KR20140133741A - 레이저 열전사용 마스크 및 이를 포함하는 레이저 조사 장치 - Google Patents

레이저 열전사용 마스크 및 이를 포함하는 레이저 조사 장치 Download PDF

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    • H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
    • H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass

Abstract

레이저 조사 장치는 광원, 레이저 열전사용 마스크, 및 스테이지를 포함한다. 상기 광원은 일정한 출력 에너지를 갖도록 레이저 빔을 조사한다. 상기 레이저 열전사용 마스크는 상기 광원의 하부에 배치된다. 상기 스테이지는 상기 레이저 열전사용 마스크의 하부에 배치되고, 화소 영역이 구비된 억셉터 기판을 안착시킨다. 상기 레이저 열전사용 마스크는 투과부 및 차폐부를 포함한다. 상기 투과부는 다수개의 슬릿들로 이루어져 레이저 빔이 통과하는 개구부가 구비되고, 상기 화소 영역에 대응한다. 상기 차폐부는 상기 레이저 빔을 반사 또는 차단한다. 상기 레이저 조사 장치는 레이저 열전사용 마스크를 투과한 레이저 빔의 출력 에너지를 구형파 형태로 제어한다.

Description

레이저 열전사용 마스크 및 이를 포함하는 레이저 조사 장치{LITI MASK AND LASER IRRADIATION DEVICE INCLUDING THEREOF}
본 발명은 레이저 열전사용 마스크 및 이를 포함하는 레이저 조사 장치에 관한 것으로, 레이저 열 전사 방법(LITI)를 이용하여 유기막층을 형성하기 위한 레이저 열전사용 마스크 및 이를 포함하는 레이저 조사 장치에 관한 것이다.
평판 표시 소자인 유기 발광 소자는 애노드 전극과 캐소드 전극, 및 애노드 전극과 캐소드 전극 사이에 개재된 적어도 유기 발광층을 구비한 중간층을 포함하는 소자로서, 시야각이 넓고 콘트라스트가 우수할 뿐만 아니라 응답속도가 빠르다는 장점을 가지고 있어서 차세대 표시 소자로 주목받고 있다. 이와 같은 유기 발광 소자는 발광층이 고분자 유기 재료로 이루어지는지, 또는 저분자 유기 재료로 이루어지는지에 따라, 유기 발광층 이외 정공주입층, 정공수송층, 전자수송층, 및 전자주입층 가운데 적어도 하나 이상의 유기막층을 더 포함할 수 있다.
이러한 유기 발광 소자에 있어 풀 컬러를 구현하기 위해서는 유기막층을 패터닝해야 한다. 패터닝 방법으로는 저분자 유기 발광 소자의 경우 섀도우 마스크(shadow mask)를 사용하는 방법이 있고, 고분자 유기 발광 소자의 경우 잉크 젯 프린팅(ink-jet printing) 또는 레이저에 의한 열전사법(Laser Induced Thermal Imaging: LITI)등이 사용될 수 있다.
레이저 열전사 방법(LITI)은 레이저에서 나온 빛을 열에너지로 변환하고, 변환된 열에너지에 의해 전사층을 유기 발광표시장치의 기판으로 전사시켜 R, G, B 유기막층을 형성한다. LITI는 유기막층을 미세하게 패터닝 할 수 있고, 대면적에 사용할 수 있으며, 고해상도를 실현하는 데 유리하다는 장점이 있다.
본 발명이 이루고자 하는 과제는 LITI 공법에 의해 유기막층을 형성할 때 유기막층의 패턴 불량을 방지할 수 있는 레이저 열전사용 마스크 및 이를 포함하는 레이저 조사 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 열전사용 마스크는 화소 영역에 유기막층을 형성하기 위한 것이다. 상기 레이저 열전사용 마스크는 투과부 및 차폐부를 포함한다. 상기 투과부는 상기 화소 영역에 대응한다. 상기 투과부는 다수개의 슬릿들로 이루어져 레이저 빔이 통과하는 개구부를 구비한다. 상기 차폐부는 상기 레이저 빔을 반사 또는 차단한다.
