JP2014526012A - 圧縮機デバイス、圧縮機デバイスを備える冷却デバイス、および圧縮機デバイスを備える冷却ユニット - Google Patents

Abstract

ロータリーバルブ備える公知の圧縮機設備とは異なり、低損失で稼働する、圧縮機デバイス、圧縮機デバイスを備える冷却デバイス、および圧縮機デバイスを備える冷却ユニットを提供する。圧縮機要素によって作動媒体が周期的に圧縮および再び膨張する圧縮機デバイスと、圧縮機要素に機械的に連結された駆動デバイスとの組み合わせによって、ギフォード・マクマホン冷凍機およびパルス管冷凍機に必要な周波数の範囲内の圧縮されたガスを提供できる。電気静油圧駆動デバイスおよび圧縮機要素は、機械的または磁気的連結によって連結される。これにより、高損失を生み出すロータリーバルブの必要を排除する。電気モータの単純な制御性と、油圧機構の力との組み合わせによって、極めて効率的な圧縮機を構築でき、ギフォード・マクマホン冷凍機またはパルス管冷凍機と共に使用する際にロータリーバルブを使用しないため、非常に低損失となる。このようにして、高効率な圧縮機設備が提供される。
【選択図】図１

Description

本発明は、圧縮機デバイス、圧縮機デバイスを備える冷却デバイス、および圧縮機デバイスを備える冷却ユニットに関する。

パルス管冷凍機やギフォード・マクマホン冷凍機は、核スピン・トモグラフィ装置、クライオポンプ等の冷却に用いられる。ここで、ガス圧縮機、特にヘリウム圧縮機を、図１１で示すように回転バルブまたはロータリーバルブと組み合わせて用いる。ヘリウム圧縮機１３０は、高圧管路１３２および低圧管路１３４を介してロータリーバルブ１３６に接続される。出力側において、ロータリーバルブ１３６はガス管路１３８を介して、ギフォード・マクマホン冷凍機またはパルス管冷凍機の形態である冷却デバイス１１０に接続される。ガス圧縮機１３０の高圧側および低圧側は、ロータリーバルブ１３６を介して、パルス管冷凍機またはギフォード・マクマホン冷凍機に交互に接続される。冷却デバイス１３８に圧縮されたヘリウムを導入し、そこから再び除去する速度は１Ｈｚの範囲内である。このような冷却および圧縮システムは、モータ駆動のロータリーバルブ１３６が圧縮機の入力パフォーマンスの約５０％の損失を引き起こすという点において不利である。

１つまたは複数のピストンが磁場によって線形共振振動する音響圧縮機や高周波圧縮機も公知である。これらの共振周波数は数十Ｈｚの範囲内であり、従って、１０Ｋ未満の範囲内の極めて低い温度を生成するためのパルス管冷凍機およびギフォード・マクマホン冷凍機と共に使用することには適していない。

従って本発明は、ガス圧縮機とロータリーバルブの組み合わせよりも効率的な圧縮機デバイスを提示するという課題を有する。本発明は更に、このような圧縮機デバイスを備える冷却デバイスおよび冷却ユニットを提示するという課題を有する。

これらの課題は請求項１、２４および２７の特徴によって解決される。

ロータリーバルブを用いる通常の圧縮機デバイスの簡単な代替物は、圧縮機デバイスと、前後に運動する圧縮機要素との組み合わせ、および圧縮機デバイスに磁気的にまたは機械的に連結される駆動デバイスとの組み合わせによって作製される。

作動媒体用の補償コンテナを備える請求項２に記載の本発明の有利な実施形態により、圧縮機要素に、運動の一方向のみにおいて圧縮力を供給させることができる。このため、それによって稼働される冷却デバイス内の冷却による作動媒体の容積の低減を補償できる。

