DE102005057986B4 - Heliumkompressoreinheit für Kryo-Anwendungen - Google Patents
Heliumkompressoreinheit für Kryo-Anwendungen Download PDFInfo
- Publication number
- DE102005057986B4 DE102005057986B4 DE200510057986 DE102005057986A DE102005057986B4 DE 102005057986 B4 DE102005057986 B4 DE 102005057986B4 DE 200510057986 DE200510057986 DE 200510057986 DE 102005057986 A DE102005057986 A DE 102005057986A DE 102005057986 B4 DE102005057986 B4 DE 102005057986B4
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- zeolite
- filter
- sintered metal
- compressor
- helium
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B9/00—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point
- F25B9/002—Compression machines, plants or systems, in which the refrigerant is air or other gas of low boiling point characterised by the refrigerant
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D53/00—Separation of gases or vapours; Recovering vapours of volatile solvents from gases; Chemical or biological purification of waste gases, e.g. engine exhaust gases, smoke, fumes, flue gases, aerosols
- B01D53/26—Drying gases or vapours
- B01D53/28—Selection of materials for use as drying agents
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
- F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
- F04B37/18—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use for specific elastic fluids
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
- F04B39/00—Component parts, details, or accessories, of pumps or pumping systems specially adapted for elastic fluids, not otherwise provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B37/00
- F04B39/16—Filtration; Moisture separation
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B43/00—Arrangements for separating or purifying gases or liquids; Arrangements for vaporising the residuum of liquid refrigerant, e.g. by heat
- F25B43/003—Filters
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F25—REFRIGERATION OR COOLING; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS; MANUFACTURE OR STORAGE OF ICE; LIQUEFACTION SOLIDIFICATION OF GASES
- F25B—REFRIGERATION MACHINES, PLANTS OR SYSTEMS; COMBINED HEATING AND REFRIGERATION SYSTEMS; HEAT PUMP SYSTEMS
- F25B2309/00—Gas cycle refrigeration machines
- F25B2309/14—Compression machines, plants or systems characterised by the cycle used
- F25B2309/1421—Pulse-tube cycles characterised by details not otherwise provided for
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Oil, Petroleum & Natural Gas (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Compressor (AREA)
- Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
Abstract
Kryo-Vorrichtung mit einem Pulsrohrkühler (22) und einer Heliumkompressoreinheit (1) zum Betrieb des Pulsrohrkühlers (22) in einem geschlossenen Heliumkreislauf, wobei die Heliumkompressoreinheit (1) umfasst:
einen Kompressor (12),
einen dem Kompressor (12) nach geschalteten Wärmetauscher (13) zur Kühlung des komprimierten Heliumgases,
gekennzeichnet durch
einen dem Kompressor (12) nach geschalteten Zeolith-Filter (30) zur Entfernung von geringsten Wasserverunreinigungen aus dem Heliumgas, wobei der Zeolith-Filter (30) einen Filterbehälter (31) aufweist, der als Druckbehälter ausgelegt ist, und
eine zwischen Kompressor (12) und Zeolith-Filter (30) vorgesehene Ölabscheidereinrichtung (14).
einen Kompressor (12),
einen dem Kompressor (12) nach geschalteten Wärmetauscher (13) zur Kühlung des komprimierten Heliumgases,
gekennzeichnet durch
einen dem Kompressor (12) nach geschalteten Zeolith-Filter (30) zur Entfernung von geringsten Wasserverunreinigungen aus dem Heliumgas, wobei der Zeolith-Filter (30) einen Filterbehälter (31) aufweist, der als Druckbehälter ausgelegt ist, und
eine zwischen Kompressor (12) und Zeolith-Filter (30) vorgesehene Ölabscheidereinrichtung (14).
Description
- Die Erfindung betrifft eine Kryo-Vorrichtung mit einem Pulsrohrkühler und einer Heliumkompressoreinheit zum Betrieb des Pulsrohrkühlers in einem geschlossenen Heliumkreislauf nach Anspruchs 1, sowie ein Verfahren zum Vorbereiten einer Kryo-Vorrichtung auf den Einsatz oder zum Regenerieren des Zeolith-Filter nach Anspruch 10.
