JP2017014620A5 - - Google Patents

Claims (14)

1. 金属マスク開口部が形成された金属マスクと、当該金属マスク開口部と重なる位置に蒸着作製するパターンに対応した樹脂マスク開口部が形成された樹脂マスクとが積層されてなる蒸着マスクの製造方法であって、
   前記樹脂マスクを得るための樹脂板の一方の面上に前記金属マスクが設けられ、当該樹脂板の他方の面上にＪＩＳ Ｚ−０２３７：２００９で準拠される剥離強度が０．０００４Ｎ／１０ｍｍ以上０．２Ｎ／１０ｍｍ未満の保護シートが設けられた蒸着マスク準備体を準備する工程と、
   前記蒸着マスク準備体に対し、前記金属マスク側から前記樹脂板にレーザー光を照射し、当該樹脂板に前記蒸着作製するパターンに対応した樹脂マスク開口部を形成する工程と、
   前記蒸着作製するパターンに対応した樹脂マスク開口部が形成された樹脂マスクから前記保護シートを剥離する工程と、
   を含む蒸着マスクの製造方法。
2. 前記蒸着マスク準備体が、前記樹脂マスクを得るための樹脂板の一方の面上に前記金属マスクが設けられ、当該樹脂板の他方の面上に複数の前記保護シートが設けられた蒸着マスク準備体である請求項１に記載の蒸着マスクの製造方法。
3. 金属マスク開口部が形成された金属マスクと当該金属マスク開口部と重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する樹脂マスク開口部が形成された樹脂マスクとが積層されてなる蒸着マスクを得るための蒸着マスク準備体であって、
   前記樹脂マスクを得るための樹脂板の一方の面上に前記金属マスクが設けられ、当該樹脂板の他方の面上にＪＩＳ Ｚ−０２３７：２００９で準拠される剥離強度が０．０００４Ｎ／１０ｍｍ以上０．２Ｎ／１０ｍｍ未満の保護シートが設けられている蒸着マスク準備体。
4. 金属マスク開口部が形成された金属マスクと当該金属マスク開口部と重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する樹脂マスク開口部が形成された樹脂マスクとが積層されてなる蒸着マスクを得るための蒸着マスク準備体であって、
   前記樹脂マスクを得るための樹脂板の一方の面上に前記金属マスクを得るための金属板が設けられ、当該樹脂板の他方の面上にＪＩＳ Ｚ−０２３７：２００９で準拠される剥離強度が０．０００４Ｎ／１０ｍｍ以上０．２Ｎ／１０ｍｍ未満の保護シートが設けられている蒸着マスク準備体。
5. 有機半導体素子の製造方法であって、
   フレームに蒸着マスクが固定されたフレーム付き蒸着マスクを用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する工程を含み、
   前記蒸着パターンを形成する工程で、前記フレームに固定される前記蒸着マスクが、請求項１又は２に記載の製造方法で製造された蒸着マスクである有機半導体素子の製造方法。
6. 有機ＥＬディスプレイの製造方法であって、
   請求項５に記載の有機半導体素子の製造方法により製造された有機半導体素子が用いられる、有機ＥＬディスプレイの製造方法。
7. 金属マスク開口部が形成された金属マスクと、当該金属マスク開口部と重なる位置に蒸着作製するパターンに対応した樹脂マスク開口部が形成された樹脂マスクとが積層されてなる蒸着マスクの製造方法であって、
   前記樹脂マスクを得るための樹脂板の一方の面上に前記金属マスクが設けられ、当該樹脂板の他方の面上に自己吸着性及び剥離性を有する保護シートが吸着されてなる蒸着マスク準備体を準備する工程と、
   前記蒸着マスク準備体に対し、前記金属マスク側から前記樹脂板にレーザー光を照射し、当該樹脂板に前記蒸着作製するパターンに対応した樹脂マスク開口部を形成する工程と、
   前記蒸着作製するパターンに対応した樹脂マスク開口部が形成された樹脂マスクから前記保護シートを剥離する工程と、
   を含み、
   前記保護シートが、シリコーン系樹脂、及びウレタン系樹脂の何れか一方、又は双方を含有する保護シートである、蒸着マスクの製造方法。
8. 前記蒸着マスク準備体が、前記樹脂マスクを得るための樹脂板の一方の面上に前記金属マスクが設けられ、当該樹脂板の他方の面上に複数の前記保護シートが吸着されてなる蒸着マスク準備体である請求項７に記載の蒸着マスクの製造方法。
9. 金属マスク開口部が形成された金属マスクと当該金属マスク開口部と重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する樹脂マスク開口部が形成された樹脂マスクとが積層されてなる蒸着マスクを得るための蒸着マスク準備体であって、
   前記樹脂マスクを得るための樹脂板の一方の面上に前記金属マスクが設けられ、当該樹脂板の他方の面上に自己吸着性及び剥離性を有する保護シートが吸着されてなり、
   前記保護シートが、シリコーン系樹脂、及びウレタン系樹脂の何れか一方、又は双方を含有している、蒸着マスク準備体。
10. 金属マスク開口部が形成された金属マスクと当該金属マスク開口部と重なる位置に蒸着作製するパターンに対応する樹脂マスク開口部が形成された樹脂マスクとが積層されてなる蒸着マスクを得るための蒸着マスク準備体であって、
    前記樹脂マスクを得るための樹脂板の一方の面上に前記金属マスクを得るための金属板が設けられ、当該樹脂板の他方の面上に自己吸着性及び剥離性を有する保護シートが吸着されてなり、
    前記保護シートが、シリコーン系樹脂、及びウレタン系樹脂の何れか一方、又は双方を含有している、蒸着マスク準備体。
11. 有機半導体素子の製造方法であって、
    フレームに蒸着マスクが固定されたフレーム付き蒸着マスクを用いて蒸着対象物に蒸着パターンを形成する工程を含み、
    前記蒸着パターンを形成する工程で、前記フレームに固定される前記蒸着マスクが、請求項７又は８に記載の製造方法で製造された蒸着マスクである有機半導体素子の製造方法。
12. 有機ＥＬディスプレイの製造方法であって、
    請求項１１に記載の有機半導体素子の製造方法により製造された有機半導体素子が用いられる、有機ＥＬディスプレイの製造方法。
13. 樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクの一方の面上に、金属マスク開口部を有する金属マスクが設けられ、
    前記樹脂マスクの他方の面上にＪＩＳ Ｚ−０２３７：２００９で準拠される剥離強度が０．０００４Ｎ／１０ｍｍ以上０．２Ｎ／１０ｍｍ未満の保護シートが設けられている蒸着マスク。
14. 樹脂マスク開口部を有する樹脂マスクの一方の面上に、金属マスク開口部を有する金属
    マスクが設けられ、
    前記樹脂マスクの他方の面上に自己吸着性及び剥離性を有し、シリコーン系樹脂、及びウレタン系樹脂の何れか一方、又は双方を含有する保護シートが吸着されてなる蒸着マスク。