KR100770264B1 - 레이저 조사 장치 및 이를 이용한 유기전계발광소자의제조방법 - Google Patents
레이저 조사 장치 및 이를 이용한 유기전계발광소자의제조방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100770264B1 KR100770264B1 KR1020060004569A KR20060004569A KR100770264B1 KR 100770264 B1 KR100770264 B1 KR 100770264B1 KR 1020060004569 A KR1020060004569 A KR 1020060004569A KR 20060004569 A KR20060004569 A KR 20060004569A KR 100770264 B1 KR100770264 B1 KR 100770264B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- region
- laser beam
- mask
- laser
- light blocking
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 22
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims abstract description 24
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 72
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 8
- 238000000059 patterning Methods 0.000 claims description 6
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 abstract description 78
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 abstract description 27
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 abstract 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 230000003685 thermal hair damage Effects 0.000 description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 241001270131 Agaricus moelleri Species 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 230000000593 degrading effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C59/00—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor
- B29C59/16—Surface shaping of articles, e.g. embossing; Apparatus therefor by wave energy or particle radiation, e.g. infrared heating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/064—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms
- B23K26/066—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by means of optical elements, e.g. lenses, mirrors or prisms by using masks
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials
- B65D85/50—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials for living organisms, articles or materials sensitive to changes of environment or atmospheric conditions, e.g. land animals, birds, fish, water plants, non-aquatic plants, flower bulbs, cut flowers or foliage
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/18—Deposition of organic active material using non-liquid printing techniques, e.g. thermal transfer printing from a donor sheet
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Evolutionary Biology (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Marine Sciences & Fisheries (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Zoology (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Lasers (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
Description
Claims (13)
- 레이저 빔을 발생시키는 레이저 소오스;상기 레이저 소오스의 하부에 위치하며, 상기 레이저 빔을 패터닝하고 광차단부와 제 1 영역, 상기 제 1 영역의 양단에 위치하며 상기 제 1 영역보다 큰 폭을 가지는 제 2 영역 및 상기 제 2 영역과 접하며 상기 제 2 영역보다 큰 폭을 가지는 제 3 영역을 포함하는 광투과부를 포함하는 마스크;상기 마스크 하부에 위치하고, 상기 마스크를 통과한 레이저 빔의 배율을 결정하는 투영렌즈; 및상기 광차단부는 제 1 광차단부 및 제 2 광차단부를 포함하고, 상기 광투과부는 상기 제 1 및 제 2 광차단부 사이에 위치하고,상기 마스크를 투과한 레이저 빔은 세 영역이 도우즈가 다른 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 제 1 항에 있어서,상기 제 2 영역의 폭은 상기 제 1 영역의 폭의 1.05 내지 1.1배이며,상기 제 3 영역의 폭은 상기 제 1 영역의 폭의 1.1 내지 1.5배인 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 2 및 제 3 영역의 폭은 상기 레이저 조사 장치의 스캔 방향과 일치하는 방향으로 연장된 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 제 2 영역과 제 3 영역은 좌우의 폭이 대칭 또는 비대칭인 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 화소 전극 및 상기 화소전극을 노출시키는 개구부를 포함하는 화소정의막을 구비하는 기판을 제공하고;상기 기판 상에 기재층, 광-열 변환층 및 전사층을 포함하는 도너 기판을 라미네이션하고;상기 도너 기판 상에, 레이저 빔을 발생시키는 레이저 소오스, 상기 레이저 소오스 하부에 위치하며, 상기 레이저빔을 패터닝하고 광차단부와 제 1 영역, 상기 제 1 영역보다 큰폭을 가지는 제 2 영역 및 상기 제 2 영역과 접하며 상기 제 2 영역보다 큰 폭을 가지는 제 3 영역을 포함하는 광투과부를 포함하는 마스크, 상기 마스크 하부에 위치하는 투영 렌즈를 포함하고 상기 마스크를 통과한 레이저 빔은 세 영역 이상이 도우즈가 다른 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치를 위치시키며;상기 광차단부는 제 1 광차단부 및 제 2 광차단부를 포함하고, 상기 광투과부는 상기 제 1 및 제 2 광차단부 사이에 위치하고;상기 레이저 조사 장치를 이용해서 상기 도너 기판 상에 레이저 빔을 조사하여, 상기 전사층의 적어도 일부를 기판 상에 전사하여 상기 개구부 내에 유기막층을 형성하는 것;을 포함하는 유기전계발광소자의 제조방법.
