CN110875356A - 一种柔性显示母板、柔性amoled显示面板及柔性显示器件 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种柔性显示母板、柔性AMOLED显示面板及柔性显示器件,所述柔性显示母板包括显示区和非显示区,所述非显示区包括基板以及位于基板上的柔性聚合物层,所述显示区位于柔性聚合物层之上,所述基板上背离显示区的一面的边缘区域设置吸收LLO激光区。本发明通过在柔性显示母板上的基板背离显示区的一面的边缘区域设置吸收LLO激光区,使得该柔性显示母板在通过LLO激光照射分离时,可以适当增大LLO的激光能量,保证柔性聚合物层的碳化均匀以及充分分离,具有可控性,避免显示区受损,保证由其经过激光照射分离得到的柔性AMOLED显示面板不受损,保证其具有良好的性能,应用前景广阔。
Description
技术领域
本发明属于柔性显示装置技术领域,涉及一种柔性显示母板、柔性AMOLED显示面板及柔性显示器件。
背景技术
在涂布有耐高温聚酰亚胺(PI)薄膜的玻璃基板上实施有源矩阵有机发光二极体(AMOLED)各工艺流程,然后,使柔性PI薄膜与玻璃基板分离,从而得到聚酰亚胺上的柔性AMOLED显示屏;
PI薄膜与玻璃基板分离常用技术为激光分离技术(Laser Lift-off,LLO),激光从基板玻璃背面照向PI膜层,由于PI薄膜对特定激光波长的强吸收,被照射的PI表层被碳化,使PI薄膜与玻璃基板之间的粘附力降低,从而实现PI薄膜与玻璃基板的分离。
然而,当LLO激光能量较弱时,PI碳化不均或不充分,在与玻璃基板分离时易出现粘连拉扯现象,可引起PI薄膜上的AMOLED器件失效;当LLO激光能量较强时,PI碳化过于充分,在与玻璃基板分离时,有不可控风险,如自行脱落,影响后续工艺制程。
发明内容
针对现有技术的不足,本发明的目的在于提供一种柔性显示母板、柔性显示面板以及柔性显示器件。
为达到此发明目的,本发明采用以下技术方案:
一方面,本发明提供一种柔性显示母板,所述柔性显示母板包括显示区和非显示区,所述非显示区包括基板以及位于基板上的柔性聚合物层,所述显示区位于柔性聚合物层之上,所述基板上背离显示区的一面的边缘区域设置吸收LLO激光区。
在本发明中,通过在柔性显示母板上的基板背离显示区的一面的边缘区域设置吸收LLO激光区,使得该柔性显示母板在通过LLO激光照射分离时,可以适当增大LLO的激光能量,保证柔性聚合物层的碳化均匀以及充分分离,具有可控性,避免AA区受损,并且能够避免柔性聚合物层与基板的自行脱落。
在本发明中,将吸收LLO激光区设置在基板上的边缘处,是因为边缘处为非显示区,避免对显示区的影响;另外,因LLO激光被吸收的未充分分离的边缘区域,可以通过铲刀进行机械分离,最终结合LLO实现柔性聚合物层与基板的整面彻底分离。
在本发明中,所述吸收LLO激光区在距离基板边缘5~50mm(例如5mm、8mm、10mm、12mm、15mm、18mm、20mm、25mm、28mm、30mm、35mm、38mm、40mm、45mm、48mm或50mm)处设置。
优选地,所述吸收LLO激光区以点状分布或条状分布。
优选地,所述吸收LLO激光区在基板上成对称分布。
优选地,当所述吸收LLO激光区以点状分布时,点状区域面积100μm2~1cm2,例如100μm2、200μm2、500μm2、800μm2、1mm2、3mm2、5mm2、8mm2、10mm2、30mm2、50mm2、80mm2、100mm2、300mm2、500mm2、800mm2或1cm2。
优选地,当所述吸收LLO激光区以条状分布时,条状的宽度10μm~1cm,例如10μm、30μm、50μm、80μm、100μm、300μm、500μm、800μm、1mm、5mm、10mm、30mm、50mm、80mm、100mm、120mm、150mm、200mm、250mm、300mm、500mm、800mm或1cm。
在本发明中,所述吸收LLO激光区以条状分布时,可以为连续的条状分布,也可以为不连续的条状分布。
优选地,所述吸收LLO激光区的材料为有机胶类材料、半导体膜材料、金属材料或碳材料中的任意一种或至少两种的组合。
优选地,所述吸收LLO激光区的材料为光敏胶、TiO2膜、ZnO凝胶膜、钛、铝、铬、石墨粉或炭黑粉中的任意一种或至少两种的组合。
优选地,所述光敏胶优选UV胶。
优选地,所述显示区包括像素电路以及像素区域;
优选地,一个所述柔性显示母板上包括位于柔性聚合物层之上的至少两个显示区。
在本发明中,对于显示区的形状没有特别限制,所述显示区的形状可以为矩形、正方形、圆形或其他形状。
优选地,所述基板为玻璃基板。
优选地,所述柔性聚合物层为聚酰亚胺(PI)层、聚对苯二甲酸乙二醇酯层、聚萘二甲酸乙二酯层、聚碳酸酯层、聚醚砜层、聚丙烯酸酯层、聚醚酰亚胺层、聚酰胺层或聚醚醚酮层。
