JPH1073333A - 極低温冷却装置 - Google Patents
極低温冷却装置Info
- Publication number
- JPH1073333A JPH1073333A JP22843696A JP22843696A JPH1073333A JP H1073333 A JPH1073333 A JP H1073333A JP 22843696 A JP22843696 A JP 22843696A JP 22843696 A JP22843696 A JP 22843696A JP H1073333 A JPH1073333 A JP H1073333A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuits
- compressor unit
- pressure regulator
- compressor
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B9/00—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point
- F25B9/10—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point with several cooling stages
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B9/00—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point
- F25B9/02—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point using Joule-Thompson effect; using vortex effect
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B9/00—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point
- F25B9/14—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point characterised by the cycle used, e.g. Stirling cycle
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 装置の構成が簡素で、信頼性が高く、取扱い
の容易な冷却温度が超流動ヘリウム温度(１.８Ｋ）域と
なる閉サイクル運転の極低温冷却装置を実現することを
課題とする。 【解決手段】 予冷用ＧＭ冷凍機２１とＧＭ圧縮機ユニ
ットＢを結ぶ回路２３，２４と、ＪＴ圧縮機ユニットＣ
とＪＴ弁１６とを結ぶＪＴ回路２５，２６を別系統とし
て両者を夫々独立させ、前者の回路２３，２４に於ける
循環ガスとして4Ｈeを、後者のＪＴ回路２５，２６に於
ける循環ガスとして3Ｈeを使用する。ＪＴ圧縮機ユニッ
トＣは１段の圧縮機本体１とこれと並列に接続した逆止
弁５と、一次圧力調整器６と、バッファタンク７と、二
次圧力調整器８及び逆止弁付微差圧調整器９とからなる
減圧調整機構とによってＪＴ回路の低圧側を負圧保持可
能にした。
の容易な冷却温度が超流動ヘリウム温度(１.８Ｋ）域と
なる閉サイクル運転の極低温冷却装置を実現することを
課題とする。 【解決手段】 予冷用ＧＭ冷凍機２１とＧＭ圧縮機ユニ
ットＢを結ぶ回路２３，２４と、ＪＴ圧縮機ユニットＣ
とＪＴ弁１６とを結ぶＪＴ回路２５，２６を別系統とし
て両者を夫々独立させ、前者の回路２３，２４に於ける
循環ガスとして4Ｈeを、後者のＪＴ回路２５，２６に於
ける循環ガスとして3Ｈeを使用する。ＪＴ圧縮機ユニッ
トＣは１段の圧縮機本体１とこれと並列に接続した逆止
弁５と、一次圧力調整器６と、バッファタンク７と、二
次圧力調整器８及び逆止弁付微差圧調整器９とからなる
減圧調整機構とによってＪＴ回路の低圧側を負圧保持可
能にした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は極低温冷却装置に関
