JP2015021185A5

JP2015021185A5 -

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Publication number: JP2015021185A5
Application number: JP2014022828A
Authority: JP
Filing date: 2014-02-07
Publication date: 2016-11-04

Description

本発明において、フォトレジスト層の形成手段は曲面状の内周面に沿って所定の速度で昇降移動しながら前記曲面状の内周面に感光物質を塗布する塗布カップ１０１と、前記塗布カップに液状の感光物質を定量供給する定量注入手段１０６と、前記塗布カップを昇降駆動する駆動手段１０６と、前記塗布カップを前記駆動手段に連結する延長手段１０３と、を含む。

本発明における露光手段は曲面状の内周面の中に挿入されて、前記曲面状の内周面に光を照射する発光手段１２０と、前記発光手段の内部又は外部に設置されて、前記曲面状の内周面に照射するための照射光を生成する光源ランプ１３０と、前記発光手段を曲面状の内周面の中に入れてから出すために発光手段を昇降する昇降手段１２６と、前記光源ランプを前記昇降手段に連結する延長手段１３３と、を含む。曲面状の内周面上にフォトマスクフィルムなどを密着させた後、露光工程を行うために図５ａに示したような発光手段１２０を曲面状の内周面の中に挿入して感光性フォトレジスト層を露光する。