このために、圧縮機要素によって、圧縮機デバイスを第１のガス容積および第２のガス容積に細分する。作動媒体用の補償コンテナを、第１のガス容積の方向に開口した逆止弁逆止弁により第１のガス容積に接続し（請求項３）、およびガス管路を介して第２のガス容積に直接接続する（請求項４）。

請求項４の代替として、請求項５に記載の流体補償コンテナを提供してよく、この流体補償コンテナは流体管路を介して第２のガス容積に直接接続される。流体補償コンテナにある補償流体は上記の作動媒体ではなく、異なるガスまたは液体である。これには例えば、油、特に油圧油を使用してよい。

時間ならびに圧縮機圧力に関する圧縮の様式を、請求項６および７に記載の本発明の有利な実施形態による制御デバイスを用いて、特定の作動媒体に適合させることができる。従って、本発明の圧縮機デバイスは異なる作動媒体に適合させることができるので、圧縮機デバイスを用いて極めて多様なガスを圧縮できる。

請求項１０に記載の本発明の有利な実施形態によると、駆動デバイスを、複数の圧縮機デバイスに機械的にまたは磁気的に連結してよい。これにより、必要な駆動デバイスはたった一つとなり、コストが削減できる。

請求項１１に記載の本発明の有利な実施形態により、漏れが低減される。

圧縮機要素によって作動媒体が周期的に圧縮および膨張する圧縮機デバイスと、請求項１７に記載の圧縮機要素に機械的に連結された電気静油圧駆動デバイスとの組み合わせを用いて、ギフォード・マクマホン冷凍機およびパルス管冷凍機に必要な周波数の範囲内の圧縮されたガスを入手できる。電気静油圧駆動デバイスと圧縮機要素との間は、機械的または磁気的連結で連結される。従って、高い損失を生み出すロータリーバルブの使用を排除できる。電気モータの簡単な制御性および油圧機構の力を組み合わせることで、非常に効率的な圧縮機を構成でき、ギフォード・マクマホン冷凍機またはパルス管冷凍機を使用する際にロータリーバルブを使わないことにより、損失を大きく低減できる。従って、極めて効率的な圧縮機デバイスを実現できる。

請求項１８に記載の特に好適な電気静油圧駆動デバイスは、液圧シリンダを備えており、この液圧シリンダ内には、直線的に可動であるように液圧ピストンが配置される。液圧シリンダには、電気駆動液圧ポンプを介して供給および除去される油圧液が積載される。液圧シリンダの液圧ピストンは、例えば剛性棒を介して機械的に、または磁気的に、圧縮機デバイスの圧縮機要素に連結される。

膜（請求項２１）またはピストン（請求項１５、１６）を、圧縮機要素として使用してよい。単純な構成であることから、直線的に可動なピストンや線形ピストン圧縮機を使用するのが好ましい（請求項１６）。圧縮機要素として膜を使用する利点は、封止すべきピストン接触面が存在しないことである。金属はヘリウム気密を保証できるので、膜は金属から構成するのが好ましい（請求項２２）。

本発明の好ましい実施形態によると、液圧シリンダの運動方向は、電気モータの回転方向により制御される（請求項１９）。

本発明に適切な電気静油圧駆動デバイスは、例えば独国特許第１０２００８０２５０４５ Ｂ４号から公知である。

運動、圧力およびガス交換の周波数のいずれの所望のパターンを、液圧シリンダによって圧縮機デバイス上に伝達できる。ガス交換の周波数は、いずれの共振周波数からも独立に、自由に調整できる。この様式では、このような圧縮機デバイスによって稼働される冷凍機のパフォーマンスを最適化でき、振動を最小化できる（請求項６および７）。

電気で稼働する液圧ポンプにより、簡単な電気制御デバイスを用いて、時間に応じたおよび圧力レベルに応じたいずれの所望のパターンに応じて、圧縮機デバイス内での作動媒体の圧縮を実行できる（請求項７）。

