JPH079000Y2 - 極低温冷凍装置 - Google Patents
極低温冷凍装置Info
- Publication number
- JPH079000Y2 JPH079000Y2 JP2180888U JP2180888U JPH079000Y2 JP H079000 Y2 JPH079000 Y2 JP H079000Y2 JP 2180888 U JP2180888 U JP 2180888U JP 2180888 U JP2180888 U JP 2180888U JP H079000 Y2 JPH079000 Y2 JP H079000Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- compressor
- valve
- refrigerator
- heat exchanger
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- Containers, Films, And Cooling For Superconductive Devices (AREA)
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は極低温冷凍装置に関するものである。最近He冷
凍機の最低冷却温度としての標準仕様である4.3Kより低
い温度が要求されることが多いが、本考案はこれを可能
とする極低温冷凍装置に関するものである。
凍機の最低冷却温度としての標準仕様である4.3Kより低
い温度が要求されることが多いが、本考案はこれを可能
とする極低温冷凍装置に関するものである。
（従来の技術） 従来の4Kヘリウム冷凍装置のジュール・トムソン弁（Ｊ
−Ｔ弁という）の吐出側の圧力を減圧する方法として次
の２つが知られている。
−Ｔ弁という）の吐出側の圧力を減圧する方法として次
の２つが知られている。
１）ヘリウム冷凍機のＪ−Ｔ回路低圧側と圧縮機ユニッ
トの１段圧縮機流入側との間に昇圧装置を設け、大気圧
以下に設定したＪ−Ｔ弁吐出側のヘリウムガスをこの昇
圧装置で大気圧として圧縮機ユニットの１段側に戻す。
トの１段圧縮機流入側との間に昇圧装置を設け、大気圧
以下に設定したＪ−Ｔ弁吐出側のヘリウムガスをこの昇
圧装置で大気圧として圧縮機ユニットの１段側に戻す。
２）圧縮機ユニットのストレージタンクからのヘリウム
供給系に手動弁を設け絞り、又Ｊ−Ｔ弁を絞って圧縮機
ユニットの１段吸入側を減圧することによってＪ−Ｔ弁
吐出側の圧力を減圧する。
供給系に手動弁を設け絞り、又Ｊ−Ｔ弁を絞って圧縮機
ユニットの１段吸入側を減圧することによってＪ−Ｔ弁
吐出側の圧力を減圧する。
前者の欠点は昇圧装置の潤滑油不足を来たすので、長時
間運転の耐久性がないことと、昇圧装置を必要とするた
めに操作が複雑となり、コストアップとなること、後者
の欠点は圧縮機ユニットにロータリ式あるいはレシプロ
式の圧縮機を用いていたために１段吸入側が減圧される
と、圧縮機の騒音が大きくなり、吸入弁・吐出弁が破損
しやすいことである。
間運転の耐久性がないことと、昇圧装置を必要とするた
めに操作が複雑となり、コストアップとなること、後者
の欠点は圧縮機ユニットにロータリ式あるいはレシプロ
式の圧縮機を用いていたために１段吸入側が減圧される
と、圧縮機の騒音が大きくなり、吸入弁・吐出弁が破損
しやすいことである。
（考案の解決しようとする課題） 4Kヘリウム冷凍装置のジュール・トムソン弁（以下Ｊ−
Ｔ弁と呼ぶ）の吐出側圧力を連続して大気圧力以下に減
圧し、4.3Kから3.0Kの任意の冷凍温度が安定して得られ
る様にするための新しい減圧方法を提供し、性能の向上
と操作性の向上を図ろうとするものである。
Ｔ弁と呼ぶ）の吐出側圧力を連続して大気圧力以下に減
