JP2015032639A - 先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物、電子部品装置及び電子部品装置の製造方法 - Google Patents
先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物、電子部品装置及び電子部品装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015032639A JP2015032639A JP2013159869A JP2013159869A JP2015032639A JP 2015032639 A JP2015032639 A JP 2015032639A JP 2013159869 A JP2013159869 A JP 2013159869A JP 2013159869 A JP2013159869 A JP 2013159869A JP 2015032639 A JP2015032639 A JP 2015032639A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic component
- composition
- underfill composition
- meth
- acrylate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 0 C=CCCC1C(C2C(N3*N(C(C4C5C6C(CC=C)=CC4C6)=O)C5=O)=O)C=CC1C2C3=O Chemical compound C=CCCC1C(C2C(N3*N(C(C4C5C6C(CC=C)=CC4C6)=O)C5=O)=O)C=CC1C2C3=O 0.000 description 2
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/10—Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/15—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
- H01L2224/16—Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
- H01L2224/161—Disposition
- H01L2224/16151—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/16221—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/16225—Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/26—Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/31—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
- H01L2224/32—Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
- H01L2224/321—Disposition
- H01L2224/32151—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
- H01L2224/32221—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
- H01L2224/32225—Disposition the layer connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/73—Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73201—Location after the connecting process on the same surface
- H01L2224/73203—Bump and layer connectors
- H01L2224/73204—Bump and layer connectors the bump connector being embedded into the layer connector
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/80—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected
- H01L2224/83—Methods for connecting semiconductor or other solid state bodies using means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected using a layer connector
- H01L2224/8319—Arrangement of the layer connectors prior to mounting
- H01L2224/83192—Arrangement of the layer connectors prior to mounting wherein the layer connectors are disposed only on another item or body to be connected to the semiconductor or solid-state body
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
- Polymerisation Methods In General (AREA)
- Addition Polymer Or Copolymer, Post-Treatments, Or Chemical Modifications (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
Description
封止材の反応機構を従来のエポキシ開環反応からラジカル重合反応に変更することは、封止材の硬化反応の速度を向上するためには有効な手段である。しかし、ラジカル重合反応はエポキシ開環反応に比較して硬化収縮の程度が大きく、硬化物中に大きな内部応力を発生させることがある。硬化物中の内部応力は硬化物の接着力を悪化させる原因ともなりうる。
本発明は、上記従来の問題点に鑑みてなされたものであり、硬化反応の速度が速く、硬化収縮の生じにくい先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物並びにそれを用いた電子部品装置及びその製造方法を提供することを目的とする。
<1> イミド構造と炭素炭素二重結合とを含む構造単位の少なくとも2つと前記構造単位を連結する有機基とを有するイミド化合物と、(メタ)アクリレート化合物と、ラジカル重合開始剤と、を含有する先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物。
<2> 前記イミド化合物が、下記構造式(I)及び下記構造式(V)からなる群より選択される少なくとも一種を含む<1>に記載の先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物。