圧縮機デバイスは、例えば従来の冷却ユニットを駆動するために使用する場合には配送用圧縮機デバイスとして設計でき（請求項１４）、またはある一定のガス容積を繰り返し圧縮し拡張する。後述の機能は、例えば既に述べたギフォード・マクマホン冷凍機およびパルス管冷凍機を稼働させる際に必要である。

請求項２０による本発明の有利な実施形態は、駆動デバイスと圧縮機デバイスとの間の連結棒それ自体を圧縮機要素または変位要素として構成することで、経済的な圧縮機デバイスを実現できる。つまり、連結棒に接続する、専用に設計された圧縮機要素は必要でない。ここで、圧縮機シリンダを、その断面が連結棒の断面よりほんのわずか大きくなるように構成する。連結棒と圧縮機シリンダの内側との間の距離は可能な限り小さくする。しかし、連結棒と圧縮機シリンダの内側との間を封止する必要はない。封止および作動媒体の包含は、Ｏ‐リングを介して、または連結棒が圧縮機シリンダへ入ることで達成される。連結棒と圧縮機シリンダの内側との間の距離が小さいほど、および圧縮機シリンダ内の連結棒のストロークが大きいほど、圧縮機デバイス内の死容積は小さくなり、圧縮機デバイスはより効率的になる。

残りの従属請求項は、本発明の他の有利な実施形態を参照する。本発明の更なる詳細、特徴および有利点は、以下に記述する様々な実施形態により明らかになる。

図１は、冷却デバイスとの組み合わせを用いた第１の実施形態における本発明の概略図である。 図２は、従来の冷却ユニットとの組み合わせを用いた本発明の第２の実施形態である。 図３は、本発明による圧縮機デバイスの第３の実施形態である。 図４は、本発明による圧縮機デバイスの第４の実施形態である。 図５は、圧縮機デバイスの第５の実施形態である。 図６は、圧縮機デバイスの第６の実施形態である。 図７は、圧縮機デバイスの第７の実施形態である。 図８は、圧縮機デバイスの第８の実施形態である。 図９は、圧縮機デバイスの第９の実施形態である。 図１０は、圧縮機デバイスの第１０の実施形態である。 図１１は、従来技術による、ロータリーバルブおよび冷却デバイスを有するヘリウム圧縮機デバイスの概略図である。

様々な実施形態の説明において、同じ構造部品や互いに対応する部分については同じ参照番号を付している。

図１は、冷却デバイス４に連結された圧縮機デバイス２を用いた、本発明の第１の実施形態を示す。圧縮機デバイス２は、電気静油圧駆動デバイス８によって駆動される圧縮機設備６を備える。圧縮機設備６はガス密圧縮機シリンダ１０を備え、このガス密圧縮機シリンダ１０内には、ピストンの形態の圧縮機要素１２が直線的に運動できるように配設される。ピストン１２は、圧縮機シリンダを、第１のガス容積１４および第２のガス容積１６に分割する。第１のガス容積１４は、ピストン１２の運動によって、例えばヘリウム等の作動ガスで周期的に圧縮され、再び拡張される。第１の端部２０および第２の端部２２を有する連結棒１８は、第１の端部においてピストン１２に接続される。連結棒１８は、封止ダクト２４を通して圧縮機シリンダ１０の第２のガス容積１６から押し出され、これにより連結棒１８の第２の端部２２は第２のガス容積１６の外側に位置するようになる。作動媒体用の補償コンテナ２５は、第１のガス管路２６を介して第２のガス容積１６に直接接続され、かつ逆止弁２８を備えた第２のガス管路２７を介して、第１のガス容積１４に接続される。逆止弁２８は、第１のガス容積１４の方向に開口している。第２のガス容積１６内の作動媒体は、ピストン１２が作動媒体用の補償コンテナ２５へと後退運動する間、作動媒体用の補償コンテナ２５を通って流れることができる。従って、圧縮機の作動はピストン１２が前進運動する間および第１のガス容積１４内の作動媒体の圧縮中にのみ行われる。

