JPH10274449A - パルス管冷凍機 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 パルス管冷凍機において、パルス管内への熱
侵入を確実に抑制すること。 【解決手段】 パルス管１０の高温端１０ａ側にパルス
管１０からの作動流体のみを導通する回収側リリーフバ
ルブ１５を介して連結され、圧力変動源１側への作動流
体のみを導通する回収側チェックバルブ１９を介して連
結された回収側バッファタンク１７と、パルス管１０の
高温端１０ａ側にパルス管１０への作動流体のみを導通
する供給側リリーフバルブ１６を介して連結され、圧力
変動源１側に圧力変動源１からの作動流体のみを導通す
る供給側チェックバルブ２０を介して連結された供給側
バッファタンク１８とを備えたパルス管冷凍機とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この種の従来技術としては、特開
平５−１１８６８３号公報に示される如きものがある。
これについて、図６を用いて説明する。

【０００２】図６において、５１はコンプレッサーで、
シリンダー５２の内部に往復動型のピストン５３を収納
し、内部にガス状冷媒を充填している。５４はコンプレ
ッサ５１に配管接続された蓄冷器、５５は蓄冷器５４に
配管接続されたコールドヘッド、５６はコールドヘッド
５５に接続されたパルス管である。５７はパルス管５６
にパイプ５８、５９を介して配管接続されたバッファタ
ンク、６０、６１はパイプ５８、５９の途中に設けられ
た図示矢印方向にそれぞれ導通可能な一方向弁である。
６２はパイプ５８、５９の途中に設けられた放熱用熱交
換器である。

【０００３】パイプ５８はバッファタンク５７へのガス
状冷媒流入用のパイプであり、パイプ５９はバッファタ
ンク５７からのガス状冷媒流出用のパイプであって、放
熱用熱交換器６２とパルス管５６の間に曲管形状部６３
を設けている。これにより、放熱用熱交換器６２とパル
ス管５６間における流出用パイプ５９の流路抵抗を流入
用パイプ５８の流路抵抗よりも高くしている。

【０００４】上記構成において、コンプレッサ５１を駆
動させると、系内の圧力が変動する。この圧力変動とガ
ス状冷媒との位置変動とに一定の位相を持たせることに
より蓄冷器５４の低温端、コールドヘッド５５で低温を
発生するものである。

【０００５】この場合において、流出用パイプ５９の流
路抵抗が流入用パイプ５８の流路抵抗よりも大きくされ
ているため、圧縮過程で圧縮され高温状態でバッファタ
ンク５７に侵入したガス状冷媒が膨張過程においては流
出用パイプ５９の流路抵抗により少しずつパルス管５６
内に流出するため、パルス管５６内への熱侵入を減少す
ることができるとともに、パルス管５６内のガス状冷媒
を長時間減圧膨張させ、冷凍能力を向上させ得るという
ものである。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記説
明した従来技術では、パルス管内への熱侵入を減少させ
るに留まり、膨張過程において流出用パイプから少しず
つパルス管に流出する高温のガス状冷媒によりパルス管
内に少しずつ熱侵入するものである。従って、このもの
においても、バッファタンクからの熱侵入を確実に抑え
ることはできないものである。

【０００７】故に、本発明は、上記実情に鑑みてなされ
たものであり、パルス管内への熱侵入を確実に抑制する
ことを技術的課題とするものである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記した技術的課題を解
決するために成された請求項１の発明は、系内の作動流
体の圧力を変動する圧力変動源と、高温端及び低温端を
備え高温端側で前記圧力変動源に連通し低温端側でコー
ルドヘッドに連通する蓄冷器と、高温端及び低温端を備
え低温端側で前記コールドヘッドに連通するパルス管
と、前記パルス管の高温端側に前記パルス管からの作動
流体のみを導通する回収側リリーフバルブを介して連結
され、前記圧力変動源に前記圧力変動源への作動流体の
みを導通する回収側チェックバルブを介して連結された
回収側バッファタンクと、前記パルス管の高温端側に前
記パルス管への作動流体のみを導通する供給側リリーフ
バルブを介して連結され、前記圧力変動源に前記圧力変
動源からの作動流体のみを導通する供給側チェックバル
ブを介して連結された供給側バッファタンクと、系内の
作動流体の熱を系外に放熱する放熱器と、を備えたパル
ス管冷凍機としたことである。

