JP2015004102A - 多結晶窒化ガリウムスパッタリングターゲット及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(1)酸素含有量10atm%以下である多結晶窒化ガリウム膜を表面に有する基材を含んでなることを特徴とするスパッタリングターゲット。
(2)多結晶窒化ガリウム膜の相対密度が80%以上であることを特徴とする(1)に記載のスパッタリングターゲット。
(3)多結晶窒化ガリウム膜の膜厚が100μm以上であることを特徴とする(1)又は(2)に記載のスパッタリングターゲット。
(4)Ga2O3と還元性ガスとを反応させてGa2Oを生成する還元工程と、Ga2Oと窒素含有ガスを還元工程より低い温度で基材表面において反応させる窒化工程とを有することを特徴とする(1)〜(3)のいずれかに記載のスパッタリングターゲットの製造方法。
に関する。
Ga2O(g)+2NH3 → 2GaN+H2O+2H2
還元工程で使用するGa2O3粉末としては、極力不純物を含まないことが好ましく、純度は99%以上であることが望ましい。またBETに関しては特に限定しないが、好ましくは4m2/g以上である。さらに粒径は10μm以下であることが好ましい。原料粉末の粒径が大きくBETが小さいと、還元性ガスとの接触効率が悪く、反応の進行が遅くなる。
(1)酸素濃度
粉末の酸素濃度は酸素・窒素分析装置(LECO製)により測定した。
(2)相対密度
膜の相対密度は膜の断面をSEM(走査型電子顕微鏡)により観察し、画像解析により空孔部分を除いた面積を算出し、全体の面積との比により算出した。
(3)膜厚
膜厚は反応前後の基材の厚さをマイクロメーターで測定することにより算出した。
酸化ガリウム粉末(4N)10gをアルミナ製容器に投入し、アルミナ製容器から20cm離して基材である30mmΦの窒化ガリウムの成形体とともに雰囲気制御管状炉へ投入した。炉内は真空置換後、窒素水素混合ガス(水素4%含有)を充填した。大気圧まで充填して、排ガスのラインを開き、窒素水素混合ガスを400mL/minで流して、基材の付近にアンモニアを400mL/minで流した。温度は600℃/hにて昇温し、還元工程は1100℃で、窒化工程は800℃まで温度を上昇し、6時間保持した。その結果、窒化ガリウム成形体の上に多結晶窒化ガリウム膜を得ることができた。得られた多結晶窒化ガリウム膜の酸素含有量、相対密度、膜厚は表1に示す。得られた多結晶窒化ガリウム膜付きの基材をバッキングプレートにボンディングし、多結晶窒化ガリウムスパッタリングターゲットを得た。
窒化工程を1000℃で実施し、他の条件は実施例1と同条件で行った。その結果、窒化ガリウム成形体の表面に多結晶窒化ガリウム膜を得ることができた。得られた多結晶窒化ガリウム膜の酸素含有量、相対密度、膜厚は表1に示す。得られた多結晶窒化ガリウム膜付きの基材をバッキングプレートにボンディングし、多結晶窒化ガリウムスパッタリングターゲットを得た。
基材として窒化ガリウム薄膜を堆積させた30mmΦのサファイア基板を用い、他の条件は実施例1と同条件で行った。サファイア基板の表面に多結晶窒化ガリウム膜を得ることができた。得られた多結晶窒化ガリウム膜の酸素含有量、相対密度、膜厚は表1に示す。得られた多結晶窒化ガリウム膜付きの基材をバッキングプレートにボンディングし、多結晶窒化ガリウムスパッタリングターゲットを得た。
窒化工程を1200℃で実施し、他の条件は実施例1と同条件で行った。窒化ガリウム成形体の表面に多結晶窒化ガリウム膜は得られたが、反応物の一部は金属ガリウムに分解していた。得られた多結晶窒化ガリウム膜の酸素含有量、相対密度、膜厚は表1に示す。得られた多結晶窒化ガリウム膜付きの基材をバッキングプレートにボンディングしたが、金属ガリウムがボンディング材と反応し、接合できなかった。
窒化工程を1300℃で実施し、他の条件は実施例3と同条件で行った。サファイア基板の上には単結晶の窒化ガリウム膜が得られた。得られた単結晶窒化ガリウム膜の酸素含有量、相対密度、膜厚は表1に示す。
Claims (4)
- 酸素含有量10atm%以下である多結晶窒化ガリウム膜を表面に有する基材を含んでなることを特徴とするスパッタリングターゲット。
- 多結晶窒化ガリウム膜の相対密度が80%以上であることを特徴とする請求項1に記載のスパッタリングターゲット。
- 多結晶窒化ガリウム膜の膜厚が100μm以上であることを特徴とする請求項1又は2に記載のスパッタリングターゲット。
- Ga2O3と還元性ガスとを反応させてGa2Oを生成する還元工程と、Ga2Oと窒素含有ガスを還元工程より低い温度で基材表面において反応させる窒化工程とを有することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のスパッタリングターゲットの製造方法。
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