圧縮機設備６は、電気静油圧駆動デバイス８によって駆動される。電気静油圧駆動デバイス８は、油圧ポンプ３２を駆動する電気モータ３０を備える。油圧ポンプ３２は、第１の油圧管路３４を介して油圧油を液圧シリンダ３６に注入し、この液圧シリンダ３６内には、液圧ピストン３８が直線的に運動できるように配設される。液圧ピストン３８は、液圧シリンダ３６を第１の部分容積４０および第２の部分容積４２に分割する。第１の油圧管路３４は第１の部分容積４０へと移り、第２の油圧管路４４は第２の部分容積４２から分岐して油圧ポンプ３２へと戻る。電気モータ３０および液圧ポンプ３２を適切に制御して、液圧ピストン３８を液圧シリンダ３６内で前後に運動させる。液圧ピストン３８は連結棒１８の第２の端部２２に接続され、液密ダクト４６を介して第２の部分容積４２へと延在する。従って、液圧ピストン３８の運動はピストン１２に伝達され、それにより、圧縮シリンダ１０の第１のガス容積１４内のガス状の作動媒体が、液圧ピストン３８の運動およびそれに連結された圧縮機ピストン１２の運動によって、周期的に圧縮される。また、それによって、圧縮機デバイス２の作動圧力範囲を安定化できる。その結果、それによって稼働される冷却デバイス４内で冷却されることによる作動媒体の容積の低減が補償される。

圧縮機設備６の第１のガス容積１４は、ガス管路４８を介して、冷却デバイス４に接続される。冷却デバイス４はここで、周期的に圧縮されたガスをその稼働のために使用する冷却デバイスである。特に、ギフォード・マクマホン冷凍機またはパルス管冷凍機のための冷却デバイスである。従って、図１による本発明の実施形態では、固定量のガスが第１のガス容積１４内で周期的に圧縮され、再び拡張される。

図２は、圧縮機デバイス２を、作動媒体を運び、熱ポンプまたは熱ポンプに付随する冷却ユニットの熱力学回路処理５０を駆動する圧縮機デバイスとして構成する、本発明の第２の実施形態を示す。圧縮機シリンダ１０内の第１のガス容積１４を、ガス管路４８を介して凝縮器５２に接続する。ガス状の作動媒体を凝縮器５２内で熱を失うことによって凝縮する。液体の作動媒体は、スロットル５４を介して気化器５６に供給される。液体の作動媒体を熱を受けながら気化器内で気化し、ガス状の作動媒体をガス管路５８を介して圧縮機シリンダ１０内の第１のガス容積１４へ戻す。第１のガス容積の内外のガス交換はバルブ制御デバイス６０を介して制御される。

圧縮機デバイス２の別の実施形態および変化形を、図３〜図７を用いて以下に説明する。

図３は、液圧シリンダ３６および連結棒１８が液圧ピストン３８と圧縮機要素１２の間の共通のガス密ケーシング７２内に配設されるという点においてのみ、第１の実施形態による圧縮機デバイス２と異なる、圧縮機デバイス７０を用いた本発明の第３の実施形態を示す。ここで、第２のガス容積１６から延びる連結棒１８のダクト２４と液圧シリンダ３６の第１の部分容積４０へと延びるダクト４６もまた、ガス密ケーシング７２内に配設される。この様式では、第１のガス容積１４のガス状の作動媒体が、第２のガス容積１６およびダクト２４を介して流出することを避けられる。これは、極めて高価なヘリウムを作動媒体として使用する場合に特に重要となる。ガス密ケーシング７２はまた、作動媒体用の補償コンテナ２５を画定する。