<4> 前記(メタ)アクリレート化合物が、一分子中に少なくとも2個の(メタ)アクリロイル基を含む多官能(メタ)アクリレート化合物の少なくとも一種と、一分子中に1個の(メタ)アクリロイル基を含む単官能(メタ)アクリレート化合物の少なくとも一種とを含む<1>〜<3>のいずれか1項に記載の先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物。
<5> 揺変付与剤を更に含有する<1>〜<4>のいずれか1項に記載の先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物。
<6> フラックス剤を更に含有する<1>〜<5>のいずれか1項に記載の先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物。
<7> 前記フラックス剤が、有機酸又は有機酸塩を含む<6>に記載の先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物。
<8> 無機充填剤を更に含有する<1>〜<7>のいずれか1項に記載の先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物。
<9> 素子と、
前記素子を封止する<1>〜<8>のいずれか1項に記載の先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物の硬化物と、
を有する電子部品装置。
<10> 電子部品と配線基板とを金属バンプを介して接続することで電子部品装置を製造する電子部品装置の製造方法であって、
前記電子部品の前記配線基板と対向する側の面及び前記配線基板の前記電子部品と対向する側の面の少なくとも一方に<1>〜<8>のいずれか1項に記載の先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物を付着させる付着工程と、
前記電子部品と前記配線基板とを前記金属バンプを介して加圧しながら対向させることで、前記電子部品と前記配線基板との間隙に前記先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物を充填させ、かつ、前記電子部品と前記配線基板とを前記金属バンプを介して接触させる加圧工程と、
前記加圧工程中及び前記加圧工程後の少なくとも一方で、前記電子部品と前記配線基板とを前記金属バンプを介して加圧して接触する状態で熱処理して前記電子部品と前記配線基板とを前記金属バンプを介して接続させ、かつ、前記先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物を硬化する熱処理工程と
を有する電子部品装置の製造方法。
なお、本明細書において「〜」を用いて示された数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値をそれぞれ最小値及び最大値として含む範囲を示す。
また、本発明において、組成物中の各成分の量は、組成物中に各成分に該当する物質が複数存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数の物質の合計量を意味する。
さらに、本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の目的が達成されれば、本用語に含まれる。
本発明の先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物(以下、「本発明の組成物」と称することがある)は、イミド構造と炭素炭素二重結合とを含む構造単位の少なくとも2つと前記構造単位を連結する有機基とを有するイミド化合物(以下、「特定のイミド化合物」と称することがある)と、(メタ)アクリレート化合物と、ラジカル重合開始剤と、を含有する。
本発明の組成物は、硬化反応の速度が速く、硬化収縮が生じにくい。その理由は明確ではないが、以下のように推察される。
ラジカル重合反応はエポキシ開環反応に比較して反応速度が速い。そのため、本発明の組成物はエポキシ樹脂及びエポキシ樹脂硬化剤を含有する従来の封止材に比較して、硬化速度が速いと推察される。
また、本発明の組成物に含有される特定のイミド化合物は、イミド構造と炭素炭素二重結合とを含む構造単位の少なくとも2つと、前記構造単位を連結する有機基とを有するものである。特定のイミド化合物は、少なくとも2つの構造単位を結びつける有機基を分子中に含有する。当該有機基の存在が特定のイミド化合物に柔軟性を付与する。すなわち、前記有機基が、一般に剛直とされるイミド構造を含有する化合物に対して緩和作用を発現し、柔軟性を付与する。そのため、特定のイミド化合物を含む化合物の硬化物は柔軟性を有する。硬化物が柔軟性を有することから、硬化物の硬化収縮の程度が緩和されると推察される。
本明細書において「室温」とは、25℃を意味する。本明細書において「室温で液体」とは、25℃で流動性を示す状態であることを意味する。さらに本明細書において「液体」とは流動性と粘性を示し、かつ粘性を示す尺度である粘度が25℃において0.0001Pa・s〜1000Pa・sである物質を意味する。本明細書において「粘度」とは、25℃に保たれた組成物について、レオメーターを用いて5.0s−1のせん断速度で測定したときの値と定義する。詳細には、「粘度」は、せん断粘度として、コーンプレート(直径40mm、コーン角0°)を装着した回転式のせん断粘度計を用いて、温度25℃で測定される。
本発明に用いられる特定のイミド化合物は、一分子中にイミド構造と炭素炭素二重結合とを含む構造単位の少なくとも2つと、前記構造単位を連結する有機基とを有する化合物であれば特に限定されるものではない。本発明に用いられる特定のイミド化合物としては、ビスアリルナジイミド化合物、ビスマレイミド化合物等が挙げられる。
本発明において、特定のイミド化合物としては、1種単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
本発明の組成物に用いられる特定のイミド化合物としては、下記構造式(I)及び下記構造式(V)からなる群より選択される少なくとも一種を含むことが好ましい。
構造式(Ie)において、R6は直鎖状、分岐鎖状又は環状アルキレン基を表す。
R6が直鎖状アルキレン基である場合の該アルキレン基の好ましい炭素数は5〜50であり、10〜45がより好ましく、15〜40が更に好ましい。
本発明の組成物に含有される(メタ)アクリレート化合物は、特に限定されるものではなく、従来から公知の(メタ)アクリレート化合物を用いることができる。
本発明においては、(メタ)アクリレート化合物を1種単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。2種以上の(メタ)アクリレート化合物を併用する場合の(メタ)アクリレート化合物の組合せについては特に限定はないが、一分子中に少なくとも2個の(メタ)アクリロイル基を含む多官能(メタ)アクリレート化合物の少なくとも一種と、一分子中に1個の(メタ)アクリロイル基を含む単官能(メタ)アクリレート化合物の少なくとも一種とを併用することが好ましい。
ここで、(メタ)アクリレート化合物とは、アクリレート化合物又はメタクリレート化合物を意味し、(メタ)アクリロイル基とは、アクリロイル基又はメタクリロイル基を意味する。
