付けられているため、上記異物排除部材と上記エンコーダスケール間の隙間の大きさを容易に調整することができる。
また、請求項3記載のアクチュエータは、上記異物排除部材の先端部には後方へ向けて傾斜された傾斜面が形成されているため、上記異物を進行方向の右側及び(又は)左側に移動させることができ、エンコーダスケール上から確実に上記異物を排除することができる。
本発明の一実施の形態を示す図で、本実施の形態によるアクチュエータを示す斜視図である。 本発明の一実施の形態を示す図で、図1におけるII−II断面図である。 本発明の一実施の形態を示す図で、図1におけるIII−III断面図である。 本発明の一実施の形態を示す図で、本実施の形態によるアクチュエータの一部側断面図である。 本発明の一実施の形態を示す図で、本実施の形態によるアクチュエータのエンコーダとエンコーダスケール付近を示す一部平面図であり、ハウジング、スライダ、エンコーダ基板を除去した図である。 本発明の一実施の形態を示す図で、図6(a)は本実施の形態によるアクチュエータのエンコーダを示す斜視図、図6(b)は本実施の形態によるアクチュエータのエンコーダを示す側面図である。 本発明の一実施の形態を示す図で、図7(a)は本実施の形態によるアクチュエータの異物排除部材を示す平面図、図7(b)は本実施の形態によるアクチュエータの異物排除部材を示す斜視図、図7(c)は本実施の形態によるアクチュエータの異物排除部材を示す側面図である。
図1乃至図7を参照して、本願発明の一実施の形態について説明する。
まず、本実施の形態によるアクチュエータ1には、図1及び図2に示すように、ハウジング3がある。このハウジング3は、ベース5と、該ベース5の幅方向(図2中左右方向)両端側に設けられたサイドカバー7、7とから構成されている。
また、図2に示すように、上記ベース5には凹部9が形成されており、該凹部9内にはヨーク11が設置されている。また、上記ヨーク11の図2中上側の面には複数の永久磁石13が設置されている。これら永久磁石13は、上記ヨーク11上を、上記アクチュエータ1の長さ方向(図2中紙面垂直方向)に向かって配置されており、その上下方向(図2中上下方向)の磁極の向きが交互に異なっているものである。
また、上記ベース5の幅方向の一方の端側(図2中右側)には、長さ方向(図2中紙面垂直方向)に延長されたエンコーダスケール12が設置されている。このエンコーダスケール12は磁性を帯びており、後述する読取ヘッド61はこのエンコーダスケール12の磁気を検出することにより、後述するスライダ19の上記ハウジング3上での位置を測定する。また、上記エンコーダスケール12の両側(図2中左右両側)には、長さ方向(図2中紙面垂直方向)に延長された異物排除用溝14、14が形成されている。
また、上記ベース5の幅方向(図2中左右方向)両側には、ガイドレール15、15が設置されている。このガイドレール15、15は上記アクチュエータ1の長さ方向(図2中紙面垂直方向)に延長・形成されたものであり、その外周面には図示しない溝が長さ方向(図2中紙面垂直方向)に延長・形成されている。また、図3に示すように、上記ベース5の前後端(図3中左右両端)には、端栓16、16が設置されている。また、上記ハウジング3の前後端(図3中左右両端)は、端カバー18、18によって閉塞されている。
また、上記ハウジング3には、その長さ方向(図2中紙面垂直方向)に沿って移動可能にスライダ19が設けられている。このスライダ19には、まず、スライダプレート21がある。このスライダプレート21は、図2に示すように、上記ハウジング3内に設置されているものである。また、上記スライダプレート21の幅方向(図2中左右方向)中央の上記ベース5側(図2中下側)にはコイル23が設置されている。このコイル23に通電することにより磁界を発生させ、上記ハウジング5に設けられた複数の永久磁石13との相互作用により、上記スライダ19を上記ハウジング3に対して移動させるものである。
また、上記スライダプレート21の左右両端側(図2中左右方向両端側)の上記ベース5側(図2中下側)には被ガイド部材25、25が設けられている。これらの被ガイド部材25、25と既に説明した上記ガイドレール15、15とによってそれぞれリニアガイドを構成している。これらリニアガイドは上記スライダ19を長さ方向(図2中紙面垂直方向)にガイドするものである。