在本发明的柔性显示母板的制备过程中,对于吸收LLO激光区,可用喷墨打印或一般的涂布方法(毛刷,注射器点胶等)来制备或者采用磁控溅射金属膜来实现。
另一方面,本发明提供一种对如上所述柔性显示母板进行基板分离的方法,所述方法为:利用LLO激光对所述柔性显示母板的基板背面进行照射,实现柔性聚合物层均匀碳化,进而实现柔性聚合物层与基板的分离。
在本发明中,由于柔性显示母板上存在吸收LLO激光区,因此在分离时,可以适当增大LLO的激光能量,避免柔性聚合物层碳化不均,并且可以避免存在杂质或脏污而阻挡UV光透过从而导致的分离不充分的问题,整个分离过程中具有可控性。
优选地,所述LLO激光波长在紫外区。
优选地,LLO激光波长为308nm。
另一方面,本发明提供一种柔性AMOLED显示面板,所述柔性AMOLED显示面板由如上所述的柔性显示母板分离去除基板得到。
在本发明中,所述柔性显示母板上设置吸收LLO激光区,可以充分保证柔性聚合物层的均匀碳化,保证柔性聚合物层与基板的充分分离,避免对柔性AMOLED显示面板的损伤,保证了AMOLED显示面板的性能不受到影响和破坏。
另一方面,本发明提供一种柔性显示器件,所述柔性显示器件包括如上所述的柔性AMOLED显示面板。
相对于现有技术,本发明具有以下有益效果:
本发明通过在柔性显示母板上的基板背离显示区的一面的边缘区域设置吸收LLO激光区,使得该柔性显示母板在通过LLO激光照射分离时,可以适当增大LLO的激光能量,保证柔性聚合物层的碳化均匀以及充分分离,具有可控性,避免显示区受损,保证由其经过激光照射分离得到的柔性AMOLED显示面板不受损,保证其具有良好的性能,应用前景广阔。
附图说明
图1为实施例1中柔性显示母板的正视图,其中1为玻璃基板,2为PI膜层,3为显示区,4为吸收LLO激光区。
图2为实施例1中柔性显示母板的俯视图,其中1为玻璃基板,3'为显示区在玻璃基板上的虚拟投影,4为吸收LLO激光区。
图3为实施例4中柔性显示母板的俯视图,其中1为玻璃基板,3'为显示区在玻璃基板上的虚拟投影,4为吸收LLO激光区。
图4为实施例5中柔性显示母板的俯视图,其中1为玻璃基板,3'为显示区在玻璃基板上的虚拟投影,4为吸收LLO激光区。
图5为实施例6中柔性显示母板的俯视图,其中1为玻璃基板,3'为显示区在玻璃基板上的虚拟投影,4为吸收LLO激光区。
图6为实施例7中柔性显示母板的俯视图,其中1为玻璃基板,3'为图1中显示区在剥离基板上的虚拟投影,4为吸收LLO激光区。
图7为实施例9中利用激光分离技术对柔性显示母板进行照射的示意图,其中1玻璃基板,2为PI膜层,3为显示区,4为吸收LLO激光区。
具体实施方式
下面通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。本领域技术人员应该明了,所述实施例仅仅是帮助理解本发明,不应视为对本发明的具体限制。
实施例1
在本实施例中,提供一种柔性显示母板,如图1所示,所述柔性显示母板包括显示区(3)和非显示区,所述非显示区包括玻璃基板(1)以及位于玻璃基板上的柔性聚合物层(2),所述显示区位于柔性聚合物层之上,并且在柔性聚合物层上具有多个显示区(每个显示区以AA表示),所述基板上背离显示区的一面的边缘区域设置吸收LLO激光区(4),其中,吸收LLO激光区的材料为UV胶,柔性聚合物层为聚酰亚胺膜层(PI膜),显示区形状为矩形。
图2以俯视图的方式显示出了玻璃基板上LLO激光区以点状分布,点状区域在玻璃基板上靠近四个角的位置呈对称分布,所述吸收LLO激光区在距离基板边缘10mm,呈点状分布,每个点状区域面积100μm2,并且在该图中为了表明LLO激光区与显示区的相对位置关系,其中以3'表示显示区在玻璃基板上的虚拟投影,在该图中并没有示出柔性聚合物层。
实施例2
在本实施例中,提供一种柔性显示母板,如图1所示,所述柔性显示母板包括显示区(3)和非显示区,所述非显示区包括玻璃基板(1)以及位于玻璃基板上的柔性聚合物层(2),所述显示区位于柔性聚合物层之上,并且在柔性聚合物层上具有多个显示区(每个显示区以AA表示),所述基板上背离显示区的一面的边缘区域设置吸收LLO激光区(4),其中,吸收LLO激光区的材料为石墨粉,柔性聚合物层为聚酰亚胺膜层(PI膜),显示区形状为矩形。
玻璃基板上LLO激光区以点状分布,点状区域在玻璃基板上靠近四个角的位置呈对称分布,所述吸收LLO激光区在距离基板边缘30mm,呈点状分布,每个点状区域面积800μm2。
实施例3
在本实施例中,提供一种柔性显示母板,如图1所示,所述柔性显示母板包括显示区(3)和非显示区,所述非显示区包括玻璃基板(1)以及位于玻璃基板上的柔性聚合物层(2),所述显示区位于柔性聚合物层之上,并且在柔性聚合物层上具有多个显示区(每个显示区以AA表示),所述基板上背离显示区的一面的边缘区域设置吸收LLO激光区(4),其中,吸收LLO激光区的材料为TiO2膜,柔性聚合物层为聚对苯二甲酸乙二醇酯层,显示区形状为正方形。