例えば、ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、1,4−ブタンジオールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、ポリエチレングリコールジアクリレート、ポリプロピレングリコールジアクリレート、トリシクロデカンジメチロールジアクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、トリス(β−ヒドロキシエチル)イソシアヌレートのトリアクリレート、ジエチレングリコールジメタクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパンジメタクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、1,4−ブタンジオールジメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、ポリエチレングリコールジメタクリレート、ポリプロピレングリコールジメタクリレート、トリシクロデカンジメチロールジメタクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラメタクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート及びトリス(β−ヒドロキシエチル)イソシアヌレートのトリメタクリレートが挙げられる。
中でも、良好な熱時流動性を付与できる観点から、下記構造式(IV)で示される2官能(メタ)アクリレート化合物を用いることが好ましく、下記構造式(IV)で示される液体の2官能(メタ)アクリレート化合物を用いることがより好ましい。
本発明の組成物は、特定のイミド化合物及び(メタ)アクリレート化合物以外のその他のラジカル重合成分を含有してもよい。その他のラジカル重合成分としては、酸化還元反応(レドックス反応)成分、エマルション重合成分等が挙げられる。
本発明の組成物中に含有される全ラジカル重合成分(つまり、特定のイミド化合物、(メタ)アクリレート化合物及びその他のラジカル重合成分)の合計量に占めるその他のラジカル重合成分の含有率は、10質量%以下であることが好ましく、5質量%以下であることがより好ましく、1質量%以下であることが更に好ましく、実質的にその他のラジカル重合成分は含有されていないことが好ましい。
本発明の組成物に含有されるラジカル重合開始剤は、特に限定されるものではなく、従来から公知のラジカル重合開始剤を用いることができる。
ラジカル重合開始剤としては、後述する有機過酸化物、アゾビスイソブチロニトリル、アゾビス−4−メトキシ−2,4−ジメチルバレリニトリル、アゾビスシクロヘキサノン−1−カルボニトリル、アゾジベンゾイル等のアゾ化合物、過硫酸カリウム、過硫酸アンモニウム等の水溶性触媒と過酸化物の組み合わせ又は過硫酸塩と還元剤の組み合わせによるレドックス触媒等が挙げられる。中でも保存安定性の観点から、ラジカル重合開始剤として有機過酸化物を少なくとも一種含むことが好ましい。
これらの中でも、硬化性と保存安定性の観点から、2,5−ジメチル−2,5−ジ(t−ブチルパーオキシ)ヘキサン、t−ブチルパーオキシ2−エチルヘキサノネート等が好ましく、2,5−ジメチル−2,5−ジ(t−ブチルパーオキシ)ヘキサン又はt−ブチルパーオキシ2−エチルヘキサノネートがより好ましい。
ラジカル重合開始剤は、1種単独で使用してもよいし2種以上の併用も可能である。
10時間半減期の場合、濃度が半分になるτ(時間因子)が50%になる絶対温度を計算によって求めることができる。濃度の測定は、ヨード滴定法を用いて行う。
本発明の組成物は、揺変付与剤を含有してもよい。
本発明で用いられる揺変付与剤は、電子部品用有機樹脂組成物に一般的に使用されている揺変付与剤であれば特に制限されるものではない。例えば、ひまし油に水素を添加することにより得られる水素添加ひまし油化合物、ポリエチレンを酸化処理し極性基を導入することにより得られる酸化ポリエチレン化合物、植物油脂肪酸とアミンより合成されるアマイドワックス化合物、長鎖ポリアミノアマイドと酸ポリマーの塩、不飽和ポリカルボン酸ポリマー、微粉末シリカ及び破砕シリカが挙げられる。
長鎖ポリアミノアマイドと酸ポリマーの塩としては、例えば、ANTI−TERRA−U100(ビックケミー・ジャパン(株)商品名)が市販品として入手可能であり、不飽和ポリカルボン酸ポリマーとしては、例えば、BYK−P105(ビックケミー・ジャパン(株)商品名)が市販品として入手可能である。
本発明の組成物は、フラックス剤を含有してもよい。
本発明の組成物にフラックス機能を付与するために、必要に応じてフラックス剤を使用することができる。本発明において使用可能なフラックス剤は、従来から用いられてきたハロゲン化水素酸アミン塩等を用いることができる。本発明において好ましいフラックス剤としては、電気特性の観点から、ヒドロキシ安息香酸等のフェノール性水酸基とカルボキシル基を有する化合物、トリメリット酸等のカルボキシ基を含む酸無水物、アビチエン酸、アジピン酸、アスコルビン酸、クエン酸、2−フランカルボン酸、リンゴ酸等の有機酸、1分子にアルコール性水酸基を2個以上含有する化合物、金属スルホン酸塩、金属カルボニル酸塩等の有機酸塩、キノリノール誘導体などが挙げられる。
より好ましくは、有機酸又は有機酸塩が挙げられる。
本発明の組成物は、無機充填剤を含有してもよい。
本発明において使用可能な無機充填剤は、電子部品用有機樹脂組成物に一般的に使用されている無機充填剤であれば特に制限されるものではない。例えば、球形シリカ、結晶シリカ等のシリカ、炭酸カルシウム、クレー、酸化アルミナ等のアルミナ、窒化珪素、炭化珪素、窒化ホウ素、珪酸カルシウム、チタン酸カリウム、窒化アルミニウム、ベリリア、ジルコニア、ジルコン、フォステライト、ステアタイト、スピネル、ムライト、チタニア、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、硼酸亜鉛、モリブデン酸亜鉛等の粉体、これらを球形化したビーズ、又は、ガラス繊維が挙げられる。これらの無機充填剤は1種単独で用いても2種類以上を組み合わせて用いてもよい。なかでもシリカが好ましく、微細間隙への流動性及び浸透性の観点からは球形シリカがより好ましい。また、これらの無機充填剤は、必要に応じて表面をカップリング剤処理したものを用いてもよい。
カップリング剤の具体例としては、γ−アニリノプロピルトリメトキシシラン等の1級アミノ基、2級アミノ基及び3級アミノ基からなる群より選択される少なくとも一種のアミノ基を有するアミノシラン、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン等のエポキシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等のメルカプトシラン、メチルトリメトキシシラン等のアルキルシラン、γ−イソシアネートプロピルトリメトキシシラン等のイソシアネートシラン、3−ウレイドプロピルトリエトキシシラン等のウレイドシラン、ビニルトリメトキシシラン等のビニルシランなどの各種シラン化合物、イソプロピルトリイソステアロイルチタネート等のチタン系化合物などが挙げられる。
本発明の組成物は、耐湿性及び高温放置特性をより向上させる観点から必要に応じてイオントラップ剤を使用することができる。本発明において使用可能なイオントラップ剤は、電子部品用有機樹脂組成物に一般的に使用されているイオントラップ剤であれば特に制限されるものではなく、例えば、下記一般式(II−1)又は(II−2)で表される化合物が挙げられる。
(式(II−1)中、xは0<x≦0.5であり、mは正数である。)
BiOx(OH)y(NO3)z (II−2)
(式(II−2)中、xは0.9≦x≦1.1、yは0.6≦y≦0.8、zは0.2≦z≦0.4である。)
本発明のイオントラップ剤の平均粒子径及び最大粒子径は、前記無機充填剤と同様の方法を用いて測定される。
本発明の有機樹脂組成物は、フィレット性をより向上させる観点から必要に応じて界面活性剤を使用することができる。
