JP2015118903A5 - - Google Patents

Description

本発明による素子製造装置において、前記第１封止治具の前記主面のうち前記光照射部からの光が通る部分は、透光性を有する材料から構成された光透過領域となっており、前記封止機構は、前記第１封止治具の前記光透過領域に隣接して配置されるとともに開閉自在な開閉窓を備えた第３封止治具をさらに有していてもよい。この場合、前記第１封止治具の内部の空間の圧力が第２圧力より低いとき、前記第３封止治具の内部の空間には、大気から遮蔽され、かつ前記第１封止治具の前記光透過領域に接する外側密閉空間が形成され、かつ、前記光照射部は前記外側密閉空間の外部に配置される。一方、前記光照射部が前記中間製品に光を照射する際、前記第３封止治具の前記開閉窓が開放される。

Claims (18)

1. 基材上に素子を形成するための素子製造方法であって、
   前記基材と、前記基材の法線方向に延びる突起部と、を含む中間製品を準備する工程と、
   前記中間製品を前記突起部の側から蓋材の第１面を用いて覆う工程と、
   前記第１面の反対側にある前記蓋材の第２面側に形成されている、周囲から密閉された密閉空間に気体を注入して、前記密閉空間の圧力を、前記蓋材と前記中間製品との間の空間の圧力よりも高くすることにより、前記蓋材の前記第１面を前記中間製品に密着させる密着工程と、を備え、
   前記密閉空間は、前記蓋材の前記第２面と対向するよう設けられたフィルムと、前記フィルムが固定された第１封止治具と、によって囲われた空間に形成され、
   前記密閉空間は、前記フィルムのうち前記蓋材と対向する側とは反対の側に形成され、
   前記密着工程においては、前記密閉空間に気体を注入して、前記密閉空間の圧力を、前記蓋材と前記中間製品との間の空間の圧力よりも高くすることにより、前記密閉空間が膨らんで前記フィルムが前記蓋材側へ変位し、これによって前記フィルムが前記蓋材を押圧し、このことにより前記蓋材の前記第１面が前記中間製品に密着する、素子製造方法。
2. 前記素子製造方法は、前記密着工程によって蓋材の前記第１面が前記中間製品に密着されている間に、前記第１封止治具の外部に配置された光照射部を用いて、前記第１封止治具および前記蓋材を通して光を前記中間製品に向けて照射する光照射工程をさらに備え、
   前記第１封止治具は、透光性を有する材料から構成された光透過領域を有する、請求項１に記載の素子製造方法。
3. 基材上に素子を形成するための素子製造方法であって、
   前記基材と、前記基材の法線方向に延びる突起部と、を含む中間製品を準備する工程と、
   前記中間製品を前記突起部の側から蓋材の第１面を用いて覆う工程と、
   前記第１面の反対側にある前記蓋材の第２面側に形成されている、周囲から密閉された密閉空間に気体を注入して、前記密閉空間の圧力を、前記蓋材と前記中間製品との間の空間の圧力よりも高くすることにより、前記蓋材の前記第１面を前記中間製品に密着させる密着工程と、を備え、
   前記素子製造方法は、前記密着工程の前に、前記蓋材の前記第２面に接する空間に、周囲から密閉された前記密閉空間を形成する工程をさらに備え、
   前記密閉空間は、前記蓋材の前記第２面と、前記蓋材の前記第２面側に配置された第１封止治具と、によって囲われた空間に形成され、
   前記蓋材と前記第１封止治具とが接触するように前記蓋材を前記第１封止治具に向けて移動させることにより、前記密閉空間が形成され、
   前記素子製造方法は、前記密着工程によって蓋材の前記第１面が前記中間製品に密着されている間に、前記第１封止治具の外部に配置された光照射部を用いて、前記第１封止治具および前記蓋材を通して光を前記中間製品に向けて照射する光照射工程をさらに備え、
   前記第１封止治具は、透光性を有する材料から構成された光透過領域を有する、素子製造方法。