상기 슬릿들 각각은 상기 레이저 빔의 스캔 방향에 수직한 방향으로 길게 연장된다. 상기 슬릿들은 상기 스캔 방향으로 서로 이격된다. 상기 슬릿들 각각의 상기 스캔 방향 폭과 상기 슬릿들 사이의 상기 스캔 방향 간격은 서로 동일할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 조사 장치는 광원, 레이저 열전사용 마스크, 및 스테이지를 포함한다. 상기 광원은 일정한 출력 에너지를 갖도록 레이저 빔을 조사한다. 상기 열전사용 마스크는 상기 광원의 하부에 배치된다. 상기 스테이지는 상기 레이저 열전사용 마스크의 하부에 배치되고, 화소 영역이 구비된 억셉터 기판을 안착시킨다.
상기 스테이지가 상기 스캔 방향으로 이동됨에 따라 상기 레이저 열전사용 마스크를 통과한 레이저 빔은 구형파 형태의 에너지를 갖을 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 조사 장치는 광원, 레이저 열전사용 마스크, 및 스테이지를 포함한다. 상기 광원은 적어도 서로 다른 두 개의 에너지 값을 교대로 갖도록 레이저 빔을 조사한다. 상기 광원에서 출사된 레이저 빔의 출력 에너지는 구형파 형태를 가질 수 있다.
상기 레이저 열전사용 마스크는 투과부와 차폐부를 포함할 수 있다. 상기 투과부는 상기 화소 영역에 대응한다. 상기 투과부에는 도트 형태로 제공되어 레이저 빔이 통과하는 개구부가 구비된다. 상기 차폐부는 상기 레이저 빔을 반사 또는 차단한다.
본 발명의 레이저 열전사용 마스크 및 이를 포함하는 레이저 조사 장치에 의하면, 레이저 열전사용 마스크를 통과한 후 도너 기판에 제공되는 레이저 빔의 출력 에너지를 구형파 형태로 제어한다. 이로 인하여, 도너 기판이 열팽창되어 유기막층이 형성될 때 균열이 발생되는 문제를 해결할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 조사 장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 도 1의 레이저 열전사용 마스크에서 하나의 투과부와 그 인접한 차폐부를 도시한 평면도이다.
도 3a는 레이저 열전사용 마스크 통과 전 시간에 따른 레이저 빔의 출력 에너지를 도시한 그래프이다.
도 3b는 도 1의 레이저 열전사용 마스크 통과 후 시간에 따른 레이저 빔의 출력 에너지를 도시한 그래프이다.
도 4는 종래의 레이저 조사 장치를 이용하여 형성된 그린 화소의 사진이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 레이저 조사 장치를 이용하여 형성된 그린 화소의 사진이다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 열전사용 마스크에서 하나의 투과부와 그 인접한 차폐부를 도시한 평면도이다.
도 7은 레이저 열전사용 마스크 통과전 시간에 따른 레이저 빔의 출력 에너지를 도시한 그래프이다.
이상의 본 발명의 목적들, 다른 목적들, 특징들 및 이점들은 첨부된 도면과 관련된 이하의 바람직한 실시예들을 통해서 쉽게 이해될 것이다. 그러나 본 발명은 여기서 설명되는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되는 것이다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레이저 조사 장치(1000)를 도시한 사시도이다.
이하, 도 1을 참조하여 상기 레이저 조사 장치(1000)를 이용하여 유기막층을 형성하는 방법을 설명한다.
상기 레이저 조사 장치(1000)는 광원(100), 레이저 열전사용 마스크(200), 및 스테이지(400)를 포함한다.