するものである。
するものである。
【０００２】
（１） 多段のＧＭ（ギフォ−ド・マクマホン）冷凍機
やスタ−リング冷凍機にＪＴ（ジュ−ル・トムソン）回
路を組合せた４Ｋ冷却システム：これは一般には液体ヘ
リウム温度(４.２Ｋ）での冷却能力を発生させる装置で
あり、負圧運転機構を有しても３Ｋレベルが限界であっ
た（実公平７−９０００参照）。これは、ＪＴ回路を循
環する4Ｈe（ヘリウム４）の１.８Ｋでの飽和蒸気圧が
１６.６mbarと非常に低いので、ＪＴ回路の低圧側の圧
力を、１６.６mbarにする排気用ポンプ装置が必要にな
るのと、ＪＴ低圧系の圧力損失の許容値が厳しくなるた
めである。従って、装置が複雑となり、コストアップと
なる。
やスタ−リング冷凍機にＪＴ（ジュ−ル・トムソン）回
路を組合せた４Ｋ冷却システム：これは一般には液体ヘ
リウム温度(４.２Ｋ）での冷却能力を発生させる装置で
あり、負圧運転機構を有しても３Ｋレベルが限界であっ
た（実公平７−９０００参照）。これは、ＪＴ回路を循
環する4Ｈe（ヘリウム４）の１.８Ｋでの飽和蒸気圧が
１６.６mbarと非常に低いので、ＪＴ回路の低圧側の圧
力を、１６.６mbarにする排気用ポンプ装置が必要にな
るのと、ＪＴ低圧系の圧力損失の許容値が厳しくなるた
めである。従って、装置が複雑となり、コストアップと
なる。
【０００３】（２） クロ−ドサイクルにＪＴ回路を組
合せた冷却システム：これは超流動ヘリウム温度を生成
させる冷却システムであるが、装置が複数段の排気用ポ
ンプ、複数段の圧縮機、複数個のＪＴバルブ、及び５個
以上の熱交換器等により構成され、非常に複雑となる。
従って構成の複雑さにともない信頼性が低下し、取扱い
が容易でない。
合せた冷却システム：これは超流動ヘリウム温度を生成
させる冷却システムであるが、装置が複数段の排気用ポ
ンプ、複数段の圧縮機、複数個のＪＴバルブ、及び５個
以上の熱交換器等により構成され、非常に複雑となる。
従って構成の複雑さにともない信頼性が低下し、取扱い
が容易でない。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】装置の構成が簡素で、
信頼性が高く、取扱いの容易な冷却温度が超流動ヘリウ
ム温度(１.８Ｋ）域となる閉サイクル運転の極低温冷却
装置を実現することを課題とする。
信頼性が高く、取扱いの容易な冷却温度が超流動ヘリウ
ム温度(１.８Ｋ）域となる閉サイクル運転の極低温冷却
装置を実現することを課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】予冷用ＧＭ冷凍機２１と
ＧＭ圧縮機ユニットＢを結ぶ回路２３，２４と、ＪＴ圧
縮機ユニットＣとＪＴ弁１６とを結ぶＪＴ回路２５，２
６を別系統として両者を夫々独立させ、前者の回路２
３，２４に於ける循環ガスとして4Ｈeを、後者のＪＴ回
路２５，２６に於ける循環ガスとして3Ｈeを使用した。
ＪＴ圧縮機ユニットＣは１段の圧縮機本体１と、これと
並列に接続した逆止弁５と、一次圧力調整器６と、バッ
ファタンク７と、二次圧力調整器８及び逆止弁付微差圧
調整器９とからなる減圧調整機構とによってＪＴ回路の
低圧側を負圧保持可能にした。
ＧＭ圧縮機ユニットＢを結ぶ回路２３，２４と、ＪＴ圧
縮機ユニットＣとＪＴ弁１６とを結ぶＪＴ回路２５，２
６を別系統として両者を夫々独立させ、前者の回路２
３，２４に於ける循環ガスとして4Ｈeを、後者のＪＴ回
路２５，２６に於ける循環ガスとして3Ｈeを使用した。
ＪＴ圧縮機ユニットＣは１段の圧縮機本体１と、これと
並列に接続した逆止弁５と、一次圧力調整器６と、バッ
ファタンク７と、二次圧力調整器８及び逆止弁付微差圧
調整器９とからなる減圧調整機構とによってＪＴ回路の
低圧側を負圧保持可能にした。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１に基いて説明する。図１は本
発明の3Ｈe／ＪＴ方式による２Ｋレベル冷凍装置のフロ
−を示す。Ａは冷凍機ユニット、ＢはＧＭ圧縮機ユニッ
ト、ＣはＪＴ圧縮機ユニットで、冷凍機ユニットＡとＧ
Ｍ圧縮機ユニットＢは管路２３，２４で、又冷凍機ユニ
ットＡとＪＴ圧縮機ユニットＣは管路２５，２６で接続
されている。
発明の3Ｈe／ＪＴ方式による２Ｋレベル冷凍装置のフロ