4. 前記密着工程の際、前記第１封止治具の前記光透過領域に接する、前記第１封止治具の外部の空間には、大気から遮蔽された外側密閉空間が形成されており、かつ、前記光照射部は前記外側密閉空間の外部に配置されており、
   前記光照射工程の際、前記第１封止治具の前記光透過領域に接する、前記第１封止治具の外部の空間は、前記光照射部の周囲の空間と連通している、請求項２または３に記載の素子製造方法。
5. 前記蓋材がロール・トゥー・ロールで供給される、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の素子製造方法。
6. 基材上に素子を形成するための素子製造方法であって、
   前記基材と、前記基材の法線方向に延びる突起部と、を含む中間製品を準備する工程と、
   前記中間製品を前記突起部の側から蓋材の第１面を用いて覆う工程と、
   前記第１面の反対側にある前記蓋材の第２面側に形成されている、周囲から密閉された密閉空間に気体を注入して、前記密閉空間の圧力を、前記蓋材と前記中間製品との間の空間の圧力よりも高くすることにより、前記蓋材の前記第１面を前記中間製品に密着させる密着工程と、を備え、
   前記蓋材がロール・トゥー・ロールで供給される、素子製造方法。
7. 真空環境下で実施されることを特徴とする、請求項１乃至６のいずれか一項に記載の素子製造方法。
8. 前記素子は、前記基材と、前記基材上に設けられた複数の第１電極と、前記第１電極間に設けられた補助電極および前記突起部と、前記第１電極上に設けられた有機半導体層と、前記有機半導体層上および前記補助電極上に設けられた第２電極と、を含み、
   前記中間製品は、前記基材と、前記基材上に設けられた複数の前記第１電極と、前記第１電極間に設けられた前記補助電極および前記突起部と、前記第１電極上および前記補助電極上に設けられた前記有機半導体層と、を含み、
   前記素子製造方法は、前記密着工程の後、前記補助電極上に設けられた前記有機半導体層を除去する除去工程を備える、請求項１乃至７のいずれか一項に記載の素子製造方法。
9. 前記蓋材の前記第１面には蒸着用材料が設けられており、
   前記素子製造方法は、前記密着工程の後、前記蒸着用材料に向けて光を照射して前記蒸着用材料を前記基材上に蒸着させる工程を備える、請求項１乃至７のいずれか一項に記載の素子製造方法。
10. 基材上に素子を形成するための素子製造装置であって、
    前記基材および前記基材の法線方向に延びる突起部を含む中間製品に、前記突起部の側から蓋材を密着させる封止機構を備え、
    前記封止機構は、蓋材を供給する蓋材供給部と、前記第１面の反対側にある前記蓋材の第２面側に形成されている、周囲から密閉された密閉空間に気体を注入して、前記密閉空間の圧力を、前記蓋材と前記中間製品との間の空間の圧力よりも高くすることにより、前記蓋材の前記第１面を前記中間製品に密着させる加圧部と、を有し、
    前記密閉空間は、前記蓋材の前記第２面と対向するよう設けられたフィルムと、前記フィルムが固定された第１封止治具と、によって囲われた空間に形成され、
    前記密閉空間は、前記フィルムのうち前記蓋材と対向する側とは反対の側に形成され、
    前記加圧部は、前記密閉空間に気体を注入して、前記密閉空間の圧力を、前記蓋材と前記中間製品との間の空間の圧力よりも高くすることにより、前記密閉空間が膨らんで前記フィルムが前記蓋材側へ変位し、これによって前記フィルムが前記蓋材を押圧し、このことにより前記蓋材の前記第１面が前記中間製品に密着するよう、構成されている、素子製造装置。
11. 前記素子製造装置は、前記第１封止治具の外部に配置された光照射部をさらに備え、
    前記光照射部は、前記蓋材の前記第１面が前記中間製品に密着されている間に、前記第１封止治具および前記蓋材を通して光を前記中間製品に向けて照射し、
    前記第１封止治具は、透光性を有する材料から構成された光透過領域を有する、請求項１０に記載の素子製造装置。