상기 광원(100)은 일정한 출력 에너지를 갖도록 레이저 빔을 조사한다. 상기 레이저 빔은 상기 레이저 열전사용 마스크(200)의 개구부(OP1)를 통과하여 도너 기판(300)에 전달된다. 상기 광원(100)으로서, Ar 레이저, Kr 레이저, 엑시머 레이저 등의 기체 레이저, 단결정의 YAG, YVO4, 포스테라이트(Mg2SiO4), YAlO3, GdVO4, 또는 다결정(세라믹스)의 YAG, Y2O3, YVO4, YAlO3, GdVO4에 도펀트로서 Nd, Yb, Cr, Ti, Ho, Er, Tm, Ta 중 1종 또는 다수 종 첨가한 것을 매질로 하는 레이저, 유리 레이저, 루비 레이저, 알렉산드라이트 레이저, Ti:사파이어 레이저, 구리 증기 레이저 또는 금 증기 레이저 중 1종 또는 다수 종으로부터 발진되는 것을 사용할 수 있다. 상기 레이저 빔은 일괄하여 기판 전면(全面)을 조사하는 넓은 면적의 면 형상 빔보다 집광하기 쉬운 직사각형 형상, 또는 선 형상 빔으로 하는 것이 바람직하다.
상기 레이저 열전사용 마스크(200)는 상기 광원(100)과 상기 스테이지(400) 사이에 배치된다. 상기 레이저 열전사용 마스크(200)는 상기 광원(100)으로부터 조사되는 레이저 빔을 선택적으로 차단 또는 반사하는 광 제어 수단이다.
상기 레이저 열전사용 마스크(200)는 투과부(TP)와 차폐부(BP)를 포함한다. 상기 투과부(TP)는 억셉터 기판(500)에 구비된 화소 영역(PX)에 대응하는 영역이다. 상기 투과부(TP)로 입사된 레이저 빔의 일부는 상기 레이저 열전사용 마스크(200)를 통과할 수 있다. 상기 차폐부(BP)는 상기 투과부(TP)를 제외한 영역으로, 상기 레이저 빔을 반사 또는 차단한다.
상기 레이저 열전사용 마스크(200)는 레이저 빔의 조사를 견딜 수 있는 재료로 형성될 수 있고, 텅스텐, 탄탈, 크롬, 니켈, 또는 몰리브덴 등의 고융점 금속 또는 이들 원소를 함유하는 합금, 스테인리스 강, 인코넬(inconel), 하스텔로이(hastelloy) 등의 열에 의하여 쉽게 변형되지 않는 저열팽창률의 금속 재료로 형성될 수 있다.
상기 스테이지(400) 상에는 상기 억셉터 기판(500)이 안착된다. 상기 스테이지(400)는 상기 광원(100)에서 레이저 빔이 조사됨에 따라 스캔 방향(DR1)으로 이동될 수 있다.
상기 억셉터 기판(500)은 복수의 화소 영역(PX)을 포함한다. 상기 화소 영역(PX)은 절연 물질로 이루어진 화소 정의막(미도시)에 의해 정의된다. 상기 화소 영역(PX)에는 애노드 전극(미도시)이 형성되고, 상기 애노드 전극(미도시) 상에 RGB 유기 발광층을 포함하는 유기막층(미도시)이 도너 필름(300)에 의해 형성되고, 상기 유기막층 상에 캐소드 전극이 형성된다. 또한, 상기 억셉터 기판(500)에는 상기 애노드 전극(미도시)과 전기적으로 연결되는 구동 소자로서 박막트랜지스터(TFT)가 형성될 수 있다.
