JP4211932B2 - 動圧軸受の製造方法及び動圧軸受製造装置 - Google Patents
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Description
この動圧軸受は、軸受の内面にへリングボーン溝を作成して軸が回転するとへリングボーン溝に沿って潤滑油が圧縮されて円周方向に当該圧稀された潤滑油のリングが形成され、軸が軸受から浮上して高速回転可能となる。
上述した電解加工、放電加工により、軸受の内面にへリングボーン溝を電極を転写して作成するのでは、被加工物がマスキングされていないため、および電極が磨耗するため、溝の深さを深くしようとすると、溝幅も大きくなり、そのための最適な電解条件、放電条件を設定することが難しいなどの問題があった。
しかしながら、切削加工の場合には、硬度が高いステンレス等の難切削材への加工が難しいことと、工具の寿命が短くなるという問題点がある。切削精度を高めるためには工具及び作業条件の管理が必要となる。さらに、切削加工によりバリが発生するためバリ取りの後工程が必要であった。
上記の発明において、外周面に第1の動圧発生溝パターンを形成し、鍔部に第2の動圧発生溝パターンを形成した前記マスクを用い、第1の動圧発生溝パターンと第2の動圧発生溝パターンの露光を同時に行う。
上記の発明において、前記導光部材として光ファイバを用い、該光ファイバを前記動圧軸受の中空部分に挿入し、外部の光源の光を前記光ファイバで導光して露光を行う。
このように構成することで、マスク自体を露光源として利用できるので、露光するための構造が簡素になる。
このように構成することで、光ファイバと外部光源を用いて露光を行うことができるので、軸受内部に挿入する露光のための構造が簡素になる。
軸受の内面および側面にレジストを塗布した後、マスクを軸受の内側に挿入し、挿入したマスクのパターンをレジストに露光して転写した後、レジストを現像し、軸受のエッチング行い、レジストを除去して軸受の内面にへリングボーン溝及び側面にスパイラル溝を形成する。
本発明の動圧軸受製造装置は、軸受の内面にレジストを形成する手段と、動圧発生溝パターンを形成した、透光性の材料からなるマスクを用いて露光を行い、前記マスクの動圧発生溝パターンを前記レジストに転写する手段と、前記レジストを現像する手段と、現像した後に、エッチングにより前記軸受の内面に動圧発生溝を形成する手段とを備える。
図1(a)及び(b)は、本発明に係る動圧軸受の構造を示す図である。図1の(a)は、動庄軸受2の上面を示す。これは、動圧軸受2の上面にスパイラル溝22を設けた様子を示す。
レジスト3は、動圧軸受2の内面および側面に塗布した感光性のレジストである。
ステップS2において、プレベークする。これは、 ステップS1で塗布したレジスト中の溶液を蒸発させるなどのために所定温度に上昇させる。
次にステップS8において、エッチングする。これは、動圧軸受2の内面および上側面にレジスト3で形成されたパターンの部分(レジストがない部分)をエッチング(例えば、塩化第2鉄などでエッチング)して所定深さのパターン(へリングボーン溝21およびスパイラル溝22)を形成する。
以上によって、動圧軸受2のへリングボーン溝21およびスパイラル溝22を形成する部分などにレジスト3を塗布し、内部に円筒状あるいは円柱状のマスク1を挿入して露光、現像、エッチング、硬化レジストを除去し、へリングボーン溝21およびスパイラル溝22を高精度かつ迅速に形成することが可能となる。
次に、図3(a)、(b)は、実施の形態のマスク1の形状を示す図である。これは、透明(例えばガラス)な円柱状のマスク1の例を示す。
図3の(a)において、スパイラル溝パターン11は、図3の(b)の11の部分(鍔部1aの下面に形成される)のスパイラル溝パターン11を示し、図1の動圧軸受2のスパイラル溝22を転写して形成するためのマスクパターンである。
図3の(b)において、へリングボーン溝パターン12は、図1の動圧軸受2のへリングボーン溝21を転写して形成するためのマスクパターンである。
次に、図4は、図3の円柱状のマスク(透光部材に対応する)を用いた場合の他の構造図を示す。図4の(a)は、動圧軸受2のスパイラル溝22の様子を示す。これは、図4の(b)の22の部分を分かり易く表示したものである。
図中の動圧軸受2が既述した動圧軸受2であり、回転軸5を内部に挿入して回転させる構造となっている。また、へリングボーン溝21およびスパイラル溝22は図示の位置にそれぞれ設けられている。
また、スパイラル溝パターン11用のマスクは、同様に、リング状のフィルムを円筒、円柱のつばの部分に取り付けて露光し作成する。
次に、図7〜図11は、露光部の構造の一例を示す図である。
図7は、光ファイバ31の外周部のクラッド31aを除去し、光ファイバ31の側面から光が放射されるようにした例を示している。この場合、外部の光源のUV光等を光ファイバ31によりマスク1の内部に導き、光ファイバ31の側面からマスク1に光を放射することができるので、光ファイバ31を回転及び上下に移動させずに露光を行うことができる。