- Aus der
DE 35 12 614 A1 ist eine Kryopumpe bekannt, bei der die Pumpwirkung durch Adsorption an dafür vorgesehenen Adsorptionsflächen erfolgt. DieDE 30 39 923 A1 offenbart ein Verfahren und eine Vorrichtung, um eine von störenden Gasen und Wasserdampf weitgehend freie Restgasatmosphäre im Vakuum zu erzeugen und aufrecht zu erhalten. - Die
DE 12 43 324 B offenbart eine Sorptionspumpe, die ein Gefäß umfasst, in dessen Inneren das Sorbermaterial rohrförmig angeordnet ist. Um das Sorbermaterial zu entgasen, kann dieses mittels Graphitstäben elektrisch geheizt werden. - Aus der
DE 94 06 724 U1 ist eine Tieftemperatur-Kältemaschine nach dem Gifford-McMahon-Prinzip bekannt, in der das unter Druck stehende Helium durch einen zum Beispiel aus einem Sinterwerkstoff bestehenden Regenerator strömt. Um Verschmutzung oder gar Verstopfung der Bauteile zu vermeiden, ist die Verwendung von extrem reinem Helium erforderlich. Daher sind im Heliumkompressor zwei Ölabscheider und ein Adsorber vorgesehen. - Zum Betreiben von Kryo-Pumpen und Pulsrohrkühlern werden Heliumkompressoreinheiten eingesetzt, wie sie beispielsweise von der Firma Leybold unter der Bezeichnung Coolpak vertrieben werden. Um zu verhindern, dass Öl aus dem Kompressor in den Helium-Gaskreislauf gelangt, ist dem Kompressor üblicherweise ein Ölabscheider und ein Öl-Adsorber in Form eines Kohle-Adsorbers nachgeschaltet.
- Für den Betrieb von Pulsrohrkühlern hat sich herausgestellt, dass der Wassergehalt im Helium-Gaskreislauf eine entscheidende Rolle für die Zuverlässigkeit des Betriebs spielt. Es wurde versucht, den Kompressor, der als letzte Quelle von Wasserverunreinigungen identifiziert worden ist, zu reinigen. Dazu wurde versucht, den letzten Kohle-Adsorber, dessen eigentliche Aufgabe es ist, Öl zurückzuhalten, von Wasser zu reinigen. Diese Reinigung brachte eine Verlängerung des Betriebs eines Pulsrohrkühler von einigen Stunden bis auf 4 Wochen. Dennoch hat sich herausgestellt, dass das Öl im Kompressor eine nicht versiegende Quelle von weiterer Verunreinigung des Helium-Gases mit Wasser ist. Eine Reinigung des Öls im Kompressor erwies sich als unmöglich, da man es dazu komplett ablassen müsste. Die darauffolgende Reinigung des Öls und die Füllung des Kompressor müssten dann unter Luft- und Wasserabschluss stattfinden, da das Öl stark hygroskopisch ist. Die Verwendung eines weniger stark hygroskopischen Öls wird vom Hersteller der Kompressorkapsel (Copland) nicht empfohlen, da bei der Kompression von Heliumgas eine sehr starke Wärmeentwicklung auftritt und nur bestimmte Öle dieser Erhitzung standhalten.
- Ausgehend von der
DE 35 12 614 A1 ist es daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung eine Kryo-Vorrichtung mit einem Pulsrohrkühler und einer Heliumkompressoreinheit bereitzustellen, die eine längere Betriebsdauer bei bestehender Kühlleistung aufweist. Weiter ist es Aufgaben der vorliegenden Erfindung ein Verfahren zum Vorbereiten einer Kryo-Vorrichtung auf den Ersteinsatz oder zum Regenerieren eines solchen Zeolith-Filters anzugeben. - Die Lösung dieser Aufgaben erfolgt durch die Merkmale der Ansprüche 1 bzw. 10.
- Indem eine Kryo-Vorrichtung mit einem Pulsrohrkühler und einer Heliumkompressoreinheit mit einem Zeolith-Filter versehen wird, wobei dessen Filter-Behälter als beheizbarer Druckbehälter ausgelegt ist, werden auf der Ausgangsseite des Helium-Kompressors dem komprimierten Heliumgas geringste Wasserverunreinigungen weitestgehend entzogen bevor sie zu Problemen in den nach geschalteten Kühlern oder Kaltköpfen führen können. Durch den Zeolith-Filter wird die Standzeit der Kryo-Vorrichtung, die einen mit einer solchen Heliumkompressoreinheit betriebenen Pulsrohrkühler aufweist, erheblich verlängert. Dabei wird der Zeolith-Filter nach einer Ölab scheidereinrichtung in den Heliumkreislauf eingebaut. Hierdurch wird vermieden, dass gröbere Ölverunreinigungen die Filterfähigkeit des Zeolith-Filters negativ beeinflussen bzw. die Standzeit des Zeolith-Filters wird erhöht. Durch die Ausführung des Filterbehälters als Druckbehälter wird der Einsatz des Zeolith-Filters auf der Hochdruckseite einer Heliumkompressoreinheit möglich. Durch den Druckbehälter und die Beheizbarkeit, kann der Zeolith-Filter durch Evakuieren und Ausheizen regeneriert werden, der Zeolith-Filter kann damit mehrfach verwendet werden.