図４は、これもヘリウム漏れの問題を低減する本発明の第４の実施形態、即ち圧縮機デバイス７５を示す。図４による実施形態は、ガス密ケーシング７２が駆動デバイス８と圧縮機設備６との間の領域に限定されるという点において、図３による実施形態と異なる。連結棒１８、液密ダクト４６およびガス密ダクト２４を、ガス密ケーシング７２内に配設する。ガス容積は比較的小さいガス密ケーシング７２によって封止されるため、図４による実施形態では別個の補償コンテナ２５を提供している。

図５は、これもヘリウム漏れの問題を低減する本発明による第５の実施形態を示す。図５は、液圧シリンダ３６が圧縮機設備の６の圧縮機シリンダ１０に直接接続される圧縮機デバイス８０を示す。液圧シリンダ３６および圧縮機シリンダ１０の接続位置は、Ｏ‐リング８２を用いてガス密に構成される。この様式では、液圧ピストン３８と圧縮機要素１２との間の剛性機械的接続、即ち連結棒１８もまた、ガス密ケーシング内に封入される。

図６は、本発明の第６の実施形態を示す。本発明の第６の実施形態による圧縮機デバイス８４内においても、液圧シリンダ３６を圧縮機シリンダ１０に直接接続し、液圧シリンダ３６および圧縮機シリンダ１０の接続位置を、Ｏ‐リング８２を用いてガス密に構成する。図５による本発明の第５の実施形態との違いは、第６の実施形態では、圧縮機シリンダ１０へと延在する連結棒１８の端部が、圧縮機要素として構成される点である。従って、別個の圧縮機要素は不要となる。圧縮機シリンダ１０は、周期的に減少しおよび再び増大する第１のガス容積１４のみを画定する。作動媒体用の補償コンテナ２５は、逆止弁２８を備えたガス管路２７を介して、このガス容積１４に接続される。圧縮機シリンダ１０の断面または内径は、連結棒１８の断面または外径よりほんのわずか大きい。連結棒１８と圧縮機シリンダ１０の内側との距離は、可能な限り小さい。しかしながら、連結棒１８と圧縮機シリンダ１０の内側との間は封止しなくてよい。作動媒体の封止および包含は、連結棒１８のダクト内にあるＯ‐リング８２が圧縮機シリンダ１０へと入ることで達成される。連結棒１８と圧縮機シリンダ１０との間の距離が短いほど、および圧縮機シリンダ１０内の連結棒１８のストロークが大きいほど、圧縮機デバイス６内の死容積は小さくなり、圧縮機デバイス６はより効率的になる。

図７は、圧縮機設備９０を駆動デバイスから分離して配設する、本発明の第７の実施形態の圧縮機設備９０を示す。圧縮機シリンダ１０へと延在する連結棒１８の端部は、ガス密ベローズ９２に取り囲まれており、このガス密ベローズ９２は、圧縮機シリンダ１０へと延在する連結棒１８の端部と共に、圧縮機設備９０の圧縮機要素を形成する。ベローズ９２はガス密状態で圧縮機シリンダ１０の内側に接続される。この様式では、圧縮機シリンダ１０への連結棒１８用のダクト２４は、ガス密状態で構成される必要はない。圧縮対象であるガス容積１４の封止は、ベローズ９２によって達成される。しかしながら、ダクト２４がガス密状態で構成される場合は、ベローズ９２内の容積９６を、ガス管路９４を介して別の流体補償コンテナ９８に直接接続しなければならない。流体補償コンテナ９８内にある補償流体は、作動媒体ではなく、別のガスまたは液体である。これには例えば、油、特に油圧油を使用できる。

図８は本発明の第８の実施形態の圧縮機設備１００を示す。圧縮機設備１００は単に、ピストン１２の形態の圧縮機要素を連結棒１０の端部上に再配設する点、およびベローズ９２を圧縮機要素１２に接続する点において、圧縮機設備９０と異なる。ピストン１２は、圧縮機シリンダ１０を第１のガス容積１４および第２のガス容積１６に分割し、作動媒体用の補償コンテナ２５は、ガス管路２６を介して第２のガス容積１６に直接接続され、逆止弁２８を備えたガス管路２７を介して、第１のガス容積１４に接続される。また、ダクト２４がガス密状態で構成される場合、ベローズ９２に封入されるガス容積９６を、補償コンテナ９８に接続しなければならない。