圧し、4.3Kから3.0Kの任意の冷凍温度が安定して得られ
る様にするための新しい減圧方法を提供し、性能の向上
と操作性の向上を図ろうとするものである。
（考案による課題の解決手段） ヘリウム冷凍機Ａと圧縮機ユニットＢとからなる極低温
冷凍機において、圧縮機ユニットＢの１段圧縮機１に吸
入弁及び吐出弁のないスクロール式を用い、該１段圧縮
機１の後段には、２段圧縮機２を接続し、該２段圧縮機
は管路25を介して前記ヘリウム冷凍機Ａの予冷用冷凍機
23に接続すると共に、管路25から分岐して管路26aを介
し、ヘリウム冷凍機Ａ内の１段熱交換機13と接続し、該
１段熱交換機13は、予冷用冷凍機23の１段熱負荷フラン
ジ11と、２段熱交換器14、２段熱負荷フランジ12、３段
熱交換器15及びJT弁16と順次接続して4Kパネル18を冷却
し、前記予冷用冷凍機23は管路26を介して圧縮機ユニッ
トＢの１段圧縮機１と、２段圧縮機２との間に接続し、
前記１段熱交換器13は管路27を介して１段圧縮機１の前
段に接続し、前記２段圧縮機２の後段は圧縮機ユニット
Ｂ内部で分岐して逆止弁５、１次圧力調整器６、２次圧
力調整器８及び逆止弁付微差圧調整器９と順次接続した
後、１段圧縮機１の前段に接続したことを特徴とする極
低温冷凍装置。
冷凍機において、圧縮機ユニットＢの１段圧縮機１に吸
入弁及び吐出弁のないスクロール式を用い、該１段圧縮
機１の後段には、２段圧縮機２を接続し、該２段圧縮機
は管路25を介して前記ヘリウム冷凍機Ａの予冷用冷凍機
23に接続すると共に、管路25から分岐して管路26aを介
し、ヘリウム冷凍機Ａ内の１段熱交換機13と接続し、該
１段熱交換機13は、予冷用冷凍機23の１段熱負荷フラン
ジ11と、２段熱交換器14、２段熱負荷フランジ12、３段
熱交換器15及びJT弁16と順次接続して4Kパネル18を冷却
し、前記予冷用冷凍機23は管路26を介して圧縮機ユニッ
トＢの１段圧縮機１と、２段圧縮機２との間に接続し、
前記１段熱交換器13は管路27を介して１段圧縮機１の前
段に接続し、前記２段圧縮機２の後段は圧縮機ユニット
Ｂ内部で分岐して逆止弁５、１次圧力調整器６、２次圧
力調整器８及び逆止弁付微差圧調整器９と順次接続した
後、１段圧縮機１の前段に接続したことを特徴とする極
低温冷凍装置。
（実施例） 第１図は本考案の超電導素子の冷却に使用したヘリウム
冷凍装置のフローを示す。Ａはヘリウム冷凍機、Ｂは圧
縮機ユニットで、両者は管路25,26,27で接続されてい
る。
冷凍装置のフローを示す。Ａはヘリウム冷凍機、Ｂは圧
縮機ユニットで、両者は管路25,26,27で接続されてい
る。
ヘリウム冷凍機Ａは従来型のものを使用している。23は
予冷用GM（ギフォード・マクマホン）サイクル冷凍機で
ある。11は１段熱負荷フランジ、12は２段熱負荷フラン
ジ、13は１段熱交換器、14は２段熱交換器、15は３段熱
交換器である。16はＪ−Ｔ弁、17は20Kパネル、18は4K
パネルで、19は60Kシールド、20は20Kシールド、21は20
K素子、22は4K素子である。これらは真空断熱容器24内
に収められている。
予冷用GM（ギフォード・マクマホン）サイクル冷凍機で
ある。11は１段熱負荷フランジ、12は２段熱負荷フラン
ジ、13は１段熱交換器、14は２段熱交換器、15は３段熱
交換器である。16はＪ−Ｔ弁、17は20Kパネル、18は4K
パネルで、19は60Kシールド、20は20Kシールド、21は20
K素子、22は4K素子である。これらは真空断熱容器24内
に収められている。
圧縮機ユニットＢは1,2段圧縮機1,2に吸入弁及び吐出弁
のないスクロール式を用いて油分離器３、吸着器４と圧
力調整部Ａ−B,B−Ｃで構成している。Ａ−Ｂは高圧
側、Ｂ−Ｃは低圧側調整部である。５は逆止弁、６は一