−を示す。Ａは冷凍機ユニット、ＢはＧＭ圧縮機ユニッ
ト、ＣはＪＴ圧縮機ユニットで、冷凍機ユニットＡとＧ
Ｍ圧縮機ユニットＢは管路２３，２４で、又冷凍機ユニ
ットＡとＪＴ圧縮機ユニットＣは管路２５，２６で接続
されている。
【０００７】冷凍機ユニットＡとＧＭ圧縮機ユニットＢ
は従来型のものを使用している。２１は予冷用ＧＭ冷凍
機である。ＧＭ圧縮機ユニットＢは、ＧＭ冷凍機２１専
用の圧縮機である。１１は第１段熱負荷フランジ、１２
は第２段熱負荷フランジ、１３は第１段熱交換器、１４
は第２段熱交換器、１５は第３段熱交換器である。１６
はＪＴ弁、１７は７〜１５Ｋステ−ジ、１８は２Ｋステ
−ジで、１９は４０〜６０Ｋシ−ルド、２０は７〜１５
Ｋシ−ルドである。これらは真空断熱容器２２内に収め
られている。
は従来型のものを使用している。２１は予冷用ＧＭ冷凍
機である。ＧＭ圧縮機ユニットＢは、ＧＭ冷凍機２１専
用の圧縮機である。１１は第１段熱負荷フランジ、１２
は第２段熱負荷フランジ、１３は第１段熱交換器、１４
は第２段熱交換器、１５は第３段熱交換器である。１６
はＪＴ弁、１７は７〜１５Ｋステ−ジ、１８は２Ｋステ
−ジで、１９は４０〜６０Ｋシ−ルド、２０は７〜１５
Ｋシ−ルドである。これらは真空断熱容器２２内に収め
られている。
【０００８】ＪＴ圧縮機ユニットＣは圧縮機本体１に吸
込弁及び吐出弁のないスクロ−ル式圧縮機を用いてい
る。高い圧縮比と吸込側を減圧することが必要である本
発明のＪＴ回路に、弁を有する圧縮機を用いると弁が破
損しやすくなる為スクロ−ル式が最も適している。この
スクロ−ル式圧縮機は、図２に示す如く、固定スクロ−
ルａと旋回スクロ−ルｂのラップは基本的に同形であ
り、位相が１８０度ずれた状態で、かつ各々の中心をε
離した状態で組合わされている。この結果、両ラップの
間に圧縮室Ｃが形成される。図２(ｂ)はラップ外周部の
圧縮室Ｃが閉じた吸入完了状態を示し、旋回スクロ−ル
ｂの中心が時計回りに円軌道運動することによって圧縮
室Ｃがラップ中心部へ向って体積を縮少しながら移動し
圧縮作用が行われる。
込弁及び吐出弁のないスクロ−ル式圧縮機を用いてい
る。高い圧縮比と吸込側を減圧することが必要である本
発明のＪＴ回路に、弁を有する圧縮機を用いると弁が破
損しやすくなる為スクロ−ル式が最も適している。この
スクロ−ル式圧縮機は、図２に示す如く、固定スクロ−
ルａと旋回スクロ−ルｂのラップは基本的に同形であ
り、位相が１８０度ずれた状態で、かつ各々の中心をε
離した状態で組合わされている。この結果、両ラップの
間に圧縮室Ｃが形成される。図２(ｂ)はラップ外周部の
圧縮室Ｃが閉じた吸入完了状態を示し、旋回スクロ−ル
ｂの中心が時計回りに円軌道運動することによって圧縮
室Ｃがラップ中心部へ向って体積を縮少しながら移動し
圧縮作用が行われる。
【０００９】図１に戻って２は油分離器（オイルセパレ
−タ）、３は吸着器（アドゾ−バ）である。５は逆止
弁、６は一次圧力調整器、７はバッファタンク、８は二
次圧力調整器、９は逆止弁付微差圧調整器で、これらは
圧縮機本体１と並列に接続されている。二次圧力調整器
８及び逆止弁付差圧調整器９とで、ＪＴ弁１６後の圧力
を負圧に保持する減圧調整機構を構成している。従来は
循環ガスは全て4Ｈe（ヘリウム４）であったが、本発明
では予冷用ＧＭ冷凍機２１とＧＭ圧縮機ユニットＢは4
Ｈe（ヘリウム４）を循環ガスとし、ＪＴ回路とＪＴ圧
縮機ユニットＣは3Ｈe（ヘリウム３）を循環ガスとして
いる。
−タ）、３は吸着器（アドゾ−バ）である。５は逆止
弁、６は一次圧力調整器、７はバッファタンク、８は二
次圧力調整器、９は逆止弁付微差圧調整器で、これらは
圧縮機本体１と並列に接続されている。二次圧力調整器
８及び逆止弁付差圧調整器９とで、ＪＴ弁１６後の圧力
を負圧に保持する減圧調整機構を構成している。従来は
循環ガスは全て4Ｈe（ヘリウム４）であったが、本発明
では予冷用ＧＭ冷凍機２１とＧＭ圧縮機ユニットＢは4
Ｈe（ヘリウム４）を循環ガスとし、ＪＴ回路とＪＴ圧
縮機ユニットＣは3Ｈe（ヘリウム３）を循環ガスとして
いる。
【００１０】（作用）運転前の3Ｈeガス系内は高圧側、
低圧側に3Ｈeを所定の圧力(５〜６kg／cm2）で封入して
ある。制御回路（図示しない）の運転スイッチを「オ
ン」にすると、ＧＭ圧縮機ユニットＢと圧縮機本体１及