玻璃基板上LLO激光区以点状分布,点状区域在玻璃基板上靠近四个角的位置呈对称分布,所述吸收LLO激光区在距离基板边缘5mm,呈点状分布,每个点状区域面积1cm2。
实施例4
在本实施例中,提供一种柔性显示母板,所述柔性显示母板包括显示区和非显示区,所述非显示区包括玻璃基板(1)以及位于玻璃基板上的柔性聚合物层,所述显示区位于柔性聚合物层之上,并且在柔性聚合物层上具有多个显示区(每个显示区以AA表示),所述基板上背离显示区的一面的边缘区域设置吸收LLO激光区(4),其中,吸收LLO激光区的材料为UV胶,柔性聚合物层为聚酰亚胺膜层(PI膜),显示区形状为矩形。
图3以俯视图的方式显示出了玻璃基板上LLO激光区以条状分布,条状区域在玻璃基板上呈对称分布,每个条状区域与玻璃基板边缘距离30mm,条状的宽度10μm,并且在该图中为了表明LLO激光区与显示区的相对位置关系,其中以3'表示显示区在玻璃基板上的虚拟投影,在该图中并没有示出柔性聚合物层。
实施例5
在本实施例中,提供一种柔性显示母板,所述柔性显示母板包括显示区和非显示区,所述非显示区包括玻璃基板(1)以及位于玻璃基板上的柔性聚合物层,所述显示区位于柔性聚合物层之上,并且在柔性聚合物层上具有多个显示区(每个显示区以AA表示),所述基板上背离显示区的一面的边缘区域设置吸收LLO激光区(4),其中,吸收LLO激光区的材料为UV胶,柔性聚合物层为聚酰亚胺膜层(PI膜),显示区形状为矩形。
图4以俯视图的方式显示出了玻璃基板上LLO激光区以条状分布,条状区域在玻璃基板上呈对称分布,条状区域与玻璃基板边缘距离50mm,条状的宽度80μm,并且在该图中为了表明LLO激光区与显示区的相对位置关系,其中以3'表示显示区在玻璃基板上的虚拟投影,在该图中并没有示出柔性聚合物层。
实施例6
在本实施例中,提供一种柔性显示母板,所述柔性显示母板包括显示区和非显示区,所述非显示区包括玻璃基板(1)以及位于玻璃基板上的柔性聚合物层,所述显示区位于柔性聚合物层之上,并且在柔性聚合物层上具有多个显示区(每个显示区以AA表示),所述基板上背离显示区的一面的边缘区域设置吸收LLO激光区(4),其中,吸收LLO激光区的材料为UV胶,柔性聚合物层为聚酰亚胺膜层(PI膜),显示区形状为矩形。
图5以俯视图的方式显示出了玻璃基板上LLO激光区以条状分布,条状区域在玻璃基板上呈对称分布,条状区域与玻璃基板边缘距离5mm,条状的宽度5mm,并且在该图中为了表明LLO激光区与显示区的相对位置关系,其中以3'表示显示区在玻璃基板上的虚拟投影,在该图中并没有示出柔性聚合物层。
实施例7
在本实施例中,提供一种柔性显示母板,所述柔性显示母板包括显示区和非显示区,所述非显示区包括玻璃基板(1)以及位于玻璃基板上的柔性聚合物层,所述显示区位于柔性聚合物层之上,并且在柔性聚合物层上具有多个显示区(每个显示区以AA表示),所述基板上背离显示区的一面的边缘区域设置吸收LLO激光区(4),其中,吸收LLO激光区的材料为UV胶,柔性聚合物层为聚酰亚胺膜层(PI膜),显示区形状为矩形。
图6以俯视图的方式显示出了玻璃基板上LLO激光区以条状分布,条状区域在玻璃基板上呈对称分布,且为不连续分布,每个条状区域与玻璃基板边缘距离10mm,条状的宽度1cm,并且在该图中为了表明LLO激光区与显示区的相对位置关系,其中以3'表示显示区在玻璃基板上的虚拟投影,在该图中并没有示出柔性聚合物层。
实施例8
在本实施例中,提供一种柔性显示母板,所述柔性显示母板包括显示区和非显示区,所述非显示区包括玻璃基板以及位于玻璃基板上的柔性聚合物层,所述显示区位于柔性聚合物层之上,并且在柔性聚合物层上具有多个显示区(每个显示区以AA表示),所述基板上背离显示区的一面的边缘区域设置吸收LLO激光区,其中,吸收LLO激光区的材料为UV胶,柔性聚合物层为聚醚酰亚胺层,显示区形状为矩形。
玻璃基板上LLO激光区以条状分布,条状区域在玻璃基板上呈对称分布,条状区域与玻璃基板边缘距离20mm,条状的宽度8mm。
实施例9
利用激光分离技术对实施例1的柔性显示母板进行照射以将玻璃基板分离,其中所用LLO激光的波长为308nm,激光能量为200mJ/cm2,从实施例1的柔性显示母板背侧进行照射(即从玻璃基板背面照射),如图7所示,从而可以保证柔性聚合物层的碳化均匀,保证柔性聚合物层与玻璃基板充分分离,得到柔性AMOLED显示面板,可用于制备柔性显示器件。
实施例10
利用与实施例9相同的方式分别对实施例1-8的柔性显示母板进行照射以将玻璃基板分离,其中所用LLO激光的波长为308nm,激光能量为200mJ/cm2,从实施例1-8的柔性显示母板背侧进行照射(即从玻璃基板背面照射),同样可以保证柔性聚合物层的碳化均匀,保证柔性聚合物层与玻璃基板充分分离,得到柔性AMOLED显示面板,可用于制备柔性显示器件。