また、上記被ガイド部材25は、図4に示すように、被ガイド部材本体26とその進行方向両端(図2中左右方向両端)に取り付けられたエンドキャップ27、27とから構成されている。上記被ガイド部材本体26には、前述したガイドレール15の溝に対応する図示しない溝が形成されているとともに、これらの溝に対応する図示しない循環路が設けられている。そして、上記スライダ19が移動する際は、上記被ガイド部材本体26内の循環路及び上記ガイドレール15の溝と上記被ガイド部材本体26の溝との間を複数の図示しないボールが循環するようになっている。上記エンドキャップ27、27には上記被ガイド部材本体26内の循環路及び上記ガイドレール15の溝と上記被ガイド部材本体26の溝との間を連絡する図示しないリターン溝が形成されており、上記ボールが上記被ガイド部材25の進行方向両端(図4中左右方向両端)において脱落しないようにしている。また、上記エンドキャップ27は、例えば、図示しないネジによって、被ガイド部材本体26に固定されている。
また、上記スライダプレート21の上側(図2中上側)にはテーブル31が設置されている。このテーブル31は上記ハウジング3の外部に露出・配置されており、その上に移動させる任意の対象物を載置できるようになっている。また、上記テーブル31内には、図3に示すように、ローラ35、35、及び、ローラ37、37が回転可能に設置されている。これについては後述する。
また、図3に示すように、上記ハウジング3の上側(図3中上側)の開口部41には、カバー43が取り付けられている。このカバー43は、例えば、ステンレス製の薄い板状の部材であり、その長さ方向(図3中左右方向)の両端側が、上記端栓16、16とカバー押え45、45との間に挿入されている。上記カバー押え45及び上記カバー43は、上記カバー押え45及び上記カバー43を貫通し上記端栓16に螺合されるネジ47、47によって上記端栓16に固定されている。また、上記カバー43は、図3に示すように、上記テーブル31内を貫通しており、その際上記ローラ35、35、37、37によってガイドされるように構成されている。
また、図2及び図4に示すように、上記ハウジング5内部における、上記スライダ19の幅方向一方側(図2中右側)にはエンコーダ49が設置されている。このエンコーダ49は、図5及び図6に示すように、まず、プレート51がある。また、上記プレート51には、スペーサ53、53を介して、エンコーダ基板55が取り付けられている。上記エンコーダ基板55は上記スペーサ53、53を貫通して上記プレート51に螺合されるボルト57によって固定されている。また、上記エンコーダ基板55上には電子部品59、59が実装されているほか、図示されていない各種電子部品も実装されている。
また、上記プレート51の下側(図6中下側)には、読取ヘッド61が設置されている。この読取ヘッド61には、例えば、エンコーダスケール12の磁気を検出するセンサが備えられており、フラットケーブル63によって上記エンコーダ基板55の電子部品と上記センサとが電気的に接続されている。また、上記読取ヘッド61は取付部材62を介して上記エンコーダ基板55に取り付けられている。また、上記フラットケーブル63の反エンコーダ基板55側(図5中上側)にはケーブルカバー65が設けられている。このケーブルカバー65は、ボルト67、67によって、上記プレート51に固定されている。
なお、図5においては、上記エンコーダ基板55が省略されており、上記フラットケーブル63が上記エンコーダ基板55に接続されていない状態で表されている。
また、上記読取ヘッド61の進行方向両端(図5中左右方向両端)には異物排除部材69、69が設置されている。これら異物排除部材69、69は図7に示すような構成を成している。まず、略直方体形状の取付部71があり、この取付部71には貫通孔73が穿孔されている。また、上記取付部71の前方(図7(a)中下側)には異物排除部材本体75が設けられている。この異物排除部材本体75は、図7(a)に示すように、略2等辺三角形の断面形状を成しており、先端部(図7(a)中下側部分)に傾斜面77、77が形成されている。この傾斜面77、77は後方側(図7(a)中上側)に向かって傾斜されているものである。
上記異物排除部材69のエンコーダスケール12側(図6(b)中下側)の面が、上記読取ヘッド61のエンコーダスケール12側(図6(b)中下側)の面よりも、エンコーダスケール12側(図6(b)中下側)に位置している。このような構成となっていることにより、進行方向側から異物が接近しても、上記異物は上記異物排除部材69に当接し上記読取ヘッド61側に入り込むことなく左右に排除されることになる。また、図2及び図5に示すように、上記読取ヘッド61は、ベース5のエンコーダスケール12の上側(図2中上側)に位置するように配置されている。また、上記異物排除部材69も、上記エンコーダスケール12の上側(図2中上側)に位置するように配置されている。
また、上記異物排除部材69は上記プレート51に螺合されるボルト80によって着脱可能に取り付けられている。そして、上記異物排除部材69の取付部71の貫通孔73の径は、上記ボルト80の径よりも大きく設定されている。そのため、上記異物排除部材69の取付部71の貫通孔73の径と上記ボルト80の径との差の分だけ、上記異物排除部材69と上記エンコーダスケール12との間の隙間の大きさが調整されるようになっている。
