JP2015122442A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】表面p層、n−層、p型チャネル拡散層115、インベース拡散層(p型エミッタ層)116、層間絶縁膜(絶縁膜層)、エミッタ電極125、127が順序積層されるとともに、エミッタ電極125、127とインベース拡散層116との間を貫通するコンタクトホール130が複数設けられる。半導体装置の機能領域が、電力の通電に用いられるメイン領域10Mと、半導体装置に流入する電流量を検出するセンス領域10Sとに区分けされる。p型チャネル拡散層115およびインベース拡散層116は、エミッタ電極125、127のうちメイン領域側のエミッタ電極125とコンタクトホール130を介して接続されてホール取り込み領域Pを形成し、センス領域10Sに供給されたホール電流をメイン領域10Mに取り込む。
【選択図】図6
Description
(2)センス抵抗Rsを変更して検出能力を緩和する。
・n−層113:n型半導体
・ガードリング拡散層114:p型半導体
・p型チャネル拡散層115:p型半導体
・インベース拡散層116:p型半導体
・ソース拡散層117:n型半導体
・フィールドストップ層152:p型半導体
・p―層153:p型半導体
・ガードリング拡散層154:n型半導体
・n型チャネル拡散層155:n型半導体
・インベース拡散層156:n型半導体
・ソース拡散層157:p型半導体
12 駆動回路
16 トランジスタ
18 RCフィルタ
111 表面p層(p型コレクタ層)
113 n−層(n型ベース層)
114 ガードリング拡散層
115 p型チャネル拡散層
116 インベース拡散層(p型エミッタ層)
117 ソース拡散層(n型エミッタ層)
121 層間絶縁膜(絶縁膜層)
123 ゲート酸化膜
125 メイン領域側のエミッタ電極
127 センス領域側のエミッタ電極
130 コンタクトホール
151 表面n層
153 p―層(p型ベース層)
154 ガードリング拡散層
155 n型チャネル拡散層
156 インベース拡散層
157 ソース拡散層(p型エミッタ層)
Claims (10)
- 機能領域が、電力の通電に用いられるメイン領域と、流入する電流量を検出するセンス領域とに区分けされた半導体装置であって、
前記センス領域と前記メイン領域との隣接部分において、前記センス領域に供給されたホール電流の少なくとも一部を前記メイン領域に取り込むホール取り込み領域が形成された半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置であって、
前記センス領域および前記メイン領域を跨ぐように設けられた導通層をさらに備え、
当該導通層は前記センス領域側のエミッタ電極と電気的に接続されず、前記メイン領域側のエミッタ電極と電気的に接続される半導体装置。 - 請求項2に記載の半導体装置であって、
前記導通層が、p型チャネル拡散層および当該p型チャネル拡散層に積層されたインベース拡散層を含み、
前記インベース拡散層が、前記メイン領域において形成されたコンタクトホールを介して前記メイン領域側のエミッタ電極と電気的に接続される半導体装置。 - 請求項3に記載の半導体装置であって、
p型コレクタ層、n型ベース層、前記p型チャネル拡散層、前記インベース拡散層、絶縁膜層、前記センス領域側および前記メイン領域側のエミッタ電極が順序積層される半導体装置。 - 請求項4に記載の半導体装置であって、
前記p型コレクタ層と前記n型ベース層との間にn型のフィールドストップ層が積層された半導体装置。 - 機能領域が、電力の通電に用いられるメイン領域と、流入する電流量を検出するセンス領域とに区分けされた半導体装置であって、
前記センス領域と前記メイン領域との隣接部分において、前記センス領域に供給された電子の少なくとも一部を前記メイン領域に取り込む電子取り込み領域が形成された半導体装置。 - 請求項6に記載の半導体装置であって、
前記センス領域および前記メイン領域を跨ぐように設けられた導通層をさらに備え、
当該導通層は前記センス領域側のエミッタ電極と電気的に接続されず、前記メイン領域側のエミッタ電極と電気的に接続される半導体装置。 - 請求項7に記載の半導体装置であって、
前記導通層が、n型チャネル拡散層および当該n型チャネル拡散層に積層されたインベース拡散層を含み、
前記インベース拡散層が、前記メイン領域において形成されたコンタクトホールを介して前記メイン領域側のエミッタ電極と電気的に接続される半導体装置。 - 請求項8に記載の半導体装置であって、
n型コレクタ層、p型ベース層、前記n型チャネル拡散層、前記インベース拡散層、絶縁膜層、前記センス領域側および前記メイン領域側のエミッタ電極が順序積層される半導体装置。 - 請求項9に記載の半導体装置であって、
前記n型コレクタ層と前記p型ベース層との間にp型のフィールドストップ層が積層された半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013265937A JP2015122442A (ja) | 2013-12-24 | 2013-12-24 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2013265937A JP2015122442A (ja) | 2013-12-24 | 2013-12-24 | 半導体装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2015122442A true JP2015122442A (ja) | 2015-07-02 |
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ID=53533813
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2013265937A Pending JP2015122442A (ja) | 2013-12-24 | 2013-12-24 | 半導体装置 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP2015122442A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023199472A1 (ja) * | 2022-04-14 | 2023-10-19 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04361571A (ja) * | 1991-06-10 | 1992-12-15 | Fuji Electric Co Ltd | Mos型半導体装置 |
JPH07245394A (ja) * | 1994-03-04 | 1995-09-19 | Fuji Electric Co Ltd | 絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ |
JPH07263641A (ja) * | 1994-03-17 | 1995-10-13 | Hitachi Ltd | 保護回路を内蔵した絶縁ゲート型半導体装置 |
JPH10326897A (ja) * | 1997-03-25 | 1998-12-08 | Hitachi Ltd | 電流検出セル付トレンチゲート半導体装置 |
JP2000323707A (ja) * | 1999-05-07 | 2000-11-24 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
JP2010258328A (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-11 | Fuji Electric Systems Co Ltd | ワイドバンドギャップ半導体装置 |
JP2011198891A (ja) * | 2010-03-18 | 2011-10-06 | Renesas Electronics Corp | 半導体基板および半導体装置 |
-
2013
- 2013-12-24 JP JP2013265937A patent/JP2015122442A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04361571A (ja) * | 1991-06-10 | 1992-12-15 | Fuji Electric Co Ltd | Mos型半導体装置 |
JPH07245394A (ja) * | 1994-03-04 | 1995-09-19 | Fuji Electric Co Ltd | 絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ |
JPH07263641A (ja) * | 1994-03-17 | 1995-10-13 | Hitachi Ltd | 保護回路を内蔵した絶縁ゲート型半導体装置 |
JPH10326897A (ja) * | 1997-03-25 | 1998-12-08 | Hitachi Ltd | 電流検出セル付トレンチゲート半導体装置 |
JP2000323707A (ja) * | 1999-05-07 | 2000-11-24 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
JP2010258328A (ja) * | 2009-04-28 | 2010-11-11 | Fuji Electric Systems Co Ltd | ワイドバンドギャップ半導体装置 |
JP2011198891A (ja) * | 2010-03-18 | 2011-10-06 | Renesas Electronics Corp | 半導体基板および半導体装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023199472A1 (ja) * | 2022-04-14 | 2023-10-19 | 三菱電機株式会社 | 半導体装置 |
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