び予冷用ＧＭ冷凍機２１が起動する。
低圧側に3Ｈeを所定の圧力(５〜６kg／cm2）で封入して
ある。制御回路（図示しない）の運転スイッチを「オ
ン」にすると、ＧＭ圧縮機ユニットＢと圧縮機本体１及
び予冷用ＧＭ冷凍機２１が起動する。
【００１１】ＧＭ圧縮機ユニットＢで約２０kg／cm2Ｇ
まで圧縮された4Ｈe（ヘリウム４）ガスは管路２３を経
て冷凍機ユニットＡの予冷用ＧＭ冷凍機２１へ流れる。
ＧＭ冷凍機２１へ流入した4Ｈeはこゝで低温を発生さ
せ、１段熱負荷フランジ１１、２段熱負荷フランジ１２
を冷却したのち、管路２４を経てＧＭ圧縮機ユニットＢ
内へ吸入される。
まで圧縮された4Ｈe（ヘリウム４）ガスは管路２３を経
て冷凍機ユニットＡの予冷用ＧＭ冷凍機２１へ流れる。
ＧＭ冷凍機２１へ流入した4Ｈeはこゝで低温を発生さ
せ、１段熱負荷フランジ１１、２段熱負荷フランジ１２
を冷却したのち、管路２４を経てＧＭ圧縮機ユニットＢ
内へ吸入される。
【００１２】ＪＴ圧縮機ユニットＣ内の圧縮機本体１で
圧縮された3Ｈe（ヘリウム３）ガスは約５kg／cm2Ｇと
なり、油分離器２と吸着器３を通ってクリ−ンな3Ｈeと
なり、管路２５を経て冷凍機ユニットＡのＪＴ回路へと
流れる。
圧縮された3Ｈe（ヘリウム３）ガスは約５kg／cm2Ｇと
なり、油分離器２と吸着器３を通ってクリ−ンな3Ｈeと
なり、管路２５を経て冷凍機ユニットＡのＪＴ回路へと
流れる。
【００１３】ＪＴ回路の3Ｈeは第１段熱交換器１３を通
って第１段熱負荷フランジ１１で冷却され、第２段熱交
換器１４を通り、さらに第２段熱負荷フランジ１２で冷
却され、第３段熱交換器１５、ＪＴ弁１６を出たのち、
０kg／cm2Ｇ以下に膨張して２Ｋステ−ジ１８を冷却す
る。２Ｋステ−ジ１８を冷却した低圧3Ｈeは第３段熱交
換器１５、第２段熱交換器１４、第１段熱交換器１３を
通って、高圧の流入3Ｈeと熱交換して昇温し、ＪＴ圧縮
機ユニットＣの圧縮機本体１に管路２６を経て吸入され
る。その後の運転で、予冷用ＧＭ冷凍機２１の１段、２
段熱負荷フランジ１１，１２が冷却され１段，２段，３
段熱交換器１３，１４，１５とＪＴ弁１６のジュ−ルト
ムソン効果によって、２Ｋステ−ジ１８は定常温度に冷
却される。この時の定常温度はＪＴ弁１６後の圧力に対
する飽和温度となり、ＪＴ弁１６後の圧力を０kg／cm2
Ｇ以下に減圧することによって、３．２Ｋ以下の温度が
得られる。たとえば、約−０.９kg／cm2Ｇまで減圧すれ
ば超流動ヘリウム温度（１.８Ｋ）域の温度が得られ
る。
って第１段熱負荷フランジ１１で冷却され、第２段熱交
換器１４を通り、さらに第２段熱負荷フランジ１２で冷
却され、第３段熱交換器１５、ＪＴ弁１６を出たのち、
０kg／cm2Ｇ以下に膨張して２Ｋステ−ジ１８を冷却す
る。２Ｋステ−ジ１８を冷却した低圧3Ｈeは第３段熱交
換器１５、第２段熱交換器１４、第１段熱交換器１３を
通って、高圧の流入3Ｈeと熱交換して昇温し、ＪＴ圧縮
機ユニットＣの圧縮機本体１に管路２６を経て吸入され
る。その後の運転で、予冷用ＧＭ冷凍機２１の１段、２
段熱負荷フランジ１１，１２が冷却され１段，２段，３
段熱交換器１３，１４，１５とＪＴ弁１６のジュ−ルト
ムソン効果によって、２Ｋステ−ジ１８は定常温度に冷
却される。この時の定常温度はＪＴ弁１６後の圧力に対
する飽和温度となり、ＪＴ弁１６後の圧力を０kg／cm2
Ｇ以下に減圧することによって、３．２Ｋ以下の温度が
得られる。たとえば、約−０.９kg／cm2Ｇまで減圧すれ
ば超流動ヘリウム温度（１.８Ｋ）域の温度が得られ
る。
【００１４】ＪＴ圧縮機ユニットＣの圧力制御作用は、
吸着器３の個所の3Ｈeが６kg／cm2Ｇ以上になると、一
次圧力調整器６が作動し、吐出3Ｈeガスの一部をバッフ
ァタンク７へ保持し、圧縮機本体１の吸入圧力が低下す
ると、二次圧力調整器８と逆止弁付微差圧調整器９が作
動し、バッファタンク７の3Ｈeが供給される。この二次
圧力調整器８と逆止弁付微差圧調整器９を所定の吸込圧
力になるように調整すれば約３．２Ｋから約１．５Ｋま
での任意の冷却温度を得ることができる。又、二次圧力
調整器８と逆止弁付微差圧調整器９を使用しない方法と
して、ＪＴ弁開度によるＪＴ流量に対し、所定の吸込圧
力になるよう、ＪＴ圧縮機ユニットＣの運転周波数をイ
ンバ−タで制御することもできる。