ちなみに、上記異物排除部材69と上記エンコーダスケール12との間の隙間の調整に際しては、例えば、図示しない隙間ゲージ等を使用して行われる。すなわち、上記ボルト80を緩めて上記異物排除部材69を移動可能な状態とした後、例えば、所望の厚さの隙間ゲージを上記エンコーダスケール12上に置き、その後、上記隙間ゲージ上に上記異物排除部材69を置く。そして、その状態において上記ボルト80を締めて上記異物排除部材69を固定することにより、上記エンコーダスケール12と上記異物排除部材69間の隙間を上記隙間ゲージの厚さに応じた大きさに設定することができる。
以上の構成を基にその作用を説明する。
まず、スライダ19をハウジング3に対して移動させるには、コイル23に対してある方向の電流を流し電磁石として作動させ、この電流の極性を周期的に変化させる。それによって、上記スライダ19のコイル23と複数の永久磁石13とが相互作用し、上記スライダ19が移動されていく。
また、このとき、上記スライダ19に設置されたエンコーダ49の読取ヘッド61によって、上記ハウジング3側に設置されたエンコーダスケール12の磁気が検出される。それによって、上記スライダ19の上記ハウジング3上での長さ方向(図3中左右方向)の位置が検出される。
また、このとき、上記エンコーダスケール12上に異物があったとしても、異物排除部材69、69によって上記異物が上記エンコーダスケール12上から排除される。このとき、異物排除部材69の傾斜面77、77によって上記異物は異物排除用溝14、14側(図2中右側若しくは左側)に移動され、上記異物排除用溝14、14内へと排除されることになる。
そして、上記異物排除部材69は上記ボルト80によって、上記読取ヘッド61に対して着脱可能に取り付けられているので、発生する異物の大きさに合わせて上記異物排除部材69を交換することにより上記異物排除部材69と上記エンコーダスケール12との間の隙間の大きさを調整することができるようになっている。
また、上記ボルト80が貫通している上記異物排除部材69の貫通孔73の径の方が上記ボルト80の径よりも大きくなっている。そのため、上記ボルト80を緩めれば、上記異物排除部材69は上記貫通孔73の径と上記ボルト80の径の差だけ移動できるようになっている。これにより、前述したように、図示しない隙間ゲージ等を用いることで、上記異物排除部材69と上記エンコーダスケール12との間の隙間の大きさを調整することができるようにもなっている。
以上、本実施の形態によると次のような効果を奏することができる。
まず、異物排除部材69はボルト80によってプレート51に対して着脱可能に取り付けられているため、容易に交換することができる。これにより、発生する異物の大きさに合わせて上記異物排除部材69を交換し、上記異物排除部材69と上記エンコーダスケール12との間の隙間の大きさを調整することができ、様々な大きさの異物に容易に対応することができる。
また、上記ボルト80が上記異物排除部材69を貫通している貫通孔73の径が上記ボルト80の軸部の径よりも大きいため、上記ボルト80を緩めれば上記異物排除部材69を移動させることができる。そのため、上記エンコーダスケール12と上記異物排除部材69との間の隙間を容易に調整することができ、これによっても様々な大きさの異物に容易に対応することができる。
また、上記異物排除部材69には傾斜面77、77が設けられているため、エンコーダスケール12上に異物があったとしても左右に移動され、上記異物は上記エンコーダスケール12の異物排除用溝14、14内に(図2中右側若しくは左側に)排除される。そのため、上記エンコーダスケール12上の異物を確実に排除することができる。
また、上記異物は異物排除用溝14、14内へと排除されるため、上記異物が再び上記エンコーダスケール12上に出現してしまうことを防ぐことができる。
なお、本発明は前述した一実施の形態に限定されない。
例えば、上記一実施の形態の場合においては、異物排除部材69の傾斜面77、77は幅方向(図2中左右方向)両側に設けられていたが、この傾斜面77を片側のみに設けることも考えられる。この場合、異物は上記傾斜面77が設けられた側のみに移動されることになり、異物排除用溝14も上記異物が移動される側のみに形成されていれば足りる。
また、読取ヘッド61のセンサやエンコーダスケール12による位置検出機構の種類には、例えば、光学式のものなど、様々な場合が考えられる。
また、上記アクチュエータ1は、スライダ19がリニアモータによって駆動されるものであったが、他の駆動方法、ボールネジ・ボールナット方式、エアー方式、等によるものも考えられる。
その他、図示されている構成はあくまで一例である。