図９は、本発明の第９の実施形態の圧縮機設備１１０を示す。圧縮機設備１１０は、圧縮機要素がピストンとしてではなく、金属膜１１２として設計される点において、図１による圧縮機設備６と異なる。連結棒１８の端部は膜１１２の中心に接続される。膜１１２は、圧縮機シリンダ１０を第１のガス容積１４および第２のガス容積１６に分割し、作動媒体用の補償コンテナ２５は、ガス管路２６を介して第２のガス容積１６に直接接続され、逆止弁２８を備えたガス管路２７を介して第１のガス容積１４に直接接続される。ダクト２４がガス密状態で構成される場合、膜１１２によって分離される第２のガス容積１６を、補償コンテナ９８に接続しなければならない。

図１０は、圧縮機設備１２０を用いた本発明の第１０の実施形態を示す。圧縮機デバイス１２０では、複数の圧縮機設備（ここでは第１の圧縮機設備６−１および第２の圧縮機設備６−２）を、単一の電気静油圧デバイス８によって駆動する。即ち、液圧ピストン３８を、フォーク型のリンク１２２を介して、第１の圧縮機シリンダ１０−１の第１の圧縮機要素１２−１および第２の圧縮機シリンダ１０−２内の第２の圧縮機要素１２−２に機械的に連結する。この様式では、いくつかの圧縮機設備６−ｉおよびいくつかの冷却デバイスを、１つの電気静油圧デバイス８で稼働できる。

連結棒１８を介した剛性機械的連結の代わりに、液圧ピストン３８および圧縮機要素１２を磁気的に互いに連結してよい。磁気連結は、圧縮機設備の圧縮機シリンダ１０内および液圧シリンダ３６内に連結棒１８用のダクト２４，４６を必要としないので、その結果として圧縮機シリンダ１０からヘリウムが流出することがほぼ不可能となる。

２ 圧縮機デバイス
４ 冷却デバイス
６ 圧縮機設備
８ 電気静油圧デバイス
１０ 圧縮機シリンダ
１２ 圧縮機要素、ピストン
１４ 第１のガス容積
１６ 第２のガス容積
１８ 連結棒
２０ １８の第１の端部
２２ １８の第２の端部
２４ １０内のガス密ダクト
２５ 作動媒体用の補償コンテナ
２６ 第１のガス管路
２７ 第２のガス管路
２８ 逆止弁

３０ 電気モータ
３２ 液圧ポンプ
３４ 第１の油圧管路
３６ 液圧シリンダ
３８ 液圧ピストン
４０ ２８内の第１の部分容積
４２ ２８内の第２の部分容積
４４ 第２の油圧管路
４６ 流体密ダクト
４８ ガス管路

５０ 熱力学回路処理
５２ 凝縮器
５４ スロットル
５６ 気化器
５８ ガス管路
６０ バルブ制御デバイス

７０ 圧縮機デバイス
７２ ガス密ケーシング
７５ 圧縮機デバイス

８０ 圧縮機デバイス
８２ Ｏ‐リング

８４ 圧縮機デバイス

９０ 圧縮機設備
９２ ベローズ
９４ ガス管路
９６ ９２内部の容積
９８ 流体補償コンテナ

１００ 圧縮機設備

１１０ 圧縮機設備
１１２ 膜

１２０ 圧縮機デバイス
１２２ フォーク型リンク
１０−１ 第１の圧縮機シリンダ
１０−２ 第２の圧縮機シリンダ
１２−１ 第１の圧縮機要素
１２−２ 第２の圧縮機要素