吸着器３の個所の3Ｈeが６kg／cm2Ｇ以上になると、一
次圧力調整器６が作動し、吐出3Ｈeガスの一部をバッフ
ァタンク７へ保持し、圧縮機本体１の吸入圧力が低下す
ると、二次圧力調整器８と逆止弁付微差圧調整器９が作
動し、バッファタンク７の3Ｈeが供給される。この二次
圧力調整器８と逆止弁付微差圧調整器９を所定の吸込圧
力になるように調整すれば約３．２Ｋから約１．５Ｋま
での任意の冷却温度を得ることができる。又、二次圧力
調整器８と逆止弁付微差圧調整器９を使用しない方法と
して、ＪＴ弁開度によるＪＴ流量に対し、所定の吸込圧
力になるよう、ＪＴ圧縮機ユニットＣの運転周波数をイ
ンバ−タで制御することもできる。
【００１５】
【発明の効果】冷凍機ユニットＡとＪＴ圧縮機ユニット
Ｃを結ぶＪＴ回路と、冷凍機ユニットＡとＧＭ圧縮機ユ
ニットＢとを結ぶ回路とを別系統とし、ＪＴ回路の循環
ガスとして3Ｈe(ヘリウム３)を、又ＪＴ圧縮機ユニット
Ｃの循環ガスとして3Ｈeを使用し、かつこの回路に減圧
調整機構を設けたので、超流動ヘリウム温度(１.８Ｋ）
域まで任意に冷却可能となった。このような構成にした
ので、冷凍機ユニットＡは従来のＧＭ圧縮機ユニットと
ＪＴ弁との４Ｋ冷却システムと同様の構成でよく、操作
も同程度で比較的簡単である。そしてＪＴ回路は、１０
kg／cm2Ｇ未満の低圧でよいので、従来システムより安
全となった。超流動ヘリウム温度（１．８Ｋ）域の冷却
温度を要求される場合で、比較的簡単な操作が可能な極
低温冷却装置が望まれる場合に本発明装置は最適であ
り、その利用が大いに期待される。
Ｃを結ぶＪＴ回路と、冷凍機ユニットＡとＧＭ圧縮機ユ
ニットＢとを結ぶ回路とを別系統とし、ＪＴ回路の循環
ガスとして3Ｈe(ヘリウム３)を、又ＪＴ圧縮機ユニット
Ｃの循環ガスとして3Ｈeを使用し、かつこの回路に減圧
調整機構を設けたので、超流動ヘリウム温度(１.８Ｋ）
域まで任意に冷却可能となった。このような構成にした
ので、冷凍機ユニットＡは従来のＧＭ圧縮機ユニットと
ＪＴ弁との４Ｋ冷却システムと同様の構成でよく、操作
も同程度で比較的簡単である。そしてＪＴ回路は、１０
kg／cm2Ｇ未満の低圧でよいので、従来システムより安
全となった。超流動ヘリウム温度（１．８Ｋ）域の冷却
温度を要求される場合で、比較的簡単な操作が可能な極
低温冷却装置が望まれる場合に本発明装置は最適であ
り、その利用が大いに期待される。
【図１】本発明に係る極低温冷却装置の回路図である。
【図２】(ａ)はスクロ−ル式圧縮機の断面図、(ｂ)は同
じく圧縮室が閉じた吸入完了状態を示す断面図。
じく圧縮室が閉じた吸入完了状態を示す断面図。
Ａ 冷凍機ユニット Ｂ ＧＭ圧縮機ユニ
ット Ｃ ＪＴ圧縮機ユニット １ 圧縮機本体 ２ 油分離器 ３ 吸着器 ４ 圧力計 ５ 逆止弁 ６ 一次圧力調整器 ７ バッファタンク ８ 二次圧力調整器 ９ 逆止弁付微差圧調整器 10 圧力計 11 第１段熱負荷フランジ 12 第２段熱負荷フ
ランジ 13 第１段熱交換器 14 第２段熱交換器 15 第３段熱交換器 16 ＪＴ弁 17 ７〜１５Ｋステ−ジ 18 ２Ｋステ−ジ 19 ４０〜６０Ｋシ−ルド 20 ７〜１５Ｋシ−
ルド 21 予冷用ＧＭ冷凍機 22 真空断熱容器 23，24，25，26 管路
ット Ｃ ＪＴ圧縮機ユニット １ 圧縮機本体 ２ 油分離器 ３ 吸着器 ４ 圧力計 ５ 逆止弁 ６ 一次圧力調整器 ７ バッファタンク ８ 二次圧力調整器 ９ 逆止弁付微差圧調整器 10 圧力計 11 第１段熱負荷フランジ 12 第２段熱負荷フ
ランジ 13 第１段熱交換器 14 第２段熱交換器 15 第３段熱交換器 16 ＪＴ弁 17 ７〜１５Ｋステ−ジ 18 ２Ｋステ−ジ 19 ４０〜６０Ｋシ−ルド 20 ７〜１５Ｋシ−
ルド 21 予冷用ＧＭ冷凍機 22 真空断熱容器 23，24，25，26 管路
Claims (2)
- 【請求項１】 予冷用ＧＭ冷凍機(21)とＧＭ圧縮機ユニ
ット(Ｂ)を結ぶ回路(23，24)と、ＪＴ圧縮機ユニット
(Ｃ)とＪＴ弁(16)とを結ぶＪＴ回路(25，26)を別系統と
して両者を夫々独立させ、前者の回路(23，24)に於ける
循環ガスとして4Ｈeを、後者のＪＴ回路(25，26)に於け
る循環ガスとして3Ｈeを使用することを特徴とする極低