本発明は、例えば、リニアモータを用いたアクチュエータに係り、特に、スライダに設けられたエンコーダの読取ヘッドの進行方向両側に異物排除部材が着脱可能に設置されており、エンコーダスケール上の異物を排除することができ、且つ、上記異物排除部材の交換や上記異物排除部材と上記エンコーダスケールとの間の隙間の調整を容易に行うことができるように工夫したものに関し、例えば、壊れやすいものや砕けやすいものを扱うアクチュエータに好適である。
1 アクチュエータ
3 ハウジング
12 エンコーダスケール
19 スライダ
49 エンコーダ
61 読取ヘッド
69 異物排除部材
77 傾斜面

Claims (3)

  1. エンコーダスケールが設けられたハウジングと、
    上記ハウジングに対して移動可能に設けられるとともに上記エンコーダスケールに対応する読取ヘッドを備えたエンコーダが設けられたスライダと、を具備し、
    上記読取ヘッドの進行方向両側に異物排除部材が着脱可能に設置されていることを特徴とするアクチュエータ。
  2. 請求項1記載のアクチュエータにおいて、
    上記異物排除部材は上記エンコーダスケールとの間の隙間を調整するべく移動可能に取り付けられていることを特徴とするアクチュエータ。
  3. 請求項1又は請求項2記載のアクチュエータにおいて、
    上記異物排除部材の先端部には後方へ向けて傾斜された傾斜面が形成されていることを特徴とするアクチュエータ。

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023085250A1 (ja) * 2021-11-12 2023-05-19 Thk株式会社 リニアエンコーダ、ガイド機構、及びリニアエンコーダの取付方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0261503A (ja) * 1988-08-26 1990-03-01 Sony Magnescale Inc 磁気スケール装置
JPH05298628A (ja) * 1992-04-16 1993-11-12 Canon Inc 記録装置
JPH07167603A (ja) * 1993-12-16 1995-07-04 Sony Magnescale Inc 磁気式平面型リニアスケール
JPH0859022A (ja) * 1994-08-05 1996-03-05 Xerox Corp 可変シート・ガイド位置センサ
JPH09178513A (ja) * 1995-12-26 1997-07-11 Fujitsu Ten Ltd 回転角センサ
JPH09189574A (ja) * 1996-01-10 1997-07-22 Canon Inc 光学式リニアエンコーダ、及びこれを用いた電子装置、記録装置
JPH1163966A (ja) * 1997-06-09 1999-03-05 Sony Precision Technol Inc スケール装置
JP2007282387A (ja) * 2006-04-07 2007-10-25 Iai:Kk アクチュエータ

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0261503A (ja) * 1988-08-26 1990-03-01 Sony Magnescale Inc 磁気スケール装置
JPH05298628A (ja) * 1992-04-16 1993-11-12 Canon Inc 記録装置
JPH07167603A (ja) * 1993-12-16 1995-07-04 Sony Magnescale Inc 磁気式平面型リニアスケール
JPH0859022A (ja) * 1994-08-05 1996-03-05 Xerox Corp 可変シート・ガイド位置センサ
JPH09178513A (ja) * 1995-12-26 1997-07-11 Fujitsu Ten Ltd 回転角センサ
JPH09189574A (ja) * 1996-01-10 1997-07-22 Canon Inc 光学式リニアエンコーダ、及びこれを用いた電子装置、記録装置
JPH1163966A (ja) * 1997-06-09 1999-03-05 Sony Precision Technol Inc スケール装置
JP2007282387A (ja) * 2006-04-07 2007-10-25 Iai:Kk アクチュエータ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2023085250A1 (ja) * 2021-11-12 2023-05-19 Thk株式会社 リニアエンコーダ、ガイド機構、及びリニアエンコーダの取付方法

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