次圧力調整器、７はストレージタンク、８は２次圧力調
整器、９は逆止弁付微差圧調整器である。
のないスクロール式を用いて油分離器３、吸着器４と圧
力調整部Ａ−B,B−Ｃで構成している。Ａ−Ｂは高圧
側、Ｂ−Ｃは低圧側調整部である。５は逆止弁、６は一
次圧力調整器、７はストレージタンク、８は２次圧力調
整器、９は逆止弁付微差圧調整器である。
第２図は圧縮機ユニットＢにおける従来型圧力調整部
Ａ′−Ｂ′,B′−Ｃ′を示す。前記した如く、本考案で
は圧力調整部が第１図の如くＢ−Ｃの構成になってい
る。即ち従来は２次圧力調整器８のあとに逆止弁28とニ
ードル弁29を用いていたが、本考案では逆止弁付微差圧
調整器９を用い、１段圧縮機１の吸入圧力を１気圧（０
kg/cm2G）以下に減圧保持できるようにしている。
Ａ′−Ｂ′,B′−Ｃ′を示す。前記した如く、本考案で
は圧力調整部が第１図の如くＢ−Ｃの構成になってい
る。即ち従来は２次圧力調整器８のあとに逆止弁28とニ
ードル弁29を用いていたが、本考案では逆止弁付微差圧
調整器９を用い、１段圧縮機１の吸入圧力を１気圧（０
kg/cm2G）以下に減圧保持できるようにしている。
第４図に逆止弁付微差圧調整器の一例を示す。本調整器
は、本体30と弁体31、バネ32、バネ押え33、ヘリウムシ
ール用のベロー34およびハンドル35から構成し、矢印の
流入側より流入し、流出側から流出する。
は、本体30と弁体31、バネ32、バネ押え33、ヘリウムシ
ール用のベロー34およびハンドル35から構成し、矢印の
流入側より流入し、流出側から流出する。
本考案は従来型のニードル弁29で固定絞りとしていたた
めに、Ｊ−Ｔ流量の変動に追従して圧縮機ユニットＢの
１段圧縮機１の吸入圧力が変動し、Ｊ−Ｔ弁16の吐出側
圧力および冷凍温度が変動していたものを、逆止弁28と
ニードル弁29を一体化させ、逆止弁付微差圧調整器９と
して改善したものである。
めに、Ｊ−Ｔ流量の変動に追従して圧縮機ユニットＢの
１段圧縮機１の吸入圧力が変動し、Ｊ−Ｔ弁16の吐出側
圧力および冷凍温度が変動していたものを、逆止弁28と
ニードル弁29を一体化させ、逆止弁付微差圧調整器９と
して改善したものである。
（作用） 運転前のHeガス系内は高圧側、低圧側に高純度のHeを10
kg/cm2の圧力で封入してある。制御回路（図示しない）
の運転スイッチをONにすると、１段圧縮機１と２段圧縮
機２及び予冷用GMサイクル冷凍機23が起動する。
kg/cm2の圧力で封入してある。制御回路（図示しない）
の運転スイッチをONにすると、１段圧縮機１と２段圧縮
機２及び予冷用GMサイクル冷凍機23が起動する。
圧縮機ユニットＢ内の１段圧縮機１で圧縮されたHeは２
段圧縮機２でさらに圧縮されて20kg/cm2Gとなり、油分
離器３と吸着器４を通ってクリーンなHeとなって管路25
を経てHe冷凍機Ａへと流れる。
段圧縮機２でさらに圧縮されて20kg/cm2Gとなり、油分
離器３と吸着器４を通ってクリーンなHeとなって管路25
を経てHe冷凍機Ａへと流れる。
He冷凍機Ａに流入したHeは、予冷用冷凍機23とＪ−Ｔ回
路に分れる。予冷用冷凍機23へ流入したHeは低温を発生
させ、１段熱負荷フランジ11、２段熱負荷フランジ12を
冷却して管路26を経て圧縮機ユニットＢ内の２段圧縮機
２へ吸入される。
路に分れる。予冷用冷凍機23へ流入したHeは低温を発生
させ、１段熱負荷フランジ11、２段熱負荷フランジ12を
冷却して管路26を経て圧縮機ユニットＢ内の２段圧縮機
２へ吸入される。
一方管路26aから分岐したＪ−Ｔ回路のHeは１段熱交換
器13を通って、１段熱負荷フランジ11で冷却され、２段
熱交換器14を通り、さらに２段熱負荷フランジ12で冷却
され、３段熱交換器15、Ｊ−Ｔ弁16を出たのち、０kg/c
m2G以下に膨張して4Kパネル18を冷却する。4Kパネル18