申请人声明,本发明通过上述实施例来说明本发明的柔性显示母板、柔性AMOLED显示面板及柔性显示器件,但本发明并不局限于上述实施例,即不意味着本发明必须依赖上述实施例才能实施。所属技术领域的技术人员应该明了,对本发明的任何改进,对本发明所选用原料的等效替换及辅助成分的添加、具体方式的选择等,均落在本发明的保护范围和公开范围之内。
Claims (10)
1.一种柔性显示母板,其特征在于,所述柔性显示母板包括显示区和非显示区,所述非显示区包括基板以及位于基板上的柔性聚合物层,所述显示区位于柔性聚合物层之上,所述基板上背离显示区的一面的边缘区域设置吸收LLO激光区。
2.根据权利要求1所述的柔性显示母板,其特征在于,所述吸收LLO激光区在距离基板边缘5~50mm;
优选地,所述吸收LLO激光区以点状分布或条状分布;
优选地,所述吸收LLO激光区在基板上成对称分布。
3.根据权利要求1或2所述的柔性显示母板,其特征在于,当所述吸收LLO激光区以点状分布时,每个点状区域面积100μm2~1cm2;
优选地,当所述吸收LLO激光区以条状分布时,条状的宽度10μm~1cm。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的柔性显示母板,其特征在于,所述吸收LLO激光区的材料为有机胶类材料、半导体膜材料、金属材料或碳材料中的任意一种或至少两种的组合;
优选地,所述吸收LLO激光区的材料为光敏胶、TiO2膜、ZnO凝胶膜、钛、铝、铬、石墨粉或炭黑粉中的任意一种或至少两种的组合;
优选地,所述光敏胶优选UV胶。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的柔性显示母板,其特征在于,所述显示区包括像素电路以及像素区域;
优选地,一个所述柔性显示母板上包括位于柔性聚合物层之上的至少两个显示区。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的柔性显示母板,其特征在于,所述显示区的形状为矩形、正方形、圆形或其他形状;
优选地,所述基板为玻璃基板;
优选地,所述柔性聚合物层为聚酰亚胺层、聚对苯二甲酸乙二醇酯层、聚萘二甲酸乙二酯层、聚碳酸酯层、聚醚砜层、聚丙烯酸酯层、聚醚酰亚胺层、聚酰胺层或聚醚醚酮层。
7.一种对如权利要求1-6中任一项所述的柔性显示母板进行基板分离的方法,其特征在于,所述方法为:利用LLO激光对所述柔性显示母板的基板背面进行照射,实现柔性聚合物层均匀碳化,进而实现柔性聚合物层与基板的分离。
8.根据权利要求7所述的方法,其特征在于,所述LLO激光波长在紫外区;
优选地,LLO激光波长为308nm。
9.一种柔性AMOLED显示面板,其特征在于,所述柔性AMOLED显示面板由如权利要求1-6中任一项所述的柔性显示母板分离去除基板得到。
10.一种柔性显示器件,其特征在于,所述柔性显示器件包括如权利要求9所述的柔性AMOLED显示面板。
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Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001345267A (ja) * | 2000-03-27 | 2001-12-14 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
JP2007335634A (ja) * | 2006-06-15 | 2007-12-27 | Kyodo Printing Co Ltd | シールド材及びその製造方法 |
JP2008147016A (ja) * | 2006-12-11 | 2008-06-26 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 蒸着薄膜のパターン形成方法およびそれを用いた有機elパネルの製造方法 |
JP2014048619A (ja) * | 2012-09-04 | 2014-03-17 | Panasonic Corp | フレキシブルデバイスの製造方法 |
CN203931396U (zh) * | 2014-06-30 | 2014-11-05 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种柔性显示面板母板 |
CN106409875A (zh) * | 2016-11-11 | 2017-02-15 | 上海天马微电子有限公司 | 一种显示面板、显示面板母板及其制作方法 |
CN107369761A (zh) * | 2017-08-10 | 2017-11-21 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种柔性显示面板及其基板pi层结构、制备方法 |
