JP4714440B2 - フォトマスク製造方法 - Google Patents
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Description
パターンを形成する部分にレジストを形成する手段と、
パターン形成し、かつ導光ケーブルとコネクタによって接続されたマスクを用いて露光を行い、前記マスクのパターンを前記レジストに転写する手段と、
前記レジストを現像する手段と、
前記レジストを現像した後に、エッチングにより、前記被加工物の面に所定のパターンを形成する手段と、
を備えたことを特徴とするフォトマスク装置。
被加工物と同形状のマスクに、光非透過層レジストを形成し、ポジネガ反転したパターンを露光する工程と、
レジストを現像し、エッチングによりポジネガ反転したパターンを前記マスクに形成したマスターマスクを作成する工程と、
被加工物にパターンニングを行うために用いるマスクに光非透過層とレジストを形成し、前記マスターマスクをかん合させ、マスターマスク側から露光する工程と、
レジストを現像し、エッチングにより、前記パターニングを行うために用いるマスクにパターンを形成する工程と、
を含んだことを特徴とするフォトマスク製造方法。
パターンを形成する部分にレジストを形成する工程と、
パターン形成し、かつ導光ケーブルとコネクタによって接続されたマスクを用いて露光を行い、前記マスクのパターンを前記レジストに転写する工程と、
前記レジストを現像する工程と、
前記レジストを現像した後に、エッチングにより、前記被加工物の面に所定のパターンを形成する工程と、
を含んだことを特徴とするマスクパターン形成方法。
2 コネクタ
3 支持部
4,11 導光ケーブル
5,7,8 被加工物
6 レジスタ
9 光反射層
Claims (1)
- フォトマスク製造方法であって、
被加工物と同形状のマスクに、光非透過層とレジストを形成し、ポジネガ反転したパターンを露光する工程と、
レジストを現像し、エッチングによりポジネガ反転したパターンを前記マスクに形成したマスターマスクを作成する工程と、
被加工物にパターンニングを行うために用いられ、前記被加工物と同形状の孔を内部に有するマスクである加工用マスクに光非透過層とレジストを形成し、前記マスターマスクを前記加工用マスクの内部の前記孔にかん合させ、前記マスターマスク側から前記加工用マスクの内部の前記孔に露光する工程と、
レジストを現像し、エッチングにより、前記加工用マスクの内部の前記孔にパターンを形成する工程と、
を含んだことを特徴とするフォトマスク製造方法。
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