を冷却した低圧Heは３段熱交換器15、２段熱交換器14、
１段熱交換器13を通って、高圧の流入Heと熱交換して昇
温し、圧縮機ユニットＢの１段圧縮機１に管路27を経て
吸入される。その後の運転で、予冷用冷凍機23の１段・
２段熱負荷フランジ11,12が冷却され、１段,2段,3段熱
交換器13,14,15とＪ−Ｔ弁16のジュールトムソン効果に
よって、4Kパネル18は定常温度に冷却される。この時の
定常温度はＪ−Ｔ弁16後の圧力に対する飽和温度とな
り、Ｊ−Ｔ弁16後の圧力を０kg/cm2G以下に減圧するこ
とによって、4.2K以下の温度が得られる。
器13を通って、１段熱負荷フランジ11で冷却され、２段
熱交換器14を通り、さらに２段熱負荷フランジ12で冷却
され、３段熱交換器15、Ｊ−Ｔ弁16を出たのち、０kg/c
m2G以下に膨張して4Kパネル18を冷却する。4Kパネル18
を冷却した低圧Heは３段熱交換器15、２段熱交換器14、
１段熱交換器13を通って、高圧の流入Heと熱交換して昇
温し、圧縮機ユニットＢの１段圧縮機１に管路27を経て
吸入される。その後の運転で、予冷用冷凍機23の１段・
２段熱負荷フランジ11,12が冷却され、１段,2段,3段熱
交換器13,14,15とＪ−Ｔ弁16のジュールトムソン効果に
よって、4Kパネル18は定常温度に冷却される。この時の
定常温度はＪ−Ｔ弁16後の圧力に対する飽和温度とな
り、Ｊ−Ｔ弁16後の圧力を０kg/cm2G以下に減圧するこ
とによって、4.2K以下の温度が得られる。
圧縮機ユニットＢの圧力制御の作用は、吸着器４の所の
Heが20kg/cm2G以上になると、１次圧力調整器６が作動
し、吐出Heガスの一部をストレージタンク７へ保持し、
１段圧縮機１の吸入圧力が低下すると、２次圧力調整器
８と逆止弁付微差圧調整器９が作動し、ストレージタン
ク７のHeが供給される。
Heが20kg/cm2G以上になると、１次圧力調整器６が作動
し、吐出Heガスの一部をストレージタンク７へ保持し、
１段圧縮機１の吸入圧力が低下すると、２次圧力調整器
８と逆止弁付微差圧調整器９が作動し、ストレージタン
ク７のHeが供給される。
第３図に本冷凍装置の定常運転時における4Kパネル18の
温度特性を示す。１段圧縮機１の吸入圧力調整について
説明する。4Kパネル18の冷凍温度を決めると、第３図よ
り１段圧縮機１の吸入圧力及びＪ−Ｔ流量が決る。圧力
計10をモニターしながら、１段圧縮機の吸入圧力が所定
の圧力になるように逆止弁付微差圧調整器９のハンドル
35（第４図）を回して設定し、さらに所定のＪ−Ｔ流量
になるようにＪ−Ｔ弁を設定する。以上の操作によって
4Kパネル18の冷凍温度を4.3Kから3.2Kまで任意に得るこ
とができる。以後の本冷凍装置の運転は、従来の装置と
同じ様な起動、停止操作のみでよい。ただし、この時Ｊ
−Ｔ流量を減少させるために、冷凍能力は最大10％程度
減少する。
温度特性を示す。１段圧縮機１の吸入圧力調整について
説明する。4Kパネル18の冷凍温度を決めると、第３図よ
り１段圧縮機１の吸入圧力及びＪ−Ｔ流量が決る。圧力
計10をモニターしながら、１段圧縮機の吸入圧力が所定
の圧力になるように逆止弁付微差圧調整器９のハンドル
35（第４図）を回して設定し、さらに所定のＪ−Ｔ流量
になるようにＪ−Ｔ弁を設定する。以上の操作によって
4Kパネル18の冷凍温度を4.3Kから3.2Kまで任意に得るこ
とができる。以後の本冷凍装置の運転は、従来の装置と
同じ様な起動、停止操作のみでよい。ただし、この時Ｊ
−Ｔ流量を減少させるために、冷凍能力は最大10％程度
減少する。
第４図の逆止弁付微差圧調整器の作動について説明す
る。ハンドル35を回すと、バネ押え33のネジの作用でバ
ネ押え33が上下し、バネ32のバネ力が変化し、弁体31を