- Durch die vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung nach Anspruch 2 wird der Zeolith im Filterbehälter zwischen Sintermetall eingeschlossen. Hierdurch wird verhindert, das Zeolithstaub in den Heliumkreislauf gelangt. Darüber hinaus lässt sich Sintermetall leicht erwärmen bzw. erhitzen.
- Durch die vorteilhafte Ausgestaltung der Erfindung nach Anspruch 3 besteht der Sinterblock zu beiden Seiten des Zeoliths aus einer feinporigen Schicht, die den Zeolithstaub zurückhält, und aus einer breiteren grobporigen Sintermetallschicht, die als mechanische Basis für die feinporige Schicht dient und einen möglichst geringen Druckverlust in dem Heliumkreislauf verursacht.
- Die übrigen Unteransprüche 4 bis 9 beziehen sich auf weitere vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung.
- Das Verfahren zum Vorbereiten einer erfindungsgemäßen Kryo-Vorrichtung auf den Ersteinsatz oder zum Regenerieren des Zeolith-Filters nach Anspruch 10 verwendet eine Kombination von Ausheizen und Evakuieren oder Abpumpen. Üblicherweise werden Zeolith-Filter lediglich erwärmt, um dadurch das aufgenommene Wasser wieder entweichen zu lassen. Durch Kombination bzw. durch das gleichzeitige Aufheizen und Abpumpen auf einen Druck von < 10–3 mbar ergibt sich dann im Einsatz ein wesentlich besserer Dampfdruck.
- Durch die vorteilhaften Ausgestaltungen der Erfindung nach Anspruch 11 und 12 ergeben sich weitere Verbesserungen der Filterfähigkeit des Zeolith-Filters.
- Insgesamt ergeben sich durch die Erfindung folgende Vorteile:
- a) Die Standzeit von Pulsrohrkühlern wird auf mehrer Monate verlängert (der längste sich mit Zeolith-Filter im Einsatz befindliche Pulsröhrenkühler läuft jetzt 5 Monate).
- b) Handelsübliche Kompressoreinheiten, wie sie z. B. von Leybold vertrieben werden, können problemlos ohne Modifikation der Kompressoreinheit selbst nachgerüstet verwendet werden.
- c) Der Einsatz des Zeolith-Filters ist erheblich kostengünstiger als die z. B. von der Firma Leybold für ihre Kompressoreinheiten angebotene „Reinigung”. Der Einsatz des Zeolith-Filters ist somit wirtschaftlich vorteilhaft.
- d) Service: für alle herkömmlichen Kompressoreinheiten gilt, dass der Kohle-Adsorber zur Entfernung von Ölrückständen nach einer bestimmten Betriebstundenzeit (typischerweise 10.000 bis 20.000 Stunden) ersetzt werden muss. In vorteilhafter Weise werden einfach Kohle-Adsorber und Zeolith-Filter im selben Arbeitsgang gewechselt. Es entsteht kein zusätzlicher Serviceaufwand.
- Weitere Einzelheiten, Merkmale und Vorteile ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform anhand der Zeichnung.