１３０ ヘリウム圧縮機
１３２ 高圧管路
１３４ 低圧管路
１３６ ロータリーバルブ
１３８ ガス管路
１４０ 冷却デバイス

Claims (27)

1. 圧縮機設備（６；９０；１００）であって、前記圧縮機設備（６；９０；１００）内で、前後に運動する圧縮機要素（１２；９２；１１２）によって作動媒体が周期的に圧縮される、圧縮機設備（６；９０；１００）と、
   前記圧縮機要素（１２；９２；１１２）に機械的にまたは磁気的に連結される、駆動デバイス（８）と、を備える、圧縮機デバイス。
2. 請求項１に記載の圧縮機デバイスであって、
   前記圧縮機設備（６；９０；１００）は、前記作動媒体用の補償コンテナ（２５）に接続されることを特徴とする、圧縮機デバイス。
3. 請求項２に記載の圧縮機デバイスであって、
   前記圧縮機要素（１２；９２；１１２）は、前記圧縮機設備（６；９０；１００）を、第１のガス容積（１４）および第２のガス容積（１６）へと細分し、
   前記作動媒体用の前記補償コンテナ（２５）は、前記第１のガス容積（１４）の方向に開口した逆止弁（２８）を介して前記第１のガス容積（１４）に接続されていること
   を特徴とする、圧縮機デバイス。
4. 請求項３に記載の圧縮機デバイスであって、
   前記作動媒体用の前記補償コンテナ（２５）は、前記第２のガス容積（１６）に直接接続されることを特徴とする、圧縮機デバイス。
5. 請求項３に記載の圧縮機デバイスであって、
   前記第２のガス容積（１６；９６；１６、９６）は、管路（９４）を介して流体用の補償コンテナ（９８）に接続されることを特徴とする、圧縮機デバイス。
6. 請求項１〜５のいずれか１項に記載の圧縮機デバイスであって、
   前記駆動デバイス（８）は制御デバイスを備え、前記制御デバイスによって所定のパターンに応じて前記作動媒体の圧縮を行うことを特徴とする、圧縮機デバイス。
7. 請求項６に記載の圧縮機デバイスであって、
   前記所定のパターンは時間に応じて変化することを特徴とする、圧縮機デバイス。
8. 請求項１〜７のいずれか１項に記載の圧縮機デバイスであって、
   前記圧縮機デバイス（６；９０；１００）はフィルタの後に接続されることを特徴とする、圧縮機デバイス。
9. 請求項１〜８のいずれか１項に記載の圧縮機デバイスであって、
   前記作動媒体はヘリウムであることを特徴とする、圧縮機デバイス。
10. 請求項１〜９のいずれか１項に記載の圧縮機デバイスであって、
    前記駆動デバイス（８）は、複数の前記圧縮機設備（６−１、６−２）を駆動することを特徴とする、圧縮機デバイス。
11. 請求項１〜１０のいずれか１項に記載の圧縮機デバイスであって、
    前記駆動デバイス（８）および前記圧縮機設備（６）はそれぞれ、ガス密ハウジング（３６、１０；７２、１０）を有し、
    前記２つのハウジング（３６、１０；７２、１０）はガス密状態で互いに接続されること
    を特徴とする、圧縮機デバイス。
12. 請求項１〜１１のいずれか１項に記載の圧縮機デバイスであって、
    前記圧縮機設備（６；９０；１００）は、０．１〜１０Ｈｚの稼働周波数範囲、特に０．５〜５Ｈｚの稼働周波数範囲用に構成されることを特徴とする、圧縮機デバイス。
13. 請求項１〜１２のいずれか１項に記載の圧縮機デバイスであって、
    前記駆動デバイス（８）と前記圧縮機要素（６；９０；１００）との間の前記機械的連結は、剛性ピストン棒（１８）を介して達成されることを特徴とする、圧縮機デバイス。
14. 請求項１〜１３のいずれか１項に記載の圧縮機デバイスであって、