押える力が変化する。弁体は流入側の圧力が流出側の圧
力より大きく、その圧力差による弁体31を押上げる力が
弁体31を押下げる力（バネ力）より大きい時、ヘリウム
ガスは流出する。よって弁体31を流れる時の圧力差は、
ハンドル35の回転操作で外部から所定の値に調整でき
る。流入側の圧力を流入側の２次圧力調整器８で一定に
保つことによって、流出側の圧力が高くなると弁体31で
絞られ、又低くなると弁体31は開き、流出側の圧力を一
定に調整する。逆に流出側の圧力が流入側の圧力よりも
高くなると、弁体31は閉じ逆止弁となる。4Kヘリウム冷
凍装置に用いる時の差圧は１kg/cm2以下であるが、バネ
32のバネ力を強くすることによって、調整差圧を１kg/c
m2以上とすることもできる。
る。ハンドル35を回すと、バネ押え33のネジの作用でバ
ネ押え33が上下し、バネ32のバネ力が変化し、弁体31を
押える力が変化する。弁体は流入側の圧力が流出側の圧
力より大きく、その圧力差による弁体31を押上げる力が
弁体31を押下げる力（バネ力）より大きい時、ヘリウム
ガスは流出する。よって弁体31を流れる時の圧力差は、
ハンドル35の回転操作で外部から所定の値に調整でき
る。流入側の圧力を流入側の２次圧力調整器８で一定に
保つことによって、流出側の圧力が高くなると弁体31で
絞られ、又低くなると弁体31は開き、流出側の圧力を一
定に調整する。逆に流出側の圧力が流入側の圧力よりも
高くなると、弁体31は閉じ逆止弁となる。4Kヘリウム冷
凍装置に用いる時の差圧は１kg/cm2以下であるが、バネ
32のバネ力を強くすることによって、調整差圧を１kg/c
m2以上とすることもできる。
又、ハンドル35をいっぱい締めつけると、バネ押え33の
つばが弁体31のつばにあたり弁体31を押えることによっ
て閉止弁となる。
つばが弁体31のつばにあたり弁体31を押えることによっ
て閉止弁となる。
（効果） ヘリウム冷凍機Ａと圧縮機ユニットＢとからなる極低温
冷凍機において、圧縮機ユニットＢの１段圧縮機１に吸
入弁及び吐出弁のないスクロール式を用い、該１段圧縮
機１の後段には、２段圧縮機２を接続し、該２段圧縮機
は管路25を介して前記ヘリウム冷凍機Ａの予冷用冷凍機
23に接続すると共に、管路25から分岐して管路26aを介
し、ヘリウム冷凍機Ａ内の１段熱交換機13と接続し、該
１段熱交換機13は、予冷用冷凍機23の１段熱負荷フラン
ジ11と、２段熱交換器14、２段熱負荷フランジ12、３段
熱交換器15及びJT弁16と順次接続して4Kパネル18を冷却
し、前記予冷用冷凍機23は管路26を介して圧縮機ユニッ
トＢの１段圧縮機１と、２段圧縮機２との間に接続し、
前記１段熱交換器13は管路27を介して１段圧縮機１の前
段に接続し、前記２段圧縮機２の後段は圧縮機ユニット
Ｂ内部で分岐して逆止弁５、１次圧力調整器６、２次圧
力調整器８及び逆止弁付微差圧調整器９と順次接続した
後、１段圧縮機１の前段に接続した。
冷凍機において、圧縮機ユニットＢの１段圧縮機１に吸
入弁及び吐出弁のないスクロール式を用い、該１段圧縮
機１の後段には、２段圧縮機２を接続し、該２段圧縮機
は管路25を介して前記ヘリウム冷凍機Ａの予冷用冷凍機
23に接続すると共に、管路25から分岐して管路26aを介
し、ヘリウム冷凍機Ａ内の１段熱交換機13と接続し、該
１段熱交換機13は、予冷用冷凍機23の１段熱負荷フラン
ジ11と、２段熱交換器14、２段熱負荷フランジ12、３段
熱交換器15及びJT弁16と順次接続して4Kパネル18を冷却
し、前記予冷用冷凍機23は管路26を介して圧縮機ユニッ
トＢの１段圧縮機１と、２段圧縮機２との間に接続し、
前記１段熱交換器13は管路27を介して１段圧縮機１の前
段に接続し、前記２段圧縮機２の後段は圧縮機ユニット