상기 도너 기판(300)은 상기 레이저 열전사용 마스크(200)와 상기 억셉터 기판(500) 사이에 배치될 수 있다. 구체적으로 상기 도너 기판(300)은 상기 억셉터 기판(500) 상에 라미네이션될 수 있다. 상기 도너 기판(300)은 베이스 필름(310), 광-열 변환층(light to heat conversion layer; LTHC)(320), 및 전사층(330)을 포함할 수 있다. 상기 광원(100)에서 방출된 레이저 빔은 상기 광-열 변환층(320)에 흡수되어 열에너지로 변환되고, 변환된 열에너지는 상기 광-열 변환층(320), 상기 전사층(330) 및 상기 억셉터 기판(500) 사이의 접착력(adhesion force)의 변화를 가져온다. 이로 인해, 상기 전사층(330)이 상기 억셉터 기판(500) 상으로 전사되면서, 상기 억셉터 기판(500) 상에 유기막층이 형성된다. 즉, 상기 억셉터 기판(500)에 밀착된 상기 전사층(330)의 결합이 끊어지면서 상기 전사층(330)은 상기 억셉터 기판(500) 상으로 전사되어 유기막층을 형성한다.
도 2는 도 1의 레이저 열전사용 마스크에서 하나의 투과부와 그 인접한 차폐부를 도시한 평면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 상기 투과부(TP)에는 다수개의 슬릿들로 이루어진 개구부(OP1)가 구비된다. 상기 슬릿들 각각은 상기 스캔 방향(DR1)에 수직한 스캔 수직 방향(DR2)으로 길게 연장된다.
상기 슬릿들은 상기 스캔 방향(DR1)으로 서로 이격될 수 있다. 상기 슬릿들 사이는 상기 차폐부(BP)와 동일한 물질로 형성될 수 있다.
상기 슬릿들 각각의 크기는 표시 장치의 해상도에 따라 달라질 수 있다.
상기 슬릿의 상기 스캔 수직 방향(DR2) 길이(S1)는 상기 슬릿의 상기 스캔 방향(DR1) 폭(S2) 보다 클 수 있다. 상기 슬릿의 상기 스캔 방향(DR1) 폭(S2)은 10㎛ 이상 100㎛이하의 길이를 가질 수 있다. 상기 슬릿들 사이의 간격(S3)은 10㎛ 이상 100㎛이하의 길이를 가질 수 있다.
도 3a는 레이저 열전사용 마스크 통과 전 시간에 따른 레이저 빔의 출력 에너지를 도시한 그래프이고, 도 3b는 도 1의 레이저 열전사용 마스크 통과 후 시간에 따른 레이저 빔의 출력 에너지를 도시한 그래프이다.
도 1, 도 2, 및 도 3a를 참조하면, 상기 광원(100)에서 출사되는 레이저 빔은 시간에 따라 일정한 출력 에너지를 갖는다. 따라서, 상기 레이저 빔은 상기 레이저 열전사용 마스크(200) 통과 전까지 일정한 출력 에너지를 갖는다.
도 1, 도 2, 및 도 3b를 참조하면, 상기 레이저 빔은 상기 레이저 열전사용 마스크(200)에 제공되어, 다수개의 슬릿들로 이루어진 상기 개구부(OP1)를 통과하지만, 상기 슬릿들 사이 및 상기 차폐부(BP)를 통과하지 못한다.
상기 스테이지(400)상에 상기 도너 기판(300) 및 상기 억셉터 기판(500)이 라미네이션 된 상태로 안착되고, 상기 스테이지(400)가 상기 스캔 방향(DR1)으로 이동되면, 상기 레이저 열전사용 마스크(200)를 통과한 후 상기 도너 기판(300)에 제공되는 레이저 빔의 출력 에너지는 구형파(square wave) 형태를 가질 수 있다. 이로 인하여, 상기 도너 기판(300)에 일정한 레이저 빔의 출력 에너지가 계속적으로 제공되어 상기 도너 기판(300)이 급격히 팽창되는 것을 방지할 수 있다.
도 4는 종래의 레이저 조사 장치를 이용하여 형성된 그린 화소의 사진이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 레이저 조사 장치를 이용하여 형성된 그린 화소의 사진이다.