- Es zeigt:
-
1 eine schematische Darstellung eines herkömmlichen Helium-Kühlkreislaufs mit Helium-Kompressoreinheit und Kühler, -
2 eine1 entsprechende Darstellung einer beispielhaften Ausführungsform der Erfindung, und -
3 eine beispielhafte Ausführungsform eines Zeolith-Filters, wie er in der Ausführungsform nach2 verwendet wird. -
1 zeigt ein Blockschaltbild eines herkömmlichen Helium-Kühlkreislaufes einer Kompressoreinheit1 mittels der ein Kryo-Kühler2 betrieben wird. Die Kompressoreinheit1 weist eine Niederdruckseite10 und eine Hochdruckseite11 auf. Die Kompressoreinheit1 umfasst einen Kompressor12 , dem ein Wärmetauscher13 zur Kühlung des komprimierten Heliumgases nachgeschaltet ist. Dem Wärmetauscher13 nachgeschaltet ist eine Ölabscheideeinrichtung14 . Die Ölabscheideeinrichtung14 umfasst einen Ölabscheider15 zur Vorreinigung des komprimierten Heliumgases und einen Öl-Adsorber16 in Form eines Kohlefilters oder Kohle-Adsorbers. Mit dem Öl-Adsorber16 werden feinste Ölverunreinigungen aus dem Heliumgas entfernt. Sowohl die Kompressoreinheit1 als auch der Kryo-Kühler2 sind über selbst verschließende Kupplungselemente17 in den Helium-Kreislauf einschaltbar. Die selbst verschließenden Kupplungselemente17 sind unter der Bezeichnung Aeroquip im Handel erhältlich. -
2 zeigt eine schematische Darstellung einer beispielhaften Ausführungsform mit einer herkömmlichen Kompressoreinheit1 der auf der Hochdruckseite11 ein Zeolith-Filter30 zur Entfernung von feinsten Wasserverunreinigungen in dem Heliumgas nachgeschaltet ist. Der Kryo-Kühler2 umfasst ein Drehventil20 und einen Pulsröhrenkühler22 . -
3 zeigt eine Detaildarstellung des Zeolith-Filters30 . Der Zeolith-Filter30 umfasst einen zylindrischen Filterbehälter31 aus Stahl, der an einem Ende mit einer Gaszuleitung32 und an dem anderen Ende mit einer Gasableitung33 versehen ist. In dem Filterbehälter31 ist Wasser absorbierendes Zeolithmaterial34 angeordnet. Das Zeolithmaterial34 wird von einem ersten und einem zweiten Sintermetallblock35 ,36 eingeschlossen. Die beiden Sintermetallblöcke35 ,36 sind jeweils zweiteilig und bestehen aus einer dem Zeolithmaterial34 zugewandten ersten Sinterschicht37 aus sehr feinem Sinter und aus einer zweiten Sinterschicht38 aus grobem Sinter. Die grobe Sinterschicht38 ist der Gaszu-32 bzw. der Gasableitung33 zugewandt. - Der feine Sinter der ersten Sinterschicht
37 dient dazu, den feinen Staub des Zeolithmaterials34 zurückzuhalten, der entstehen kann, wenn die Zeolithkügelchen sich im Gasfluss bewegen sollten. Um einen möglichst kleinen Druckverlust über den Zeolith-Filter30 zu erreichen, wird die erste, feinporige Sinterschicht37 sehr dünn ausgebildet, während die zweite, grobporige Sinterschicht38 dicker ausgeführt ist. Die zweite grobporige Sintermetallschicht38 stellt praktisch keinen Strömungswiderstand dar und dient als mechanische Basis für die feinporige Sinterschicht37 . Die feinporige Sinterschicht37 ist sehr dünn ausgebildet und erzeugt daher nur einen sehr geringen Druckabfall. - Beispielhafte Maße des Zeolith Filters
30 betragen:• Durchmesser des Filterbehälters ca. 80 mm • Länge des Filterbehälters ca. 400 mm • Länge der Anschlussrohre ca. 150 mm • Dicke der feinporigen Sinterschicht ca. 200 μm • Dicke der grobporigen Sinterschicht ca. 5 mm - Der Zeolith-Filter
30 wird vor dem Einsatz von Wasserverunreinigungen gereinigt. Die Konstruktion erlaubt es, an dem Filterbehälter31 einen Heizmanschette anzubringen und das Zeolithmaterial34 auf ca. 250 Grad Celsius zu erhitzen. Die mit O-Ringen gedichteten selbst verschließenden Kupplungen17 werden dabei nur handwarm. - Üblicherweise geschieht die Reinigung eines Zeolith-Filters, indem man den Zeolith heizt und damit das Wasser austreibt. Bei der vorliegenden Erfindung wird das Zeolithmaterial