US20170373100A1 (en) * | 2015-05-26 | 2017-12-28 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Flexible display motherboard and manufacturing method of flexible display panel |
US20180190906A1 (en) * | 2015-07-03 | 2018-07-05 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Method for producing vapor deposition mask, vapor deposition mask preparation body, method for producing organic semiconductor element, method for producing organic el display, and vapor deposition mask |
CN208938971U (zh) * | 2018-08-30 | 2019-06-04 | 上海和辉光电有限公司 | 一种柔性显示母板、柔性amoled显示面板及柔性显示器件 |
-
2018
- 2018-08-30 CN CN201811006344.8A patent/CN110875356A/zh active Pending
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001345267A (ja) * | 2000-03-27 | 2001-12-14 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置の作製方法 |
JP2007335634A (ja) * | 2006-06-15 | 2007-12-27 | Kyodo Printing Co Ltd | シールド材及びその製造方法 |
JP2008147016A (ja) * | 2006-12-11 | 2008-06-26 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 蒸着薄膜のパターン形成方法およびそれを用いた有機elパネルの製造方法 |
JP2014048619A (ja) * | 2012-09-04 | 2014-03-17 | Panasonic Corp | フレキシブルデバイスの製造方法 |
CN203931396U (zh) * | 2014-06-30 | 2014-11-05 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种柔性显示面板母板 |
US20170373100A1 (en) * | 2015-05-26 | 2017-12-28 | Boe Technology Group Co., Ltd. | Flexible display motherboard and manufacturing method of flexible display panel |
US20180190906A1 (en) * | 2015-07-03 | 2018-07-05 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Method for producing vapor deposition mask, vapor deposition mask preparation body, method for producing organic semiconductor element, method for producing organic el display, and vapor deposition mask |
CN106409875A (zh) * | 2016-11-11 | 2017-02-15 | 上海天马微电子有限公司 | 一种显示面板、显示面板母板及其制作方法 |
CN107369761A (zh) * | 2017-08-10 | 2017-11-21 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种柔性显示面板及其基板pi层结构、制备方法 |
CN208938971U (zh) * | 2018-08-30 | 2019-06-04 | 上海和辉光电有限公司 | 一种柔性显示母板、柔性amoled显示面板及柔性显示器件 |
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