JP2007282387A - アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 開口部を備えたハウジング1と、上記ハウジング1に移動可能に設置されたスライダ7と、上記ハウジング1の開口部を閉塞するように設置されたシールプレート6と、を具備したアクチュエータにおいて、上記ハウジング1の内部空間を粉塵等の侵入を防止しつつ外気と連通させた構成とし、それによって、上記スライダ7の移動に伴うハウジング1の内部空気の圧縮・膨張を緩和させるようにしたもの。
【選択図】 図3
Description
尚、その他の構成は図7に示したアクチュエータと同じであり、図中同一部分には同一符号を付して示してある。
まず、図7に示したタイプのアクチュエータの場合には、上部ハウジング205の内部空間223を大きく確保しなければならないので、アクチュエータの横断面積が大きくなってしまい、それによって、装置が大型化してしまうという問題があった。
又、図8及び図9に示すタイプのアクチュエータの場合には、下部ハウジング203に中空部241を設けなければならないので、この場合にもアクチュエータの横断面積が大きくなってしまい、それによって、装置が大型化してしまうという問題があった。
又、複数個の連通孔243を加工・形成しなければならず、多くの加工労力と加工時間を要してしまうという問題があった。
尚、先行技術を開示するものとして、例えば、特許文献1がある。
又、請求項2によるアクチュエータは、請求項1記載のアクチュエータにおいて、上記ハウジングに上記開口部とは別に設けられたその他開口部と、上記その他開口部に取り付けられ粉塵等の侵入を防止しつつ外気と連通させるフィルタと、を具備したことを特徴とするものである。
又、請求項3によるアクチュエータは、請求項2記載のアクチュエータにおいて、上記その他開口部は上記スライダの移動方向の両端開口部であり、これら両端開口部は夫々エンドカバによって閉塞され、それらエンドカバには開口部が形成されていて、該開口部にはフィルタが取り付けられていることを特徴とするものである。
又、請求項4によるアクチュエータは、請求項2記載のアクチュエータにおいて、上記その他開口部はハウジングの側部に設けられた側部開口部であり、これら側部開口部にはフィルタが取り付けられていることを特徴とするものである。
又、請求項5によるアクチュエータは、請求項2記載のアクチュエータにおいて、上記その他開口部はハウジングの底部に設けられた底部開口部であり、これら底部開口部にはフィルタが取り付けられていることを特徴とするものである。
又、請求項6によるアクチュエータは、請求項1記載のアクチュエータにおいて、上記ハウジングの全部又は一部が粉塵等の侵入を防止しつつ外気と連通させるような多孔質材料から構成されていることを特徴とするものである。
又、請求項7によるアクチュエータは、請求項6記載のアクチュエータにおいて、上記ハウジングの上記スライダの移動方向の両端開口部にはエンドカバが取り付けられていて、このエンドカバが粉塵等の侵入を防止しつつ外気と連通させるような多孔質材料から構成されていることを特徴とするものである。
又、請求項8によるアクチュエータは、請求項1〜請求項7の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記スライダはリニアモータ駆動によって移動するものであることを特徴とするものである。
又、請求項9によるアクチュエータは、請求項1〜請求項8の何れかに記載のアクチュエータにおいて、上記ハウジングの上記スライダの移動方向の両端開口部側にはクリーンルームに対応するための蓋体が着脱可能な構成になっていることを特徴とするものである。
特に、アクチュエータの横断面において、空気を移動させるための空間の確保が不要になったので、横断面方向における寸法を小さなものとすることができる。
又、複雑な加工を要するようなこともないので製造・組立の容易化を図ることができる。
又、粉塵等がハウジング内に侵入することを防止するようにしているので、粉塵等の侵入に起因した各種不具合の発生を防止することができる。
又、フィルタ39、41、43を設置することにより粉塵等がハウジング1内に侵入することを防止するようにしているものである。
まず、装置の大型化や構成の複雑化を来すことなくスライダ7の移動に伴う内部空気の圧縮・膨張をなくして、内部空気の圧縮・膨張に起因した不具合を解消することができるものである。
特に、アクチュエータの横断面において、空気を移動させるための空間の確保が不要になったので、横断面方向における寸法を小さなものとすることができる。
又、複雑な加工を要するようなこともないので製造・組立の容易化を図ることができる。
又、フィルタ39、41、43を設置することにより粉塵等がハウジング1内に侵入することを防止するようにしているので、粉塵等の侵入に起因した各種不具合の発生を防止することができる。