12. 基材上に素子を形成するための素子製造装置であって、
    前記基材および前記基材の法線方向に延びる突起部を含む中間製品に、前記突起部の側から蓋材を密着させる封止機構を備え、
    前記封止機構は、蓋材を供給する蓋材供給部と、前記第１面の反対側にある前記蓋材の第２面側に形成されている、周囲から密閉された密閉空間に気体を注入して、前記密閉空間の圧力を、前記蓋材と前記中間製品との間の空間の圧力よりも高くすることにより、前記蓋材の前記第１面を前記中間製品に密着させる加圧部と、を有し、
    前記密閉空間は、前記蓋材の前記第２面と、前記蓋材の前記第２面側に配置された第１封止治具と、によって囲われた空間に形成され、
    前記蓋材と前記第１封止治具とが接触するように前記蓋材を前記第１封止治具に対して相対的に移動させることにより、前記密閉空間が形成され、
    前記素子製造装置は、前記第１封止治具の外部に配置された光照射部をさらに備え、
    前記光照射部は、前記蓋材の前記第１面が前記中間製品に密着されている間に、前記第１封止治具および前記蓋材を通して光を前記中間製品に向けて照射し、
    前記第１封止治具は、透光性を有する材料から構成された光透過領域を有する、素子製造装置。
13. 前記封止機構は、前記第１封止治具の前記光透過領域に隣接して配置されるとともに開閉自在な開閉窓を備えた第３封止治具をさらに有し、
    前記第１封止治具の内部の空間の圧力が第２圧力より低いとき、前記第３封止治具の内部の空間には、大気から遮蔽され、かつ前記第１封止治具の前記光透過領域に接する外側密閉空間が形成され、かつ、前記光照射部は前記外側密閉空間の外部に配置され、
    前記光照射部が前記中間製品に向けて光を照射する際、前記第３封止治具の前記開閉窓が開放される、請求項１１または１２に記載の素子製造装置。
14. 前記蓋材供給部は、前記蓋材をロール・トゥー・ロールで供給するよう構成されている、請求項１０乃至１３のいずれか一項に記載の素子製造装置。
15. 基材上に素子を形成するための素子製造装置であって、
    前記基材および前記基材の法線方向に延びる突起部を含む中間製品に、前記突起部の側から蓋材を密着させる封止機構を備え、
    前記封止機構は、蓋材を供給する蓋材供給部と、前記第１面の反対側にある前記蓋材の第２面側に形成されている、周囲から密閉された密閉空間に気体を注入して、前記密閉空間の圧力を、前記蓋材と前記中間製品との間の空間の圧力よりも高くすることにより、前記蓋材の前記第１面を前記中間製品に密着させる加圧部と、を有し、
    前記蓋材供給部は、前記蓋材をロール・トゥー・ロールで供給するよう構成されている、素子製造装置。
16. 真空環境下で基材上に素子を形成するものであることを特徴とする、請求項１０乃至１５のいずれか一項に記載の素子製造装置。
17. 前記素子は、前記基材と、前記基材上に設けられた複数の第１電極と、前記第１電極間に設けられた補助電極および前記突起部と、前記第１電極上に設けられた有機半導体層と、前記有機半導体層上および前記補助電極上に設けられた第２電極と、を含み、
    前記中間製品は、前記基材と、前記基材上に設けられた複数の前記第１電極と、前記第１電極間に設けられた前記補助電極および前記突起部と、前記第１電極上および前記補助電極上に設けられた前記有機半導体層と、を含み、
    前記素子製造装置は、前記中間製品に前記蓋材が密着されている間に、前記補助電極上に設けられた前記有機半導体層を除去する除去機構を備える、請求項１０乃至１６のいずれか一項に記載の素子製造装置。
18. 前記蓋材の前記第１面には蒸着用材料が設けられており、
    前記素子製造装置は、前記中間製品に前記蓋材が密着されている間に前記蒸着用材料に向けて光を照射して前記蒸着用材料を前記基材上に蒸着させる蒸着機構を備える、請求項１０乃至１６のいずれか一項に記載の素子製造装置。