本発明において使用可能な界面活性剤は、電子部品用有機樹脂組成物に一般的に使用されている非イオン性の界面活性剤であれば特に制限されるものではない。非イオン性の界面活性剤としては、ポリオキシエチレンアルキルエーテル等のポリオキシアルキレンアルキルエーテル界面活性剤、ソルビタン脂肪酸エステル界面活性剤、ポリオキシエチレンソルビタン脂肪酸エステル界面活性剤、ポリオキシエチレンソルビトール脂肪酸エステル界面活性剤、グリセリン脂肪酸エステル界面活性剤、ポリオキシエチレン脂肪酸エステル界面活性剤、ポリオキシエチレンアルキルアミン界面活性剤、アルキルアルカノールアミド界面活性剤、ポリエーテル変性シリコーン界面活性剤、アラルキル変性シリコーン界面活性剤、ポリエステル変性シリコーン界面活性剤、ポリアクリル界面活性剤等が挙げられる。中でもポリエーテル変性シリコーン界面活性剤及びアラルキル変性シリコーン界面活性剤が、本発明の組成物の表面張力の低減により優れる傾向がある。
これらの界面活性剤は、市販品としてBYK−307、BYK−333、BYK−377、BYK−323(ビックケミー・ジャパン(株)、商品名)等が入手可能である。
本発明における組成物の揺変指数は、25℃に保たれた組成物について、レオメーターを用いて粘度を測定したときの(0.5s−1のせん断速度での粘度)/(5.0s−1のせん断速度での粘度)の値とした。詳細には、「揺変指数」は、せん断粘度として、コーンプレート(直径40mm、コーン角0°)を装着した回転式のせん断粘度計を用いて、温度25℃で測定される。
本発明の組成物は、上記各種成分を分散し混合できるのであれば、いかなる手法を用いても調製できる。一般的な手法として、成分を秤量し、らいかい機、ミキシングロール、プラネタリミキサ等を用いて混合及び混練し、必要に応じて脱泡することによって本発明の組成物を得ることができる。
本発明の電子部品装置は、素子と、前記素子を封止する本発明の組成物の硬化物と、を有するものである。ここで、「素子を封止する」とは、少なくとも素子の接続部を封止することを意味する。
本発明の組成物を用いて得られる電子部品装置としては、リードフレーム、配線済みのテープキャリア、リジッド及びフレキシブル配線板、ガラス、シリコンウエハ等の支持部材(配線基板)に、半導体チップ、トランジスタ、ダイオード、サイリスタ等の能動素子、コンデンサ、抵抗体、抵抗アレイ、コイル、スイッチ等の受動素子などの電子部品を搭載し、必要な部分を本発明の組成物で封止して得られる電子部品装置などが挙げられる。
特にリジッド若しくはフレキシブル配線板又はガラス上に形成した配線に半導体素子をバンプ接続によるフリップチップボンディングした半導体装置が対象となる。具体的な例としてはフリップチップBGA、LGA(Land Grid Array)、COF(Chip On Film)等の半導体装置が挙げられ、本発明の組成物は信頼性に優れたフリップチップ用のアンダーフィル材として好適である。
本発明の先塗布法式による電子部品装置の製造方法は、電子部品と配線基板とを金属バンプを介して接続することで電子部品装置を製造するものであって、前記電子部品の前記配線基板と対向する側の面及び前記配線基板の前記電子部品と対向する側の面の少なくとも一方に本発明の組成物を付着させる付着工程と、前記電子部品と前記配線基板とを前記金属バンプを介して加圧しながら対向させることで、前記電子部品と前記配線基板との間隙に本発明の組成物を充填させ、かつ、前記電子部品と前記配線基板とを前記金属バンプを介して接触させる加圧工程と、前記加圧工程中及び前記加圧工程後の少なくとも一方で、前記電子部品と前記配線基板とを前記金属バンプを介して加圧して接触する状態で熱処理して前記前記電子部品と前記配線基板とを前記金属バンプを介して接続させ、かつ、本発明の組成物を硬化する熱処理工程とを有していてもよい。
図1は、先塗布方式による電子部品装置の製造方法の工程説明図である。
図1において、1は半導体チップ(電子部品)、2ははんだバンプ、3は接続パッド、4はソルダーレジスト、5は配線基板、6は封止材(本発明の組成物)である。
半導体チップ1と配線基板5との間隙に封止材6を充填させる際の加圧条件としては、1つのバンプあたりの加重量が0.001N〜100Nが好ましく、0.005〜50Nがより好ましく、0.01N〜10Nが更に好ましい。
また、半導体チップ1と配線基板5の接続パッド3とをはんだバンプ2を介して接触させる際の加圧条件としては、1つのバンプあたりの加重量が0.002N〜200Nが好ましく、0.01N〜100Nがより好ましく、0.02N〜20Nが更に好ましい。この加圧条件下において、後述の熱処理工程での半導体チップ1と配線基板5の接続パッド3とのはんだバンプ2を介した接続を実施してもよい。
加熱条件としては、150℃〜300℃が好ましく、220℃〜280℃がより好ましく、240℃〜260℃が更に好ましい。この際に、封止材6が硬化する。
さらに、必要に応じて封止材6の硬化を充分なものとするため、120℃〜200℃の範囲で0.5時間〜6時間加熱してもよい。
以上の工程を経ることで、本発明の電子部品装置が製造される。
実施例及び比較例に使用した成分は以下の通りである。
(A)ビスアリルナジイミド化合物:BANI−M(丸善石油化学(株)、(4,4’−ジフェニルメタンビスアリルナジイミド))
(B)ビスマレイミド化合物:BMI−1500(エア・ブラウン(株)、(下記構造式で表される化合物))
(D)メタクリレート化合物:FA−512M(日立化成(株)、ジシクロペンテニルオキシエチルメタクリレート)
(E)無機充填剤
無機充填剤:平均粒子径0.5μm、最大粒子径5μmの溶融シリカ(アドマテックス(株)、商品名「SE2050−SEJ」)
(F)揺変付与剤
揺変付与剤:平均粒子径が12nmで、アルキルシランで表面処理をした微粉末シリカ(日本アエロジル(株)、商品名「R−805」)
(G)ラジカル重合開始剤
ラジカル重合開始剤1:カヤヘキサAD(化薬アクゾ(株)、2,5−ジメチル−2,5−ジ(t−ブチルパ−オキシ)ヘキサン、10時間半減期温度:118℃)
(H)フラックス剤
フラックス剤:アジピン酸(旭化成ケミカルズ(株)、アジピン酸)
レオメーター(ティー・エイ・インスツルメント・ジャパン(株)商品名AR2000)を用い、25℃に保たれた組成物について、せん断速度が5.0s−1で測定したときの値を粘度とした。また、25℃に保たれた組成物について、せん断速度が0.5s−1で測定したときの粘度とせん断速度が5.0s−1で測定したときの粘度の比(せん断速度が0.5s−1で測定したときの粘度)/(せん断速度が5.0s−1で測定したときの粘度)をチクソ性とした。
配線基板(サイズ:14mm×14mm×0.30mm、コア層:E−679FG(日立化成(株)商品名)、ソルダーレジスト:AUS−308(太陽ホールディングス(株)商品名)、基板メッキ:Ni(5.0μm)+Pd(0.30μm)+Au(0.35μm)のチップ搭載部に、ディスペンサーを用いて、組成物を約3mg塗布した。80℃に加熱したステージ上に組成物を塗布した配線基板を置き、チップ(サイズ:7.3mm×7.3mm×0.15mm、バンプ:銅(高さ30μm)+はんだ(材質:SnAg、高さ:15μm)、バンプピッチ:80μm、バンプ数:328)を搭載し、加重:7.5N、温度/時間:260℃/5秒の条件で熱圧着を行い、その後、165℃、1時間の条件で硬化することで半導体装置を得た。
それぞれの組成物について、上記の方法にて半導体装置を作製し、配線及び接続部の断線有無を導通試験によって確認を行い、(不良パッケージ数)/(評価パッケージ数)を接続性とした。
上記方法にて作製した半導体装置を、超音波探傷装置AT−5500(日立建機(株))を用いて観察を行い、ボイドの有無をA(ボイド面積が全面積の1%以下)、B(ボイド面積が全面積の1%を超え5%以下)、C(ボイド面積が全面積の5%を超え20%以下)、D(ボイド面積が全面積の20%を超える)の4段階にて区分けし、ボイド性とした。