【０００９】上記発明によれば、圧力変動源により系内
に高圧力が供給されると、圧力変動源に連通した蓄冷
器、蓄冷器に連通したコールドヘッド、コールドヘッド
に連通したパルス管、及び、圧力変動源からの作動流体
のみを導通する供給側チェックバルブを介して圧力変動
源に連通した供給側バッファタンクに常温の作動流体を
吐出してこれらを高圧状態にする。また、パルス管側か
ら回収側バッファタンクへの作動流体のみを導通する回
収側リリーフバルブは、パルス管高温端の圧力と回収側
バッファタンク内の圧力差が開弁差圧を上回った時点で
開放する。すると、コールドヘッドから熱をもらって加
熱された作動流体は、パルス管の高温端から回収側リリ
ーフバルブを経て回収側バッファタンク内に侵入する。
次に、圧力変動源により系内に低圧力が供給されると、
圧力変動源に連通した蓄冷器、蓄冷器に連通したコール
ドヘッド、コールドヘッドに連通したパルス管から作動
流体を回収してこれらを低圧状態にする。これととも
に、圧力変動源への作動流体のみを導通する回収側チェ
ックバルブを介して圧力変動源に連通した回収側バッフ
ァタンクからも、前記高圧状態の際にパルス管高温端か
ら回収側リリーフバルブを経て該回収側バッファタンク
内に侵入した高温の作動流体を回収してこれを低圧状態
にする。また、供給側バッファタンクからパルス管への
作動流体のみを導通する供給側リリーフバルブは、供給
側バッファタンク内の圧力とパルス管高温端の圧力差が
開弁差圧を上回った時点で開放する。すると、前記高圧
状態の際に圧力変動源から供給側チェックバルブを経て
供給側バッファタンクに侵入した常温の作動流体は、供
給側リリーフバルブを経てパルス管の高温端からパルス
管に侵入する。このように、コールドヘッドから熱をも
らって高温となった作動流体は、系内が高温状態のとき
にパルス管高温端から回収側リリーフバルブを経て回収
側バッファタンクに侵入し、系内が低圧状態になると、
回収側バッファタンク内の高温の作動流体は回収側チェ
ックバルブを経て圧力変動源に回収される。これととも
に、供給側バッファタンク内の常温の作動流体が供給側
リリーフバルブを経てパルス管の高温端からパルス管に
供給される。このため、高温の作動流体がそのままパル
ス管内に戻ることはないので、パルス管への熱侵入を確
実に防止できるものである。また、高温となった作動流
体は、放熱器により系外に熱を奪われて冷却するため、
系内の熱が上昇することもないものである。

【００１０】また、上記技術的課題を解決するに当た
り、本発明の請求項２の発明において講じたように、前
記パルス管の高温端と前記回収側リリーフバルブとの間
に作動流体の流量を調節するための流量調節機構を備え
ることが好ましい。これにより、系内の増圧時における
作動流体の流量制御、作動流体の圧力と変位の位相制御
を行うことができ、より効率の良いパルス管冷凍機とす
ることができるものである。

【００１１】上記と同様に、上記技術的課題を解決する
に当たり、本発明の請求項３の発明において講じたよう
に、前記パルス管の高温端と前記供給側チェックバルブ
との間に作動流体の流量を調節するための流量調節機構
を備えることが好ましい。これにより、系内の減圧時に
おける作動流体の流量制御、作動流体の圧力と変位の位
相制御を行うことができ、より効率の良いパルス管冷凍
機とすることができるものである。

【００１２】さらに、請求項４の発明のように、前記パ
ルス管冷凍機は、前記圧力変動源と前記蓄冷器の高温端
とを連結する第１連結通路と、前記第１連結通路から鋭
角状に分岐して前記圧力変動源と前記回収側バッファタ
ンク及び前記供給側バッファタンクとを連結する第１分
岐連結通路とを備えることが好ましい。これにより、圧
力変動源からの作動流体は、第１連結通路から速やかに
第１分岐連結通路を通って供給側バッファタンク内に侵
入することができ、また、回収側バッファタンクからの
作動流体は、第１分岐連結通路から速やかに第１連結通
路を通って圧力変動源に帰還することができる。このた
め、系内での圧力損失が減少し、パルス管冷凍機の冷凍
効率をさらに高めることができるものである。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る実施の形態を
図面に基づいて説明する。