尚、その他の構成は前記第1の実施の形態の場合と同様であり、同一部分には同一符号を付して示しその説明は省略する。
したがって、ハウジング1内の空気がクリーンルーム内に流出するようなことはない。
又、このような構成のアクチュエータをクリーンルーム以外の環境で使用する場合は、蓋体51等を取り外せばよい。
例えば、前記第1、第2の実施の形態の場合には、エンドカバに開口部を設けてその開口部にフィルタを設置した例を挙げて説明したが、それ以外にも、ハウジングの側部、底部に開口部を設けてフィルタを設置する構成も想定される。
又、フィルタの構成についてはこれを特に限定するものではなく、粉塵等の侵入を防止しつつ外気と連通させることができるようなものであればよい。
又、フィルタの気孔の大きさや厚みを調整することにより通気量の調整を行うこともできる。
又、フィルタを使用する構成ではなく、ハウジングの全部又は一部を多孔質材料から構成し、それによって、粉塵等の侵入を防止しつつ外気と連通させる構成でもよい。その一例としては、前記第1の実施の形態におけるエンドカバ31自体を多孔質材料から構成し、それによって、粉塵等の侵入を防止しつつ外気と連通させる構成が考えられる。この場合には空気が流通する部分の面積が拡大されることになる。
又、前記各実施の形態の場合には、リニアモータ駆動のアクチュエータを例に挙げて説明したが、それ以外の駆動方式のアクチュエータについても同様に適用可能である。
3 下部ハウジング
4 上面開口部
5 上部ハウジング
6 シールプレート
7 スライダ
9 マグネットユニット
11 マグネット保持部
13 マグネット
15 固定ねじ部材
17 コイル
19 ガイドレール
21 ガイド部材
22 エンコーダ
31 エンドカバ
33 開口部
35 開口部
37 開口部
39 フィルタ
41 フィルタ
43 フィルタ
45 ケーブル支持部
47 ケーブル支持部
49 ケーブル保持部材
51 蓋体
53 ノズル
Claims (9)
- 開口部を備えたハウジングと、
上記ハウジングに移動可能に設置されたスライダと、
上記ハウジングの開口部を閉塞するように設置されたシールプレートと、
を具備したアクチュエータにおいて、
上記ハウジングの内部空間を粉塵等の侵入を防止しつつ外気と連通させた構成とし、それによって、上記スライダの移動に伴うハウジングの内部空気の圧縮・膨張を緩和させるようにしたことを特徴とするアクチュエータ。 - 請求項1記載のアクチュエータにおいて、
上記ハウジングに上記開口部とは別に設けられたその他開口部と、上記その他開口部に取り付けられ粉塵等の侵入を防止しつつ外気と連通させるフィルタと、を具備したことを特徴とするアクチュエータ。 - 請求項2記載のアクチュエータにおいて、
上記その他開口部は上記スライダの移動方向の両端開口部であり、これら両端開口部は夫々エンドカバによって閉塞され、それらエンドカバには開口部が形成されていて、該開口部にはフィルタが取り付けられていることを特徴とするアクチュエータ。 - 請求項2記載のアクチュエータにおいて、
上記その他開口部はハウジングの側部に設けられた側部開口部であり、これら側部開口部にはフィルタが取り付けられていることを特徴とするアクチュエータ。 - 請求項2記載のアクチュエータにおいて、
上記その他開口部はハウジングの底部に設けられた底部開口部であり、これら底部開口部にはフィルタが取り付けられていることを特徴とするアクチュエータ。 - 請求項1記載のアクチュエータにおいて、
上記ハウジングの全部又は一部が粉塵等の侵入を防止しつつ外気と連通させるような多孔質材料から構成されていることを特徴とするアクチュエータ。 - 請求項6記載のアクチュエータにおいて、
上記ハウジングの上記スライダの移動方向の両端開口部にはエンドカバが取り付けられていて、このエンドカバが粉塵等の侵入を防止しつつ外気と連通させるような多孔質材料から構成されていることを特徴とするアクチュエータ。 - 請求項1〜請求項7の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
上記スライダはリニアモータ駆動によって移動するものであることを特徴とするアクチュエータ。 - 請求項1〜請求項8の何れかに記載のアクチュエータにおいて、
上記ハウジングの上記スライダの移動方向の両端開口部側にはクリーンルームに対応するための蓋体が着脱可能な構成になっていることを特徴とするアクチュエータ。
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- 2006-04-07 JP JP2006106140A patent/JP2007282387A/ja active Pending
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