34 mit einer Kombination von Vor- und Turbo-Pumpe bei 250 Grad Celsius auf eine Druck von < 10–3 mbar abgepumpt. Dies entspricht dann im Betrieb bei Raumtemperatur einem wesentlich besseren Dampfdruck. -
- 1
- Kompressoreinheit
- 2
- Kryo-Kühler
- 10
- Niederdruckseite
von
1 - 11
- Hochdruckseite
von
1 - 12
- Kompressor
- 13
- Wärmetauscher
- 14
- Ölabscheideeinrichtung
- 15
- Ölabscheider
- 16
- Öl-Adsorber
- 17
- selbst
verschließende
Kupplungselemente
17 - 20
- Drehventil
- 22
- Pulsröhrenkühler
- 30
- Zeolith-Filter
- 31
- Filterbehälter
- 32
- Gaszuleitung
- 33
- Gasableitung
- 34
- Zeolithmaterial
- 35
- erster Sintermetallblock
- 36
- zweiter Sintermetallblock
- 37
- erste Sintermetallschicht, fein
- 38
- zweite Sintermetallschicht, grob
Claims (12)
- Kryo-Vorrichtung mit einem Pulsrohrkühler (
22 ) und einer Heliumkompressoreinheit (1 ) zum Betrieb des Pulsrohrkühlers (22 ) in einem geschlossenen Heliumkreislauf, wobei die Heliumkompressoreinheit (1 ) umfasst: einen Kompressor (12 ), einen dem Kompressor (12 ) nach geschalteten Wärmetauscher (13 ) zur Kühlung des komprimierten Heliumgases, gekennzeichnet durch einen dem Kompressor (12 ) nach geschalteten Zeolith-Filter (30 ) zur Entfernung von geringsten Wasserverunreinigungen aus dem Heliumgas, wobei der Zeolith-Filter (30 ) einen Filterbehälter (31 ) aufweist, der als Druckbehälter ausgelegt ist, und eine zwischen Kompressor (12 ) und Zeolith-Filter (30 ) vorgesehene Ölabscheidereinrichtung (14 ). - Kryo-Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Filterbehälter (
31 ) eine Gaszuleitung (32 ) und eine Gasableitung (33 ) aufweist, und dass zwischen Gaszuleitung (32 ) und Zeolithmaterial (34 ) ein erster – (35 ) – und zwischen Zeolithmaterial (34 ) und Gasableitung (33 ) ein zweiter Sintermetallblock (36 ) vorgesehen ist. - Kryo-Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Sintermetallblöcke (
35 ,36 ) jeweils wenigstens eine feinporige Sintermetallschicht (37 ) und wenigstens eine grobporige Sintermetallschicht (38 ) aufweisen und dass die Dicke der feinporigen Sintermetallschicht (37 ) kleiner ist als die Dicke der grobporigen Sintermetallschicht (38 ). - Kryo-Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die feinporige Sintermetallschicht (
37 ) eine Porengröße von etwa 1 μm und die grobporige Sintermetallschicht (38 ) eine Porengröße von etwa 1 mm aufweist. - Kryo-Vorrichtung nach einem der Ansprüche 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, dass die feinporige Sintermetallschicht (
37 ) der beiden Sintermetallblöcke (35 ,36 ) jeweils dem Zeolithmaterial (34 ) zugewandt ist. - Kryo-Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass der Filterbehälter (
31 ) rohrförmig ausgebildet ist, und dass die Gaszuleitung (32 ) an einem Ende und die Gasableitung (33 ) am anderen Ende des rohrförmigen Behälters (31 ) vorgesehen ist. - Kryo-Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das Zeolithmaterial (
34 ) ein Zeolith des Typs LTA ist. - Kryo-Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Gaszuleitung (
32 ) und die Gasableitung (33 ) jeweils mit selbst verschließenden Kupplungselementen (17 ) versehen sind. - Kryo-Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, erhältlich durch Aufheizen des Filterbehälters (
31 ) bis auf die von dem Hersteller des Zeolithmaterials (34 ) angegebenen Stabilitätsgrenze und gleichzeitigem Abpumpen des Zeolith-Filters auf einen Druck von unter 10–3 mbar. - Verfahren zum Vorbereiten einer Kryo-Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche auf den Ersteinsatz oder zum Regenerieren des Zeolith-Filters (
30 ), mit den Verfahrensschritten: Aufheizen des Zeolith-Filters (30 ) und gleichzeitiges Abpumpen des Zeolith-Filters (30 ) auf einen Druck von unter 10–3 mbar. - Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Aufheizen des Zeolith-Filters (