도 4를 참조하면, 종래의 레이저 조사 장치에서, 광원에서 일정한 출력 에너지로 레이저 빔을 조사하고, 레이저 열전사용 마스크는 화소 영역에 대응하여 도트 형태의 개구부를 구비하였다. 즉, 광원에서 출사된 레이저 빔은 레이저 열전사용 마스크의 개구부를 통과하여 시간에 따라 일정한 출력 에너지를 갖도록 도너 기판에 제공되었다. 이때, 상기 도너 기판에는 레이저 빔의 에너지가 계속적으로 집중되어 도너 기판이 급격히 열팽창 되었다. 도너 기판의 열팽창으로 인하여 전사층이 억셉터 기판에 전사되어 유기막층이 형성될 때 균열이 발생되었다. 도 4를 참조하면, 그린 화소에서 유기막층의 균열로 인하여 블랙 라인들이 시인되는 것을 확인할 수 있다.
한편, 도 5를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 레이저 조사 장치는 레이저 열전사용 마스크의 개구부 형상(도 2 참조)으로 인하여 상기 레이저 열전사용 마스크를 통과한 레이저 빔의 출력 에너지가 구형파 형태를 가지므로(도 3b 참조), 도너 기판이 급격히 팽창하는 것을 방지할 수 있다. 도 5에는 블랙 라인들이 시인되지 않으므로, 유기막층의 균열이 발생되지 않은 것을 알 수 있다.
이하, 도 1, 도 6, 및 도 7을 참조하여, 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 조사 장치를 설명한다. 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 조사 장치는 일 실시예와 비교하여, 레이저 열전사용 마스크(210)의 개구부 형상이 서로 상이하고, 광원(100)에서 출사되는 레이저 빔의 출력 에너지가 서로 상이하다는 점에 차이가 있고, 나머지는 실질적으로 동일하다. 이하, 다른 실시예와 일 실시예의 차이점을 중심으로 설명하고, 설명되지 않은 부분은 일 실시예에 따른다.
도 6은 본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 열전사용 마스크(210)에서 하나의 투과부(TP)와 그 인접한 차폐부(BP)를 도시한 평면도이다.
도 6을 참조하면, 상기 투과부(TP)는 억셉터 기판(500)에 구비된 화소 영역에 대응하는 영역이다. 상기 투과부(TP)에는 도트 형태로 제공된 개구부(OP2)가 구비된다. 즉, 상기 투과부(TP)는 하나의 상기 개구부(OP2)로 이루어진다. 따라서, 상기 투과부(TP)로 입사된 레이저 빔은 모두 레이저 열전사용 마스크(210)를 통과할 수 있다.
도 7은 레이저 열전사용 마스크 통과전 시간에 따른 레이저 빔의 출력 에너지를 도시한 그래프이다.
도 1 및 도 7을 참조하면, 상기 광원(100)은 적어도 서로 다른 두 개의 에너지 값을 교대로 갖도록 레이저 빔을 조사한다. 상기 광원(100)에서 출사된 레이저 빔의 출력 에너지는 구형파 형태를 가질 수 있다.
상기 광원(100)은 온/오프 동작을 교대로 수행할 수 있다. 상기 광원(100)은 온 동작할 때 상기 레이저 빔을 조사하고, 오프 동작할 때 상기 레이저 빔을 조사하지 않을 수 있다. 상기 레이저 빔의 출력 주파수는 아래의 수학식을 만족하도록 설정될 수 있다.
[수학식]
f>1000 ×v/d
여기서, f는 레이저 빔의 출력 주파수(㎑)이고, v는 스테이지의 스캔 속도(㎧)이고, d는 스텝 사이즈(㎛)이다.
스텝 사이즈는 상기 광원(100)이 연속적으로 두 번의 온 동작을 수행할 때, 레이저 빔이 도너 기판(300)에 도달한 위치들 사이의 스캔 방향(DR1) 거리를 의미한다.