上記方法にて作製した半導体装置を、120℃/12時間加熱乾燥した後、30℃、70%RHの条件下に192時間放置し、遠赤外線加熱方式のリフロー炉(予熱150℃〜180℃で50秒、ピーク温度260℃、250℃以上の加熱時間40秒)中を3回通した。その後、超音波探傷装置を用いて観察を行った。組成物の硬化物とチップ及び基板との剥離、組成物の硬化物のクラックの有無を確認し、(不良パッケージ数)/(評価パッケージ数)を耐リフロー性とした。
また、組成物の硬化収縮が生じにくい場合、耐リフロー性に優れる評価結果が得られる。その理由は、硬化収縮の低減により硬化物内部の残留応力が緩和され接着強度が増すためである。
実施例の評価結果から明らかなように、本発明の組成物を用いて形成された半導体装置は、接続性及び耐リフロー性に優れる。このことから、本発明の組成物は硬化反応の速度が速く、硬化収縮の生じにくいことがわかる。
一方、比較例の組成物では、半導体装置の作製においてディスペンスノズルから組成物を吐出することができず、先塗布型アンダーフィル型封止材として不適切であった。
2 はんだバンプ
3 接続パッド
4 ソルダレジスト
5 配線基板
6 封止材
Claims (10)
- イミド構造と炭素炭素二重結合とを含む構造単位の少なくとも2つと前記構造単位を連結する有機基とを有するイミド化合物と、(メタ)アクリレート化合物と、ラジカル重合開始剤と、を含有する先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物。
- 前記イミド化合物が、下記構造式(I)及び下記構造式(V)からなる群より選択される少なくとも一種を含む請求項1に記載の先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物。
(上記構造式において、R1及びR5は、各々独立に、芳香族炭化水素構造又は直鎖状、分岐鎖状若しくは環状脂肪族炭化水素構造を含む2価の有機基を表す。) - 前記ラジカル重合開始剤が、有機過酸化物を少なくとも一種含む請求項1又は請求項2に記載の先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物。
- 前記(メタ)アクリレート化合物が、一分子中に少なくとも2個の(メタ)アクリロイル基を含む多官能(メタ)アクリレート化合物の少なくとも一種と、一分子中に1個の(メタ)アクリロイル基を含む単官能(メタ)アクリレート化合物の少なくとも一種とを含む請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物。
- 揺変付与剤を更に含有する請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物。
- フラックス剤を更に含有する請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物。
- 前記フラックス剤が、有機酸又は有機酸塩を含む請求項6に記載の先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物。
- 無機充填剤を更に含有する請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載の先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物。
- 素子と、
前記素子を封止する請求項1〜請求項8のいずれか1項に記載の先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物の硬化物と、
を有する電子部品装置。 - 電子部品と配線基板とを金属バンプを介して接続することで電子部品装置を製造する電子部品装置の製造方法であって、
前記電子部品の前記配線基板と対向する側の面及び前記配線基板の前記電子部品と対向する側の面の少なくとも一方に請求項1〜請求項8のいずれか1項に記載の先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物を付着させる付着工程と、
前記電子部品と前記配線基板とを前記金属バンプを介して加圧しながら対向させることで、前記電子部品と前記配線基板との間隙に前記先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物を充填させ、かつ、前記電子部品と前記配線基板とを前記金属バンプを介して接触させる加圧工程と、
前記加圧工程中及び前記加圧工程後の少なくとも一方で、前記電子部品と前記配線基板とを前記金属バンプを介して加圧して接触する状態で熱処理して前記電子部品と前記配線基板とを前記金属バンプを介して接続させ、かつ、前記先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物を硬化する熱処理工程と
を有する電子部品装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013159869A JP2015032639A (ja) | 2013-07-31 | 2013-07-31 | 先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物、電子部品装置及び電子部品装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013159869A JP2015032639A (ja) | 2013-07-31 | 2013-07-31 | 先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物、電子部品装置及び電子部品装置の製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017097711A Division JP2017143310A (ja) | 2017-05-16 | 2017-05-16 | 先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物、電子部品装置及び電子部品装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015032639A true JP2015032639A (ja) | 2015-02-16 |
Family
ID=52517748
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013159869A Pending JP2015032639A (ja) | 2013-07-31 | 2013-07-31 | 先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物、電子部品装置及び電子部品装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015032639A (ja) |
Cited By (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016114286A1 (ja) * | 2015-01-13 | 2016-07-21 | 日立化成株式会社 | 樹脂組成物、樹脂層付き支持体、プリプレグ、積層板、多層プリント配線板及びミリ波レーダー用プリント配線板 |
JP2016156018A (ja) * | 2015-02-25 | 2016-09-01 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 封止用アクリル樹脂組成物、半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2016169337A (ja) * | 2015-03-13 | 2016-09-23 | ナミックス株式会社 | 樹脂組成物及びそれを用いた接着剤 |