温冷却装置。 - 【請求項２】 ＪＴ圧縮機ユニット(Ｃ)は１段の圧縮機
本体(１)と、これと並列に接続した逆止弁(５)と、一次
圧力調整器(６)と、バッファタンク(７)と、二次圧力調
整器(８)及び逆止弁付微差圧調整器(９)とからなる減圧
調整機構とによってＪＴ回路の低圧側を負圧保持可能に
した請求項１記載の極低温冷却装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22843696A JPH1073333A (ja) | 1996-08-29 | 1996-08-29 | 極低温冷却装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22843696A JPH1073333A (ja) | 1996-08-29 | 1996-08-29 | 極低温冷却装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1073333A true JPH1073333A (ja) | 1998-03-17 |
Family
ID=16876467
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22843696A Pending JPH1073333A (ja) | 1996-08-29 | 1996-08-29 | 極低温冷却装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1073333A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004016997A1 (en) * | 2002-08-17 | 2004-02-26 | Oxford Magnet Technology | Oil carry-over prevention from helium gas compressor |
| JP2006343075A (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-21 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 機械式冷凍機とジュール・トムソン膨張を用いた極低温冷凍機 |
| US7263845B2 (en) * | 2004-09-29 | 2007-09-04 | The Boc Group, Inc. | Backup cryogenic refrigeration system |
| JP2014173819A (ja) * | 2013-03-12 | 2014-09-22 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプシステム、クライオポンプシステムの運転方法、及び圧縮機ユニット |
| JP2014526012A (ja) * | 2011-08-03 | 2014-10-02 | プレッシャー・ウェーブ・システムズ・ゲーエムベーハー | 圧縮機デバイス、圧縮機デバイスを備える冷却デバイス、および圧縮機デバイスを備える冷却ユニット |
| CN115264988A (zh) * | 2022-07-11 | 2022-11-01 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种节流制冷机耦合吸附式制冷机的低温结构及实现方法 |
-
1996
- 1996-08-29 JP JP22843696A patent/JPH1073333A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004016997A1 (en) * | 2002-08-17 | 2004-02-26 | Oxford Magnet Technology | Oil carry-over prevention from helium gas compressor |
| US7263845B2 (en) * | 2004-09-29 | 2007-09-04 | The Boc Group, Inc. | Backup cryogenic refrigeration system |