【００１４】（第１実施形態例）図１は、本発明の第１
実施形態例であるパルス管冷凍機１００の概略構成図で
ある。 図において、１は系内の圧力を変動させるため
の圧力変動源である。本例において圧力変動源１は、高
圧吐出口２ａ及び低圧吸入口２ｂを備える圧縮機２と、
高圧吐出口２ａに導管３ａを介して連通した高圧側切換
バルブ４ａと、低圧吸入口２ｂに導管３ｂを介して連通
した低圧側切換バルブ４ｂと、高圧側切換バルブ４ａ及
び低圧側切換バルブ４ｂの開閉制御を行う切換バルブ制
御装置５とからなるものである。また、高圧側切換バル
ブ４ａはさらに導管６ａに、低圧側切換バルブ４ｂはさ
らに導管６ｂに連通しており、導管６ａ及び導管６ｂは
図示分岐点Ａで合流して１本の導管７となっている。
尚、圧縮機２の内部には放熱機構３４が備えられてい
る。

【００１５】蓄冷器８は、銅メッシュ、ステンレスメッ
シュ等の蓄冷材を円筒ケース等に充填した構成よりな
り、高温端部８ａ及び低温端部８ｂを備えるものであ
る。そして、高温端部８ａは導管７により圧力変動源１
の高圧側切換バルブ４ａ及び低圧側切換バルブ４ｂに連
通し、低温端部８ｂはコールドヘッド９に連通している
ものである。

【００１６】パルス管１０は、中空のステンレス等の円
筒管よりなり、高温端部１０ａ及び低温端部１０ｂを備
えるものである。そして、低温端部１０ｂはコールドヘ
ッド９に連通し、高温端部１０ａは作動流体を整流させ
るための整流器１１に連通しているものである。

【００１７】整流器１１はさらに導管１２に連通してお
り、この導管１２は分岐点Ｂで導管１３及び導管１４に
分岐している。そして、導管１３は回収側リリーフバル
ブ１５を介して回収側バッファタンク１７に導通してお
り、導管１４は供給側リリーフバルブ１６を介して供給
側バッファタンク１８に導通している。回収側リリーフ
バルブ１５は、パルス管１０から整流器１１、導管１
２、導管１３を経て回収側バッファタンク１７へ流れる
作動流体のみを導通する一方向弁であり、供給側リリー
フバルブは供給側バッファタンク１８から導管１４、導
管１２、整流器１１を経てパルス管９側へ流れる作動流
体のみを導通する一方向弁である。

【００１８】また、回収側バッファタンク１７は、回収
側チェックバルブ１９を介して導管２１にも連通してお
り、供給側バッファタンクは、供給側チェックバルブ２
０を介して導管２２にも連通している。導管２１及び導
管２２は図示点Ｃにて合流して１本の導管２３になり、
この導管２３は図示点Ｄで導管７に合流している。回収
側チェックバルブ１９は、回収側バッファタンク１７か
ら導管２１、導管２３、導管７を経て圧力変動源１側へ
流れる作動流体のみを導通する一方向弁であり、供給側
チェックバルブ２０は、圧力変動源１側から導管７、導
管２３、導管２２を経て供給側バッファタンク１８へ流
れる作動流体のみを導通する一方向弁である。

【００１９】上記構成のパルス管冷凍機１００におい
て、以下にその作動について説明する。

【００２０】まず、切換弁制御装置５により高圧側切換
弁４ａが開となり、低圧側切換弁４ｂが閉となる。する
と、圧縮機２の高圧吐出口２ａより導管３ａ、高圧側切
換弁４ａ、導管６ａ、導管７を経て高圧の作動流体が系
内に供給される。このため、圧力変動源１に連通した蓄
冷器８、蓄冷器８に連通したコールドヘッド９、コール
ドヘッド９に連通したパルス管１０、及び、圧力変動源
１側からの作動流体のみを導通する供給側チェックバル
ブ２０を介して圧力変動源１に連通した供給側バッファ
タンク１８に常温の作動流体を吐出してこれらを高圧状
態にする。また、パルス管１０側から回収側バッファタ
ンク１７への作動流体のみを導通する回収側リリーフバ
ルブ１５は、パルス管高温端１０ａの圧力と回収側バッ
ファタンク１７内の圧力差が開弁差圧を上回った時点で
開放する。このようにして回収側リリーフバルブ１５が
開放すると、コールドヘッド９から熱をもらって加熱さ
れた作動流体は、パルス管１０の高温端１０ａから整流
器１１、導管１２、導管１３、回収側リリーフバルブ１
５を経て回収側バッファタンク内１７に侵入する。