Ｂ内部で分岐して逆止弁５、１次圧力調整器６、２次圧
力調整器８及び逆止弁付微差圧調整器９と順次接続した
後、１段圧縮機１の前段に接続した。
かゝる構成により、１段圧縮機の吸入圧力を１気圧以下
に減圧保持できるようになったので、コスト的上昇をな
くして4Kパネルの冷却温度を4.3Kより低くすることが可
能となった。
に減圧保持できるようになったので、コスト的上昇をな
くして4Kパネルの冷却温度を4.3Kより低くすることが可
能となった。
第１図は超電導素子冷却用4Kヘリウム冷凍装置のフロー
図。 第２図は4.3K用ヘリウム圧縮機ユニットの圧力調整部の
構成を示す。 第３図は4Kパネルの温度特性図。 第４図は逆止弁付微差圧調整器の断面図。 図において； Ａ……ヘリウム冷凍機、Ｂ……圧縮機ユニット １……１段圧縮機、２……２段圧縮機 ３……油分離器、４……吸着器 ５……逆止弁、６……１次圧力調整器 ７……ストレージタンク、８……２次圧力調整器 ９……逆止弁付微差圧調整器 10……圧力計 11……１段熱負荷フランジ 12……２段熱負荷フランジ 13……１段熱交換器、14……２段熱交換器 15……３段熱交換器、16……Ｊ−Ｔ弁 17……20Kパネル、18……4Kパネル 19……60Kシールド、20……20Kシールド 21……20K素子、22……4K素子 23……予冷用冷凍機、24……真空断熱容器 25……管路、26……管路 26a……管路、27……管路 28……逆止弁、29……ニードル弁 30……本体、31……弁体 32……バネ、33……バネ押え 34……ベロー、35……ハンドル
図。 第２図は4.3K用ヘリウム圧縮機ユニットの圧力調整部の
構成を示す。 第３図は4Kパネルの温度特性図。 第４図は逆止弁付微差圧調整器の断面図。 図において； Ａ……ヘリウム冷凍機、Ｂ……圧縮機ユニット １……１段圧縮機、２……２段圧縮機 ３……油分離器、４……吸着器 ５……逆止弁、６……１次圧力調整器 ７……ストレージタンク、８……２次圧力調整器 ９……逆止弁付微差圧調整器 10……圧力計 11……１段熱負荷フランジ 12……２段熱負荷フランジ 13……１段熱交換器、14……２段熱交換器 15……３段熱交換器、16……Ｊ−Ｔ弁 17……20Kパネル、18……4Kパネル 19……60Kシールド、20……20Kシールド 21……20K素子、22……4K素子 23……予冷用冷凍機、24……真空断熱容器 25……管路、26……管路 26a……管路、27……管路 28……逆止弁、29……ニードル弁 30……本体、31……弁体 32……バネ、33……バネ押え 34……ベロー、35……ハンドル
Claims (1)
- 【請求項１】ヘリウム冷凍機（Ａ）と圧縮機ユニット
（Ｂ）とからなる極低温冷凍機において、圧縮機ユニッ
ト（Ｂ）の１段圧縮機（１）に吸入弁及び吐出弁のない
スクロール式を用い、該１段圧縮機（１）の後段には、
２段圧縮機（２）を接続し、該２段圧縮機は管路（25）
を介して前記ヘリウム冷凍機（Ａ）の予冷用冷凍機（2
3）に接続すると共に、管路（25）から分岐して管路（2
6a）を介し、ヘリウム冷凍機（Ａ）内の１段熱交換機
（13）と接続し、該１段熱交換機（13）は、予冷用冷凍
機（23）の１段熱負荷フランジ（11）と、２段熱交換器
（14）、２段熱負荷フランジ（12）、３段熱交換器（1
5）及びJT弁（16）と順次接続して4Kパネル（18）を冷
却し、前記予冷用冷凍機（23）は管路（26）を介して圧
縮機ユニット（Ｂ）の１段圧縮機（１）と、２段圧縮機
（２）との間に接続し、前記１段熱交換器（13）は管路
（27）を介して１段圧縮機（１）の前段に接続し、前記
２段圧縮機（２）の後段は圧縮機ユニット（Ｂ）内部で
分岐して逆止弁（５）、１次圧力調整器（６）、２次圧
力調整器（８）及び逆止弁付微差圧調整器（９）と順次