図12(a)、(b)は、円筒状の形状で、鍔なしのマスク41と、鍔有りのマスク42の断面図である。
円筒形状の鍔有りのマスク42の外周面には、同様にヘリングボーン溝パターン12が形成され、鍔部42aの下面にスパイラル溝パターン11が形成される。
次に、図13(a)、(b)は、円柱状の形状で、鍔なしと、鍔有りのマスク43,44の側面図である。
鍔有りの円柱状のマスク44の外周面には、同様にヘリングボーン溝パターン12が形成され、鍔部44aの下面にスパイラル溝パターン11が形成される。
図14に示すように、マスク45は、動圧軸受46の形状に合わせて上部から下部に向かって径が細くなっており、上部と下部を結ぶ面は円錐状に傾斜した面を形成している。そして、この傾斜した面にヘリングボーン溝パターン11が形成され、下部の円筒部分にもヘリングボーン溝パターン12が形成されている。そして、そのマスク45を動圧軸受46の内部に挿入して、円筒状の内面及び円錐状の内面にヘリングボーン溝21を形成する。なお、図14のマスク45は中空構造であるが、図12(b)または図13(b)に示すように中実構造でもよい。
図16及び図17は、フィルムマスク51をレジスト3を形成したマスク1に巻き付け、フォトリソグラフによりマスクを製造する場合の説明図である。
親のマスク53は、ガラス等の透明な材料からなり、円筒状の形状をしており、外周面にヘリングボーン溝パターン12が形成されている。
親のマスク55は、透明なガラス等の材料かなり、板状の形状で表面にヘリングボーン溝パターン12が形成されたフィルム等が貼られている。親のマスク55の上部にスリット56aを有する板56が設けられており、板56の上方の光源から光が照射される。板56は、光を透過しない材料で構成されており、スリット56を通過した光のみが親のマスク55に入射する。
次に、図22〜図27は、エッチング工程の説明図である。
動圧軸受2をブラシ62、あるいはスポンジ63でこすりながらエッチングするための具体的な方法としては、例えば、図26に示すように、動圧軸受2をある程度の重量のある治具64に固定してエッチング溶液中に入れ、回転・駆動装置(図示せず)に連結されたブラシ62を動圧軸受2の内周面に挿入し、ブラシ62を回転及び上限に揺動させることで、へリングボーン溝21を形成したい動圧軸受2の内周面をこする。治具64の脚部には、穴が設けられており、ブラシ62により動圧軸受2の内部から押し出されたエッチング溶液が治具64の外部に排出されて循環するようになっている。
次に、図28〜図31は、動圧軸受2の製造工程で使用される治具の一例を示す図である。
次に、図30及び図31は、現像及びエッチング工程において、複数個の被加工物を同時に処理するための治具の一例を示す図である。
治具77の側面には穴77aが設けられている。この穴77aは、動圧軸受2を軸方向に順に積み重ねて治具77に収納したときに、動圧軸受2の上下面にエッチング溶液が回るように空けられている。
上述した実施の形態は、へリングボーン溝21とスパイラル溝22を形成する場合について説明したが、動圧発生溝は上記の溝に限定されない。
Claims (4)
- 軸受の内面に動圧発生溝を形成する製造方法において、
軸受の内面にレジストを形成するステップと、
動圧発生溝パターンを形成した、透光性の材料からなり、発光する透光性の材料からなる円柱状のマスクを前記軸受の内部に挿入するステップと、
前記マスクを用いて、前記マスクの端部に励起光を入射して前記マスクを発光させて露光を行い、前記マスクの動圧発生溝パターンを前記レジストに転写するステップと、
前記レジストを現像するステップと、
現像した後に、エッチングにより前記軸受の内面に動圧発生溝を形成するステップとからなる動圧軸受の製造方法。 - 請求項1記載の動圧軸受の製造方法において、
外周面に第1の動圧発生溝パターンを形成し、鍔部に第2の動圧発生溝パターンを形成した前記マスクを用い、第1の動圧発生溝パターンと第2の動圧発生溝パターンの露光を同時に行う。 - 請求項1記載の動圧軸受の製造方法において、
円筒状または円柱状の外周面にヘリングボーン溝パターンを形成し、鍔部にスパイラル溝パターンを形成した前記マスクを用いて、前記軸受の内面のヘリングボーン溝パターンと側面のスパイラル溝パターンの露光を同時に行う。 - 軸受の内面にレジストを形成する手段と、
動圧発生溝パターンを形成した、透光性の材料からなり、発光する透光性の材料からなる円柱状のマスクを前記軸受の内部に挿入する手段と、
前記マスクを用いて、前記マスクの端部に励起光を入射して前記マスクを発光させて露光を行い、前記マスクの動圧発生溝パターンを前記レジストに転写する手段と、
前記レジストを現像する手段と、
現像した後に、エッチングにより前記軸受の内面に動圧発生溝を形成する手段とを備える動圧軸受製造装置。
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