【００２１】次に、切換弁制御装置５により高圧側切換
弁４ａが閉となり、低圧側切換弁４ｂが開となる。する
と、圧縮機２の低圧回収口２ｂが導管３ｂ、低圧側切換
弁４ｂ、導管６ｂ、導管７を経て系内と連通状態とな
る。このため、圧力変動源１に連通した蓄冷器８、蓄冷
器８に連通したコールドヘッド９、コールドヘッド９に
連通したパルス管１０内の高圧の作動流体は、導管７、
導管６ｂ、低圧切換バルブ４ｂ、導管３ｂを経て、圧縮
機２の低圧回収口２ｂから圧縮機２内に回収されてこれ
らを低圧状態にする。これとともに、前記高圧状態の際
に回収側リリーフバルブ１５を経て該回収側バッファタ
ンク１７内に侵入した高温の作動流体も、圧力変動源１
側への作動流体のみを導通する回収側チェックバルブ１
９から導管２１、導管２３、導管７を経て圧力変動源１
の圧縮機２に回収されるため、回収側バッファタンク１
７も低圧状態となる。圧縮機２に回収された作動流体
は、圧縮機内部の放熱機構により熱を奪われて常温とな
る。また、供給側バッファタンク１８からパルス管１０
側への作動流体のみを導通する供給側リリーフバルブ１
６は、供給側バッファタンク１８内の圧力とパルス管高
温端１０ａの圧力の圧力差が開弁差圧を上回った時点で
開放する。│のようにして供給側リリーフバルブ１６が
開放すると、高圧状態のときに供給│バッファタンク内
に供給された常温の作動流体は、供給側リリーフバルブ
１６、導管１４、導管１２、整流器１１を経てパルス管
１０に侵入する。

【００２２】上記説明した作動過程において、回収側リ
リーフバルブ１５の開弁差圧及び供給側リリーフバルブ
１６の開弁差圧を所定の適正値に設定しておけば、系内
の作動流体が、低圧状態から高圧状態に変化する際及び
高圧状態から低圧状態に変化する際に、系内の作動流体
の圧力変動と作動流体の位置変動とに適度な位相差をも
たせることが可能となり、コールドヘッド９において効
果的に冷凍を発生させることができるものである。

【００２３】以上、本例のパルス管冷凍機の作動で説明
したように、コールドヘッド９から熱をもらって高温と
なった作動流体は、系内が高温状態のときにパルス管高
温端１０ａから回収側リリーフバルブ１５を経て回収側
バッファタンク１７に侵入する。そして、系内が低圧状
態になると、回収側バッファタンク１７内の高温の作動
流体は回収側チェックバルブ１９を経て圧力変動源に回
収される。これとともに、供給側バッファタンク１８内
の常温の作動流体が供給側リリーフバルブ１６を経てパ
ルス管の高温端からパルス管に供給される。このため、
高温の作動流体がそのままパルス管内に戻ることはな
く、その代わりに供給側バッファタンク１８から常温の
作動流体がパルス管１０に供給される構造であるので、
パルス管への熱侵入を確実に防止できるものである。

【００２４】（第２実施形態例）次に、図２に基づいて
本発明の第２実施形態例について説明する。

【００２５】第２実施形態例は、圧力変動源の構造及び
放熱器を系内に付加した点のみが第１実施形態例と異な
るところであり、以下、相違点を中心に説明し、第１実
施形態例と同一部分については同一符号を付してその説
明を省略する。

【００２６】図２に示すパルス管冷凍機２００おいて、
圧力変動源１は、シリンダー２５と、シリンダー２５内
部を往復動するピストン２６と、シリンダー２５とピス
トン２６とで区画形成された室２７とよりなる。ピスト
ン２６は図示せぬ駆動源と連結され、この駆動源により
シリンダー２５内を往復動するものである。そして、ピ
ストン２６が図示上方向に移動すると、室２７内の作動
流体が圧縮され、系内を高圧状態とする。ピストン２６
が図示下方向に移動すると、室２７内の作動流体が膨張
され、系内を低圧状態とする。

【００２７】室２７は導管７に連通しており、導管７は
その途中に放熱器２４が配置されている。

【００２８】上記構成のパルス管冷凍機２００におい
て、その作動、特に回収側バッファタンク１７及び供給
側バッファタンク１８への作動流体の侵入及び排出態様
については基本的には第１実施形態例と同じであるた
め、その説明を省略する。

【００２９】本例におけるパルス管冷凍機２００は、上
記構成であるため、コールドヘッド９から熱をもらって
高温となった作動流体は、系内が高温状態のときにパル
ス管高温端１０ａから回収側リリーフバルブ１５を経て
回収側バッファタンク１７に侵入する。そして、系内が
低圧状態になると、回収側バッファタンク１７内の高温
の作動流体は回収側チェックバルブ１９を経て圧力変動
源に回収される。これとともに、供給側バッファタンク
１８内の常温の作動流体が供給側リリーフバルブ１６を
経てパルス管の高温端からパルス管に供給される。この
ため、高温の作動流体がそのままパルス管内に戻ること
はなく、その代わりに供給側バッファタンク１８から常
温の作動流体がパルス管１０に供給される構造であるの
で、パルス管への熱侵入を確実に防止できるものであ
る。

【００３０】（第３実施形態例）次に、図３に基づい
て、本発明の第３実施形態例について説明する。

【００３１】第３実施形態例は、図１に示すパルス管冷
凍機にダブルインレット通路を付加した点が第１実施形
態例と異なるのみであり、以下、相違点を中心に説明す
る。

【００３２】図３において、圧力変動源１と蓄冷器８と
を連結する導管７には、図示点Ｅで、ダブルインレット
通路２８の一端が連結している。ダブルインレット通路
２８はその途中に流量制御弁２９を介在しており、該通
路２８の他端は整流器１１に連通した導管１２と連通し
ている。

【００３３】上記構成のパルス管冷凍機３００において
は、高圧側切換弁４ａが開となった場合に、作動流体が
導管７から蓄冷器８側へ侵入するとともに、図示点Ｅか
ら流量制御弁２９を経た作動流体がダブルインレット通
路２８を通って整流器１１側からも侵入する。また、低
圧切換弁４ｂが開となった場合に、作動流体は蓄冷器８
側から導管７を経て圧力変動源１へと戻るとともに、整
流器１１側からもダブルインレット通路２８、流量制御
弁２９を通って圧力変動源１へと戻る。また、回収側バ
ッファタンク１７、供給側バッファタンク１８への作動
流体の侵入及び排出態様は第１実施形態例と同じである
ので説明を省略する。

【００３４】上記説明したように、本例では、ダブルイ
ンレット方式のパルス管冷凍機とすることにより、コー
ルドヘッド９における作動流体の圧力変動と位置変動と
の位相制御がより広範囲に行え、この位相差をより最適
値に設定し、より効率の向上したパルス管冷凍機とする
ことができるものである。

【００３５】（第４実施形態例）次に、図４に基づいて
本発明の第４実施形態例について説明する。

【００３６】図４に示すパルス管冷凍機４００は、回収
側バッファタンク１７及び供給側バッファタンク１８の
両側に流量調節弁を付加した点、及び、図示点Ｄにおけ
る分岐態様が第１及び第２実施形態例と異なるのみであ
り、以下、相違点を中心に説明する。尚、図４において
は、圧力変動源を省略してある。

【００３７】図４において、導管１３、１４、２１、２
２の途中には、作動流体の流量を制御するためのオリフ
ィス３０、３１、３２、３３が設けられている。オリフ
ィス３０は、高圧状態において図示せぬ圧力変動源側か
ら回収側バッファタンク１７に侵入する作動流体の流量
を制御するものである。オリフィス３１は、低圧状態に
おいて供給側バッファタンクから整流器１１側へ排出さ
れる作動流体の流量を制御するものである。オリフィス
３２は、低圧状態において、回収側バッファタンク１７
から図示せぬ圧力変動源側へ排出される作動流体の流量
を制御するものである。オリフィス３３は、高圧状態に
おいて、図示せぬ圧力変動源側から供給側バッファタン
ク１８へ侵入する作動流体の流量を制御するものであ
る。

【００３８】このように、回収側バッファタンク１７及
び供給側バッファタンクは、各オリフィス３０、３１、
３２、３３により侵入または排出する作動流体の流量を
制御されるので、各オリフィスの絞り径を種々選択する
ことにより、作動流体の圧力変動と位置変動との位相差
を最適に制御することが可能となり、より効率的なパル
ス管冷凍機とすることができるものである。

【００３９】また、図４における図示点Ｆの拡大図を図
５に示す。これによれば、導管７から分岐する導管２３
は、鋭角状に分岐している。このため、導管７から導管
２３を経て導管２１及び導管２２へ作動流体を供給する
場合、及び導管２１及び導管２２から導管２３を経て導
管７へ作動流体を戻す場合において、分岐または合流時
の圧力損失を減少させることができ、圧力損失の増大に
よる発熱を抑制でき、冷凍効率をさらに向上させること
ができる。

【００４０】

【発明の効果】以上のように、本発明は、高圧状態にお
いて圧縮され高温となった作動流体がそのままパルス管
内に戻ることはないので、パルス管への熱侵入を確実に
防止できるものである。また、高温となった作動流体
は、放熱器により系外に熱を奪われて冷却するため、系
内の温度が上昇することもないものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態例におけるパルス管冷凍
機の概略構成図である。

【図２】本発明の第２実施形態例におけるパルス管冷凍
機の概略構成図である。

【図３】本発明の第３実施形態例におけるパルス管冷凍
機の概略構成図である。

【図４】本発明の第４実施形態例におけるパルス管冷凍
機の概略構成図である。

【図５】図４における図示Ｆ部の拡大図である。

【図６】従来技術におけるパルス管冷凍機の概略構成図
である。

【符号の説明】

１・・・圧力変動源 ８・・・蓄冷器 ９・・・コールドヘッド １０・・・パルス管 １５・・・回収側リリーフバルブ １６・・・供給側リリーフバルブ １７・・・回収側バッファタンク １８・・・供給側バッファタンク １９・・・回収側チェックバルブ ２０・・・供給側チェックバルブ ２４・・・放熱器 ３０、３１、３２、３３・・・オリフィス（流量制御
弁）

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 系内の作動流体の圧力を変動する圧力変
   動源と、 高温端及び低温端を備え高温端側で前記圧力変動源に連
   通し低温端側でコールドヘッドに連通する蓄冷器と、 高温端及び低温端を備え低温端側で前記コールドヘッド
   に連通するパルス管と、 前記パルス管の高温端側に前記パルス管からの作動流体
   のみを導通する回収側リリーフバルブを介して連結され
   るとともに、前記圧力変動源に前記圧力変動源への作動
   流体のみを導通する回収側チェックバルブを介して連結
   された回収側バッファタンクと、 前記パルス管の高温端側に前記パルス管への作動流体の
   みを導通する供給側リリーフバルブを介して連結される
   とともに、前記圧力変動源に前記圧力変動源からの作動
   流体のみを導通する供給側チェックバルブを介して連結
   された供給側バッファタンクと、 系内の作動流体の熱を系外に放熱する放熱器と、 を備えたパルス管冷凍機。
2. 【請求項２】 請求項１において、 前記パルス管の高温端と前記回収側リリーフバルブとの
   間に作動流体の流量を調節するための流量調節機構を備
   えることを特徴とするパルス管冷凍機。
3. 【請求項３】 請求項１において、 前記蓄冷器の高温端と前記供給側チェックバルブとの間
   に作動流体の流量を調節するための流量調節機構を備え
   ることを特徴とするパルス管冷凍機。
4. 【請求項４】 請求項１において、、 前記パルス管冷凍機は、前記圧力変動源と前記蓄冷器の
   高温端を連結する第１導管と、前記第１導管から鋭角状
   に分岐して前記圧力変動源と前記回収側バッファタンク
   及び前記供給側バッファタンクとを連結する分岐導管と
   を備えることを特徴とするパルス管冷凍機。