30 ) bis auf die von dem Hersteller des Zeolithmaterials (34 ) angegebene Stabilitätsgrenze erfolgt. - Verfahren nach Anspruch 10 oder 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Regenerationsschritte wiederholt werden.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE200510057986 DE102005057986B4 (de) | 2005-12-05 | 2005-12-05 | Heliumkompressoreinheit für Kryo-Anwendungen |
PCT/EP2006/011615 WO2007065621A2 (de) | 2005-12-05 | 2006-12-04 | Heliumkompressoreinheit für kryo-anwendungen |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE200510057986 DE102005057986B4 (de) | 2005-12-05 | 2005-12-05 | Heliumkompressoreinheit für Kryo-Anwendungen |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE102005057986A1 DE102005057986A1 (de) | 2007-06-06 |
DE102005057986B4 true DE102005057986B4 (de) | 2010-06-17 |
Family
ID=37808208
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE200510057986 Expired - Fee Related DE102005057986B4 (de) | 2005-12-05 | 2005-12-05 | Heliumkompressoreinheit für Kryo-Anwendungen |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE102005057986B4 (de) |
WO (1) | WO2007065621A2 (de) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2953913B1 (fr) * | 2009-12-11 | 2012-01-13 | Air Liquide | Procede et dispositif de refroidissement/liquefaction a basse temperature |
EP2710263B1 (de) | 2011-08-03 | 2016-09-14 | Pressure Wave Systems GmbH | Kompressorvorrichtung sowie eine damit ausgerüstete kühlvorrichtung und eine damit ausgerüstete kältemaschine |
KR102257508B1 (ko) * | 2014-06-24 | 2021-05-31 | 엘지전자 주식회사 | 냉각 시스템 및 이를 포함하는 냉장고 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1243324B (de) * | 1963-01-21 | 1967-06-29 | Gen Electric | Sorptionspumpe |
DE1276285B (de) * | 1965-06-05 | 1968-08-29 | Telefunken Patent | Anordnung zur Erzeugung von Hochvakuum |
DE3039923A1 (de) * | 1980-10-23 | 1982-05-27 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Verfahren und vorrichtung fuer die erzeugung und aufrechterhaltung einer reinen gasatmosphaere |
DE3512614A1 (de) * | 1985-04-06 | 1986-10-16 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Verfahren zur inbetriebnahme und/oder regenerierung einer kryopumpe und fuer dieses verfahren geeignete kryopumpe |
DE9406724U1 (de) * | 1994-04-22 | 1994-06-30 | Leybold Ag | Kontrolleinrichtung für den Absorber eines Heliumkompressors |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3699781A (en) * | 1971-08-27 | 1972-10-24 | Pennwalt Corp | Refrigerant recovery system |
US5158585A (en) * | 1988-04-13 | 1992-10-27 | Hitachi, Ltd. | Compressor unit and separator therefor |
DE69316149T2 (de) * | 1992-10-23 | 1998-04-16 | Matsushita Refrigeration | Kältemittelkompressor und Kältesystem mit diesem Kompressor |
US5364540A (en) * | 1993-02-11 | 1994-11-15 | Emerson Electric Co. | Filter drier and method of filtering a fluid stream |
JP3592514B2 (ja) * | 1998-03-02 | 2004-11-24 | 松下電器産業株式会社 | 冷凍装置 |
DE19821308A1 (de) * | 1998-05-13 | 1999-11-18 | Messer Griesheim Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Kälteerzeugung |
WO2000050823A1 (en) * | 1999-02-26 | 2000-08-31 | Tempra Technology, Inc. | Preparation of refrigerant materials |
US6488120B1 (en) * | 2000-09-15 | 2002-12-03 | Shi-Apd Cryogenics, Inc. | Fail-safe oil lubricated helium compressor unit with oil-free gas delivery |
DE20317084U1 (de) * | 2003-11-06 | 2004-02-26 | Kenmore Thermo Kälte GmbH | Sieb aus gesintertem Werkstoff für einen Kältekreislauf mit Verflüssiger, Verdampfer und integriertem Trockenmittel |
-
2005
- 2005-12-05 DE DE200510057986 patent/DE102005057986B4/de not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-12-04 WO PCT/EP2006/011615 patent/WO2007065621A2/de active Application Filing