상기 d는 5㎛ 보다 작게 설정되는 것이 바람직하다. 일 예로, d가 5㎛이고, v가 0.1㎧인 경우, f 는 20㎑ 보다 크게 설정된다. 보다 균일한 패턴을 얻기 위해서는 d는 1㎛보다 작게 설정되는 것이 바람직하다. 일 예로, d가 1㎛이고, v가 0.1㎧인 경우, f 는 100㎑ 보다 크게 설정된다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 레이저 조사 장치에 의하면, 레이저 열전사용 마스크가 도트 형태의 개구부를 구비하더라도, 상기 광원(100)에서 출력되는 레이저 빔의 출력 에너지를 구형파 형태로 제어함으로써 일 실시예와 유사한 효과를 얻을 수 있다.
이상, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징으로 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예에는 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
1000: 레이저 조사 장치 100: 광원
200: 레이저 열전사용 마스크 300: 도너 기판
400: 억셉터 기판 500: 스테이지
TP: 투과부 BP: 차폐부
DR1: 스캔 방향 DR2: 스캔 수직 방향

Claims (13)

  1. 화소 영역에 유기막층을 형성하기 위한 마스크에 있어서,
    다수개의 슬릿들로 이루어져 레이저 빔이 통과하는 개구부가 구비되고, 상기 화소 영역에 대응하는 투과부; 및
    상기 레이저 빔을 반사 또는 차단하는 차폐부를 포함하는 레이저 열전사용 마스크.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 슬릿들 각각은 상기 레이저 빔의 스캔 방향에 수직한 방향으로 길게 연장된 것을 특징으로 하는 레이저 열전사용 마스크.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 슬릿들은 상기 스캔 방향으로 서로 이격된 것을 특징으로 하는 레이저 열전사용 마스크.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 슬릿들 사이는 상기 차폐부와 동일한 물질로 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저 열전사용 마스크.
  5. 일정한 출력 에너지를 갖도록 레이저 빔을 조사하는 광원;
    상기 광원의 하부에 배치된 레이저 열전사용 마스크; 및
    상기 레이저 열전사용 마스크의 하부에 배치되고, 화소 영역이 구비된 억셉터 기판이 안착되는 스테이지를 포함하고,
    상기 레이저 열전사용 마스크는,
    다수개의 슬릿들로 이루어져 레이저 빔이 통과하는 개구부가 구비되고, 상기 화소 영역에 대응하는 투과부; 및
    상기 레이저 빔을 반사 또는 차단하는 차폐부를 포함하는 레이저 조사 장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 스테이지는 스캔 방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 스테이지가 상기 스캔 방향으로 이동됨에 따라 상기 레이저 열전사용 마스크를 통과한 레이저 빔은 구형파 형태의 에너지를 갖는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
  8. 제5항에 있어서,
    상기 슬릿들 각각은 상기 레이저 빔의 스캔 방향에 수직한 방향으로 길게 연장된 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 슬릿들은 상기 스캔 방향으로 서로 이격된 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
  10. 적어도 서로 다른 두 개의 에너지 값을 교대로 갖도록 레이저 빔을 조사하는 광원;
    상기 광원의 하부에 배치된 레이저 열전사용 마스크; 및
    상기 레이저 열전사용 마스크의 하부에 배치되고, 화소 영역이 구비된 억셉터 기판이 안착되는 스테이지를 포함하고,
    상기 레이저 열전사용 마스크는,
    도트 형태로 제공되어 레이저 빔이 통과하는 개구부가 구비되고, 상기 화소 영역에 대응하는 투과부; 및
    상기 레이저 빔을 반사 또는 차단하는 차폐부를 포함하는 레이저 조사 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 광원에서 출사된 레이저 빔의 출력 에너지는 구형파 형태를 갖는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 레이저 빔의 출력 주파수는 아래의 수학식을 만족하도록 설정되는 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
    [수학식]
    f>1000 ×v/d
    여기서, f는 레이저 빔의 출력 주파수(㎑)이고, v는 스테이지의 스캔 속도(㎧)이고, d는 스텝 사이즈(㎛)이다.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 스텝 사이즈는 5 ㎛ 보다 작은 것을 특징으로 하는 레이저 조사 장치.
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