接続した後、１段圧縮機（１）の前段に接続したことを
特徴とする極低温冷凍装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2180888U JPH079000Y2 (ja) | 1988-02-23 | 1988-02-23 | 極低温冷凍装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2180888U JPH079000Y2 (ja) | 1988-02-23 | 1988-02-23 | 極低温冷凍装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01125971U JPH01125971U (ja) | 1989-08-28 |
| JPH079000Y2 true JPH079000Y2 (ja) | 1995-03-06 |
Family
ID=31239360
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2180888U Expired - Lifetime JPH079000Y2 (ja) | 1988-02-23 | 1988-02-23 | 極低温冷凍装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH079000Y2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006343075A (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-21 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 機械式冷凍機とジュール・トムソン膨張を用いた極低温冷凍機 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2600506B2 (ja) * | 1991-03-04 | 1997-04-16 | 株式会社日立製作所 | 冷凍装置 |
| FR2953913B1 (fr) * | 2009-12-11 | 2012-01-13 | Air Liquide | Procede et dispositif de refroidissement/liquefaction a basse temperature |
| JP6632917B2 (ja) * | 2016-03-16 | 2020-01-22 | 住友重機械工業株式会社 | 可動テーブル冷却装置及び可動テーブル冷却システム |
-
1988
- 1988-02-23 JP JP2180888U patent/JPH079000Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006343075A (ja) * | 2005-06-10 | 2006-12-21 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 機械式冷凍機とジュール・トムソン膨張を用いた極低温冷凍機 |
| JP4595121B2 (ja) * | 2005-06-10 | 2010-12-08 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 機械式冷凍機とジュール・トムソン膨張を用いた極低温冷凍装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01125971U (ja) | 1989-08-28 |
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