JP2015181099A5 - 表示装置の作製方法 - Google Patents

Claims (7)

1. 表示領域を有する表示装置の作製方法であって、
   第１乃至第７の工程を有し、
   前記第１の工程は、第１の基板の第１の表面上に、第１の層を設ける工程と、前記第１の層上に第１の絶縁層を設ける工程と、前記第１の絶縁層上に電極を設ける工程と、前記電極上に第２の絶縁層を設ける工程と、第２の絶縁層上に表示素子を設ける工程と、を有し、
   前記第２の工程は、第２の基板の第２の表面上に、第２の層を設ける工程と、前記第２の層上に第３の絶縁層を設ける工程と、前記第２の層および第３の絶縁層の一部を除去して開口を設ける工程と、を有し、
   前記第３の工程は、前記第１の表面と前記第２の表面を向かい合わせ、前記電極と前記開口とが互いに重なる領域を有するように、接着層を介して第１の基板と第２の基板とを互いに重ねる工程を有し、
   前記第４の工程は、前記第１の基板を前記第１の層とともに前記第１の絶縁層から剥離する工程を有し、
   前記第５の工程は、前記第１の絶縁層と第３の基板とを互いに重ねて前記第３の基板を設ける工程を有し、
   前記第６の工程は、前記第２の基板を前記第２の層とともに前記第３の絶縁層から剥離する工程を有し、
   前記第７の工程は、前記第３の絶縁層と第４の基板とが互いに重なるように前記第４の基板を設ける工程を有し、
   前記第３の工程において、前記接着層は、前記接着層と前記開口とが互いに重なる第１の領域を有し、前記第２の絶縁層は、前記第２の絶縁層と前記開口とが互いに重なる第２の領域を有し、
   前記第６の工程において、前記第１の領域の少なくとも一部の前記接着層と、前記第２の領域の少なくとも一部の前記第２の絶縁層と、を前記第２の基板とともに剥離し、前記電極の少なくとも一部が露出することを特徴とする表示装置の作製方法。
2. 請求項１において、
   前記第１の工程において、前記第２の絶縁層を設ける前に、前記電極の表面を、酸素を有する雰囲気に曝すことを特徴とする表示装置の作製方法。
3. 請求項２において、
   前記雰囲気は、プラズマ雰囲気であることを特徴とする表示装置の作製方法。
4. 表示領域を有する表示装置の作製方法であって、
   第１乃至第７の工程を有し、
   前記第１の工程は、第１の基板の第１の表面上に、第１の層を設ける工程と、前記第１の層の一部を除去して開口を設ける工程と、前記第１の層および前記開口の上に第１の絶縁層を形成する工程と、前記第１の絶縁層および前記開口の上に電極を設ける工程と、前記電極上に第２の絶縁層を設ける工程と、第２の絶縁層上に表示素子を設ける工程と、を有し、
   前記第２の工程は、第２の基板の第２の表面上に、第２の層を設ける工程と、前記第２の層上に第３の絶縁層を設ける工程と、を有し、
   前記第３の工程は、前記第１の表面と前記第２の表面を向かい合わせ、接着層を介して第１の基板と第２の基板とを互いに重ねる工程を有し、
   前記第４の工程は、前記第２の基板を前記第２の層とともに前記第３の絶縁層から剥離する工程を有し、
   前記第５の工程は、前記第３の絶縁層と第３の基板とを互いに重ねて前記第３の基板を設ける工程を有し、
   前記第６の工程は、前記第１の基板を前記第１の層とともに前記第１の絶縁層から剥離する工程を有し、
   前記第７の工程は、前記第２の絶縁層と第４の基板とが互いに重なるように前記第４の基板を設ける工程を有し、
   前記第６の工程において、前記開口と重なる前記第１の絶縁層の少なくとも一部を前記第１の基板とともに剥離し、前記電極の少なくとも一部が露出することを特徴とする表示装置の作製方法。
5. 請求項１乃至請求項４のいずれか一項において、
   前記第６の工程の前に、前記開口を介して前記電極の少なくとも一部に光を照射することを特徴とする表示装置の作製方法。
6. 請求項１乃至請求項５のいずれか一項において、
   前記第３の基板および前記第４の基板は、可撓性を有することを特徴とする表示装置の作製方法。
7. 請求項１乃至請求項６のいずれか一項において、
   前記第１の層は、タングステン、モリブデン、チタン、タンタル、ニオブ、ニッケル、コバルト、ジルコニウム、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウム、イリジウム、またはシリコンを有し、
   前記第２の層は、タングステン、モリブデン、チタン、タンタル、ニオブ、ニッケル、コバルト、ジルコニウム、ルテニウム、ロジウム、パラジウム、オスミウム、イリジウム、またはシリコンを有することを特徴とする表示装置の作製方法。