- 제 11 항에 있어서,상기 레이저 빔은 상기 개구부에 의해 화소전극이 노출된 영역에 조사되는 도우즈보다 상기 화소전극의 에지부 및 상기 개구부의 가장자리 영역에 조사되는 도우즈가 큰 프로파일을 갖는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.
- 제 12 항에 있어서,상기 레이저 빔은 상기 화소전극의 에지 영역에 조사되는 도우즈보다 상기 개구부의 가장자리 영역에 조사되는 도우즈가 큰 프로파일을 갖는 것을 특징으로 하는 유기전계발광소자의 제조방법.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060004569A KR100770264B1 (ko) | 2006-01-16 | 2006-01-16 | 레이저 조사 장치 및 이를 이용한 유기전계발광소자의제조방법 |
JP2006331070A JP4494395B2 (ja) | 2006-01-16 | 2006-12-07 | レーザー照射装置及びこれを利用した有機電界発光素子の製造方法 |
US11/654,276 US8486586B2 (en) | 2006-01-16 | 2007-01-16 | Laser irradiation device and method of fabricating organic light emitting display device using the same |
US13/920,936 US8741535B2 (en) | 2006-01-16 | 2013-06-18 | Laser irradiation device and method of fabricating organic light emitting display device using the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060004569A KR100770264B1 (ko) | 2006-01-16 | 2006-01-16 | 레이저 조사 장치 및 이를 이용한 유기전계발광소자의제조방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR100770264B1 true KR100770264B1 (ko) | 2007-10-25 |
Family
ID=38322474
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020060004569A KR100770264B1 (ko) | 2006-01-16 | 2006-01-16 | 레이저 조사 장치 및 이를 이용한 유기전계발광소자의제조방법 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8486586B2 (ko) |
JP (1) | JP4494395B2 (ko) |
KR (1) | KR100770264B1 (ko) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20090130427A1 (en) * | 2007-10-22 | 2009-05-21 | The Regents Of The University Of California | Nanomaterial facilitated laser transfer |
JP4541394B2 (ja) * | 2007-10-31 | 2010-09-08 | パナソニック株式会社 | 金属ローラの製造方法 |
KR20120042144A (ko) * | 2010-10-22 | 2012-05-03 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 레이저 열전사용 마스크, 이를 포함하는 레이저 조사 장치 및 이를 이용한 유기 발광 소자 제조 방법 |
JP2012256846A (ja) * | 2011-05-16 | 2012-12-27 | Elpida Memory Inc | 半導体装置の製造方法 |
KR20130118491A (ko) * | 2012-04-20 | 2013-10-30 | 삼성디스플레이 주식회사 | 레이저 실링 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 |
TWI594474B (zh) * | 2013-03-29 | 2017-08-01 | Dainippon Printing Co Ltd | Device manufacturing method and device manufacturing device |
KR20140133741A (ko) * | 2013-05-10 | 2014-11-20 | 삼성디스플레이 주식회사 | 레이저 열전사용 마스크 및 이를 포함하는 레이저 조사 장치 |
TWI636896B (zh) * | 2013-10-30 | 2018-10-01 | 荷蘭Tno自然科學組織公司 | 用以在基材上形成圖案化結構之方法與系統 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005152966A (ja) | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Fuji Photo Film Co Ltd | レーザー加工方法及び素材転写方法 |
KR20050063534A (ko) * | 2003-12-22 | 2005-06-28 | 삼성에스디아이 주식회사 | 레이저 전사용 도너 필름 및 그 필름을 사용하여 제조되는유기 전계 발광 소자 |