| JP2006343075A (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-21 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 機械式冷凍機とジュール・トムソン膨張を用いた極低温冷凍機 |
| JP4595121B2 (ja) * | 2005-06-10 | 2010-12-08 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 機械式冷凍機とジュール・トムソン膨張を用いた極低温冷凍装置 |
| JP2014526012A (ja) * | 2011-08-03 | 2014-10-02 | プレッシャー・ウェーブ・システムズ・ゲーエムベーハー | 圧縮機デバイス、圧縮機デバイスを備える冷却デバイス、および圧縮機デバイスを備える冷却ユニット |
| JP2014173819A (ja) * | 2013-03-12 | 2014-09-22 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | クライオポンプシステム、クライオポンプシステムの運転方法、及び圧縮機ユニット |
| CN115264988A (zh) * | 2022-07-11 | 2022-11-01 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种节流制冷机耦合吸附式制冷机的低温结构及实现方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP6975015B2 (ja) | 極低温システム | |
| KR101669729B1 (ko) | Lng냉열이용 팽창기체 흡입식 공기액화장치 | |
| CN103047788B (zh) | 低温线性压缩机驱动的j-t节流制冷循环系统 | |
| JPH1073333A (ja) | 極低温冷却装置 | |
| JPH07234027A (ja) | 多元冷凍装置 | |
| JP3573384B2 (ja) | 極低温冷凍装置 | |
| CN107560226B (zh) | 液氢温区预冷型直接节流jt制冷机 | |
| JPH11108476A (ja) | 極低温冷却装置 | |
| JP3638557B2 (ja) | 極低温冷却方法及び装置 | |
| JPH079000Y2 (ja) | 極低温冷凍装置 | |
| JP2910499B2 (ja) | 冷凍装置 | |
| JP3248235B2 (ja) | ２元冷凍装置の運転方法及びその装置 | |
| EP1318363A2 (en) | Method and system for cryogenic refrigeration | |
| JP3596825B2 (ja) | 極低温冷凍機の低圧制御装置 | |
| JPS61235648A (ja) | ヘリウム冷凍装置 | |
| JPS5951155B2 (ja) | 超電導装置 | |
| JPH0689956B2 (ja) | 小型Ｈｅ液化冷凍装置 | |
| JPS6353471B2 (ja) | ||
| JPS61235649A (ja) | ヘリウム冷凍装置 | |
| JPH0718608B2 (ja) | 冷凍装置 | |
| JPS5821186B2 (ja) | 極低温冷凍装置 | |
| JPH028234B2 (ja) | ||
| JPH05322343A (ja) | リザーバタンク付き冷凍装置 | |
| JPS6317360A (ja) | 極低温冷凍装置の予冷方法 | |
| JPH0285653A (ja) | 極低温冷凍機 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Effective date: 20050218 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050301 |
|
| A521 | Written amendment |
Effective date: 20050428 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20051004 |