JP2016204645A (ja) * | 2015-04-15 | 2016-12-08 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 封止用熱硬化性樹脂組成物、半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
WO2017006898A1 (ja) * | 2015-07-06 | 2017-01-12 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 樹脂組成物、プリプレグ、レジンシート、金属箔張積層板及びプリント配線板 |
JP2017014454A (ja) * | 2015-07-06 | 2017-01-19 | 日立化成株式会社 | 先供給型アンダーフィル材、その硬化物、それを用いた電子部品装置及びその製造方法 |
WO2017017923A1 (ja) * | 2015-07-24 | 2017-02-02 | タツタ電線株式会社 | 樹脂付き銅箔、及びプリント配線板 |
JP2017117864A (ja) * | 2015-12-22 | 2017-06-29 | 日立化成株式会社 | 先供給型アンダーフィル材及びその硬化物、並びに電子部品装置及びその製造方法 |
JP2017179312A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 株式会社タムラ製作所 | 接合補強用組成物および接合補強部の製造方法 |
JP2017177210A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 株式会社タムラ製作所 | フラックス組成物、はんだ組成物および電子回路基板 |
JP6232633B1 (ja) * | 2017-03-03 | 2017-11-22 | 山栄化学株式会社 | 部品の実装方法 |
JP2017206620A (ja) * | 2016-05-18 | 2017-11-24 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 封止用アクリル樹脂組成物、半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2018012248A (ja) * | 2016-07-20 | 2018-01-25 | 日立化成株式会社 | 積層体、金属張積層体及びプリント配線板 |
JPWO2016158829A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2018-01-25 | ナミックス株式会社 | 樹脂組成物、導電性樹脂組成物、接着剤、導電性接着剤、電極形成用ペースト、半導体装置 |
WO2018124164A1 (ja) * | 2016-12-28 | 2018-07-05 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 樹脂組成物、プリプレグ、積層板、金属箔張積層板、プリント配線板、及び多層プリント配線板 |
JP2018148198A (ja) * | 2017-09-29 | 2018-09-20 | 山栄化学株式会社 | 活性樹脂組成物及びクリーム半田、並びにプリント配線板 |
WO2019188185A1 (ja) * | 2018-03-28 | 2019-10-03 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 樹脂組成物、並びに、それを用いたプリプレグ、樹脂付きフィルム、樹脂付き金属箔、金属張積層板及び配線基板 |
WO2019208615A1 (ja) * | 2018-04-26 | 2019-10-31 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 樹脂組成物、積層体、樹脂組成物層付き半導体ウェハ、樹脂組成物層付き半導体搭載用基板、及び半導体装置 |
JP2020057815A (ja) * | 2019-12-26 | 2020-04-09 | 日立化成株式会社 | 先供給型アンダーフィル材及びその硬化物、並びに電子部品装置及びその製造方法 |
JP2020084125A (ja) * | 2018-11-30 | 2020-06-04 | 日立化成株式会社 | 硬化性組成物及びその硬化物、並びに半導体用配線層 |
JP2020136430A (ja) * | 2019-02-18 | 2020-08-31 | 日立化成株式会社 | 配線層間絶縁層形成用感光性樹脂組成物及びそれを用いた半導体用配線層、半導体用配線層積層体 |
WO2021205675A1 (ja) * | 2020-04-06 | 2021-10-14 | 昭和電工マテリアルズ株式会社 | ビスマレイミド系接着剤組成物、硬化物、接着シート及びフレキシブルプリント配線板 |
JP2022505282A (ja) * | 2018-10-18 | 2022-01-14 | メルク パテント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 誘電コポリマー材料 |
US12122129B2 (en) | 2018-03-28 | 2024-10-22 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Resin composition, and prepreg, resin-coated film, resin-coated metal foil, metal-clad laminate, and wiring board each obtained using said resin composition |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013035868A1 (ja) * | 2011-09-09 | 2013-03-14 | ヘンケル・アクチェンゲゼルシャフト・ウント・コムパニー・コマンディットゲゼルシャフト・アウフ・アクチェン | 電子装置用組成物 |
-
2013
- 2013-07-31 JP JP2013159869A patent/JP2015032639A/ja active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013035868A1 (ja) * | 2011-09-09 | 2013-03-14 | ヘンケル・アクチェンゲゼルシャフト・ウント・コムパニー・コマンディットゲゼルシャフト・アウフ・アクチェン | 電子装置用組成物 |
Cited By (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016114286A1 (ja) * | 2015-01-13 | 2016-07-21 | 日立化成株式会社 | 樹脂組成物、樹脂層付き支持体、プリプレグ、積層板、多層プリント配線板及びミリ波レーダー用プリント配線板 |
US11286346B2 (en) | 2015-01-13 | 2022-03-29 | Showa Denko Materials Co., Ltd. | Resin composition, support with resin layer, prepreg, laminate, multilayered printed wiring board, and printed wiring board for millimeter-wave radar |
JP2016156018A (ja) * | 2015-02-25 | 2016-09-01 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 封止用アクリル樹脂組成物、半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2016169337A (ja) * | 2015-03-13 | 2016-09-23 | ナミックス株式会社 | 樹脂組成物及びそれを用いた接着剤 |
JPWO2016158829A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2018-01-25 | ナミックス株式会社 | 樹脂組成物、導電性樹脂組成物、接着剤、導電性接着剤、電極形成用ペースト、半導体装置 |
JP2016204645A (ja) * | 2015-04-15 | 2016-12-08 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 封止用熱硬化性樹脂組成物、半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
WO2017006898A1 (ja) * | 2015-07-06 | 2017-01-12 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 樹脂組成物、プリプレグ、レジンシート、金属箔張積層板及びプリント配線板 |
JP2017014454A (ja) * | 2015-07-06 | 2017-01-19 | 日立化成株式会社 | 先供給型アンダーフィル材、その硬化物、それを用いた電子部品装置及びその製造方法 |
US10815349B2 (en) | 2015-07-06 | 2020-10-27 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Resin composition, prepreg, resin sheet, metal foil-clad laminate, and printed circuit board |
WO2017017923A1 (ja) * | 2015-07-24 | 2017-02-02 | タツタ電線株式会社 | 樹脂付き銅箔、及びプリント配線板 |
JPWO2017017923A1 (ja) * | 2015-07-24 | 2018-05-10 | タツタ電線株式会社 | 樹脂付き銅箔、及びプリント配線板 |
JP2017117864A (ja) * | 2015-12-22 | 2017-06-29 | 日立化成株式会社 | 先供給型アンダーフィル材及びその硬化物、並びに電子部品装置及びその製造方法 |
JP2017179312A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 株式会社タムラ製作所 | 接合補強用組成物および接合補強部の製造方法 |
JP2017177210A (ja) * | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 株式会社タムラ製作所 | フラックス組成物、はんだ組成物および電子回路基板 |
JP2017206620A (ja) * | 2016-05-18 | 2017-11-24 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 封止用アクリル樹脂組成物、半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP2018012248A (ja) * | 2016-07-20 | 2018-01-25 | 日立化成株式会社 | 積層体、金属張積層体及びプリント配線板 |
WO2018124164A1 (ja) * | 2016-12-28 | 2018-07-05 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 樹脂組成物、プリプレグ、積層板、金属箔張積層板、プリント配線板、及び多層プリント配線板 |
TWI658077B (zh) * | 2016-12-28 | 2019-05-01 | 日商三菱瓦斯化學股份有限公司 | 樹脂組成物、預浸體、疊層板、覆金屬箔疊層板、印刷配線板、及多層印刷配線板 |
JP6388147B1 (ja) * | 2016-12-28 | 2018-09-12 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 樹脂組成物、プリプレグ、積層板、金属箔張積層板、プリント配線板、及び多層プリント配線板 |
JP2018144101A (ja) * | 2017-03-03 | 2018-09-20 | 山栄化学株式会社 | 部品の実装方法 |
JP6232633B1 (ja) * | 2017-03-03 | 2017-11-22 | 山栄化学株式会社 | 部品の実装方法 |
JP2018148198A (ja) * | 2017-09-29 | 2018-09-20 | 山栄化学株式会社 | 活性樹脂組成物及びクリーム半田、並びにプリント配線板 |
WO2019188185A1 (ja) * | 2018-03-28 | 2019-10-03 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 樹脂組成物、並びに、それを用いたプリプレグ、樹脂付きフィルム、樹脂付き金属箔、金属張積層板及び配線基板 |
JPWO2019188185A1 (ja) * | 2018-03-28 | 2021-04-08 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 樹脂組成物、並びに、それを用いたプリプレグ、樹脂付きフィルム、樹脂付き金属箔、金属張積層板及び配線基板 |
US12122129B2 (en) | 2018-03-28 | 2024-10-22 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Resin composition, and prepreg, resin-coated film, resin-coated metal foil, metal-clad laminate, and wiring board each obtained using said resin composition |
CN111886264B (zh) * | 2018-03-28 | 2023-11-03 | 松下知识产权经营株式会社 | 树脂组合物、和使用其的预浸料、带树脂的膜、带树脂的金属箔、覆金属箔层压板及布线板 |
CN111886264A (zh) * | 2018-03-28 | 2020-11-03 | 松下知识产权经营株式会社 | 树脂组合物、和使用其的预浸料、带树脂的膜、带树脂的金属箔、覆金属箔层压板及布线板 |
JP7281650B2 (ja) | 2018-03-28 | 2023-05-26 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 樹脂組成物、並びに、それを用いたプリプレグ、樹脂付きフィルム、樹脂付き金属箔、金属張積層板及び配線基板 |
TWI801565B (zh) * | 2018-04-26 | 2023-05-11 | 日商三菱瓦斯化學股份有限公司 | 樹脂組成物、疊層體、附樹脂組成物層之半導體晶圓、附樹脂組成物層之半導體搭載用基板、以及半導體裝置 |
JPWO2019208615A1 (ja) * | 2018-04-26 | 2021-05-27 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 樹脂組成物、積層体、樹脂組成物層付き半導体ウェハ、樹脂組成物層付き半導体搭載用基板、及び半導体装置 |
WO2019208615A1 (ja) * | 2018-04-26 | 2019-10-31 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 樹脂組成物、積層体、樹脂組成物層付き半導体ウェハ、樹脂組成物層付き半導体搭載用基板、及び半導体装置 |
JP7256967B2 (ja) | 2018-04-26 | 2023-04-13 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 樹脂組成物、積層体、樹脂組成物層付き半導体ウェハ、樹脂組成物層付き半導体搭載用基板、及び半導体装置 |
CN112004889A (zh) * | 2018-04-26 | 2020-11-27 | 三菱瓦斯化学株式会社 | 树脂组合物、层叠体、带树脂组合物层的半导体晶圆、带树脂组合物层的半导体搭载用基板和半导体装置 |
US11924979B2 (en) | 2018-04-26 | 2024-03-05 | Mitsubishi Gas Chemical Company, Inc. | Resin composition, laminate, semiconductor wafer with resin composition layer, substrate for mounting semiconductor with resin composition layer and semiconductor device |
JP2022505282A (ja) * | 2018-10-18 | 2022-01-14 | メルク パテント ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 誘電コポリマー材料 |
US11999893B2 (en) | 2018-10-18 | 2024-06-04 | Merck Patent Gmbh | Dielectric copolymer materials |
JP7212829B2 (ja) | 2018-11-30 | 2023-01-26 | 株式会社レゾナック | 硬化性組成物及びその硬化物、並びに半導体用配線層 |
JP2020084125A (ja) * | 2018-11-30 | 2020-06-04 | 日立化成株式会社 | 硬化性組成物及びその硬化物、並びに半導体用配線層 |
JP2020136430A (ja) * | 2019-02-18 | 2020-08-31 | 日立化成株式会社 | 配線層間絶縁層形成用感光性樹脂組成物及びそれを用いた半導体用配線層、半導体用配線層積層体 |
JP2020057815A (ja) * | 2019-12-26 | 2020-04-09 | 日立化成株式会社 | 先供給型アンダーフィル材及びその硬化物、並びに電子部品装置及びその製造方法 |
WO2021205675A1 (ja) * | 2020-04-06 | 2021-10-14 | 昭和電工マテリアルズ株式会社 | ビスマレイミド系接着剤組成物、硬化物、接着シート及びフレキシブルプリント配線板 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2015032639A (ja) | 先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物、電子部品装置及び電子部品装置の製造方法 | |
JP6340762B2 (ja) | アンダーフィル材を用いた電子部品装置の製造方法、アンダーフィル材、及び電子部品装置 | |
JP6398619B2 (ja) | 先供給型アンダーフィル材、電子部品装置及び電子部品装置の製造方法 | |
KR20190026049A (ko) | 다이 어태치 페이스트 및 반도체 장치 | |
WO2016056619A1 (ja) | 熱硬化性樹脂組成物及びその製造方法 | |
JP2022000918A (ja) | 半導体用フィルム状接着剤、半導体装置の製造方法及び半導体装置 | |
JP6593628B2 (ja) | 先供給型アンダーフィル材、その硬化物、それを用いた電子部品装置及びその製造方法 | |
JP2017143310A (ja) | 先塗布型熱硬化性アンダーフィル組成物、電子部品装置及び電子部品装置の製造方法 | |
JP6179247B2 (ja) | 電子部品装置の製造方法及び電子部品装置 | |
JP6857837B2 (ja) | 封止用熱硬化性樹脂組成物、半導体装置の製造方法及び半導体装置 | |
JP6638380B2 (ja) | 先供給型アンダーフィル材及びその硬化物、並びに電子部品装置及びその製造方法 | |
JP2017117864A (ja) | 先供給型アンダーフィル材及びその硬化物、並びに電子部品装置及びその製造方法 | |
JP6631238B2 (ja) | 先供給型アンダーフィル材、先供給型アンダーフィル材の硬化物、電子部品装置及び電子部品装置の製造方法 | |
JP2017014453A (ja) | 先供給型アンダーフィル材、その硬化物、それを用いた電子部品装置及びその製造方法 | |
JP7329598B2 (ja) | 導電性ペーストおよび半導体装置 | |
JP2016178104A (ja) | アンダーフィル材、電子部品装置の製造方法及び電子部品装置 | |
WO2017078157A1 (ja) | 接着剤組成物及び構造体 | |
JP4835229B2 (ja) | 樹脂組成物及び樹脂組成物を使用して作製した半導体装置 | |
JP6597845B2 (ja) | 先供給型アンダーフィル材、電子部品装置及び電子部品装置の製造方法 | |
JP6844685B2 (ja) | 先供給型アンダーフィル材及びその硬化物、並びに電子部品装置及びその製造方法 | |
JP6459402B2 (ja) | 先供給型アンダーフィル材、電子部品装置及び電子部品装置の製造方法 | |
JP6844680B2 (ja) | 先供給型アンダーフィル材、先供給型アンダーフィル材の硬化物、電子部品装置及び電子部品装置の製造方法 | |
JP6492628B2 (ja) | アンダーフィル材、電子部品装置の製造方法及び電子部品装置 | |
JP6707856B2 (ja) | 先供給型アンダーフィル材、電子部品装置の製造方法、及び電子部品装置 | |
JP7392876B2 (ja) | 銀含有ペーストおよび接合体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160610 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170117 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170124 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20170327 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170516 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20171031 |