JP2015062171A5 - - Google Patents

Claims (16)

1. 基材上に素子を形成するための素子製造方法であって、
   前記基材と、前記基材上に設けられた複数の突起部と、を含む中間製品を準備する工程と、
   第１面および前記第１面の反対側にある第２面を有する蓋材を、前記第１面が前記中間製品の前記突起部側に向くように準備する工程と、
   前記蓋材の前記第２面に当接する封止機構を用いて前記蓋材の前記第１面の一部を前記中間製品の一部に押し付けて、前記中間製品の一部を前記蓋材の前記第１面に密着させる封止工程と、を備え、
   前記封止機構は、間隔を空けて並べられた一対の張架部材を有し、
   前記封止工程において、前記蓋材のうち前記一対の張架部材の間に張架されている部分が、前記中間製品の一部に密着しており、
   前記素子製造方法は、前記蓋材のうち前記一対の張架部材の間に張架されている部分に向けて光を照射する照射工程をさらに備え、
   前記照射工程において、光は、前記蓋材のうち前記一対の張架部材の間に張架されている部分を透過して前記中間製品に到達する、素子製造方法。
2. 前記封止機構の前記一対の張架部材は、一対のローラーを含み、
   前記封止工程において、前記蓋材のうち前記一対のローラーの間に張架されている部分が、前記中間製品の一部に密着している、請求項１に記載の素子製造方法。
3. 前記照射工程において、光は、前記一対のローラーの回転に対して固定されている光学系によって導かれて前記蓋材を透過して前記中間製品に到達する、請求項２に記載の素子製造方法。
4. 前記封止機構は、前記一対の張架部材と前記蓋材との間に設けられた中間フィルムをさらに有し、
   前記中間フィルムは、前記蓋材を構成する材料よりも高い弾性係数を有する材料から構成されている、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の素子製造方法。
5. 前記蓋材は、第１フィルムおよび第２フィルムと、前記第１フィルムと前記第２フィルムとの間に介在され、前記第１フィルムと前記第２フィルムとの間の空間を外部から封止する封止材と、を含み、
   前記第１フィルムと前記第２フィルムとの間の空間には気体が封入されており、
   前記封止工程は、大気圧よりも低い圧力を有する環境下で実施される、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の素子製造方法。
6. 前記素子は、前記基材と、前記基材上に設けられた複数の第１電極と、前記第１電極間に設けられた補助電極および前記突起部と、前記第１電極上に設けられた有機半導体層と、前記有機半導体層上および前記補助電極上に設けられた第２電極と、を含み、
   前記中間製品は、前記基材と、前記基材上に設けられた複数の前記第１電極と、前記第１電極間に設けられた前記補助電極および前記突起部と、前記第１電極上および前記補助電極上に設けられた前記有機半導体層と、を含み、
   前記蓋材のうち前記一対の張架部材の間に張架されている部分が前記中間製品の一部に密着している間に、前記補助電極上に設けられた前記有機半導体層が除去される、請求項１乃至５のいずれか一項に記載の素子製造方法。
7. 基材上に素子を形成するための素子製造方法であって、
   前記基材と、前記基材上に設けられた複数の突起部と、を含む中間製品を準備する工程と、
   第１面および前記第１面の反対側にある第２面を有する蓋材を、前記第１面が前記中間製品の前記突起部側に向くように準備する工程と、
   前記蓋材の前記第２面に当接する封止機構を用いて前記蓋材の前記第１面の一部を前記中間製品の一部に押し付けて、前記中間製品の一部を前記蓋材の前記第１面に密着させる封止工程と、を備え、
   前記封止機構は、間隔を空けて並べられた一対の張架部材を有し、
   前記封止工程において、前記蓋材のうち前記一対の張架部材の間に張架されている部分が、前記中間製品の一部に密着しており、
   前記素子製造方法は、前記蓋材のうち前記一対の張架部材の間に張架されている部分に向けて光を照射する照射工程をさらに備え、
   前記照射工程において、光は、前記中間製品の前記基材側から、前記一対の張架部材の間に張架されている前記蓋材に向けて照射される、素子製造方法。
8. 基材上に素子を形成するための素子製造方法であって、
   前記基材と、前記基材上に設けられた複数の突起部と、を含む中間製品を準備する工程と、
   第１面および前記第１面の反対側にある第２面を有する蓋材を、前記第１面が前記中間製品の前記突起部側に向くように準備する工程と、
   前記蓋材の前記第２面に当接する封止機構を用いて前記蓋材の前記第１面の一部を前記中間製品の一部に押し付けて、前記中間製品の一部を前記蓋材の前記第１面に密着させる封止工程と、を備え、
   前記封止機構は、間隔を空けて並べられた一対の張架部材を有し、
   前記封止工程において、前記蓋材のうち前記一対の張架部材の間に張架されている部分が、前記中間製品の一部に密着しており、
   前記封止機構は、前記一対の張架部材と前記蓋材との間に設けられた中間フィルムをさらに有し、
   前記中間フィルムは、前記蓋材を構成する材料よりも高い弾性係数を有する材料から構成されており、
   前記中間フィルムおよび前記蓋材は、分離されて別々に回収され得るよう構成されている、素子製造方法。
9. 基材上に素子を形成するための素子製造方法であって、
   前記基材と、前記基材上に設けられた複数の突起部と、を含む中間製品を準備する工程と、
   第１面および前記第１面の反対側にある第２面を有する蓋材を、前記第１面が前記中間製品の前記突起部側に向くように準備する工程と、
   前記蓋材の前記第２面に当接する封止機構を用いて前記蓋材の前記第１面の一部を前記中間製品の一部に押し付けて、前記中間製品の一部を前記蓋材の前記第１面に密着させる封止工程と、を備え、
   前記封止機構は、間隔を空けて並べられた一対の張架部材を有し、
   前記封止工程において、前記蓋材のうち前記一対の張架部材の間に張架されている部分が、前記中間製品の一部に密着しており、
   前記蓋材は、第１フィルムおよび第２フィルムと、前記第１フィルムと前記第２フィルムとの間に介在され、前記第１フィルムと前記第２フィルムとの間の空間を外部から封止する封止材と、を含み、
   前記第１フィルムと前記第２フィルムとの間の空間には気体が封入されており、
   前記封止工程は、大気圧よりも低い圧力を有する環境下で実施される、素子製造方法。
10. 基材上に素子を形成するための素子製造方法であって、
    前記基材と、前記基材上に設けられた複数の突起部と、を含む中間製品を準備する工程と、
    第１面および前記第１面の反対側にある第２面を有する蓋材を、前記第１面が前記中間製品の前記突起部側に向くように準備する工程と、
    前記蓋材の前記第２面に当接する封止機構を用いて前記蓋材の前記第１面の一部を前記中間製品の一部に押し付けて、前記中間製品の一部を前記蓋材の前記第１面に密着させる封止工程と、を備え、
    前記封止機構は、間隔を空けて並べられた一対の張架部材を有し、
    前記封止工程において、前記蓋材のうち前記一対の張架部材の間に張架されている部分が、前記中間製品の一部に密着しており、
    前記素子は、前記基材と、前記基材上に設けられた複数の第１電極と、前記第１電極間に設けられた補助電極および前記突起部と、前記第１電極上に設けられた有機半導体層と、前記有機半導体層上および前記補助電極上に設けられた第２電極と、を含み、
    前記中間製品は、前記基材と、前記基材上に設けられた複数の前記第１電極と、前記第１電極間に設けられた前記補助電極および前記突起部と、前記第１電極上および前記補助電極上に設けられた前記有機半導体層と、を含み、
    前記蓋材のうち前記一対の張架部材の間に張架されている部分が前記中間製品の一部に密着している間に、前記補助電極上に設けられた前記有機半導体層が除去される、素子製造方法。
11. 基材上に素子を形成するための素子製造装置であって、
    前記基材と、前記基材上に設けられた複数の突起部と、を含む中間製品を支持する支持機構と、
    第１面および前記第１面の反対側にある第２面を有する蓋材を、前記第１面が前記中間製品の前記突起部側に向くように供給する蓋材供給機構と、
    前記蓋材の前記第２面に当接することによって前記蓋材の前記第１面の一部を前記中間製品の一部に押し付けて、前記中間製品の一部を前記蓋材の前記第１面に密着させる封止機構と、を備え、
    前記封止機構は、一対の張架部材を有し、
    前記一対の張架部材は、前記蓋材のうち前記一対の張架部材の間に張架されている部分が前記中間製品の一部に密着するよう、間隔を空けて並べられており、
    前記素子製造装置は、前記蓋材のうち前記一対の張架部材の間に張架されている部分に向けて光を照射する照射機構をさらに備え、
    光は、前記蓋材のうち前記一対の張架部材の間に張架されている部分を透過して前記中間製品に到達する、素子製造装置。
12. 前記封止機構の前記一対の張架部材は、一対のローラーを含み、
    前記蓋材のうち前記一対のローラーの間に張架されている部分が、前記中間製品の一部に密着する、請求項１１に記載の素子製造装置。
13. 前記照射機構は、光が前記蓋材を透過して前記中間製品に到達するよう光を導く光学系を有し、
    前記光学系は、前記一対のローラーの回転に対して固定されている、請求項１２に記載の素子製造装置。
14. 前記封止機構は、前記一対の張架部材と前記蓋材との間に設けられた中間フィルムをさらに有し、
    前記中間フィルムは、前記蓋材を構成する材料よりも高い弾性係数を有する材料から構成されている、請求項１１乃至１３のいずれか一項に記載の素子製造装置。
15. 基材上に素子を形成するための素子製造装置であって、
    前記基材と、前記基材上に設けられた複数の突起部と、を含む中間製品を支持する支持機構と、
    第１面および前記第１面の反対側にある第２面を有する蓋材を、前記第１面が前記中間製品の前記突起部側に向くように供給する蓋材供給機構と、
    前記蓋材の前記第２面に当接することによって前記蓋材の前記第１面の一部を前記中間製品の一部に押し付けて、前記中間製品の一部を前記蓋材の前記第１面に密着させる封止機構と、を備え、
    前記封止機構は、一対の張架部材を有し、
    前記一対の張架部材は、前記蓋材のうち前記一対の張架部材の間に張架されている部分が前記中間製品の一部に密着するよう、間隔を空けて並べられており、
    前記素子製造装置は、前記蓋材のうち前記一対の張架部材の間に張架されている部分に向けて光を照射する照射機構をさらに備え、
    光は、前記中間製品の前記基材側から、前記一対の張架部材の間に張架されている前記蓋材に向けて照射される、素子製造装置。
16. 基材上に素子を形成するための素子製造装置であって、
    前記基材と、前記基材上に設けられた複数の突起部と、を含む中間製品を支持する支持機構と、
    第１面および前記第１面の反対側にある第２面を有する蓋材を、前記第１面が前記中間製品の前記突起部側に向くように供給する蓋材供給機構と、
    前記蓋材の前記第２面に当接することによって前記蓋材の前記第１面の一部を前記中間製品の一部に押し付けて、前記中間製品の一部を前記蓋材の前記第１面に密着させる封止機構と、を備え、
    前記封止機構は、一対の張架部材を有し、
    前記一対の張架部材は、前記蓋材のうち前記一対の張架部材の間に張架されている部分が前記中間製品の一部に密着するよう、間隔を空けて並べられており、
    前記封止機構は、前記一対の張架部材と前記蓋材との間に設けられた中間フィルムをさらに有し、
    前記中間フィルムは、前記蓋材を構成する材料よりも高い弾性係数を有する材料から構成されており、
    前記中間フィルムおよび前記蓋材は、分離されて別々に回収され得るよう構成されている、素子製造装置。