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1243324B (de) * | 1963-01-21 | 1967-06-29 | Gen Electric | Sorptionspumpe |
DE1276285B (de) * | 1965-06-05 | 1968-08-29 | Telefunken Patent | Anordnung zur Erzeugung von Hochvakuum |
DE3039923A1 (de) * | 1980-10-23 | 1982-05-27 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Verfahren und vorrichtung fuer die erzeugung und aufrechterhaltung einer reinen gasatmosphaere |
DE3512614A1 (de) * | 1985-04-06 | 1986-10-16 | Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln | Verfahren zur inbetriebnahme und/oder regenerierung einer kryopumpe und fuer dieses verfahren geeignete kryopumpe |
DE9406724U1 (de) * | 1994-04-22 | 1994-06-30 | Leybold Ag | Kontrolleinrichtung für den Absorber eines Heliumkompressors |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2007065621A2 (de) | 2007-06-14 |
WO2007065621A3 (de) | 2007-10-25 |
DE102005057986A1 (de) | 2007-06-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE102005057986B4 (de) | Heliumkompressoreinheit für Kryo-Anwendungen | |
DE4325660A1 (de) | In situ Filterreinigungssystem für Gasströme | |
DE202011002986U1 (de) | Servicegerät für Fahrzeugklimaanlagen | |
EP4065252A1 (de) | Verfahren zur intermittierenden abreinigung eines filters sowie filtereinrichtung für eine metall-druckeinrichtung | |
EP2463525B1 (de) | Verdichter und Verfahren zum Verdichten technischer Gase | |
DE102008027871A1 (de) | Kraftstoffdampfspeicher-/ Rückgewinnungssystem | |
DE60217830T2 (de) | Vorrichtung für Wiedergewinnung und Reinigung von Kältemittel einer Klimaanlage | |
DE3740029C2 (de) | ||
DE1501099A1 (de) | Vorrichtung zum Umwandeln mechanischer in kalorische Energie oder umgekehrt | |
DE102008031834B4 (de) | Vorrichtung zum Abscheiden von Partikeln in einem Kühlkreislauf bei der Profilextrusion | |
DE102014217897A1 (de) | Kompressorvorrichtung, eine damit ausgerüstete Kühlvorrichtung und ein Verfahren zum Betreiben der Kompressorvorrichtung und der Kühlvorrichtung | |
EP0566776A2 (de) | Verfahren und Anordnung zur Reinigung von Öl | |
DD209511A1 (de) | Anordnung zur reinigung und rueckgewinnung von fluor-chlor-kohlenwasserstoff kaeltemitteln | |
EP1805464B1 (de) | Verfahren zum durchspülen von kühl- oder klimakreisen und vorrichtung zur durchführung des verfahrens | |
WO2020094721A1 (de) | Verfahren und anlage zur reinigung von helium | |
EP0326591A1 (de) | Fluid-abfüllvorrichtung | |
DE1056635B (de) | Gasreinigungsverfahren und Vorrichtung zu seiner Durchfuehrung | |
DE102017002590A1 (de) | Einrichtung zum Reinigen von Filtermedien durch Rückspülen des Filters und Verfahren zum Reinigen von Filtermedien durch Rückspülen des Filters | |
DE102004059134A1 (de) | Expansionsvorrichtung für ein Röntgengerät | |
EP0467282A1 (de) | Vorrichtung zur selbsttätigen Entlüftung einer Kühlkammer | |
DE4331769A1 (de) | Spülanlage für Kältemittel enthaltende Einrichtungen | |
DE69164C (de) | Filter für alkoholische bezw. gashaltige Flüssigkeiten und dergl | |
DE202017001461U1 (de) | Einrichtung zum Reinigen von Filtermedien durch Rückspülen des Filters | |
DE102019003212A1 (de) | Einrichtung zum Entfernen von Keramikschleifmittel aus rückspülbaren Filterelementen zum Filtern von Schleiföl mit Keramikschleifmittel | |
DE202023107255U1 (de) | Anordnung umfassend eine Kammer |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
R082 | Change of representative |
Representative=s name: WINTER, BRANDL, FUERNISS, HUEBNER, ROESS, KAIS, DE |
|
R081 | Change of applicant/patentee |
Owner name: OXFORD INSTRUMENTS GMBH, DE Free format text: FORMER OWNER: VERICOLD TECHNOLOGIES GMBH, 85737 ISMANING, DE Effective date: 20130617 |
|
R082 | Change of representative |
Representative=s name: WINTER, BRANDL, FUERNISS, HUEBNER, ROESS, KAIS, DE Effective date: 20130617 |
|
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |