JP2015034748A5 - 熱式質量流量計、質量流量制御装置、及び熱式質量流量計の製造方法 - Google Patents

Claims (11)

1. 流体が内部を流動するセンサチューブと、
   前記センサチューブの外周に設けられた発熱抵抗線でなる上流側ヒータエレメント及び下流側ヒータエレメントと、
   前記発熱抵抗線の端部がスポット溶接により電気的に接続された複数の溶接端子と、
   を有する熱式質量流量計であって、
   前記溶接端子は、前記発熱抵抗線の融点との温度差が１００℃を超えない融点を有する金属又は合金でなり、かつ、
   前記溶接端子の表面に１層又は２層以上の被覆層が設けられている
   ことを特徴とする熱式質量流量計。
2. 前記端部は、前記溶接端子の一部分に接続されてあり、
   前記被覆層は、少なくとも、前記一部分の裏側に位置する部分に設けられていること
   を特徴とする請求項１に記載の熱式質量流量計。
3. 前記発熱抵抗線及び前記溶接端子の材料が、同一成分からなる合金であること
   を特徴とする請求項１又は２に記載の熱式質量流量計。
4. 前記発熱抵抗線が５μｍ以上、１００μｍ以下の線径を有するＦｅ−Ｎｉ合金線でなる
   ことを特徴とする請求項１又は２に記載の熱式質量流量計。
5. 前記溶接端子がＦｅ−Ｎｉ合金でなる
   ことを特徴とする請求項４に記載の熱式質量流量計。
6. 前記被覆層のうち最も外側に位置する被覆層がＣｕ又はＡｕでなる
   ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載の熱式質量流量計。
7. 前記被覆層がＮｉで構成された下地被覆層とＡｕで構成された表面被覆層の二層で構成されている
   ことを特徴とする請求項６に記載の熱式質量流量計。
8. 請求項１乃至７に記載の熱式質量流量計を有する
   ことを特徴とする質量流量制御装置。
9. 流体が内部を流動するセンサチューブと、５μｍ以上、１００μｍ以下の線径を有する発熱抵抗線と、前記発熱抵抗線の融点との温度差が１００℃を超えない融点を有する金属又は合金でなる板状の溶接端子とを有する熱式質量流量計を製造する方法であって、
   前記溶接端子の表面には被覆層を設けてあり、
   前記発熱抵抗線を前記センサチューブの外周の２か所に巻いて、上流側ヒータエレメント及び下流側ヒータエレメントをそれぞれ形成し、
   前記溶接端子をスポット溶接機にセットし、
   前記上流側ヒータエレメント又は前記下流側ヒータエレメントを構成する発熱抵抗線の端部を前記溶接端子の表面にセットし、
   前記スポット溶接機が備える二つの電極の間に前記溶接端子及び前記発熱抵抗線の端部を挟み込み、
   前記二つの電極の間に加圧力を加えながら電極間に通電を行うことによって、スポット溶接を行うこと
   を特徴とする熱式質量流量計の製造方法。
10. 前記電極がタングステンでなること
    を特徴とする請求項９に記載の熱式質量流量計の製造方法。
11. 前記発熱抵抗線がＦｅ−Ｎｉ合金線でなり、
    前記溶接端子がＦｅ−Ｎｉ合金でなり、
    前記被覆層がＮｉで構成された下地被覆層とＡｕで構成された表面被覆層との二層で構成されていること
    を特徴とする請求項９又は１０に記載の熱式質量流量計の製造方法。