JP2005249937A (ja) | 2004-03-02 | 2005-09-15 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造方法及び装置 |
KR20060000745A (ko) * | 2004-06-29 | 2006-01-06 | 삼성에스디아이 주식회사 | 전계발광 디스플레이 장치 및 그 제조방법 |
KR20060026788A (ko) * | 2004-09-21 | 2006-03-24 | 삼성에스디아이 주식회사 | 레이저 조사 장치 및 그를 이용한 유기 전계 발광 소자의제조 방법 |
KR20060027750A (ko) * | 2004-09-23 | 2006-03-28 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 전계 발광 소자의 제조 방법 |
KR20060062553A (ko) * | 2004-12-03 | 2006-06-12 | 삼성에스디아이 주식회사 | 레이저 조사 장치, 패터닝 방법 및 그를 이용한 레이저열전사 패터닝 방법과 이를 이용한 유기 전계 발광 소자의제조 방법 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09174271A (ja) | 1995-12-26 | 1997-07-08 | Nikon Corp | レーザ加工装置及び加工用マスク |
JP3736791B2 (ja) | 2000-08-31 | 2006-01-18 | シャープ株式会社 | レーザ加工方法 |
US8151220B2 (en) * | 2003-12-04 | 2012-04-03 | Kla-Tencor Technologies Corp. | Methods for simulating reticle layout data, inspecting reticle layout data, and generating a process for inspecting reticle layout data |
JP2006019577A (ja) * | 2004-07-02 | 2006-01-19 | Fujitsu Ltd | 露光用マスクおよび半導体装置の製造方法 |
JP2006145687A (ja) * | 2004-11-17 | 2006-06-08 | Fujitsu Ltd | 露光用マスクとその製造方法 |
US20070077349A1 (en) * | 2005-09-30 | 2007-04-05 | Eastman Kodak Company | Patterning OLED device electrodes and optical material |
US7572557B2 (en) * | 2005-12-07 | 2009-08-11 | Intel Corporation | Non-collinear end-to-end structures with sub-resolution assist features |
-
2006
- 2006-01-16 KR KR1020060004569A patent/KR100770264B1/ko active IP Right Grant
- 2006-12-07 JP JP2006331070A patent/JP4494395B2/ja active Active
-
2007
- 2007-01-16 US US11/654,276 patent/US8486586B2/en active Active
-
2013
- 2013-06-18 US US13/920,936 patent/US8741535B2/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005152966A (ja) | 2003-11-27 | 2005-06-16 | Fuji Photo Film Co Ltd | レーザー加工方法及び素材転写方法 |
KR20050063534A (ko) * | 2003-12-22 | 2005-06-28 | 삼성에스디아이 주식회사 | 레이저 전사용 도너 필름 및 그 필름을 사용하여 제조되는유기 전계 발광 소자 |
JP2005249937A (ja) | 2004-03-02 | 2005-09-15 | Dainippon Printing Co Ltd | カラーフィルタの製造方法及び装置 |
KR20060000745A (ko) * | 2004-06-29 | 2006-01-06 | 삼성에스디아이 주식회사 | 전계발광 디스플레이 장치 및 그 제조방법 |
KR20060026788A (ko) * | 2004-09-21 | 2006-03-24 | 삼성에스디아이 주식회사 | 레이저 조사 장치 및 그를 이용한 유기 전계 발광 소자의제조 방법 |
KR20060027750A (ko) * | 2004-09-23 | 2006-03-28 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 전계 발광 소자의 제조 방법 |
KR20060062553A (ko) * | 2004-12-03 | 2006-06-12 | 삼성에스디아이 주식회사 | 레이저 조사 장치, 패터닝 방법 및 그를 이용한 레이저열전사 패터닝 방법과 이를 이용한 유기 전계 발광 소자의제조 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2007206675A (ja) | 2007-08-16 |
US8741535B2 (en) | 2014-06-03 |
US20130285290A1 (en) | 2013-10-31 |
US20070178402A1 (en) | 2007-08-02 |
US8486586B2 (en) | 2013-07-16 |
JP4494395B2 (ja) | 2010-06-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100770264B1 (ko) | 레이저 조사 장치 및 이를 이용한 유기전계발광소자의제조방법 | |
US9555433B2 (en) | Deposition mask, producing method therefor and forming method for thin film pattern | |
JP4620578B2 (ja) | レーザー照射装置,パターニング方法,およびパターニング方法を用いる有機電界発光素子の製造方法 | |
JP4535387B2 (ja) | ドナー基板の製造方法,およびドナー基板を用いた有機電界発光表示装置の製造方法 | |
KR101813548B1 (ko) | 레이저 열전사 장치 및 이를 이용한 유기 발광 표시 장치의 제조 방법 | |
KR100645534B1 (ko) | 레이저 열전사용 마스크 및 그를 이용한 유기 전계 발광소자의 제조방법 | |
US8848749B2 (en) | Light radiating device and method of fabricating organic light emitting diode display device using the same | |
KR20060020030A (ko) | 도너 기판의 제조방법 | |
US20220006010A1 (en) | Method and apparatus for manufacturing flexible light emitting device | |
KR100570979B1 (ko) | 이미지 방향 조절기를 구비한 광학계 및 상기 광학계를구비한 레이저 조사장치 | |
KR20120138472A (ko) | 레이저 열전사 장치, 레이저 열전사 방법, 및 그를 이용한 유기 발광 표시장치의 제조 방법 | |
KR100770260B1 (ko) | 레이저 열 전사 장치, 상기 장치를 사용하는 레이저 열전사 방법 및 상기 장치를 사용하는유기전계발광표시장치의 제조방법 | |
US9755190B2 (en) | Laser-induced thermal imaging apparatus, method of laser-induced thermal imaging, and manufacturing method of organic light-emitting display apparatus using the method | |
KR100793360B1 (ko) | 레이저 조사 장치용 마스크 | |
KR100782460B1 (ko) | 레이저 조사 장치 및 이를 이용한 유기전계발광소자의제조방법 | |
KR100989130B1 (ko) | 레이저 조사 장치 및 그를 이용한 유기전계발광표시장치의 제조 방법 | |
KR20120042521A (ko) | 레이저 열전사 장치, 레이저 열전사 방법, 및 그를 이용한 유기 발광 표시장치의 제조 방법 | |
KR100812027B1 (ko) | 레이저 열 전사 장치 및 이를 이용한 유기 발광소자의제조방법 | |
KR100666567B1 (ko) | 레이저 열전사 장치, 레이저 열전사 방법, 및 그를 이용한유기전계발광표시장치의 제조방법 | |
KR100848340B1 (ko) | 레이저 조사 장치 및 그를 이용한 유기전계발광표시장치의제조 방법 | |
KR100667088B1 (ko) | 테잎형 도너 필름, 테잎형 도너 필름 롤 및 상기 테잎형도너 필름 롤을 구비하는 레이저 열 전사장치 | |
KR100721563B1 (ko) | 도너 기판 및 상기 도너 기판을 사용하는 레이저 열전사방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
AMND | Amendment | ||
E601 | Decision to refuse application | ||
AMND | Amendment | ||
J201 | Request for trial against refusal decision | ||
B701 | Decision to grant | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
G170 | Re-publication after modification of scope of protection [patent] | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20121008 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130930 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141001 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150930 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170928 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181001 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20191001 Year of fee payment: 13 |