Claims

曲面状の内周面を洗浄する手段と、
洗浄された前記曲面状の内周面に感光物質を塗布してフォトレジスト層を形成する手段と、
前記フォトレジスト層に凹部の形状が印刷されたか穿孔されたフォトマスクを密着させる手段と、
前記フォトマスクを用い、前記フォトレジスト層を露光する手段と、
露光された前記フォトレジスト層を現像して前記凹部の設計形状通りにパターニングする手段と、
現像によって露出した曲面状の内周面を選択的にエッチングする手段と、
曲面状の内周面に残留するフォトレジストを分離除去する剥離手段と、を含むことを特徴とする曲面状の内周面上に微細形状の凹部を形成する装置。
前記フォトレジスト層を形成する手段は、
前記曲面状の内周面に沿って所定の速度で昇降移動しながら前記曲面状の内周面に感光物質を塗布する塗布カップと、
前記塗布カップに液状の感光物資を定量供給する定量注入手段と、
前記塗布カップを昇降駆動する駆動手段と、
前記塗布カップを前記駆動手段に連結する延長手段と、を含むことを特徴とする請求項１に記載の曲面状の内周面上に微細形状の凹部を形成する装置。
前記曲面状の内周面上に微細形状の凹部を形成する装置は、複数の塗布カップ、複数の定量注入手段、及び複数の駆動手段及び延長手段が並列に連結され、多数個の曲面状の内周面上に感光物質を塗布するように構成されることを特徴とする請求項１に記載の曲面状の内周面上に微細形状の凹部を形成する装置。
前記フォトマスク密着手段が感光物質が塗布されてフォトマスクが挿入された曲面状の内周面を密閉し、真空圧を加える手段を追加に含むことを特徴とする請求項１に記載の曲面状の内周面上に微細形状の凹部を形成する装置。
前記露光手段は、
前記曲面状の内周面の中に挿入されて、前記曲面状の内周面に光を照射する発光手段と、
前記発光手段の内部又は外部に設置されて、前記曲面状の内周面に照射するための照射光を生成する光源ランプと、
前記発光手段を前記曲面状の内周面の中に入れてから出すために発光手段を昇降させる昇降手段と、
前記光源ランプを昇降手段に連結する延長手段と、
を含むことを特徴とする請求項１に記載の曲面状の内周面上に微細形状の凹部を形成する装置。
前記露光手段は、
前記発光手段の内部又は外部に設置されて、前記光源ランプから発生する光を遮蔽するシャッターと、
前記光源ランプから発生した熱を除去する冷却装置と、
前記光源ランプから発生した光の漏洩を防止する反射板と、を追加に含むことを特徴とする請求項５に記載の曲面状の内周面上に微細形状の凹部を形成する装置。
前記露光手段は、曲面状の内周面上に一定の真空圧を加えた状態で露光を実施し、露光が終了した後真空を解除する真空露光装置であることを特徴とする請求項５に記載の曲面状の内周面上に微細形状の凹部を形成する装置。
前記真空露光装置は、
上部蓋と、
下部密閉器具と、
前記上部密閉器具と前記下部密閉器具のうちいずれか一側又は両側に形成された真空孔と、
前記真空孔から空気を排出する真空ポンプ又は真空エジェクタと、を含み、
前記発光手段が前記上部密閉器具又は前記下部密閉器具のうちいずれか一つに一体化されていることを特徴とする請求項７に記載の曲面状の内周面上に微細形状の凹部を形成する装置。
前記発光手段、延長手段、及び昇降手段は複数個が並列に構成されて多数個の曲面状の内周面を同時に露光するように構成されることを特徴とする請求項５乃至請求項８のうちいずれか一項に記載の曲面状の内周面上に微細形状の凹部を形成する装置。
前記現像手段、エッチング手段及び剥離手段は湿式噴霧装置又は湿式循環装置であることを特徴とする請求項１に記載の曲面状の内周面上に微細形状の凹部を形成する装置。
前記湿式噴霧装置は、
薬液が曲面状の内周面以外の部分に接触しないように上部蓋と下部支え及びシーリング手段を具備し、
前記上部蓋に連結された固定式薬液供給管と、
前記固定式薬液供給管に薬液を供給する薬液供給口と、
モータの回転をギアを介して伝達されて回転可能に構成されて、曲面状の内周面の表面に薬液を接触させるための噴霧用ノズルが付着された回転式薬液供給管と、
前記固定式薬液供給管と回転式薬液供給管を連結する配管連結部と、
処理済みの薬液を排出させる薬液排出口と、を含むことを特徴とする請求項１０に記載の曲面状の内周面上に微細形状の凹部を形成する装置。
前記固定式薬液供給管が多数に分岐され、その個数だけ配管連結部及びギアが連結された回転式薬液供給管が多数設置され、前記回転式薬液供給管がそれぞれのモータを利用して回転されるか、一つのモータを使用するが多数個のギアの組み合わせで回転力を伝達するように構成されて多数の曲面状の内周面上に対して同時に薬液を噴霧するように構成されることを特徴とする請求項１１に記載の曲面状の内周面上に微細形状の凹部を形成する装置。
前記回転式薬液供給管に付着されたノズルの上下間隔をＰとし、ノズルの端から曲面状の内周面の表面までの間隔をｄ、適用噴霧圧力でのノズルの噴射角度をθとする際、ノズル間の間隔ｐはｄｘｔａｎ（θ／２）よりは大きくて２ｄｘｔａｎ（θ／２）よりは小さいことを特徴とする請求項１２に記載の曲面状の内周面上に微細形状の凹部を形成する装置。
前記湿式噴霧装置は、前記上部蓋と下部支えは多数個の曲面状の内周面を同時に処理するように複数に設置され、前記薬液供給口と薬液排出口は曲面状の内周面の数と同じく複数に形成されることを特徴とする請求項１１に記載の曲面状の内周面上に微細形状の凹部を形成する装置。
前記湿式循環装置は、
薬液が曲面状の内周面以外の部分に接触しないように上部密閉器具と下部密閉器具及びシーリング手段を具備し、
曲面状の内周面の中に挿入され、電極棒を負極にし曲面状の内周面を正極にして曲面の内主面を電解エッチングするための電極棒と、
電解液を連続的に供給するための薬液供給口と、
電解液を連続的に排出するための薬液排出口と、を含むことを特徴とする請求項１０に記載の曲面状の内周面上に微細形状の凹部を形成する装置。
前記上部密閉器具と下部密閉器具は多数個の曲面状の内周面を同時に処理するように複数に設置されるかその大きさを延長し、前記電極棒及び薬液供給口と薬液排出口は曲面状の内周面の数と同じく複数に形成されることを特徴とする請求項１５に記載の曲面状の内周面上に微細形状の凹部を形成する装置。