    前記圧縮機設備（６；９０；１００）は、配送用圧縮機設備として構成されることを特徴とする、圧縮機デバイス。
15. 請求項１〜１４のいずれか１項に記載の圧縮機デバイスであって、
    前記圧縮機要素は、ピストンデバイス（１２）を含むことを特徴とする、圧縮機デバイス。
16. 請求項１５に記載の圧縮機デバイスであって、
    前記圧縮機設備（６；９０）は線形ピストン圧縮機であることを特徴とする、圧縮機デバイス。
17. 請求項１〜１６のいずれか１項に記載の圧縮機デバイスであって、
    前記駆動デバイス（８）は、電気静油圧駆動デバイスであることを特徴とする、圧縮機デバイス。
18. 請求項１７に記載の圧縮機デバイスであって、
    電気静油圧駆動デバイス（８）は、電気モータ（３０）、および前記電気モータによって駆動されかつ液圧シリンダ（３６）に接続される液圧ポンプ（３２）を備え、
    前記液圧シリンダ（３６）内には、液圧ピストン（３８）が直線的に可動に配設され、これにより前記液圧ピストン（３８）は、前記圧縮機設備（６）の前記圧縮機要素（１２）に機械的または磁気的に連結される
    ことを特徴とする、圧縮機デバイス。
19. 請求項１８に記載の圧縮機デバイスであって、
    前記液圧シリンダ（３６）の運動方向は、前記電気モータ（３０）の回転方向によって制御されることを特徴とする、圧縮機デバイス。
20. 請求項１〜１９のいずれか１項に記載の圧縮機デバイスであって、
    前記駆動デバイス（８）は、連結棒（１８）を介して、前記圧縮機設備（６；９０）に機械的に接続され、
    前記駆動デバイス（８）の反対を向いた前記連結棒（１８）の端部が、前記圧縮機要素として構成されていること
    を特徴とする、圧縮機デバイス。
21. 請求項１〜２０のいずれか１項に記載の圧縮機デバイスであって、
    前記圧縮機要素（１２）は膜（１１２）を含むことを特徴とする、圧縮機デバイス。
22. 請求項２１に記載の圧縮機デバイスであって、
    前記膜（１１２）は金属からなることを特徴とする、圧縮機デバイス。
23. 請求項１〜２２のいずれか１項に記載の圧縮機デバイスであって、
    前記圧縮機要素はベローズ（９２）を備えることを特徴とする、圧縮機デバイス。
24. 請求項１〜２３のいずれか１項に記載の圧縮機デバイス、およびギフォード・マクマホン冷凍機またはパルス管冷凍機を備える冷却デバイスであって、
    圧縮機設備（６；９０；１００）は前記ギフォード・マクマホン冷凍機または前記パルス管冷凍機に連結される、冷却デバイス。
25. 請求項２４に記載の冷却デバイスであって、
    前記圧縮機設備（６）は高圧接続（１０２）を備え、
    前記ギフォード・マクマホン冷凍機または前記パルス管冷凍機は、前記圧縮機設備（６；９０；１００）の前記高圧接続（１０２）に接続されること
    を特徴とする、冷却デバイス。
26. 請求項２４に記載の冷却デバイスであって、
    前記圧縮機設備（６；９０；１００）は低圧接続（１０４）を備えること、および
    前記ギフォード・マクマホン冷凍機または前記パルス管冷凍機は、前記圧縮機設備（６）の前記低圧接続（１０４）に接続される
    ことを特徴とする、冷却デバイス。
27. 請求項１〜２２のいずれか１項に記載の圧縮機デバイス（２；７０；７５；８０；８４；９０；１２０）、気化器（５６）および凝縮器（５２）を備える、特に従来の冷凍装置のための、圧縮機冷却ユニット。

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